一種研磨磨頭保護(hù)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種研磨磨頭保護(hù)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備制造過(guò)程中，進(jìn)給系統(tǒng)磨削磨頭的保護(hù)裝置是實(shí)現(xiàn)磨削晶圓質(zhì)量的關(guān)鍵技術(shù)及前提。在現(xiàn)代化的生產(chǎn)設(shè)備中，研磨磨頭保護(hù)裝置一般是電機(jī)低速帶動(dòng)磨頭上下或加裝一種硬性機(jī)械連接裝置，甚至有的設(shè)備都沒(méi)有防護(hù)裝置。這些方法往往起不了很大作用，甚至造成整個(gè)進(jìn)給系統(tǒng)的硬損傷，對(duì)機(jī)械結(jié)構(gòu)傷害很大，同時(shí)影響進(jìn)給系統(tǒng)的重復(fù)定位精度，影響磨削質(zhì)量，影響設(shè)備可靠性。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種研磨磨頭保護(hù)裝置，用以解決進(jìn)給系統(tǒng)磨頭在上下行進(jìn)過(guò)程中的沖擊力對(duì)機(jī)械部件的損傷，傳統(tǒng)保護(hù)裝置不起作用，影響設(shè)備可靠性的問(wèn)題。
[0004]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明實(shí)施例提供一種研磨磨頭保護(hù)裝置，包括:
[0005]軸套100，所述軸套100與磨頭進(jìn)給系統(tǒng)固定連接，且所述磨頭進(jìn)給系統(tǒng)的研磨磨頭固定在所述軸套100中；
[0006]與所述軸套100固定連接的緩沖裝置200 ；以及
[0007]與所述緩沖裝置200固定連接的支撐結(jié)構(gòu)300，所述支撐結(jié)構(gòu)300還與磨頭減速器箱固定連接；
[0008]當(dāng)所述磨頭進(jìn)給系統(tǒng)工作時(shí)，所述研磨磨頭在所述軸套100的帶動(dòng)下進(jìn)行上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0009]進(jìn)一步地，所述軸套100包括:
[0010]研磨磨頭固定座；其中，
[0011]所述研磨磨頭固定座包括:
[0012]底座110以及設(shè)置在所述底座110的第一面上的第一凸臺(tái)結(jié)構(gòu)120 ;
[0013]所述底座110與所述第一凸臺(tái)結(jié)構(gòu)120上設(shè)置有第一開(kāi)孔130，所述第一開(kāi)孔130貫穿所述底座110與所述第一凸臺(tái)結(jié)構(gòu)120，所述研磨磨頭的磨桿設(shè)置在所述第一開(kāi)孔130中；
[0014]所述底座110的第二面上設(shè)置有固定所述研磨磨頭的頭部的第二開(kāi)孔151 ;
[0015]所述研磨磨頭固定座上還設(shè)置有一固定結(jié)構(gòu)140，所述固定結(jié)構(gòu)140與所述磨頭進(jìn)給系統(tǒng)固定連接；
[0016]其中，所述第一面與所述第二面為相對(duì)的兩面。
[0017]進(jìn)一步地，所述底座110的第二面上設(shè)置有第二凸臺(tái)結(jié)構(gòu)150，所述第二開(kāi)孔151設(shè)置在所述第二凸臺(tái)結(jié)構(gòu)150上，且所述第一開(kāi)孔130貫穿所述第二凸臺(tái)結(jié)構(gòu)150設(shè)置。
[0018]進(jìn)一步地，所述固定結(jié)構(gòu)140對(duì)稱(chēng)的設(shè)置在所述研磨磨頭固定座上，且所述固定結(jié)構(gòu)140上設(shè)置有多個(gè)螺栓孔141。
[0019]進(jìn)一步地，所述緩沖裝置200包括:
[0020]具有一容置腔的缸體210，所述缸體210的一端與所述支撐結(jié)構(gòu)300固定連接；以及
[0021]活塞桿220，所述活塞桿220的第一端設(shè)置在所述缸體210的容置腔中，所述活塞桿220的第二端露在所述缸體210遠(yuǎn)離所述支撐結(jié)構(gòu)300的一端的外部，且所述活塞桿220的第二端與所述研磨磨頭固定座固定連接；
[0022]所述活塞桿220在所述軸套100的帶動(dòng)下，在所述缸體210的容置腔中進(jìn)行上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0023]進(jìn)一步地，所述研磨磨頭保護(hù)裝置還包括:
[0024]與所述活塞桿220固定連接的桿端球面連接器230，所述桿端球面連接器230通過(guò)螺栓實(shí)現(xiàn)與所述研磨磨頭固定座的固定連接。
[0025]進(jìn)一步地，所述支撐結(jié)構(gòu)300包括:
[0026]第一支架310，所述第一支架310的一端設(shè)置有第二支架320，所述第二支架320與所述磨頭減速器箱固定連接，所述第一支架310的另一端連接有緩沖裝置固定架，所述緩沖裝置200通過(guò)所述緩沖裝置固定架與所述第一支架310固定連接；
[0027]在連接完成后，所述緩沖裝置200與所述第一支架310成第一預(yù)設(shè)角度。
[0028]進(jìn)一步地，所述緩沖裝置固定架包括:
[0029]與所述第一支架310連接的雙耳環(huán)支撐件331 ;
[0030]以及與所述雙耳環(huán)支撐件331連接的耳環(huán)座332，所述緩沖裝置200固定連接在所述耳環(huán)座332上。
[0031]進(jìn)一步地，所述緩沖裝置固定架還包括:連接所述雙耳環(huán)支撐件331和所述耳環(huán)座332的耳環(huán)擋桿333 ；
[0032]其中，所述雙耳環(huán)支撐件331上設(shè)置有第一安裝孔，所述耳環(huán)座332上設(shè)置有第二安裝孔，所述耳環(huán)擋桿333穿過(guò)所述第一安裝孔和所述第二安裝孔，固定連接所述雙耳環(huán)支撐件331和所述耳環(huán)座332。
[0033]進(jìn)一步地，所述支撐結(jié)構(gòu)300還包括:
[0034]連接部340，所述連接部340設(shè)置在所述第一支架310和所述緩沖裝置固定架之間，固定連接所述第一支架310和所述緩沖裝置固定架。
[0035]進(jìn)一步地，所述研磨磨頭保護(hù)裝置分別包括兩個(gè)緩沖裝置200和兩個(gè)支撐結(jié)構(gòu)300，每個(gè)緩沖裝置200連接一個(gè)支撐結(jié)構(gòu)300，且兩個(gè)緩沖裝置200對(duì)稱(chēng)的設(shè)置在所述軸套100的兩側(cè)。
[0036]本發(fā)明的有益效果是:
[0037]上述方案，通過(guò)在半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備的研磨磨頭上連接緩沖裝置，減小了進(jìn)給系統(tǒng)的研磨磨頭在上下進(jìn)給過(guò)程中的沖擊力對(duì)機(jī)械部件的損傷，有效地提高了半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備的磨削質(zhì)量以及半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備的穩(wěn)定性，增強(qiáng)了半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備的可靠性。
【附圖說(shuō)明】
[0038]圖1表示本發(fā)明實(shí)施例的設(shè)置有研磨磨頭的研磨磨頭保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖一；
[0039]圖2表示本發(fā)明實(shí)施例的研磨磨頭保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖二 ；
[0040]圖3表示本發(fā)明實(shí)施例的設(shè)置有研磨磨頭的研磨磨頭保護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖三；
[0041]圖4表不本發(fā)明實(shí)施例的軸套的結(jié)構(gòu)不意圖一；
[0042]圖5表示本發(fā)明實(shí)施例的軸套的結(jié)構(gòu)示意圖二 ；
[0043]圖6表示本發(fā)明實(shí)施例的軸套的結(jié)構(gòu)示意圖三；
[0044]圖7表示研磨磨頭的結(jié)構(gòu)示意圖一；
[0045]圖8表示研磨磨頭的結(jié)構(gòu)示意圖二 ；
[0046]圖9表示本發(fā)明實(shí)施例的所述研磨磨頭保護(hù)裝置的使用狀態(tài)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0047]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0048]本發(fā)明針對(duì)進(jìn)給系統(tǒng)磨頭在上下行進(jìn)過(guò)程中的沖擊力對(duì)機(jī)械部件的損傷，傳統(tǒng)保護(hù)裝置不起作用，影響設(shè)備可靠性的問(wèn)題，提供一種研磨磨頭保護(hù)裝置。
[0049]如圖1至圖3所示，本發(fā)明實(shí)施例的研磨磨頭保護(hù)裝置，包括:
[0050]軸套100，所述軸套100與磨頭進(jìn)給系統(tǒng)固定連接，且所述磨頭進(jìn)給系統(tǒng)的研磨磨頭固定在所述軸套100中；
[0051]與所述軸套100固定連接的緩沖裝置200 ;以及
[0052]與所述緩沖裝置200固定連接的支撐結(jié)構(gòu)300，所述支撐結(jié)構(gòu)300還與磨頭減速器箱固定連接；
[0053]當(dāng)所述磨頭進(jìn)給系統(tǒng)工作時(shí)，所述研磨磨頭在所述軸套100的帶動(dòng)下進(jìn)行上下往復(fù)運(yùn)動(dòng)。
[0054]應(yīng)當(dāng)說(shuō)明的是，該研磨磨頭保護(hù)裝置主要應(yīng)用在半導(dǎo)體專(zhuān)用設(shè)備上。
[0055]需要說(shuō)明的是，軸套100的作用為固定研磨磨頭，并使得研磨磨頭可以在磨頭進(jìn)給系統(tǒng)的作用下進(jìn)行工作，為了保證所述軸套100的牢靠固定，所述研磨磨頭保護(hù)裝置通常包括兩個(gè)緩沖裝置200和兩個(gè)支撐結(jié)構(gòu)300，每個(gè)緩沖裝置200連接一個(gè)支撐結(jié)構(gòu)300，且兩個(gè)緩沖裝置200對(duì)稱(chēng)的設(shè)置在所述軸套100的兩側(cè)；同時(shí)，為了保證所述研磨磨頭的正常工作，所述軸套100通常采用如下方式設(shè)置:
[0056]如圖4至圖6所示，所述軸套100包括:
[0057]研磨磨頭固定座；其中，所述研磨磨頭固定座包括:
[0058]底座110以及設(shè)置在所述底座110的第一面上的第一凸臺(tái)結(jié)構(gòu)120 ;
[0059]所述底座110與所述第一凸臺(tái)結(jié)構(gòu)120上設(shè)置有第一開(kāi)孔130，所述第一開(kāi)孔130貫穿所述底座110與所述第一凸臺(tái)結(jié)構(gòu)120，所述研磨磨頭的磨桿設(shè)置在所述第一開(kāi)孔130中；
[0060]所述底座110的第二面上設(shè)置有固定所述研磨磨頭的頭部的第二開(kāi)孔151 ;
[0061]所述研磨磨頭固定座上還設(shè)置有一固定結(jié)構(gòu)140，所述固定結(jié)構(gòu)140與所述磨頭進(jìn)給系統(tǒng)固定連接；
[0062]其中，所述第一面與所述第二面為相對(duì)的兩面。
[0063]可選地，所述底座110的第二面上設(shè)置有第二凸臺(tái)結(jié)構(gòu)150，所述第二開(kāi)孔151設(shè)置在所述第二凸臺(tái)結(jié)構(gòu)150上，且所述第一開(kāi)孔130貫穿所述第二凸臺(tái)結(jié)構(gòu)150設(shè)置。
[0064]需要說(shuō)明的是，所述固定結(jié)構(gòu)140設(shè)置在所述研磨磨頭固定座的一側(cè)，且所述固定結(jié)構(gòu)140左右對(duì)稱(chēng)的設(shè)置在所述研磨磨頭固定座上，所述固定結(jié)構(gòu)140上設(shè)置有多個(gè)螺栓孔141，該螺栓孔141與磨頭進(jìn)給系統(tǒng)上的孔位配合實(shí)現(xiàn)所述研磨磨頭固定座的固定。
[0065]如圖7和圖8所示，研磨磨頭400包括一磨桿410，所述磨桿410的一端設(shè)置有用于磨削晶圓的頭部420，在靠近所述頭部420的磨桿410上設(shè)置有一配合凸臺(tái)430，該配合凸臺(tái)430上設(shè)置有多個(gè)固定孔431，在進(jìn)行軸套100與研磨磨頭400安裝時(shí)，將磨桿410在軸套100的下方穿設(shè)到第一開(kāi)孔130中，并將配合凸臺(tái)430與軸套100的第二凸臺(tái)結(jié)構(gòu)150緊密貼合，然后利用螺栓分別穿過(guò)第二開(kāi)孔151和固定孔431，最后實(shí)現(xiàn)研磨磨頭400和軸套100的固定連接。
[0066]需要說(shuō)明的是，為了能較好的緩沖軸套100，保護(hù)研磨磨頭400，進(jìn)一步地，如圖2所示，所述緩沖裝置200通常采用如下方式設(shè)置:
[0067]緩沖裝置200包括:
[0068]具有一容置腔的缸體210，所述缸體210的一端與所述支撐結(jié)構(gòu)300固定連接；以及
[0069]活塞桿220，所述活塞桿220的第一端設(shè)置在所述缸體210的容置腔中，所述活塞桿220的第二端露在所述缸體210遠(yuǎn)離所述支撐結(jié)構(gòu)300的一端的外部，且所述活塞桿