亚洲成年人黄色一级片,日本香港三级亚洲三级,黄色成人小视频,国产青草视频,国产一区二区久久精品,91在线免费公开视频,成年轻人网站色直接看

一種半導(dǎo)體芯片CMP后清洗液、其制備方法與應(yīng)用與流程

文檔序號:40392329發(fā)布日期:2024-12-20 12:15閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種半導(dǎo)體芯片cmp后清洗液,其特征在于,包括重量配比如下的各組分:

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體芯片cmp后清洗液,其特征在于,所述添加劑為n-(9-((1r,3r,4r,7s)-1-((雙(4-甲氧基苯基)(苯基)甲氧基)甲基)-7-羥基-2,5-二氧雜雙環(huán)[2.2.1]庚烷-3-基)-9h-嘌呤-6-基)苯甲酰胺。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體芯片cmp后清洗液,其特征在于,所述緩蝕劑為三乙二醇二(對甲苯磺酸酯)、乙磺酸異丙酯和苯磺酸異丙酯中的一種或多種。

4.根據(jù)權(quán)利要求1-3中任意一項所述半導(dǎo)體芯片cmp后清洗液,其特征在于,所述添加劑和緩蝕劑的重量比為2-8:1。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體芯片cmp后清洗液,其特征在于,所述有機堿為5-苯甲基-[1,3,4]噻二唑-2-基胺、1,3,4-噻二唑-2-胺和5-(甲氧基甲基)-1,3,4-噻二唑-2-胺中的一種或多種。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述半導(dǎo)體芯片cmp后清洗液,其特征在于,所述超純水為電阻大于等于18mω的去離子水。

7.一種權(quán)利要求1-6任意一項所述半導(dǎo)體芯片cmp后清洗液的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:

8.一種權(quán)利要求1-6任意一項所述半導(dǎo)體芯片cmp后清洗液在清洗半導(dǎo)體芯片領(lǐng)域的應(yīng)用。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述應(yīng)用,其特征在于,采用所述半導(dǎo)體芯片cmp后清洗液清洗半導(dǎo)體芯片的方法包括以下步驟:

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述應(yīng)用,其特征在于,s2中,沖洗次數(shù)為兩次及以上。


技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種半導(dǎo)體芯片CMP后清洗液、其制備方法與應(yīng)用,半導(dǎo)體芯片CMP后清洗液包括重量配比如下的各組分:添加劑1?10份;緩蝕劑1?7份;有機堿1?10份;超純水80?90份;所述添加劑優(yōu)選為N?(9?((1R,3R,4R,7S)?1?((雙(4?甲氧基苯基)(苯基)甲氧基)甲基)?7?羥基?2,5?二氧雜雙環(huán)[2.2.1]庚烷?3?基)?9H?嘌呤?6?基)苯甲酰胺。本發(fā)明半導(dǎo)體芯片CMP后清洗液安全、環(huán)保、高效,對半導(dǎo)體芯片無腐蝕,其可在無需超聲波工藝配合的純浸泡工藝條件下完成清洗,在半導(dǎo)體芯片清洗領(lǐng)域具有非常良好的應(yīng)用前景和大規(guī)模工業(yè)化推廣潛力。

技術(shù)研發(fā)人員:侯軍,呂晶,褚雨露,董晴
受保護的技術(shù)使用者:大連奧首科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日:
技術(shù)公布日:2024/12/19
當前第2頁1 2 
網(wǎng)友詢問留言 已有0條留言
  • 還沒有人留言評論。精彩留言會獲得點贊!
1