本發(fā)明涉及真空蒸鍍設備領域，具體為一種真空蒸鍍機蒸鍍腔內(nèi)基板吊掛機構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、真空蒸鍍機的蒸鍍腔室內(nèi)頂部，會置配基板的限位結(jié)構(gòu)，即將基板能夠懸吊在蒸鍍腔室的頂部，需要進行蒸鍍的基板一般有鏡片、晶圓、金屬板材、塑膠板材等；

2、中國公開文獻cn117230412b（一種雙源共蒸發(fā)真空蒸鍍機）中有記載，將兩個晶圓分別按壓至支撐塊的上下表面，使其晶圓與支撐塊的表面相互貼合，晶圓的側(cè)邊按壓至左右兩側(cè)的側(cè)托塊之間，晶圓對限制塊進行擠壓，此時限制塊側(cè)邊的復位彈簧發(fā)生壓縮，通過復位彈簧的彈性形變從而能夠?qū)A進行限位固定，保證晶圓的穩(wěn)定性；當支撐塊下表面的晶圓鍍膜完成之后，轉(zhuǎn)動固定柱中部的銜接絲桿，銜接絲桿的轉(zhuǎn)動能夠使其壓塊在儲氣腔的內(nèi)部移動，通過壓塊的移動將其儲氣腔內(nèi)部的氣流通過連通管和對應的分支管道擠出至相應容納柱內(nèi)部的驅(qū)動空腔中，利用驅(qū)動空腔內(nèi)部的充氣能夠推動擋塊以及傳動桿在容納柱的內(nèi)部旋轉(zhuǎn)，通過傳動桿的轉(zhuǎn)動使其固定連接的支撐塊能夠帶動上下表面的晶圓進行翻轉(zhuǎn)，使其支撐塊上表面的晶圓轉(zhuǎn)動至下方，而支撐塊下表面鍍膜后的晶圓轉(zhuǎn)動至上方，由此在其中一個晶圓鍍膜之后，能夠翻轉(zhuǎn)進行另一個晶圓的鍍膜，提高整體的蒸鍍加工效率。

3、在上述公開文獻中記載的基板限位結(jié)構(gòu)，雖然實現(xiàn)了對兩個基板以向背的方式裝配在同一個支撐塊上，然后當其中一個基板的端面蒸鍍完成后，直接通過支撐塊對兩個基板的位置進行對調(diào)，就能對另一個基板進行蒸鍍處理，但是該基板限位結(jié)構(gòu)只適用于單面蒸鍍情況，若基板需要進行雙面蒸鍍時，上述的限位結(jié)構(gòu)在使用起來就不夠方便，需要同時對兩個呈向背分布的基板拆卸，然后再翻面安裝。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本發(fā)明的目的在于提供一種真空蒸鍍機蒸鍍腔內(nèi)基板吊掛機構(gòu)，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種真空蒸鍍機蒸鍍腔內(nèi)基板吊掛機構(gòu)，包括：蒸鍍機機殼以及鉸接裝配在所述蒸鍍機機殼側(cè)面起到封閉作用的封蓋，所述蒸鍍機機殼的內(nèi)部同心裝配懸吊盤，所述懸吊盤位于所述蒸鍍機機殼的內(nèi)部上方，所述蒸鍍機機殼的內(nèi)部開設有若干個啞鈴形槽，所述啞鈴形槽包括第一容納部、第二容納部和連接部，第一容納部位于第二容納部遠離所述懸吊盤圓心的一側(cè)，且連接部位于第一容納部和第二容納部之間，所述第一容納部的內(nèi)部設置有第一吸附懸吊部件，所述第二容納部的內(nèi)部設置有第二吸附懸吊部件；

3、還包括：切換單元，用于對蒸鍍的基板進行翻面切換蒸鍍處理，所述切換單元設置在所述啞鈴形槽和所述懸吊盤之間；

4、快拆裝配單元，便于將所述懸吊盤與所述蒸鍍機機殼分離，對所述切換單元、第一吸附懸吊部件和第二吸附懸吊部件檢修維護，所述快拆裝配單元設置在所述蒸鍍機機殼和所述懸吊盤之間。

5、優(yōu)選的，所述第一吸附懸吊部件包括同心滑動插裝在所述第一容納部內(nèi)部的氣筒，且所述氣筒遠離所述蒸鍍機機殼頂部的一端固定裝配有第一懸吊板，且所述第一懸吊板的上端面與所述第一容納部之間固定裝配有第一彈簧，所述懸吊盤的頂部中心固定設置有異形立柱，且所述異形立柱的外表面固定套裝有第一氣盤，所述第一氣盤為中空狀，且每個所述氣筒靠近所述蒸鍍機機殼頂部的一端與所述第一氣盤之間均固定連通裝配有第一軟管，其中第一懸吊板的中心開設有氣孔的，通過氣孔與氣筒連通。

6、優(yōu)選的，所述第二吸附懸吊部件包括同心放置在所述第二容納部內(nèi)部的第二懸吊板，所述異形立柱的外表面還固定套裝有第二氣盤，所述第二氣盤也成中空狀，且每個所述第二懸吊板靠近所述蒸鍍機機殼頂部的一端與所述第二氣盤之間均固定連通設置有第二軟管，所述第一懸吊板和所述第二懸吊板靠近所述蒸鍍機機殼底部的一端面均固定設置有硅橡膠吸盤，且所述硅橡膠吸盤分別與所述氣筒和所述第二軟管連通，所述異形立柱的內(nèi)部固定裝配有兩個通氣管，兩個所述通氣管分別于所述第一氣盤和所述第二氣盤固定連通，且兩個所述異形立柱的頂部還設置有負壓抽吸部件，第二懸吊板可以朝著第一懸吊板的方向擺動。

7、優(yōu)選的，所述負壓抽吸部件包括同心旋轉(zhuǎn)安裝在所述蒸鍍機機殼頂部的旋轉(zhuǎn)密封柱，且所述異形立柱滑動貫穿所述旋轉(zhuǎn)密封柱，所述旋轉(zhuǎn)密封柱的頂部固定架裝有兩個呈圓周等距分布的硬管，所述硬管呈直角彎頭狀，且所述硬管的彎折端口朝向所述異形立柱，兩個所述通氣管均滑動插裝入所述硬管的折彎端口內(nèi)部，所述通氣管的上端頭固定設置有第二密封塞墊，且所述第二密封塞墊與所述硬管的內(nèi)部相抵，所述蒸鍍機機殼的頂部還固定設置有兩個呈圓周等距分布的負壓抽吸泵，每個所述硬管遠離所述旋轉(zhuǎn)密封柱的一端分別與兩個所述負壓抽吸泵的抽吸端對接，每個所述硬管的外部還裝配有電磁控制閥，通過兩個負壓抽吸泵和電磁控制閥的作用，分別控制兩個通氣管內(nèi)氣壓狀態(tài)。

8、優(yōu)選的，所述第一懸吊板和所述第二懸吊板的下端面處于同一水平面，且兩者的下端面低于所述懸吊盤的下端面，即保證被吸附懸吊的基板外側(cè)邊緣，不會受到遮擋。

9、優(yōu)選的，所述切換單元包括轉(zhuǎn)動裝配在所述蒸鍍機機殼頂部的轉(zhuǎn)軸，且所述轉(zhuǎn)軸的外表面固定套裝有傳動齒輪，所述旋轉(zhuǎn)密封柱的上端外表面固定設置有若干個呈圓周等距分布的齒牙，且若干個所述齒牙與所述傳動齒輪之間傳動裝配有傳動齒帶，所述蒸鍍機機殼的內(nèi)側(cè)頂部還固定吊裝設置有定位銷，所述懸吊盤的上端部固定架裝有若干個呈圓周等距分布的限位框架，且若干個所述限位框架的內(nèi)部共同滑動裝配有一個斜齒環(huán)，所述斜齒環(huán)的上端面固定設置有定位凹塊，且所述定位銷的底部滑動嵌入所述定位凹塊的凹槽內(nèi)，所述斜齒環(huán)與若干個所述第二懸吊板之間設置有翻轉(zhuǎn)部件，通過定位銷對定位凹塊的限制，能夠?qū)崿F(xiàn)懸吊盤被旋轉(zhuǎn)時，其斜齒環(huán)的狀態(tài)不變，其中轉(zhuǎn)軸可以通過步進電機驅(qū)動，也能通過扳手對其擰轉(zhuǎn)。

10、優(yōu)選的，所述翻轉(zhuǎn)部件包括轉(zhuǎn)動設置在所述連接部內(nèi)的定位軸，且所述定位軸的兩端分別朝向所述第一容納部和所述第二容納部，所述定位軸的外表面固定套裝有蝸桿，所述第二懸吊板靠近所述第一容納部的一端固定架設有蝸輪，且所述蝸輪與所述蝸桿傳動裝配，所述懸吊盤的上端面固定架設有保持架，且所述保持架的數(shù)量與所述啞鈴形槽的數(shù)量一致，每個所述保持架的內(nèi)部轉(zhuǎn)動設置有第一傳動軸和第二傳動軸，所述第一傳動軸和所述第二傳動軸的外表面分別固定套裝有第二斜齒輪和第一斜齒輪，且所述第一斜齒輪傳動嚙合在所述第二斜齒輪和所述斜齒環(huán)之間，所述第二傳動軸和所述定位軸之間通過同步齒輪傳動裝配有同步齒帶，所述蝸輪的軸線處固定設置有光軸，且所述光軸轉(zhuǎn)動嵌于所述懸吊盤的內(nèi)部，其中第一斜齒輪的尺寸大于第二斜齒輪的齒輪，以避免兩個同時與斜齒環(huán)接觸，從而造成卡頓。

11、優(yōu)選的，所述快拆裝配單元包括開設在所述異形立柱內(nèi)部的直槽，且所述異形立柱與所述直槽為垂直分布，所述旋轉(zhuǎn)密封柱的內(nèi)部呈徑向滑動裝配有一個滑盤，且所述滑盤靠近所述通氣管的一端固定設置有滑動貫穿于所述旋轉(zhuǎn)密封柱的三角卡塊，所述三角卡塊活動嵌于所述直槽的內(nèi)部，所述滑盤遠離所述三角卡塊的一端與所述旋轉(zhuǎn)密封柱之間設置有第二彈簧，所述滑盤遠離所述三角卡塊的一端還固定設置有牽引繩，且所述牽引繩的另一端滑動貫穿于所述旋轉(zhuǎn)密封柱，所述牽引繩的軌跡呈九十度，且所述牽引繩遠離所述滑盤的一端位于所述旋轉(zhuǎn)密封柱的上端部，所述牽引繩的裸露端固定設置有球塊，所述旋轉(zhuǎn)密封柱的下端口內(nèi)部開設有斜邊部，所述異形立柱的外表面固定套裝有托盤，且所述托盤的上端面固定設置有第一密封塞墊，所述第一密封塞墊與所述斜邊部相抵，其中三角卡塊的斜面位于下方，即當異形立柱向上往旋轉(zhuǎn)密封柱的內(nèi)部移動時，異形立柱能夠通過三角卡塊的斜面將其往旋轉(zhuǎn)密封柱的內(nèi)部推移。

12、一種真空蒸鍍機蒸鍍腔內(nèi)基板吊掛機構(gòu)，還包括一種負壓控制方法，該方法包括如下步驟：

13、s1、確定所述第一軟管和所述第二軟管的內(nèi)部溫度參數(shù)預設值；

14、s2、建立所述負壓抽吸泵的操作動作與所述內(nèi)部溫度參數(shù)預設值的對應關(guān)系；

15、s3、通過溫度傳感器測量所述第一軟管和所述第二軟管內(nèi)部參數(shù)的實時溫度數(shù)據(jù)值；

16、s4、當所述實時溫度數(shù)據(jù)值達到所述內(nèi)部溫度參數(shù)預設值，所述負壓抽吸泵進行對應的操作動作；

17、步驟s1中的所述內(nèi)部溫度參數(shù)預設值包括：分別設定每一個操作動作對應的氣壓臨界值，每一個所述氣壓臨界值均小于所述蒸鍍機機殼內(nèi)部氣壓，建立氣壓與所述溫度的擬合關(guān)系，根據(jù)所述擬合關(guān)系計算每一個所述氣壓臨界值對應的溫度值，作為對應操作動作的預設值；

18、步驟s2中的操作步驟包括：所述負壓抽吸泵充氣、所述負壓抽吸泵抽氣、所述負壓抽吸泵關(guān)閉。

19、優(yōu)選的，所述擬合關(guān)系為指數(shù)函數(shù)，所述擬合關(guān)系為：

20、；

21、所述p為氣壓、t為溫度，a、b為擬合參數(shù)。

22、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

23、本發(fā)明通過第一吸附懸吊部件、第二吸附懸吊部件和切換單元的配合，能夠?qū)⒒骞潭ㄔ诘谝晃綉业醪考南路竭M行單面蒸鍍處理，然后在切換單元的控制下將基板轉(zhuǎn)移到第二吸附懸吊部件的下方，且轉(zhuǎn)移過程中能夠使基板進行翻面，即能在蒸鍍機不停機的情況進行雙面蒸鍍處理，而且在快拆裝配單元的作用下還能對懸吊盤上的所有結(jié)構(gòu)同時卸下，方便對第一吸附懸吊部件和第二吸附懸吊部件進行檢修維護。