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一種用于晶片拋光機的傳動柱組件、傳動轉(zhuǎn)盤的制作方法

文檔序號:12931359閱讀:522來源:國知局
一種用于晶片拋光機的傳動柱組件、傳動轉(zhuǎn)盤的制作方法與工藝

本實用新型涉及晶片拋光機技術(shù)領(lǐng)域,特別是涉及一種用于晶片拋光機的傳動柱組件、傳動轉(zhuǎn)盤。



背景技術(shù):

如圖1所示,現(xiàn)有技術(shù)中,晶片拋光機采用行星齒輪機構(gòu)來驅(qū)動晶片定位襯片03,例如,專利申請?zhí)枮镃N201610925500.5的中國專利公開的一種四驅(qū)雙面晶片磨光機就應(yīng)用了這種傳動方式。由圖1可見,在傳動轉(zhuǎn)盤01上安裝有傳動齒柱02,傳動齒柱02包括柱體和套接在柱體上的套管,傳動過程中,套管相對柱體發(fā)生轉(zhuǎn)動。

目前,由于套管通常為兩端敞口結(jié)構(gòu),而柱體是豎直安裝的(晶片定位襯片03平放),所以,研磨液容易進入套管與柱體的間隙內(nèi),當研磨液結(jié)晶后,會導(dǎo)致套管與柱體難以相對轉(zhuǎn)動,使磨損量增大,最終降低使用壽命。

綜上所述,如何減小研磨液對套管與柱體之間相對轉(zhuǎn)動的影響,成為了本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題。



技術(shù)實現(xiàn)要素:

有鑒于此,本實用新型提供了一種用于晶片拋光機的傳動柱組件、傳動轉(zhuǎn)盤,所述傳動轉(zhuǎn)盤包括所述傳動柱組件,該傳動柱組件能夠避免研磨液對套管與柱體之間相對轉(zhuǎn)動產(chǎn)生影響,從而有利于提高使用壽命。

為了達到上述目的,本實用新型提供如下技術(shù)方案:

一種用于晶片拋光機的傳動柱組件,包括柱體和套筒,所述柱體的中部設(shè)置有止擋凸環(huán),所述套筒的一端封閉,另一端敞口,所述套筒套接在所述柱體上,所述套筒的敞口端抵接在所述柱體的止擋凸環(huán)上。

優(yōu)選地,在上述傳動柱組件中,所述套筒的敞口處設(shè)置有裙邊,所述裙邊繞所述柱體的軸線包圍所述止擋凸環(huán)。

優(yōu)選地,在上述傳動柱組件中,所述裙邊的內(nèi)徑比所述止擋凸環(huán)的外徑大2mm~5mm。

優(yōu)選地,在上述傳動柱組件中,所述止擋凸環(huán)的圓周面上具有第一扳手平臺。

優(yōu)選地,在上述傳動柱組件中,所述套筒的外表面上具有第二扳手平臺。

一種用于晶片拋光機的傳動轉(zhuǎn)盤,包括盤體和安裝在所述盤體上的傳動柱組件,所述傳動柱組件為如上述任意一項所公開的傳動柱組件。

優(yōu)選地,在上述傳動轉(zhuǎn)盤中,所述柱體的止擋凸環(huán)與所述盤體之間設(shè)置有墊圈。

優(yōu)選地,在上述傳動轉(zhuǎn)盤中,所述柱體遠離所述套筒的一端設(shè)置有螺紋孔,所述螺紋孔與螺釘連接,所述螺釘與與所述盤體之間設(shè)置有墊片。

根據(jù)上述技術(shù)方案可知,本實用新型提供的用于晶片拋光機的傳動柱組件中,套筒套接在柱體上,套筒的敞口端與柱體的止擋凸環(huán)抵接,而套筒與敞口相對的另一端是封閉的,所以,研磨液不容易進入套筒與柱體的間隙內(nèi),這樣,避免了研磨液對套筒與柱體之間相對轉(zhuǎn)動產(chǎn)生影響,從而有利于提高使用壽命。

附圖說明

為了更清楚地說明本實用新型實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案,下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹,顯而易見地,下面描述中的附圖僅僅是本實用新型的實施例,對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講,在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下,還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中用于晶片拋光機的行星齒輪機構(gòu)的示意圖;

圖2是本實用新型提供的一種用于晶片拋光機的傳動柱組件的示意圖;

圖3是圖2的零件拆解示意圖;

圖4是本實用新型提供的一種用于晶片拋光機的傳動轉(zhuǎn)盤的拆解示意圖。

圖中標記為:

01、傳動轉(zhuǎn)盤;02、傳動齒柱;03、晶片定位襯片;1、柱體;11、第一扳手平臺;12、螺紋孔;2、套筒;21、裙邊;22、第二扳手平臺;3、盤體;31、柱體安裝孔;4、螺釘;5、墊片;6、墊圈。

具體實施方式

為了便于理解,下面結(jié)合附圖對本實用新型作進一步的描述。

參見圖2~圖4,圖2是本實用新型提供的一種用于晶片拋光機的傳動柱組件的示意圖;圖3是圖2的零件拆解示意圖;圖4是本實用新型提供的一種用于晶片拋光機的傳動轉(zhuǎn)盤的拆解示意圖。

本實用新型實施例提供的一種用于晶片拋光機的傳動柱組件包括柱體1和套筒2,柱體1的中部設(shè)置有止擋凸環(huán)(圖中未標記),套筒2的一端封閉,另一端敞口,套筒2套接在柱體1上,套筒2的敞口端抵接在柱體1的止擋凸環(huán)上。

本實用新型提供的用于晶片拋光機的傳動柱組件中,套筒2套接在柱體1上,套筒2的敞口端與柱體1的止擋凸環(huán)抵接,而套筒2與敞口相對的另一端是封閉的,所以,研磨液不容易進入套筒2與柱體1的間隙內(nèi),這樣便能避免研磨液對套筒2與柱體1之間相對轉(zhuǎn)動產(chǎn)生影響,從而有利于提高使用壽命。

為了進一步提高防護效果,有效地防止研磨液從套筒2的敞口端進入柱體1與套筒2的間隙中,本實施例中,套筒2的敞口處設(shè)置有裙邊21,裙邊21繞柱體1的軸線包圍止擋凸環(huán)。

具體實際應(yīng)用中,如果裙邊21與止擋凸環(huán)之間的距離過小的話,研磨液就會容易在縫隙中積存,因此,本實施例中,裙邊21的內(nèi)徑比止擋凸環(huán)的外徑大2mm~5mm,這樣研磨液便不容易在裙邊21與止擋凸環(huán)之間的縫隙中積存。

為了便于使用扳手進行拆卸,本實施例中,止擋凸環(huán)的圓周面上具有第一扳手平臺11,套筒2的外表面上具有第二扳手平臺22,如圖3所示。

參見圖1和圖4,晶片定位襯片03在轉(zhuǎn)動時,如果與傳動齒柱02直接接觸,則容易造成傳動齒柱02局部磨損嚴重,而傳動齒柱02的更換成本較高。使用本實用新型提供的傳動柱組件,套筒2可以保護柱體1,日常作業(yè)只需更換套筒2,不但易于更換,還能降低成本。

本實用新型還提供一種傳動轉(zhuǎn)盤,該傳動轉(zhuǎn)盤包括上述實施例公開的傳動柱組件。由于上述實施例公開的傳動柱組件具有上述技術(shù)效果,因此具有該傳動柱組件的傳動轉(zhuǎn)盤同樣具有上述技術(shù)效果,本文在此不再贅述。

如圖4所示,傳動轉(zhuǎn)盤包括盤體3,盤體3具有柱體安裝孔31,傳動柱組件的柱體1遠離套筒2的一端設(shè)置有螺紋孔12(見圖2),螺紋孔12與螺釘4連接,為了防止研磨液進入柱體安裝孔31,可以在螺釘4與與盤體3之間設(shè)置墊片5,以及可以在柱體1的止擋凸環(huán)與盤體3之間設(shè)置墊圈6。

參見圖1和圖4,在傳統(tǒng)的傳動轉(zhuǎn)盤01中,傳動齒柱02經(jīng)常因生銹等原因造成更換困難,會導(dǎo)致整個傳動轉(zhuǎn)盤01報廢。使用本實用新型提供的傳動轉(zhuǎn)盤,可以防止研磨液進入柱體1與盤體3的連接縫隙,所以柱體1不容易生銹,即便需要更換柱體1,相較于傳統(tǒng)的傳動轉(zhuǎn)盤01也更加容易。

對所公開的實施例的上述說明,使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本實用新型。對實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的,本文中所定義的一般原理可以在不脫離本實用新型的精神或范圍的情況下,在其它實施例中實現(xiàn)。因此,本實用新型將不會被限制于本文所示的實施例,而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。

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