技術(shù)編號(hào)：12931359
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本實(shí)用新型涉及晶片拋光機(jī)技術(shù)領(lǐng)域，特別是涉及一種用于晶片拋光機(jī)的傳動(dòng)柱組件、傳動(dòng)轉(zhuǎn)盤。背景技術(shù)如圖1所示，現(xiàn)有技術(shù)中，晶片拋光機(jī)采用行星齒輪機(jī)構(gòu)來驅(qū)動(dòng)晶片定位襯片03，例如，專利申請(qǐng)?zhí)枮镃N201610925500.5的中國專利公開的一種四驅(qū)雙面晶片磨光機(jī)就應(yīng)用了這種傳動(dòng)方式。由圖1可見，在傳動(dòng)轉(zhuǎn)盤01上安裝有傳動(dòng)齒柱02，傳動(dòng)齒柱02包括柱體和套接在柱體上的套管，傳動(dòng)過程中，套管相對(duì)柱體發(fā)生轉(zhuǎn)動(dòng)。目前，由于套管通常為兩端敞口結(jié)構(gòu)，而柱體是豎直安裝的(晶片定位襯片03平放)，所以，研磨液容易進(jìn)入...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。