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氣流輔助驅(qū)動超聲研磨微細孔裝置的制作方法

文檔序號:12693790閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.氣流輔助驅(qū)動超聲研磨微細孔裝置,其特征在于:包括超聲震動機構、氣流輸入機構和用于放置工件(31)的工件放置平臺(3);

所述超聲震動系統(tǒng)包括對應設置的超聲發(fā)生器(11)和換能器(12),所述換能器(12)一端設有變幅桿(13),所述變幅桿(13)一端連接有與所述工件(31)對應設置的研磨頭(14);

還包括用于向所述工件(31)注入研磨液的研磨液注入器(15);

所述氣流輸入機構包括空氣壓縮機(21),所述空氣壓縮機(21)通過導氣管(24)與所述研磨頭(14)連通,所述研磨頭(14)周向外壁上設有若干第一通孔(141)。

2.根據(jù)權利要求1所述的氣流輔助驅(qū)動超聲研磨微細孔裝置,其特征在于:所述第一通孔(141)沿所述研磨頭(14)徑向延伸。

3.根據(jù)權利要求1所述的氣流輔助驅(qū)動超聲研磨微細孔裝置,其特征在于:同一截面的相鄰所述第一通孔(141)之間的夾角B為15度~25度。

4.根據(jù)權利要求1所述的氣流輔助驅(qū)動超聲研磨微細孔裝置,其特征在于:所述第一通孔(141)的橫截面為扇環(huán)形面。

5.根據(jù)權利要求1所述的氣流輔助驅(qū)動超聲研磨微細孔裝置,其特征在于:所述研磨頭(14)軸向還設有第二通孔(142)。

6.根據(jù)權利要求1所述的氣流輔助驅(qū)動超聲研磨微細孔裝置,其特征在于:所述研磨頭(14)周向外壁上端設有與所述導氣管(24)連通的進氣孔(143)。

7.根據(jù)權利要求6所述的氣流輔助驅(qū)動超聲研磨微細孔裝置,其特征在于:還包括與所述空氣壓縮機(21)連通的儲氣箱(22),所述儲氣箱(22)通過導氣管(24)與所述研磨頭(14)連通,所述導氣管(24)上設有氣壓閥(25)。

8.根據(jù)權利要求1所述的氣流輔助驅(qū)動超聲研磨微細孔裝置,其特征在于:還包括觀測控制機構,所述觀測控制機構包括與所述研磨頭(14)對應設置的攝像頭(51),所述攝像頭(51)與PC(52)連接。

9.根據(jù)權利要求1所述的氣流輔助驅(qū)動超聲研磨微細孔裝置,其特征在于:所述研磨液注入器(15)為與研磨液儲罐連通的漏斗。

10.根據(jù)權利要求1所述的氣流輔助驅(qū)動超聲研磨微細孔裝置,其特征在于:所述工件放置平臺(3)包括支架(33),所述支架(33)上設有高度可調(diào)的托板(35),所述托板(35)上設有可轉(zhuǎn)動連接的用于放置工件的凸臺(32),所述支架(33)一側(cè)還設有用于帶動所述凸臺(32)轉(zhuǎn)動的電機(34)。

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