本發(fā)明涉及鍍膜，特別是一種用于鍍膜中固定基片的彈性裝夾裝置。

背景技術(shù)：

薄膜技術(shù)在電子元器件、集成光學(xué)、電子技術(shù)、紅外技術(shù)、激光技術(shù)以及航天技術(shù)和光學(xué)儀器等各個領(lǐng)域都得到了廣泛的應(yīng)用，它們不僅成為一門獨(dú)立的應(yīng)用技術(shù)，而且成為材料表面改性和提高某些工藝水平的重要手段。

鍍膜過程將直接影響薄膜的質(zhì)量，并將影響薄膜的性能，如功能性薄膜的熱電、鐵電和壓電等性能，光學(xué)薄膜的光譜特性、抗激光損傷特性，薄膜的致密度、內(nèi)應(yīng)力、膜層均勻性、表面光潔度、基底與膜層的吸附力等性能。特別是應(yīng)用于精密器件或精密儀器設(shè)備的薄膜元件，對鍍膜過程的要求更加嚴(yán)格。

在鍍膜過程中，基片尺寸難免會出現(xiàn)加工誤差，如果基片夾具不能有效固定基片，將會產(chǎn)生固定松動或固定應(yīng)力過大的情況，會嚴(yán)重影響到鍍膜的穩(wěn)定性，合適的基片夾具對鍍膜過程至關(guān)重要。并且在鍍膜過程中基片溫度可能會發(fā)生較大的變化，由于基片與夾具的熱膨脹系數(shù)不同，導(dǎo)致基片出現(xiàn)卡片、崩邊等現(xiàn)象，某些鍍膜過程中基片夾具會旋轉(zhuǎn)、振動等，使基片產(chǎn)生相應(yīng)的應(yīng)力，消除這些應(yīng)力將有效提高薄膜的穩(wěn)定性和可靠性。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明要解決的問題是鍍膜過程中由于基片的加工誤差及溫度變化所導(dǎo)致的基片尺寸變化，從而產(chǎn)生應(yīng)力導(dǎo)致的薄膜穩(wěn)定性下降。提供一種用于鍍膜中固定基片的彈性裝夾裝置，通過彈簧與夾具的組合，彈性的補(bǔ)償由于長時間鍍膜等帶來的基片固定松動距離，使基片在鍍膜中保持在夾具內(nèi)固定不動，并有效補(bǔ)償基片尺寸加工誤差及溫度變化產(chǎn)生的熱膨脹尺寸變化，消除應(yīng)力，提高所鍍薄膜穩(wěn)定性。

本發(fā)明的技術(shù)解決方案如下：

一種用于鍍膜中固定基片的彈性裝夾裝置，其特點在于包括基片夾具、多個彈性固定塊、蓋板和螺栓，所述的基片夾具是一圓杯狀空腔，該空腔的底中央是一鍍膜孔，在空腔的內(nèi)壁具有均勻分布的三個以上彈簧孔，腔壁的上端面具有一個以上螺孔，所述的彈性固定塊由彈簧和固定塊橫向焊接構(gòu)成，所述的固定塊成方形，該固定塊的下端面具有與待鍍膜基片嵌設(shè)的吻合的缺口，所述的彈性固定塊通過彈簧置于所述的基片夾具內(nèi)壁彈簧孔中，使所述的固定塊的缺口朝下，所述的蓋板成圓形，周邊具有與所述的基片夾具的螺孔相對應(yīng)的螺孔，所述的螺栓旋入所述的蓋板的螺孔和所述的基片夾具的螺孔，將所述的蓋板和所述的基片夾具構(gòu)成一體。

本發(fā)明的技術(shù)效果：

1、本發(fā)明中彈性固定塊的大小、形狀易于加工和處理，彈簧的長度可以靈活改變，對不同大小、不同厚度的基片在基片裝夾裝置中進(jìn)行有效固定。

2、本發(fā)明中通過彈性固定塊與夾具的組合利用彈簧的彈性補(bǔ)償在夾具移動過程中的固定誤差，可以有效消除由于基片加工的直徑誤差、振動及鍍膜過程溫度變化產(chǎn)生的應(yīng)力，使基片在夾具內(nèi)固定不動，并能有效提高鍍膜中的薄膜質(zhì)量。

3、本夾具通用性強(qiáng)，可用于多種鍍膜設(shè)備中的基片裝夾，在彈性固定領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。

4、本發(fā)明設(shè)計簡單，加工容易，徒手快速裝卸基片裝置簡單，通用性強(qiáng)，使用方便，造價便宜，永久使用，易操作，具有極大的靈活性。

附圖說明

圖1為本發(fā)明彈性裝夾裝置實施例的爆炸圖

圖2為本發(fā)明彈性裝夾裝置未加蓋子的裝配立體圖

圖3為本發(fā)明彈性裝夾裝置未加蓋子的俯視圖

圖4為基片夾具的俯視圖

具體實施方式

先請參閱圖1，圖1是本發(fā)明彈性裝夾裝置實施例的爆炸圖。從圖可見，本發(fā)明用于鍍膜中固定基片的彈性裝夾裝置，包括基片夾具1、多個彈性固定塊3、蓋板4和螺栓8，所述的基片夾具1是一圓杯狀空腔，該空腔的底中央是一鍍膜孔9，在空腔的內(nèi)壁具有均勻分布的三個彈簧孔6，腔壁的上端面具有兩個螺孔5，所述的彈性固定塊3由彈簧和固定塊橫向焊接構(gòu)成，所述的固定塊成方形，該固定塊的下端面具有與待鍍膜基片嵌設(shè)的吻合的缺口，所述的彈性固定塊3通過彈簧置于所述的基片夾具1內(nèi)壁彈簧孔6中，使所述的固定塊的缺口朝下，所述的蓋板4成圓形，周邊具有與所述的基片夾具1的螺孔5相對應(yīng)的螺孔7，所述的螺栓8旋入所述的蓋板4的螺孔7和所述的基片夾具1的螺孔5，將所述的蓋板4和所述的基片夾具1構(gòu)成一體。

本發(fā)明彈性裝夾裝置結(jié)合結(jié)構(gòu)圖具體使用方法如下：

首先將基片2放置于基片夾具1的底部中央，基片2待鍍膜面朝向鍍膜孔9，通過壓縮彈簧將三個彈性固定塊3的彈簧端置于基片夾具1的彈簧孔6中，釋放彈性固定3塊實現(xiàn)對基片2的固定，將蓋板4放置于基片夾具上并使蓋板4的兩個螺孔7與基片夾具1的兩個螺孔5相匹配，最后將兩個螺栓8依次旋入所述蓋板4的螺孔7和基片夾具1的螺孔5，實現(xiàn)彈性裝夾裝置的安裝。如果在使用過程中基片2過薄，可以在基片2上面加一塊與基片2直徑尺寸相近的樹脂圓薄片，實現(xiàn)對基片穩(wěn)定的固定。可以在將彈性裝夾裝置放置于鍍膜機(jī)內(nèi)或?qū)⒀b置結(jié)構(gòu)應(yīng)用于行星盤結(jié)構(gòu)，通過基片夾具1的鍍膜孔9，對基片下表面進(jìn)行沉積鍍膜。在彈性裝夾裝置中，彈簧利用其彈性補(bǔ)償在鍍膜過程中的基片松動，保持基片固定不動，并利用自身彈性消除由于振動、基片尺寸誤差及溫度變化導(dǎo)致的熱膨脹或收縮效應(yīng)引起的應(yīng)力變化，可以均勻地在基片上鍍膜，對于鍍膜中的基片固定具有重要意義，并對所鍍薄膜穩(wěn)定性的提高有一定的幫助。

本發(fā)明彈性裝夾裝置能夠針對一定尺寸的基片在鍍膜中有效消除基片尺寸誤差、溫度變化及振動等引起的應(yīng)力變化，可有效改善基片固定中的穩(wěn)定性，并使所鍍薄膜的穩(wěn)定性、可靠性得到提高。可以徒手快速裝卸基片，易操作，設(shè)計相對簡單，易于加工，造價低廉，使用壽命長，通用性強(qiáng)，靈活性高，在彈性固定領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用前景。