本發(fā)明涉及移動顯示器制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種鍍膜玻璃夾持機構(gòu)。

背景技術(shù)：

在目前的液晶顯示面板陣列(Array)基板制造過程中，GE、SD、ITO膜層是由物理氣相沉積(PVD)制程完成，膜層制作方法為磁控濺射(sputter)鍍膜，制程示意圖見圖1，制程特性決定濺射出來的靶材粒子會沉積在玻璃基板、光罩(Mask)以及部分玻璃夾持機構(gòu)的表面，隨著鍍膜時間增加，沉積在光罩以及夾持機構(gòu)表面的膜層會逐漸增厚，附著的膜層會出現(xiàn)膜層脫落(peeling)現(xiàn)象，產(chǎn)生大量粒子(particle)，對鍍膜品質(zhì)產(chǎn)生很大的影響。

如圖1至圖4所示，目前磁控濺射鍍膜時玻璃基板10a的邊緣放置在基板座20a上面，玻璃基板10a與基板座20a通過墊片30a隔開絕緣，上部通過夾鉗(clamp)40a夾持，整體結(jié)構(gòu)見圖2。請見圖2A和圖3，基板座20a的邊緣均為直角。具體地，基板座20a的橫截面大體上為L形，其上方具有向外凸出的第一直角部21a，其下方具有向內(nèi)凹陷的第二直接部22a。其中，第一直角21a是凸出的，此位置容易聚集較多的靶材粒子，形成的凸出的膜層50a，附著性較差，很容易產(chǎn)生脫落；第二直角22a是凹進去的，靶材粒子在角落里容易形成疏松的膜層結(jié)構(gòu)，附著性較差，也很容易產(chǎn)生脫落。直角的存在使膜層在基板座20a表面的分布是不均勻的，實際上減小了有效的鍍膜面積，示意圖見圖4，實物圖見圖5。膜層脫落是腔體內(nèi)產(chǎn)生大量粒子的一個重要源頭，對鍍膜品質(zhì)產(chǎn)生較大的影響。

目前采用的方法是定期更換光罩以及夾持機構(gòu)等被濺鍍到的部件，換下的部件進行脫膜、表面處理、清潔之后再次使用。然而，更換部件會影響設(shè)備稼動率，清洗部件會產(chǎn)生高額清洗費用。

因此，為了克服上述缺陷，本發(fā)明提供了一種能夠有效改善鍍膜腔體內(nèi)粒子狀況，延長清洗品的使用時間，提升設(shè)備稼動率，減少送洗頻率，實現(xiàn)清洗費用降低的鍍膜玻璃夾持機構(gòu)。

技術(shù)實現(xiàn)要素：

本發(fā)明的目的是提供一種鍍膜玻璃夾持機構(gòu)，其能夠增加鍍膜的有效面積，使膜層不容易脫落，增強其對靶材粒子的附著能力，有效改善鍍膜腔體內(nèi)粒子狀況，延長清洗品的使用時間。

為達(dá)上述目的，本發(fā)明提供一種鍍膜玻璃夾持機構(gòu)，其包括：基板座、墊片及夾鉗，所述基板座用于支撐玻璃基板，所述玻璃基板的邊緣通過夾鉗固定在基板座上，

其中，所述基板座用于支撐玻璃基板的一側(cè)設(shè)置有第一表面、第三表面以及設(shè)置在第一表面和第三表面之間的第二表面，其中第一表面為水平方向，第二表面為豎直方向，第三表面為水平方向，并且第一表面和第二表面之間通過第一過渡面連接，第二表面和第三表面之間通過第二過渡面連接。

所述的鍍膜玻璃夾持機構(gòu)，其中，所述第一過渡面和所述第二過渡面均為平面。

所述的鍍膜玻璃夾持機構(gòu)，其中，所述第一過渡面和所述第二過渡面相互平行。

所述的鍍膜玻璃夾持機構(gòu)，其中，所述第一過渡面和所述第二過渡面不平行。

所述的鍍膜玻璃夾持機構(gòu)，其中，所述第一過渡面與第一平面呈30°～60°，并且所述第二過渡面與第三平面呈30°～60°。

所述的鍍膜玻璃夾持機構(gòu)，其中，所述第一過渡面與第一平面呈45°，并且所述第二過渡面與第三平面呈45°。

所述的鍍膜玻璃夾持機構(gòu)，其中，所述第一過渡面和所述第二過渡面均為曲面。

所述的鍍膜玻璃夾持機構(gòu)，其中，所述第一過渡面的曲面向外凸出，所述第二過渡面的曲面向內(nèi)凹陷。

所述的鍍膜玻璃夾持機構(gòu)，其中，所述第一過渡面和第二過渡面中的其中一個為平面，另一個為曲面。

所述的鍍膜玻璃夾持機構(gòu)，其中，所述基板座和玻璃基板之間間隔設(shè)置有多個墊片。

本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明通過將基板座進行改進，把直角改成非直角，去掉了膜層附著較差的角落，使膜層更加均勻的附著在基板座表面，增加了鍍膜的有效面積，膜層不容易脫落，增強其對靶材粒子的附著能力，改善附著膜層脫落狀況，減少鍍膜腔體內(nèi)部所產(chǎn)生的大量粒子，提升鍍膜品質(zhì)，延長清洗品使用時間，提升設(shè)備稼動率，減少送洗頻率，實現(xiàn)清洗費用大幅降低。

附圖說明

在下文中將基于實施例并參考附圖來對本發(fā)明進行更詳細(xì)的描述。其中：

圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的磁控濺射鍍膜制程的示意圖；

圖2是現(xiàn)有的鍍膜玻璃夾持機構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2A為圖2中的A-A剖視圖；

圖3為現(xiàn)有的基板座的局部立體圖；

圖4為現(xiàn)有的基板座上膜層附著情況的示意圖；

圖5為本發(fā)明的基板座的局部立體圖；

圖6為本發(fā)明的基板座上膜層附著情況的示意圖。

在附圖中，相同的部件使用相同的附圖標(biāo)記。附圖并未按照實際的比例。

具體實施方式

下面將結(jié)合附圖對本發(fā)明作進一步說明。

如圖5和圖6所示，并結(jié)合圖2，本發(fā)明提供一種鍍膜玻璃夾持機構(gòu)，其主要包括玻璃基板10、基板座20、墊片30以及夾鉗40。所述基板座20為框形結(jié)構(gòu)，并且基板座20的橫截面大體上為L形。基板座20用于支撐所述玻璃基板10。具體地，所述玻璃基板10的邊緣由基板座20支撐，并且二者之間間隔設(shè)置有多個軟質(zhì)的墊片30，防止玻璃基板10的邊緣被磕碰。所述玻璃基板10的邊緣上側(cè)通過間隔布置的多個夾鉗40將其固定在基板座20上，以確保結(jié)構(gòu)穩(wěn)固。

優(yōu)選地，所述墊片30與夾鉗40為錯開設(shè)置，墊片30為夾鉗40預(yù)留空間，方便將玻璃基板10固定在基板座20上。

本發(fā)明對基板座20的結(jié)構(gòu)進行了改進。具體如圖5所示，所述基板座20用于支撐玻璃基板10的一側(cè)由上向下依次設(shè)置有水平的第一表面21、豎直的第二表面22以及水平的第三表面23，其中第一表面21和第二表面22之間通過第一過渡面24連接，第二表面22和第三表面23之間通過第二過渡面25連接。

優(yōu)選地，第一過渡面24和第二過渡面25均為平面且相互平行，并且所述第一過渡面24與水平方向呈30°～60°，更優(yōu)選地，所述第一過渡面24與水平方向呈45°。由此，第一過渡面24處不會形成凸出的膜層50，第二過渡面25處的角落位置不會形成疏松結(jié)構(gòu)膜層，這樣就去掉了膜層附著較差的角落，使膜層更加均勻的附著在基板座表面，增加了鍍膜的有效面積，使附著的膜層不容易脫落，具體請見圖6。

當(dāng)然，所述第一過渡面24還可不與第二過渡面25平行。這樣一來，對加工的精度要求降低，然而由于設(shè)置有第一過渡面24和第二過渡面25，因此其仍然可以實現(xiàn)使膜層更加均勻的附著在基板座表面，增加了鍍膜的有效面積，使附著的膜層不容易脫落的有益效果。

再優(yōu)選地，所述第一過渡面24和第二過渡面25均為曲面(圖中未示出)。且第一過渡面24的曲面向外凸出，而第二過渡面25的曲面向內(nèi)凹陷。設(shè)置曲面的優(yōu)勢在于即使在安裝玻璃基板10時出現(xiàn)失誤，其過于靠近基板座20，然而由于基板座20上的第一過渡面24和第二過渡面25均設(shè)置為曲面，因此不易造成玻璃基板10的損壞。

此外，根據(jù)不同的制程要求，所述第一過渡面24和第二過渡面25中的其中一個可為平面，另一個為曲面。例如，可以將第一過渡面24設(shè)置為曲面，而第二過渡面25設(shè)置為平面，由于曲面的加工要求更高，因此更加靠近外側(cè)的部位(第一過渡面24)設(shè)置為光滑的曲面，以避免出現(xiàn)不必要的磕碰，而更加靠近內(nèi)側(cè)的部位(第二過渡面25)設(shè)置為平面即可滿足生產(chǎn)需求。

本發(fā)明通過對基板座20進行改進，把直角改成非直角，去掉了膜層附著較差的角落，使膜層更加均勻的附著在基板座表面，增加了鍍膜的有效面積，膜層不容易脫落，增強其對靶材粒子的附著能力，改善附著膜層脫落狀況，減少鍍膜腔體內(nèi)部所產(chǎn)生的大量粒子，提升鍍膜品質(zhì)，延長清洗品使用時間。

優(yōu)選地，所述墊片30采用PEEK(聚醚醚酮)材質(zhì)，其為一種熱塑性材質(zhì)，耐高溫且耐腐蝕。

綜上所述，本發(fā)明的有益效果是：

本發(fā)明通過改善部件對靶材粒子的附著能力，能有效改善鍍膜腔體內(nèi)所產(chǎn)生的大量粒子狀況，改善附著膜層脫落狀況，減少鍍膜腔體內(nèi)部產(chǎn)生大量的粒子，提升鍍膜品質(zhì)，延長清洗品使用時間，提升設(shè)備稼動率，減少送洗頻率，實現(xiàn)清洗費用大幅降低。

雖然已經(jīng)參考優(yōu)選實施例對本發(fā)明進行了描述，但在不脫離本發(fā)明的范圍的情況下，可以對其進行各種改進并且可以用等效物替換其中的部件。尤其是，只要不存在結(jié)構(gòu)沖突，各個實施例中所提到的各項技術(shù)特征均可以任意方式組合起來。本發(fā)明并不局限于文中公開的特定實施例，而是包括落入權(quán)利要求的范圍內(nèi)的所有技術(shù)方案。