技術(shù)編號：12646381
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及移動顯示器制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種鍍膜玻璃夾持機(jī)構(gòu)。背景技術(shù)在目前的液晶顯示面板陣列(Array)基板制造過程中，GE、SD、ITO膜層是由物理氣相沉積(PVD)制程完成，膜層制作方法為磁控濺射(sputter)鍍膜，制程示意圖見圖1，制程特性決定濺射出來的靶材粒子會沉積在玻璃基板、光罩(Mask)以及部分玻璃夾持機(jī)構(gòu)的表面，隨著鍍膜時間增加，沉積在光罩以及夾持機(jī)構(gòu)表面的膜層會逐漸增厚，附著的膜層會出現(xiàn)膜層脫落(peeling)現(xiàn)象，產(chǎn)生大量粒子(particle)，對鍍膜品質(zhì)產(chǎn)生很...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。