技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明提供一種鍍膜玻璃夾持機(jī)構(gòu)，其包括：基板座、墊片及夾鉗，所述基板座用于支撐玻璃基板，所述玻璃基板的邊緣通過夾鉗固定在基板座上，其中，所述基板座用于支撐玻璃基板的一側(cè)由上向下依次設(shè)置有水平的第一表面、豎直的第二表面以及水平的第三表面，其中第一表面和第二表面之間通過第一過渡面連接，第二表面和第三表面之間通過第二過渡面連接。本發(fā)明能夠增加鍍膜的有效面積，使膜層不容易脫落，增強(qiáng)其對靶材粒子的附著能力，有效改善鍍膜腔體內(nèi)粒子狀況，延長清洗品的使用時間。

技術(shù)研發(fā)人員：彭超;鄭琮錡
受保護(hù)的技術(shù)使用者：武漢華星光電技術(shù)有限公司
文檔號碼：201611261093
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.30
技術(shù)公布日：2017.06.13