技術(shù)編號(hào)：12646383
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及鍍膜，特別是一種用于鍍膜中固定基片的彈性裝夾裝置。背景技術(shù)薄膜技術(shù)在電子元器件、集成光學(xué)、電子技術(shù)、紅外技術(shù)、激光技術(shù)以及航天技術(shù)和光學(xué)儀器等各個(gè)領(lǐng)域都得到了廣泛的應(yīng)用，它們不僅成為一門獨(dú)立的應(yīng)用技術(shù)，而且成為材料表面改性和提高某些工藝水平的重要手段。鍍膜過程將直接影響薄膜的質(zhì)量，并將影響薄膜的性能，如功能性薄膜的熱電、鐵電和壓電等性能，光學(xué)薄膜的光譜特性、抗激光損傷特性，薄膜的致密度、內(nèi)應(yīng)力、膜層均勻性、表面光潔度、基底與膜層的吸附力等性能。特別是應(yīng)用于精密器件或精密儀器設(shè)備的薄膜元...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。