專利名稱：：成膜裝置、蒸發(fā)夾具及測定方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及用于成膜規(guī)定材料層的成膜裝置，用于成膜裝置的夾具，使用夾具的測定方法，特別涉及使規(guī)定材料的原料氣化后成膜規(guī)定材料層的成膜裝置，用于成膜裝置的夾具，以及使用夾具的測定方法。
背景技術(shù)：
：使規(guī)定材料的原料氣化后成膜規(guī)定材料層的方法，被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體材料或平板顯示器裝置、其他的電子裝置的制造工藝中。作為這種電子裝置的一例，以下以有機(jī)EL顯示裝置為例進(jìn)行說明。具有充分亮度且壽命達(dá)到數(shù)萬小時以上的有機(jī)EL顯示裝置，采用的是自發(fā)光型元件，即有機(jī)EL元件，由于有機(jī)EL顯示裝置的背照燈等外部元件少，因此可以制成薄型，是理想的平面顯示裝置。構(gòu)成這種有機(jī)EL顯示裝置的有機(jī)EL元件，從作為顯示裝置的特性來看，要求其具有大型畫面的同時，元件的壽命長，畫面內(nèi)的發(fā)光亮度及元件壽命沒有不均，另外沒有黑斑等代表性缺陷。為了滿足上述要求，有機(jī)EL膜的成膜技術(shù)極其重要。例如，作為在20英寸左右的大型基板中，用于均勻成膜有機(jī)EL膜的成膜裝置，采用的是特許文獻(xiàn)l(特開2004-79904號公報)中記載的裝置等。特許文獻(xiàn)1的成膜裝置，通過將設(shè)置在裝置內(nèi)的噴射器內(nèi)部的配管構(gòu)成優(yōu)化配置為樹狀，使原料氣體與載氣一起，同樣分散在基板上，從而達(dá)到確保大型基板中膜厚的均勻性。近來，對這樣的有機(jī)EL裝置，也要求實現(xiàn)大型化，即達(dá)到20英寸以上。然而，為了滿足這樣的要求，必須克服發(fā)光效率差及壽命短等有機(jī)EL裝置特有的各種缺點。這里將構(gòu)成有機(jī)EL裝置的包含發(fā)光層的各種有機(jī)EL膜與形成在其他的顯示裝置上的膜進(jìn)行比較，因其厚度極薄，僅有數(shù)十nm，所以需要在分子單位進(jìn)行成膜的技術(shù)，并且高精度地進(jìn)行分子單位的成膜也極其重要。作為也可以適用于20英寸以上的大型化的成膜裝置，本發(fā)明的發(fā)明人員，在特愿2005-110760(先行申請l)中，提出了一種成膜裝置，其特征在于，能夠均勻且迅速地對形成有機(jī)EL裝置的各種有機(jī)EL原料進(jìn)行成膜。提出的成膜裝置，具備使同一有機(jī)EL原料蒸發(fā)、氣化的2個原料容器，和將該有機(jī)EL原料吹到基板上的吹出容器，和連接這些原料容器和吹出容器的配管系統(tǒng)(S卩，流通路徑)。這種情況下，將有機(jī)EL原料從一側(cè)的原料容器供給到吹出容器時，在成膜開始前、成膜時以及成膜停止時切換包含多個閥門及孔口(Orifice)的配管系統(tǒng)，同時對配管系統(tǒng)的溫度進(jìn)行控制。在此構(gòu)成中，在進(jìn)行成膜以外的時間內(nèi)，在使殘留在配管系統(tǒng)內(nèi)的氣體迅速排出的同時，使氣體通入另一側(cè)的原料容器中。在先行申請1所示的成膜裝置中，不僅可以防止殘留在配管系統(tǒng)中的氣體造成的污染，而且能夠在成膜開始前、成膜時以及成膜停止時迅速地進(jìn)行狀態(tài)遷移。由于先行申請1涉及的成膜裝置能夠防止殘留在配管系統(tǒng)中的有機(jī)EL原料造成的污染，因此可以顯著改善有機(jī)EL裝置的亮度及壽命。然而，采用先行申請1所示的構(gòu)成時，需要進(jìn)一步改善形成有機(jī)EL裝置的有機(jī)EL材料的利用效率，且為了進(jìn)一步實現(xiàn)有機(jī)EL裝置的大型化，不僅需要進(jìn)一步改善有機(jī)EL元件的亮度，還需要實現(xiàn)有機(jī)EL元件的長壽命化。另外，在先行申請l所示的成膜裝置中，成膜時氣化的有機(jī)EL材料被從一側(cè)的原料容器吹送到吹出容器中，但在成膜以外的時間內(nèi)，氣化的有機(jī)EL材料被從一側(cè)的原料容器排出到外部。如此可知，僅在成膜時有機(jī)EL材料才能夠得到有效利用，而在成膜以外的時間內(nèi)，有機(jī)EL材料并未得到有效利用，因此，該成膜裝置還存在有機(jī)EL材料的利用效率差的缺點。這里對作為目標(biāo)的有機(jī)EL裝置的特性及構(gòu)造進(jìn)行說明。首先，希望實現(xiàn)的有機(jī)EL裝置，不僅要具有一萬小時以上的使用壽命，還應(yīng)具有1001m/W以上的發(fā)光效率。另外，對本發(fā)明涉及的有機(jī)EL裝置進(jìn)行概略說明時，具有如下的構(gòu)造在玻璃基板上具備由透明導(dǎo)電膜形成的陽極和與該陽極對向設(shè)置的、由Li/Ag等形成的陰極；在陽極和陰極之間，配置有7層或5層的有機(jī)層。這里，有機(jī)層例如自陰極一側(cè)起，由電子注入層、電子傳輸層、發(fā)光層、空穴傳輸層以及空穴注入層形成；發(fā)光層例如由紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層及藍(lán)色發(fā)光層構(gòu)成。如此，通過將紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層及藍(lán)色發(fā)光層形成積層構(gòu)造，可以高效率地發(fā)出白光。另外，在上述的有機(jī)層中，特別是形成發(fā)光層的紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層及藍(lán)色發(fā)光層，均具有20nm左右的厚度，且電子傳輸層及空穴傳輸層也具有50nm左右的厚度。如此，與其他的半導(dǎo)體裝置的各種膜的厚度相比，有機(jī)EL裝置的有機(jī)層的厚度極薄，將來還有可能進(jìn)一步降低這些有機(jī)膜的厚度。這種情況下，因為為了形成有機(jī)層，即使是分子單位的污染也是不允許的，所以要高精度地被覆、形成極薄的有機(jī)層，必須具備在分子單位形成有機(jī)層原料的超精細(xì)技術(shù)。特許文獻(xiàn)1:特開2004-79904號公報如上所述，為了高精度且均勻地成膜極薄的有機(jī)層，不僅要對成為有機(jī)層的原料的有機(jī)EL原料的性質(zhì)進(jìn)行分析，并且需要對成膜時使用的各種器具，特別是蒸發(fā)夾具進(jìn)行改良。即，一般情況下，有機(jī)EL原料即使呈液狀，也具有熱傳導(dǎo)率低，不易傳熱的性質(zhì)。另外，液狀有機(jī)EL原料的粘度也不太低，但氣化時升高溫度的話，在溫度上升的同時粘度下降，導(dǎo)致容易產(chǎn)生熱對流。另一方面，為了使具有這種性質(zhì)的有機(jī)EL原料氣化、蒸發(fā)，在先行申請1中，使用具備蒸發(fā)皿的蒸發(fā)夾具。然而，研究發(fā)現(xiàn)，僅使用現(xiàn)有的蒸發(fā)皿，獲得的有機(jī)EL裝置的特性存在局限，不能獲得具備所述目標(biāo)特性的有機(jī)EL裝置。根據(jù)本發(fā)明的發(fā)明人員的研究發(fā)現(xiàn)，使用現(xiàn)有的蒸發(fā)皿時，在蒸發(fā)皿內(nèi)溫度上升的同時，產(chǎn)生有機(jī)EL原料的熱對流，在熱對流引起的吹起和潛入的作用下，液狀原料的液面上產(chǎn)生凹凸，且液面狀況時刻發(fā)生變化。如此，液面變化的話，導(dǎo)致氣化原料的量也隨時變化?？梢哉J(rèn)為這是原來不能保持均勻濃度(蒸發(fā)量)的原因之一。另外，因為液狀有機(jī)EL原料的熱傳導(dǎo)性差，導(dǎo)致在蒸發(fā)皿內(nèi)因液狀原料的位置不同而溫度相異，即在被加熱的蒸發(fā)皿的附近溫度高，而在中央部溫度難以升高，結(jié)果產(chǎn)生溫度分布甚至溫度斑。由于蒸發(fā)皿的氣化量因為溫度而敏感變化，因此這也是不能保持均勻濃度(蒸發(fā)量)的原因之一。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的目的在于，提供一種能夠在分子單位控制、積層超過20英寸的大型有機(jī)EL裝置等顯示裝置所需的膜的成膜裝置。本發(fā)明的另外的目的在于，提供一種適于堆積有機(jī)EL原料的夾具。本發(fā)明的另外其他的目的在于，提供一種使用上述的夾具，對載氣中的有機(jī)EL原料的濃度進(jìn)行測定的測定方法。本發(fā)明的另外的目的在于，提供一種能夠?qū)ξ粗挠袡C(jī)EL原料進(jìn)行特定的測定方法。根據(jù)本發(fā)明的第l方式，可以獲得一種成膜裝置，是通過氣化機(jī)構(gòu)使原料氣化，將該氣化后的原料供給到基板上，在所述基板上形成規(guī)定材料的膜的成膜裝置，其特征在于，所述氣化機(jī)構(gòu)，具有具備開口和底面的容器，在該容器上具有從所述開口朝向所述底面方向延伸的間隔構(gòu)件。根據(jù)本發(fā)明的第2方式，可以獲得一種成膜裝置，其特征在于，在第1方式的成膜裝置中，所述間隔構(gòu)件被設(shè)為連續(xù)或部分地橫切所述開口，且被構(gòu)成為在所述間隔構(gòu)件的底部或側(cè)部上空間連續(xù)。根據(jù)本發(fā)明的第3方式，可以獲得一種成膜裝置，其特征在于，在第1方式的成膜裝置中，所述間隔構(gòu)件被構(gòu)成為所述原料為液狀在所述容器內(nèi)受到氣化處理時，不產(chǎn)生熱對流，且液面變得均勻。根據(jù)本發(fā)明的第4方式，可以獲得一種成膜裝置，其特征在于，在第1第3方式的任何一種的成膜裝置中，還具有將所述氣化后的原料傳輸?shù)剿龌迳系妮d氣的供給機(jī)構(gòu)，所述載氣中的所述原料的濃度一定。根據(jù)本發(fā)明的第5方式，可以獲得一種蒸發(fā)夾具，是用于對填充的原料進(jìn)行氣化的蒸發(fā)夾具，其特征在于，具有氣化皿，該氣化皿具有底面和從該底面立設(shè)的側(cè)面，并通過所述底面和所述側(cè)面規(guī)定所述開口部和所述原料收容空間；間隔構(gòu)件，該間隔構(gòu)件被收納在該原料收納空間內(nèi)，在從所述開口部朝向所述底面的方向上延伸。根據(jù)本發(fā)明的第6方式，可以獲得一種蒸發(fā)夾具，是第5方式的蒸發(fā)夾具，其特征在于，所述間隔構(gòu)件被設(shè)為連續(xù)或部分橫切所述開口部，且被構(gòu)成為在所述間隔構(gòu)件的底部或側(cè)部空間連續(xù)。根據(jù)本發(fā)明的第7方式，可以獲得一種蒸發(fā)夾具，是第5方式的蒸發(fā)夾具，其特征在于，所述間隔構(gòu)件的底部的至少一部分與所述底面相接，在所述底面附近具有連通孔。根據(jù)本發(fā)明的第8方式，可以獲得一種蒸發(fā)夾具，是第57方式的任何一項所述的蒸發(fā)夾具，其特征在于，所述開口部是具有長邊和短邊的長方形，所述原料收納空間為長方體，所述間隔構(gòu)件具備沿所述長邊方向延伸的長邊方向隔片，和沿所述短邊方向延伸的短邊方向隔片。根據(jù)本發(fā)明的第9方式，可以獲得一種成膜方法，其特征在于，向第58方式的任何一項所述的蒸發(fā)夾具中收納有機(jī)原料進(jìn)行氣化，通過載氣傳輸該氣化后的有機(jī)原料，在基板上堆積所述有機(jī)原料的膜。根據(jù)本發(fā)明的第IO方式，可以獲得一種測定方法，其特征在于，向第58方式的任何一項所述的蒸發(fā)夾具中收納有機(jī)原料進(jìn)行氣化，通過載氣傳輸該氣化后的有機(jī)原料，對該載氣中的所述氣化后的有機(jī)原料的濃度進(jìn)行測定。根據(jù)本發(fā)明的第11方式，可以獲得一種測定方法，其特征在于，由通過第IO方式的測定方法測得的所述濃度，算出所述有機(jī)原料的活化能。根據(jù)本發(fā)明的第12方式，可以獲得一種測定方法，其特征在于，由第11方式的測定方法獲得的所述活化能，和測得的所述濃度及所述原料的溫度，求出規(guī)定所述載氣中的所述氣化后的有機(jī)原料的濃度Vf/。)的公式(l)-V二(Ko/P)Xe德(其中，Ko表示常數(shù)(。/。'Torr)、P表示壓力(Torr)、Ea表示活化能(eV)、k表示波茲曼常數(shù)、T表示絕對溫度)的常數(shù)Ko。根據(jù)本發(fā)明的第13方式，可以獲得一種測定方法，其特征在于，由通過第12方式的測定方法獲得的常數(shù)Ko的計算結(jié)果，推定所述有機(jī)原料。根據(jù)本發(fā)明的第14方式，可以獲得一種測定方法，其特征在于，在第1013方式的任何一項所述的測定方法中，所述有機(jī)原料為有機(jī)電致發(fā)光元件的原料。根據(jù)本發(fā)明的第15方式，可以獲得一種成膜裝置，是為了形成規(guī)定材料的膜，使原料氣化，將氣化后的所述原料供給到基板上，在所述基板上形成所述規(guī)定材料的膜的成膜裝置，其特征在于，使所述原料氣化的氣化機(jī)構(gòu)，具有耐熱性容器和分割機(jī)構(gòu)，該耐熱性容器在其一端上具有規(guī)定面積的開口，在其內(nèi)部收納液體狀的所述原料；該分割機(jī)構(gòu)用于將該容器的所述開口分割成較所述規(guī)定面積小的、具有多個小面積的部分空間，所述分割機(jī)構(gòu)，具有連續(xù)或部分橫切所述開口的部分，和在所述容器的底面部或開口的至少一方上，使所述部分空間相互連通的部分。根據(jù)本發(fā)明的第16方式，可以獲得一種蒸發(fā)夾具，是用于使填充的液狀原料氣化的蒸發(fā)夾具，其特征在于，具備氣化皿，該氣化皿具有底面和從該底面立設(shè)的側(cè)面，規(guī)定在側(cè)面的內(nèi)開口的原料收納空間；將該原料收納空間分割成多個部分空間的隔板，并且，所述隔板以所述多個部分空間在所述氣化皿的底面?zhèn)冗B通的方式保持于所述氣化皿。根據(jù)本發(fā)明的第17方式，可以獲得一種蒸發(fā)夾具，其特征在于，在第16方式中，所述氣化皿規(guī)定具有規(guī)定長度、寬度以及深度的矩形或者正方形的開口形狀的原料收納空間，所述隔板具備沿所述氣化皿的長度方向延伸的隔片，和沿所述氣化皿的寬度方向延伸的隔片，所述隔片的高度低于所述原料收納空間的深度。根據(jù)本發(fā)明的第18方式，可以獲得一種蒸發(fā)夾具，其特征在于，在第16方式中，在所述側(cè)面的上部具有防止所述液狀原料溢出的構(gòu)造。根據(jù)本發(fā)明的第19方式，可以獲得一種蒸發(fā)夾具，其特征在于，在第16方式中，所述部分空間被構(gòu)成為從開口上部看去呈多邊形。根據(jù)本發(fā)明的第20方式，可以獲得一種蒸發(fā)夾具，是用于使填充的液狀原料氣化的蒸發(fā)夾具，其特征在于，具備氣化皿，該氣化皿具有底面和從該底面立設(shè)的側(cè)面，規(guī)定在側(cè)面的內(nèi)部開口的原料收納空間；將該原料收納空間分割成多個部分空間的隔板，并且，所述隔板在與所述底面平行的方向上形成非連續(xù)的構(gòu)造，以所述多個部分空間在所述平行方向上連通的方式保持于所述氣化皿。根據(jù)本發(fā)明的第21方式，可以獲得一種成膜方法，其特征在于，將液狀原料收納到第1620方式的任何一項所述的蒸發(fā)夾具中進(jìn)行氣化，通過載氣傳輸該氣化后的原料，在基板上堆積所述原料的膜。根據(jù)本發(fā)明的第22方式，可以獲得一種成膜方法，其特征在于，將液狀原料收納到第1620方式的任何一項所述的蒸發(fā)夾具中，使其在減壓條件下蒸發(fā)，將該蒸發(fā)了的原料堆積在配置于所述蒸發(fā)夾具的上方的基板的底面上。根據(jù)本發(fā)明的第23方式，可以獲得一種蒸發(fā)夾具，是第16~20方式的任何一項所述的蒸發(fā)夾具，其特征在于，還具有對所述氣化皿進(jìn)行加熱的機(jī)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的第24方式，可以獲得一種蒸發(fā)夾具，是第1620方式及第23方式的任何一項所述的蒸發(fā)夾具，其特征在于，還具有對所述隔板進(jìn)行加熱的機(jī)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的第25方式，可以獲得一種蒸發(fā)夾具，是第23或第24方式所述的蒸發(fā)夾具，其特征在于，所述加熱機(jī)構(gòu)包含熱管。根據(jù)本發(fā)明的第26方式，可以獲得一種蒸發(fā)夾具，是第16~20方式的任何一項所述的蒸發(fā)夾具，其特征在于，所述氣化皿還具有供給載氣的機(jī)構(gòu)。根據(jù)本發(fā)明的第27方式，可以獲得一種蒸發(fā)夾具，是第26方式所述的蒸發(fā)夾具，其特征在于，所述載氣經(jīng)過濾器供給。在本發(fā)明中，可以獲得一種成膜裝置及蒸發(fā)夾具，不僅可以大幅改善有機(jī)EL原料的利用效率，還能夠高精度地對有機(jī)EL原料的濃度(蒸發(fā)量)進(jìn)行控制。由于通過間隔構(gòu)件(隔板)將蒸發(fā)皿(氣化皿)的開口部設(shè)成小開口的集合(即被劃分區(qū)域的集合)，該小開口的尺寸優(yōu)選為5mm以下，更優(yōu)為3mm以下，例如2.5mmX2.5mm。因此在被各隔板劃分的領(lǐng)域內(nèi)難以產(chǎn)生熱對流，也不會因熱對流導(dǎo)致在被劃分的領(lǐng)域內(nèi)產(chǎn)生液面的隆起和凹陷。另外，例如僅以相對于液體的深度5mm，以l2mm的高度，或相對于液體的深度3mm，以0.5lmm的高度使隔板的底部連同，因此，被劃分的各領(lǐng)域(各小開口)的液面變?yōu)榫鶆?。所以，作為整體可以時常保持均勻的液面，從而可以時間性地使氣化量以及載氣中的濃度保持均勻。另外，通過用熱傳導(dǎo)性好的材料制成隔板，或者通過在隔板內(nèi)也增設(shè)導(dǎo)熱管和加熱器等加熱機(jī)構(gòu)，可以不受場所的影響，時間性地使被隔板包圍的領(lǐng)域(小開口部)內(nèi)的液體溫度保持一定，而且不會產(chǎn)生溫度斑。因此，通過使用本發(fā)明的蒸發(fā)夾具，可以使液狀原料的蒸發(fā)量及濃度時間性地保持一定。另外，根據(jù)本發(fā)明，可以獲得一種使用上述蒸發(fā)夾具的、對載氣中的有機(jī)原料的濃度進(jìn)行測定的測定法。圖1是表示本發(fā)明的第1實施方式的成膜裝置的概略構(gòu)成圖。圖2是表示本發(fā)明的第2實施方式的成膜裝置的概略構(gòu)成圖。圖3是表示對圖1及圖2所示的成膜裝置的配管系統(tǒng)、切換器以及成膜部進(jìn)行更具體說明的圖。圖4是表示本發(fā)明的第3實施方式的成膜裝置的一部分的圖。圖5是表示圖4所示的成膜裝置的成膜部的圖。圖6是表示圖4的成膜裝置中的切換時間等的時序圖。圖7是表示構(gòu)成本發(fā)明的第1實施例的蒸發(fā)夾具的蒸發(fā)皿的一例的立體圖。圖8是表示構(gòu)成本發(fā)明的第1實施例的蒸發(fā)夾具的隔板的立體圖。圖9是表示本發(fā)明的第1實施例的蒸發(fā)夾具的隔板和蒸發(fā)皿的關(guān)系的剖面圖。圖10是表示對本發(fā)明的第1實施例的蒸發(fā)夾具進(jìn)行說明的俯視圖。圖ll(a)是表示對本發(fā)明的第2實施例的蒸發(fā)夾具的各部進(jìn)行說明的圖。圖ll(b)是表示沿圖ll(a)的A-A、線的剖面圖。圖H(c)是表示沿圖11(a)的B-B、線的剖面圖。圖ll(d)是表示沿圖U(a)的C-C'線的剖面圖。圖ll(e)是表示沿圖ll(a)的D-D'線的剖面圖。圖ll(f)是表示對圖ll(b)及圖ll(e)所示的皿構(gòu)件的上端部的變形例進(jìn)行說明的圖。圖12是表示對本發(fā)明的第3實施例的蒸發(fā)夾具進(jìn)行說明的剖面圖。圖13是表示使用本發(fā)明的第1、第2、第3實施例的蒸發(fā)夾具時的特性的圖，這里與壓力相關(guān)聯(lián)，表示載氣中的有機(jī)EL原料(H材料)濃度的溫度依存性。圖14是表示使用本發(fā)明的第1、第2、第3實施例的蒸發(fā)夾具時的特性的圖，這里與溫度相關(guān)聯(lián)，表示載氣中的有機(jī)EL原料(H材料)濃度的壓力依存性。圖15是表示本發(fā)明的第4實施例的蒸發(fā)夾具的說明圖。圖16是表示本發(fā)明的蒸發(fā)夾具的實用例的說明圖。圖17是表示使用本發(fā)明的蒸發(fā)夾具時的實驗結(jié)果的圖。圖18是表示使用本發(fā)明的蒸發(fā)夾具時的有機(jī)EL原料(H材料)的蒸發(fā)活動的溫度依存性的圖，這里表示將壓力保持為一定時的溫度依存性。圖19是表示使用本發(fā)明的蒸發(fā)夾具時的有機(jī)EL原料(H材料)的蒸發(fā)活動的壓力依存性的圖，這里表示將溫度保持為一定時的壓力依存性。符號說明20有機(jī)EL源部201有機(jī)EL原料容器部26、27、28成膜部29切換部31載氣用配管系統(tǒng)331、332、333配管系統(tǒng)203蒸發(fā)部202隔壁261吹出容器262臺座263氣體分散板264過濾器30玻璃基板50蒸發(fā)皿52隔板521長邊方向隔片522短邊方向隔片54卡止片55蒸發(fā)夾具56間隙59氣化開始時的液面62皿構(gòu)件64導(dǎo)熱管單元66被覆構(gòu)件68絕熱構(gòu)件70加熱器72第1隔開部74第2隔開部741導(dǎo)熱管76第3隔開部761導(dǎo)熱管82上游側(cè)過濾器部84下游側(cè)過濾器部86液化容器87配管具體實施方式圖1所示為本發(fā)明的第1實施方式的成膜裝置的概圖。圖示的成膜裝置，具備有機(jī)EL源部20，第1及第2成膜部26、27，以及切換部29(切換機(jī)構(gòu))，該有機(jī)EL源部20具備多個有機(jī)EL源，該切換部29用于將來自有機(jī)EL源部20的氣化后的有機(jī)EL材料選擇性地供給到第1或第2成膜部26、27。切換部29由配管、孔口、質(zhì)量流量控制器(流量控制系統(tǒng))以及多個閥門等構(gòu)成。切換部29以這種關(guān)系，受到控制裝置(未圖示)的控制，該控制裝置對配管、孔口、流量控制系統(tǒng)、閥門進(jìn)行控制。具體地說，圖示的有機(jī)EL源部20，具備對應(yīng)應(yīng)該堆積的有機(jī)EL膜的數(shù)量的、收納了有機(jī)EL原料的容器部(以下稱為"原料容器部")。例如，當(dāng)應(yīng)該堆積到玻璃基板上的有機(jī)EL原料為3種時，有機(jī)EL源部20包含分別收納有該3種有機(jī)EL原料的3個原料容器部。當(dāng)要堆積更多的有機(jī)EL原料時，可以設(shè)置對應(yīng)該原料的數(shù)量的收納有機(jī)EL原料的原料容器部。例如當(dāng)應(yīng)該堆積的有機(jī)EL膜由電子傳輸層、紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層、藍(lán)色發(fā)光層、電子塊層以及空穴傳輸層6個層構(gòu)成時，在有機(jī)EL源部20上設(shè)置收納用于形成各層的原料的6個原料容器部。再者，在有機(jī)EL源部20的各個原料容器部201上，并非僅具備用于收納有機(jī)EL原料，使該有機(jī)EL原料蒸發(fā)的蒸發(fā)夾具(即蒸發(fā)皿)，還具備對該蒸發(fā)夾具內(nèi)的該有機(jī)EL原料進(jìn)行加熱的加熱器。另外，在各原料容器部201的蒸發(fā)夾具中，經(jīng)閥門、流量控制系統(tǒng)以及配管系統(tǒng)，導(dǎo)入氬氣、氙氣、氪氣等載氣。此處，將載氣導(dǎo)入到各原料容器部201中，并通過加熱器進(jìn)行加熱，其結(jié)果蒸發(fā)夾具中的有機(jī)EL材料氣化。因此，各原料容器部201具有將有機(jī)EL材料氣化的氣化機(jī)構(gòu)的功能。在圖中為了簡化說明，在有機(jī)EL源部20上僅表示單一的原料容器部201，但實際在有機(jī)EL源部20還具備與其他的有機(jī)EL材料對應(yīng)的原料容器部。如此，各原料容器部201作為對有機(jī)EL原料進(jìn)行氣化的氣化機(jī)構(gòu)進(jìn)行工作。另一方面，對應(yīng)圖示的原料容器部201設(shè)置切換部29，其他的原料容器部也設(shè)有同樣的切換部。這里為了簡化而進(jìn)行省略。在切換部29上連接有載氣用配管系統(tǒng)31(配管、閥門、流量控制系統(tǒng)、孔口等)，該載氣用配管系統(tǒng)31將與氬氣、氙氣、氪氣等載氣同種的氣體供給到切換部29。對應(yīng)第1及第2成膜部26、27分別各自連接有該載氣用配管系統(tǒng)31。這些載氣用配管系統(tǒng)31，不經(jīng)氣化機(jī)構(gòu)，作為將載氣供給到氣體放出機(jī)構(gòu)的載氣供給機(jī)構(gòu)進(jìn)行工作。在圖示的切換部29的內(nèi)部具備配管系統(tǒng)，該配管系統(tǒng)包含配管、閥門、孔口、流量控制系統(tǒng)等，將載氣及氣化后的有機(jī)EL原料選擇性地供給到第l及第2成膜部26、27。第1及第2成膜部26、27相互具有同一的構(gòu)成，且如后所述，經(jīng)具有具備相互同一的配管線路長的部分的配管系統(tǒng)331、332，被連接在切換部29上。圖示的第l及第2成膜部26、27，將其作為將在圖示的原料容器部201中被氣化的有機(jī)EL原料吹出、堆積的部分進(jìn)行說明。然而，在第1及第2成膜部26、27上分別堆積多個有機(jī)EL原料時，實際上有必要在多個原料容器部和第1及第2成膜部26、27之間設(shè)有多個切換器，并設(shè)置經(jīng)這些切換器，將多個原料容器部和第1及第2成膜部26、27連接到一起的配管系統(tǒng)(氣體流通路徑)。第1及第2成膜部26、27分別具備吹出容器和傳輸裝置，進(jìn)行將氣化的包含有機(jī)EL原料的載氣從吹出容器放出到玻璃基板上而堆積有機(jī)EL膜的作業(yè)，該吹出容器具有將包含被氣化的有機(jī)EL原料的載氣均勻地吹出到玻璃基板上的構(gòu)成；該傳輸裝置用于對將溫度保持為一定的臺座上的玻璃基板進(jìn)行傳輸?shù)膫鬏斞b置。因此，吹出容器可以稱為氣體放出機(jī)構(gòu)。由此可知，在圖示的成膜裝置中，對應(yīng)l個氣化機(jī)構(gòu)，具備多個氣體放出機(jī)構(gòu)。此外，在吹出容器上還具有用于將來自配管系統(tǒng)331、332的有機(jī)EL材料均勻分散而設(shè)置的供給口和將來自該供給口的有機(jī)EL材料導(dǎo)引到玻璃基板等上的過濾器。另外，以可以用陶瓷或者金屬板上形成有微孔的噴淋板(ShowerPlate)置換過濾器。以下，對圖1所示的成膜裝置的動作進(jìn)行說明。首先，通過在原料容器部201進(jìn)行加熱，使有機(jī)EL原料(有機(jī)EL分子)氣化。在此狀態(tài)下，通過切換部29選擇第1成膜部26時，有機(jī)EL原料以氣化的狀態(tài)從原料容器部201通過切換部29的配管系統(tǒng)，與載氣一起經(jīng)配管系統(tǒng)331被供給到第1成膜部26。當(dāng)將有機(jī)EL原料供給到第1成膜部26的期間，連接在第2成膜部27上的配管系統(tǒng)332被關(guān)閉。當(dāng)在第1成膜部26內(nèi)進(jìn)行成膜時，玻璃基板被供給到第2成膜部27的入口處，第2成膜部27處于成膜待機(jī)狀態(tài)。在第1成膜部26內(nèi)，當(dāng)有機(jī)EL原料的堆積完成時，在切換器29的作用下切換配管系統(tǒng)，來自原料容器部201的有機(jī)EL原料經(jīng)配管系統(tǒng)332被供給到第2成膜部27。當(dāng)在第2成膜部27內(nèi)進(jìn)行成膜時，在第1成膜部26內(nèi)成膜完成后的玻璃基板，通過傳輸裝置被導(dǎo)引到為了成膜另外的有機(jī)EL原料而設(shè)在第1成膜部26內(nèi)的另外的吹出容器中，進(jìn)行另外的有機(jī)EL原料的成膜。換言之，即在不同的時間將各自不同的基板供給到對應(yīng)一個氣化機(jī)構(gòu)的多個氣體放出機(jī)構(gòu)。以下，采用同樣的方法，以切換器29規(guī)定的時間，相互切換、控制第1及第2成膜部26、27，通過依次切換堆積的有機(jī)EL原料，將有機(jī)EL裝置需要的有機(jī)EL膜堆積在平行流動的玻璃基板上。在此，切換器29和第2成膜部27之間的配管系統(tǒng)332，具有與切換器29和第1成膜部26之間的配管系統(tǒng)331相同的長度，且為了在同一條件下進(jìn)行成膜，這些配管系統(tǒng)被構(gòu)成為樹狀。再者，配管系統(tǒng)331、332被控制為以相同的流量將有機(jī)EL原料供給到第1及第2成膜部26、27。結(jié)果，在第1及第2成膜部26、27中，可以在同一條件下選擇性地進(jìn)行同一有機(jī)EL原料的成膜。因此，根據(jù)該構(gòu)成可以在一方的成膜部26或27中的成膜完成時，在完全相同的條件下，在另一方的成膜部26或27中也可以進(jìn)行成膜。再者，在一方的成膜部26或27中成膜完成后的玻璃基板進(jìn)行移動時，切換到另一方的成膜部26或27，在與一方的成膜部相同的條件下，有機(jī)EL原料被供給到切換后的成膜部。因此，圖l所示的成膜裝置，可以同時、并列地在多個玻璃基板上依次形成有機(jī)EL材料膜，并且可以避免浪費來自原料容器部201的有機(jī)EL原料，從而大幅改善有機(jī)EL原料的利用效率。圖2是表示本發(fā)明的第2方式的成膜裝置的概念圖，在圖示例中，來自有機(jī)EL源部的有機(jī)EL原料，經(jīng)切換器29分別供給到3個成膜部，即第1~第3成膜部2628，在這一點上，與僅供給到2個成膜部26、27的圖l的成膜裝置不同。在圖示例中，第3成膜部經(jīng)配管系統(tǒng)333連接在切換器29上，該配管系統(tǒng)333與其他的配管系統(tǒng)331、332同樣受到控制。不管怎樣，在圖2所示的成膜裝置中，來自各原料容器部201的氣化的有機(jī)EL原料經(jīng)切換器29被供給到第1第3成膜部2628。圖3是表示圖1及圖2所示的成膜裝置的一部分，這里與成膜部26內(nèi)的一部分的構(gòu)成一起，表示有機(jī)EL源部20、切換器29以及單一的成膜部26之間的連接關(guān)系。圖3所示的成膜部26，具有將包含有機(jī)EL原料(分子)的載氣吹出到成膜部26內(nèi)的吹出容器261及支承玻璃基板30的臺座262，將該臺座262設(shè)為在搭載有玻璃基板30的狀態(tài)下，可以沿著與圖3的紙面垂直的方向移動。另外，在此例中，在吹出容器261內(nèi)設(shè)置6張氣體分散板263，并在與玻璃基板30對向的位置上，設(shè)置由金屬或陶瓷形成的過濾器(或噴淋板)264。與氣體分散板對應(yīng)設(shè)有供給口，兩者被配置為同一方向(在圖3中為紙面上下方向)的一列。另外，過濾器264具有在供給口和氣體分散板的配置方向上延伸的形狀。此外，圖示的成膜部26內(nèi)的壓力被保持為530mTorr，且臺座262的溫度被保持為室溫。這里，優(yōu)選為過濾器264由多孔質(zhì)的陶瓷構(gòu)成。一般情況下，使用由多孔質(zhì)的陶瓷構(gòu)成的過濾器264時，可以以規(guī)定的角度將由氣體或液體組成的流體均勻地供給到大面積的基板上。另一方面，圖示的有機(jī)EL源部20的特征在于具有單一的原料容器部201，圖示的原料容器部201連接在上游側(cè)配管和下游側(cè)配管上，上游側(cè)配管是用于將載氣導(dǎo)入原料容器部201的配管，如圖所示，包含流量控制系統(tǒng)(FCS1)以及設(shè)在該流量控制系統(tǒng)FCS1前后的閥門V3、V4。下游側(cè)配管構(gòu)成切換器29的一部分。另外，原料容器部201被上下延伸的隔壁202劃分為上游側(cè)領(lǐng)域和下游側(cè)領(lǐng)域，在隔壁202的下部上設(shè)有填充了有機(jī)EL原料的蒸發(fā)部203。再者，如前所述，在原料容器部201上設(shè)有加熱器(未圖示)。在此構(gòu)成中，通過上游側(cè)配管被導(dǎo)入的載氣自原料容器部201的上游側(cè)領(lǐng)域被導(dǎo)入到蒸發(fā)部203內(nèi)，在加熱器的加熱作用下，在蒸發(fā)部203內(nèi)被氣化的有機(jī)EL原料(分子)和載氣、一起，經(jīng)原料容器部201的下游側(cè)領(lǐng)域，被導(dǎo)出到下游側(cè)配管。與圖l及圖2同樣，在原料容器部201上連接有切換器29。圖3所示的切換器29，具有連接多個成膜部26、27等和有機(jī)EL源部(即原料容器部201)的配管系統(tǒng)及將載氣供給到成膜部26的配管系統(tǒng)。具體地說，就是連接原料容器部201和成膜部26的吹出容器261的切換器29的配管系統(tǒng)，包括第1配管系統(tǒng)和第2配管系統(tǒng)，該第1配管系統(tǒng)包含閥門V5、V6以及孔口PRF1，一直延伸到與設(shè)在吹出容器261上的4張氣體分散板263對應(yīng)的供給口為止；該第2配管系統(tǒng)將設(shè)在外部的氙氣、氬氣等的載氣源(未圖示)直接導(dǎo)引到吹出容器261的2張氣體分散板263上。其中，第2配管系統(tǒng)經(jīng)閥門V1、流量控制系統(tǒng)FCS2以及孔口ORF2，延伸到與吹出容器261的氣體分散板263對應(yīng)的供給口。再者，在第1配管系統(tǒng)的ORF1和閥門V6之間，連接有將與載氣同種的氣體從外部導(dǎo)入的第3配管系統(tǒng)，該第3配管系統(tǒng)包含閥門V2、流量控制系統(tǒng)FCS3以及閥門V7。另外，在第1配管系統(tǒng)的閥門V5和V6之間，連接有將氣化的有機(jī)EL原料供給到其他的成膜部(例如圖1的27)的第4配管系統(tǒng)，該4配管系統(tǒng)包含閥門V8。此外，圖示的孔口ORF具備孔口和閥門，作為對氣體壓力進(jìn)行調(diào)整控制的氣體壓力調(diào)整部進(jìn)行工作。因此可知，圖示的成膜裝置具有在氣化機(jī)構(gòu)和吹出容器之間設(shè)有氣體壓力調(diào)整部的構(gòu)成，氣體壓力調(diào)整部和吹出容器的供給口被配管連接。在此，在將包含有機(jī)EL原料(分子)的載氣供給到吹出容器261的第1配管系統(tǒng)中，如果將從孔口0RF1到吹出容器261的供給口之間的配管長度設(shè)為全部相同的話，可以使該有機(jī)EL原料(分子)均勻且同時到達(dá)玻璃基板30上。這種關(guān)系下，在圖示例中，將吹出容器261內(nèi)的有機(jī)EL分子氣體供給口的數(shù)量設(shè)為2"個，用分支為"個的配管連接這些供給口和孔口ORFl(n為自然數(shù))。再者，通過將多個成膜部中的從孔口0RF1到吹出容器261的供給口之間的配管長度設(shè)為相等，可以在相同條件下，在多個成膜部上均勻地形成有機(jī)EL原料的膜。另外，僅有載氣被供給到設(shè)在圖3的上下兩端部上的氣體分散板263。再者，為了不使有機(jī)EL原料(分子)析出、附著在形成配管系統(tǒng)的管壁上，從原料容器部201到吹出容器261為止的第1配管系統(tǒng)的溫度，被設(shè)定為高于有機(jī)EL原料供給中的原料容器部201的溫度。在此，參考圖1及圖3，對成膜裝置的動作進(jìn)行說明。首先，圖示的成膜裝置的動作，與各成膜部26、27相關(guān)，可以分為成膜開始前、成膜時以及成膜停止后的動作。這里將成膜開始前、成膜時以及成膜停止后的動作分別作為模式1、模式2以及模式3進(jìn)行說明。在成膜部26相關(guān)的成膜開始前的模式1中，閥門V1、V2、V3、V4、V7處于開啟狀態(tài)，閥門V6處于關(guān)閉狀態(tài)，閥門V5、V8處于開啟狀態(tài)。因此，在模式1中，一方面載氣被從閥門VI經(jīng)流量控制系統(tǒng)FCS1及孔口0RF2供給到吹出容器261，另一方面載氣被從閥門V2經(jīng)流量控制系統(tǒng)FCS3、閥門V7以及孔口ORF1通入吹出容器261。這種狀態(tài)下，吹出容器261內(nèi)的壓力以及玻璃基板30上的壓力被控制到規(guī)定的壓力。此時例如可以將吹出容器261內(nèi)的壓力控制為lOTorr，將玻璃基板上的壓力控制為lmTorr。再者，在模式l的狀態(tài)下，因為閥門V3、V4處于開啟狀態(tài)，被導(dǎo)入到供給有機(jī)EL分子的原料容器部201中的載氣，以閥門V3、流量控制系統(tǒng)FCS1、閥門V4的路徑，被導(dǎo)入原料容器部201，由于閥門V6處于關(guān)閉狀態(tài)，有機(jī)EL原料不被供給到成膜部26，而是經(jīng)處于開啟狀態(tài)的閥門V5、V8被供給到其他的成膜部(例如27)。當(dāng)然，在成膜裝置整體的成膜開始前的模式中，閥門V5、V8也被設(shè)為關(guān)閉狀態(tài)，有機(jī)EL原料也不能從原料容器部201供給到成膜部26、27，僅可以通過設(shè)在兩成膜部上的配管系統(tǒng)，向其供給與載氣同種的氣體。在圖3中，在成膜開始時，第1成膜部26的狀態(tài)由模式1過渡到成膜時的模式2。在成膜時的模式2中，閥門V2、V7及V8處于關(guān)閉狀態(tài)，閥門V1、V3、V4、V5、V6處于開啟狀態(tài)。結(jié)果載氣經(jīng)閥門V1、流量控制系統(tǒng)FCS2以及孔口0RF2，被供給到吹出容器261的上下的供給口，并且在原料容器部201中氣化的有機(jī)EL分子氣體，通過以閥門V3、流量控制系統(tǒng)FCS1、閥門V4的路徑被導(dǎo)入的載氣，以閥門5、閥門6以及孔口0RF1的路徑，被供給到吹出容器261的4個供給口。在該模式2中，與經(jīng)閥門V2、流量控制系統(tǒng)FCS3、閥門V7以及孔口0RF1供給的載氣同種的氣體(流量fO被停止。另一方面，為了將吹出容器261內(nèi)的壓力和腔內(nèi)壓力保持為一定，優(yōu)選使將有機(jī)EL分子供給到吹出容器261的來自原料容器部201的載氣流量，原則上與上述流量f,一致。即在模式1中，優(yōu)選為閥門V5、V6以及孔口0RF1的路徑中的輸送氣體流量，與和經(jīng)閥門V2、流量控制系統(tǒng)FCS3、閥門V7以及孔口ORF1的路徑供給的載氣同種的氣體流量fl相等。其次，參考圖3對第1成膜部26相關(guān)的成膜停止時的模式3進(jìn)行說明。從模式2的狀態(tài)轉(zhuǎn)換到模式3的狀態(tài)時，將閥門V6設(shè)為關(guān)閉狀態(tài)，將閥門V5、V8設(shè)為開啟狀態(tài)，同時將閥門V2、V7設(shè)為開啟狀態(tài)。即在模式3中，閥門V1、V2、V3、V4、V5、V7、V8處于開啟狀態(tài)，另一方面閥門V6處于關(guān)閉狀態(tài)，來自原料容器部201的有機(jī)EL原料被供給到其他的成膜部(例如27)。如此，在模式3中，因為閥門V5、V8處于開啟狀態(tài)，包含有機(jī)EL分子的載氣，以模式2中的流量f,被從原料容器部201—側(cè)通到其他的成膜部。另-一方面，通過使閥門V2、V7處于開啟狀態(tài)，使與載氣同種的氣體，以模式1中的流量f,經(jīng)孔口ORF1通到第1成膜部26的吹出容器261內(nèi)。在與載氣同種的氣體的作用下，從在模式2中處于關(guān)閉狀態(tài)的閥門6到吹出容器261為止的配管中的有機(jī)EL分子被吹出。因此，在成膜部26中，成膜停止時的有機(jī)EL分子的中斷極其迅速。圖4是表示本發(fā)明的第三實施方式的成膜裝置系統(tǒng)的要部的立體圖。在該實施例中，與圖l的實施例同樣，設(shè)置2臺成膜部，但各成膜部26、27分別具備6個吹出容器。在圖4中，對于和圖1及圖3的實施例對應(yīng)的部分標(biāo)注相同的參考數(shù)字。用圖5對成膜部進(jìn)行詳細(xì)說明。如圖4所示，在第1成膜部排列(腔CHM1)中，延伸6個吹出容器，該6個吹出容器分別具有與玻璃基板的寬度相等的長度，且在它們在長度方向上被整列配置為相互平行鄰接，玻璃基板30以規(guī)定的速度，在被配置在與上述長度方向相交的方向上的吹出容器群上方移動。第2成膜部矩陣(腔CHM2)也具有同樣的構(gòu)成，另外的玻璃基板30以與第1矩陣上不同的時間被供給到第2成膜部矩陣上，配置在兩個矩陣上的吹出容器形成一對，以不同的時間將包含原料的載氣從相同的原料供給部供給到吹出容器。當(dāng)包含原料的載氣被選擇性地供給到一對吹出容器中的一方時，其上存在玻璃基板，此時包含原料的載氣不被供給到一對吹出容器中的另一方，其上也不存在玻璃基板。使玻璃基板的供給、移動和向吹出容器對中的那一方供給包含原料的載氣，與選擇聯(lián)動進(jìn)行，經(jīng)常使包含原料的載氣供給到吹出容器對中的一方，且使其上存在基板，而決定時間。參考圖5，對圖4的實施方式的成膜裝置系統(tǒng)的單一的成膜部排列(腔)進(jìn)行說明。圖5所示為在玻璃等的基板30上依次形成有機(jī)EL膜而制造有機(jī)EL裝置所用的單一成膜部排列，這里在基板上依次形成6層膜。這種情況席，可以使用尺寸從730X920(mm)到3000X5000(mm)的基板。圖示的成膜部具備被隔壁1~7劃分而成的6個吹出容器26-126-6，以層疊的順序，分別將包含有機(jī)EL材料的載氣吹向上方的玻璃基板。這6個吹出容器26-126-6的內(nèi)部的過濾器或噴淋板的延伸方向，被整列為相對于玻璃基板的傳輸方向相互平行。玻璃基板30-1、30-2以一定的間隔，從左向右通過6個吹出容器的上部，在各吹出容器26-l26-6上，通過由各吹出部向圖的上方噴出的有機(jī)EL原料形成有機(jī)EL膜。此時，在基板30-1、30-2和隔壁之間，以及基板30-l、30-2和吹出容器26-126-6之間保持規(guī)定的距離，基板30-l、30-2和隔壁之間的距離小于基板30-1、30-2和吹出容器26-1-26-6之間的距離。從各吹出部向上方噴出的氣體，經(jīng)由吹出容器的側(cè)壁和隔壁內(nèi)面之間的空隙，沿著箭頭所示的方向被排向下方。各吹出容器上連接有圖3、圖4所示的配管系統(tǒng)。因此，圖5所示的成膜部矩陣(腔)，通過各配管系統(tǒng)被與未圖示的其他的成膜部矩陣連接，通過各個切換器，分別對多個成膜部矩陣的各配管系統(tǒng)進(jìn)行控制，可以并列處理2列的玻璃基板。在圖5的實施例中，玻璃基板30-1、30-2的尺寸為2160mmX2540mm，沿著長度方向前進(jìn)。吹出容器在玻璃基板前進(jìn)方向上的吹出口的寬度為50mm，與其垂直方向上的吹出口的長度為2170mm，吹出容器的側(cè)壁的寬度(厚度)為15mm，吹出容器的側(cè)壁的表面和其兩側(cè)的隔壁的內(nèi)面之間的間隔為30mm，因此，相鄰隔壁的內(nèi)面間的間隔為140mm，隔壁的厚度為15mm，成膜部矩陣(腔)在基板前進(jìn)方向上的長度為945mm。將吹出容器頂面-基板間的距離設(shè)為20mm，將隔壁-基板間的距離設(shè)為2mm，將隔壁及吹出容器的溫度分別設(shè)為350450°C。成膜氣氛壓力為30mTorr，從吹出部噴出的含有原料的載氣的吹出風(fēng)速為3m/sec，含有原料的載氣以0,1秒到達(dá)基板。從吹出部噴出的含有原料的載氣的吹出流量以室溫大氣壓換算為317cc/min，當(dāng)把基板的送給速度設(shè)為1.0cm/sec時，基板通過1個吹出容器的時間為264秒，基板通過6個吹出容器的時間為341.5秒，有機(jī)EL原料的使用效率達(dá)到90%。參考圖6可知，上方的圖表，是表示分別配置在兩個成膜部矩陣(腔)上的成對的吹出容器之間的切換循環(huán)的時序圖，各吹出容器每264秒進(jìn)行氣體供給的切換。下方的時序圖表示各個腔中的動作的循環(huán)，如上所述，在各腔中以341.5秒進(jìn)行6層成膜，以其后的186.5秒進(jìn)行將完成成膜的基板從該腔內(nèi)送出以及將新基板導(dǎo)入到該腔內(nèi)的動作。合計528秒完成1個循環(huán)。即以1個循環(huán)528秒(8分48秒)完成2張基板的6層成膜。此外，以每15.5秒的時間差，幵啟腔CHM1、CHM2的各噴出容器。返回到圖35，將所有的吹出容器設(shè)為具有完全相同的構(gòu)造，并且將其與圖3所述的各自相同的配管系統(tǒng)連接，將流通的載氣流量也設(shè)為相同。這種情況下，也可以對應(yīng)有機(jī)EL分子的特性設(shè)定各吹出容器的溫度。另外，優(yōu)選通過原料容器部的溫度控制成膜速度、厚度。另外，優(yōu)選吹出容器由不銹鋼制成，將各吹出容器的吹出部作為不銹鋼過濾器，焊接到本體上。此外，優(yōu)選用A203等的催化劑效果低的鈍態(tài)膜被覆吹出容器內(nèi)面的全部。另外，具備多個成膜部的、進(jìn)行參考圖3說明的控制的本發(fā)明的成膜裝置，無論是在成膜時及成膜停止時的任何一種模式中，因為向各成膜部通入流量完全相同的載氣，所以可以將構(gòu)成各成膜部的各吹出容器內(nèi)的壓力保持為一定。這種情況意味著可以防止吹出容器間的交叉污染。將6層所有的吹出容器設(shè)為同一尺寸，將吹出的載氣流量也設(shè)為相同時，各層的期望膜厚度相同的情況下(在紅色發(fā)光層、綠色發(fā)光層、藍(lán)色發(fā)光層、電子塊層，膜厚各為2010nm)，可以將載氣中的有機(jī)EL原料分子濃度設(shè)為相同，但對于膜的厚度大的層(在電子傳輸層、空穴傳輸層膜厚各為50nm)，需要與膜厚成比例，提高載氣中包含的有機(jī)原料分子的濃度。存在困難時，對于膜厚大的層，需要采取將吹出容器設(shè)為多個，或者增大吹出容器的開口寬度，或者增加載氣的流量等對策。再者，如前所述，具備多個成膜部，并且通過時序性地切換該多個成膜部的模式，可以迅速地在有機(jī)EL裝置上形成需要的多個膜，可以大幅改善吞吐能力，并且可以改善有機(jī)EL原料的利用效率。例如，通過將6層的有機(jī)EL材料膜切換到3臺的成膜部進(jìn)行成膜，當(dāng)制造有機(jī)EL裝置時，每隔6分鐘左右就可以制成有機(jī)EL裝置，此時的有機(jī)EL原料的利用效率可以提高到82%。如圖4圖6所示，使用2臺的成膜部矩陣進(jìn)行成膜時，可以每隔8分鐘左右迸行6層成膜，材料的利用效率達(dá)到90%。這里將來自原料容器部的氣化的有機(jī)EL原料在載氣中的濃度(concentration)保持為一定，對于制造具有目標(biāo)特性的有機(jī)EL裝置是極其重要的。換言之，有機(jī)EL原料在載氣中的濃度在短時間內(nèi)發(fā)生變化時，以分子單位長時間地將有機(jī)EL材料堆積到玻璃基板等上是不可能的。然而，根據(jù)本發(fā)明的發(fā)明人員等進(jìn)行的實驗發(fā)現(xiàn)，在本發(fā)明的發(fā)明人員等現(xiàn)在使用的有機(jī)EL制造裝置中，從時間上來看，載氣中的各種有機(jī)EL原料的濃度在短時間內(nèi)發(fā)生急劇變化。例如，在現(xiàn)有的有機(jī)EL原料Akq3的情況下，加熱到380。C，并且以10sccm的流量通入Ar作為載氣，在保持在760Torr的狀態(tài)下，通過FT-IR(吸光分析)進(jìn)行測定時可知，濃度在大約20分鐘左右的時間達(dá)到峰值(存在正峰突)，之后，出現(xiàn)急劇下降。這種情況在其他的有機(jī)EL原料中也同樣出現(xiàn)。這種急劇的濃度變化導(dǎo)致在分子單位長時間均勻地堆積有機(jī)EL膜變得困難。這種情況下，蒸發(fā)皿形成將兩端封閉的圓柱狀的管子切割后形成的剖面半圓狀的構(gòu)成。本發(fā)明的發(fā)明人員等，對使載氣中的有機(jī)EL原料濃度變化的原因進(jìn)行了研究，結(jié)果發(fā)現(xiàn)，濃度變化是由有機(jī)EL原料容器使用的蒸發(fā)皿引起的。為了對該原因進(jìn)行確認(rèn)，參考圖7，對使有機(jī)EL原料蒸發(fā)的蒸發(fā)皿(即氣化皿)50進(jìn)行說明。圖7所示的蒸發(fā)皿50由長(L)20mm、寬(W)5mm、高(D)5mm的矩形形狀的容器構(gòu)成。g卩，圖示的蒸發(fā)皿50，具備底面和從底面起向長邊(L)方向及短邊(W)方向立設(shè)的側(cè)壁，在其內(nèi)側(cè)規(guī)定有用于填充有機(jī)EL原料而被開口的長方體形狀的原料收納空間。這種關(guān)系下，蒸發(fā)皿50的開口部呈由長邊及短邊構(gòu)成的長方形。此外，實驗中使用的蒸發(fā)皿50是由耐熱性材料，例如不銹鋼形成的耐熱性容器，起到氣化有機(jī)EL原料的氣化機(jī)構(gòu)的作用。使用這種蒸發(fā)皿50進(jìn)行有機(jī)EL原料的成膜時，正峰突得到改善，急劇的濃度下降情況也略有改善，但觀測到載氣中的有機(jī)EL原料的濃度發(fā)生急劇下降，不能保持一定的濃度的現(xiàn)象。這種現(xiàn)象的原因可以考慮為對圖示的蒸發(fā)皿50進(jìn)行加熱時，蒸發(fā)皿50內(nèi)的有機(jī)EL原料液化，結(jié)果在液化了的有機(jī)EL原料中產(chǎn)生熱對流，該熱對流不規(guī)則地變化，另外溫度也不穩(wěn)定，導(dǎo)致有機(jī)EL原料的蒸發(fā)活動也發(fā)生變化。本發(fā)明的發(fā)明人員等基于這種推定，對防止蒸發(fā)皿50內(nèi)產(chǎn)生熱對流，以及使溫度保持一定的方法進(jìn)行了深入研究，結(jié)果開發(fā)出了極其有效的方法。具體地說，就是發(fā)現(xiàn)通過將蒸發(fā)皿50內(nèi)部的有機(jī)EL原料填充空間劃分成更小的空間，可以減輕熱對流的影響，從而使載氣中的有機(jī)EL原料的濃度能夠長時間地、實質(zhì)上保持一定。即，通過在從蒸發(fā)皿50的開口朝向底面的方向上設(shè)置延伸的隔板(即，分割機(jī)構(gòu)、間隔構(gòu)件)，將填充空間分割成部分空間，如后所述，可以減輕熱對流的影響。參考圖8可知，作為蒸發(fā)皿50中的熱對流防止機(jī)構(gòu)，在蒸發(fā)皿50內(nèi)配置有隔板52。圖示的隔板52就是圖7所示的將蒸發(fā)皿50的內(nèi)部空間分割成10個微小空間(部分空間)的隔板(分割機(jī)構(gòu))，圖示的隔板52具備長邊方向隔片521，和4個短邊方向隔片522以及高度(H)為4mm的卡止片54，該長邊方向隔片521具有比內(nèi)部空間的深度(D)更低的高度(H)，例如3mm的高度(H);該短邊方向隔片522具有與長邊方向隔片相同的高度；該卡止片54被設(shè)置在隔板52的長邊方向的兩端，用于在蒸發(fā)皿50的底部接觸、支承隔板52。圖示的2個卡止片54，相對于蒸發(fā)皿50的短邊方向，從長邊方向隔片521的兩端起向相反的方向(圖8的后方向及前方向)延伸。卡止片54高于長邊方向隔片521和短邊方向隔片522，且被設(shè)置為向長邊方向隔片521的下方突出。因此，圖示的隔板52被配置在長邊方向隔片521及短邊方向隔片522，和蒸發(fā)皿50的底部之間，如圖9所示，形成間隙56。換言之，在起到間隔構(gòu)件的長邊及短邊方向隔片521、522的底面?zhèn)榷瞬亢驼舭l(fā)皿50的底部之間，形成間隙56，該間隙56沿著蒸發(fā)皿50的底面形成連續(xù)的空間。此外，如圖9所示，氣化開始時的液面59低于隔板的高度。圖10所示為在蒸發(fā)皿50的內(nèi)部空間內(nèi)，配置圖8所示的隔板52，構(gòu)成蒸發(fā)夾具55的狀態(tài)。在圖示例中，蒸發(fā)皿50的內(nèi)部空間被隔板52劃分成IO個部分空間(部分領(lǐng)域)，從圖9也可明知，通過蒸發(fā)皿50的底部側(cè)連通各部分空間。由于圖示的蒸發(fā)夾具55處于各部分空間通過底部連通的狀態(tài)，當(dāng)有機(jī)EL原料加熱液化時，不僅可以使有機(jī)EL原料液體的液面保持一定，而且因為蒸發(fā)皿50的內(nèi)部空間被分割成非常小的部分空間，所以可以防止在各部分空間產(chǎn)生有機(jī)EL原料液體的對流，結(jié)果可以長時間地使載氣中的有機(jī)EL原料的濃度保持大致一定。在圖7圖IO所示例中，對使用隔板52，在其與蒸發(fā)皿50的底面之間形成間隙56的例子進(jìn)行了說明，但本發(fā)明并不限定于此，也可以使隔板即隔壁與蒸發(fā)皿50的底面接觸。這種情況下，也可以在位于蒸發(fā)皿50的底面附近的隔壁上設(shè)置連通孔，另外，也可以在位于隔板附近的蒸發(fā)皿50的底面上設(shè)置連通孔。圖17所示為圖7~圖10所示的采用本發(fā)明的蒸發(fā)皿50時的實驗結(jié)果。圖17所示為采用具備隔板的本發(fā)明的蒸發(fā)皿50時的載氣中的有機(jī)EL材料的濃度變化C1。這里用Ar作為載氣，作為H材料使用公知的有機(jī)EL材料。在圖17中，曲線C1表示將200mg的H材料填充的圖IO所示的蒸發(fā)皿中，在250。C的溫度下保持5分鐘后，加熱到470。C(右刻度)使H材料氣化時的載氣中的H材料濃度變化(左刻度)。再者，實驗是在保持到75Torr壓力下的原料容器部內(nèi)，設(shè)置蒸發(fā)皿，供給10sccm流量的載氣而進(jìn)行的。僅使用圖17所示的蒸發(fā)皿50時，在加熱后經(jīng)過20分鐘的時點，可以獲得最高濃度，但該濃度在尚未保持30分鐘就開始下降，在C1中，可以將9000ppm以上的濃度保持100分鐘以上。這樣能夠長時間地實質(zhì)性地使?jié)舛缺３忠欢?，意味著可以將被本發(fā)明的蒸發(fā)夾具氣化的H材料以一定的濃度長時間地供給到成膜部。因此，通過使用本發(fā)明的蒸著夾具，可以長時間地均勻地成膜極薄的H材料膜。圖18是表示有機(jī)EL原料(此處為H材料)的蒸發(fā)活動的溫度依存性的圖，即在將蒸發(fā)夾具的壓力保持為一定的狀態(tài)(即30Torr)下，使H材料氣化的溫度在43(TC45(TC的范圍內(nèi)變化時的H材料的濃度變化。在本例中，表示的是向蒸發(fā)夾具中填充200mg的H材料，以10sccm的流量供給載氣時的情況。圖18所示的曲線C3表示在保持為30Torr壓力的狀態(tài)下，蒸發(fā)皿被加熱到430。C時的特性，可以長時間地保持5000ppm左右的濃度，即，直到填充的有機(jī)EL原料變無為止，幾乎可以保持一定的濃度。另外，曲線C4表示在保持在30Torr壓力的狀態(tài)下加熱到440。C時的濃度變化，即使在這種情況下，也可以將9000ppm的濃度保持2小時以上。再者，曲線C5表示在30Torr壓力的狀態(tài)下加熱到45(TC時的濃度變化，可以達(dá)到13000ppm的濃度，可以將該濃度保持到實質(zhì)上填充的有機(jī)EL原料實質(zhì)上被蒸發(fā)夾具全部氣化為止。圖19所示為有機(jī)EL原料即H材料的蒸發(fā)活動的壓力依存特性。在本例中，蒸發(fā)夾具被保持在44(TC的溫度，以10sccm的流量向該蒸發(fā)夾具供給作為載氣的Ar。此外，與圖17及圖18同樣，向蒸發(fā)夾具中填充200mg的H材料。曲線C6、C7及C8分別表示將蒸發(fā)夾具保持在75Torr、30Torr及20Torr的狀態(tài)時的H材料的蒸發(fā)特性。從這些曲線C6C8也可以明知，隨著壓力變小，載氣中的H材料的濃度變高，另外，無論在何種情況下，都可以將載氣中的H材料的濃度保持為一定。參考圖ll(a)、(b)、(c)、(d)、(e)及(f)，對本發(fā)明的更具體的實施例(第2實施例)的蒸發(fā)夾具55進(jìn)行說明。圖ll(a)所示為本發(fā)明的第2實施例的蒸發(fā)夾具55的俯視圖，從該圖可以明知，蒸發(fā)皿50被形成間隔構(gòu)件的隔板劃分成橫向7個部分領(lǐng)域，縱向9個部分領(lǐng)域，合計63個的部分領(lǐng)域。因此，以下將圖11(a)的橫向作為蒸發(fā)夾具55的短邊方向，另外將圖11(a)的縱向作為蒸發(fā)夾具55的長邊方向進(jìn)行說明。參考沿圖ll(a)的A-A'線的剖面圖即圖ll(b)，可知蒸發(fā)夾具55中的蒸發(fā)皿50，由內(nèi)部收納有機(jī)EL原料的皿構(gòu)件62、覆蓋該皿構(gòu)件62的外周而設(shè)的導(dǎo)熱管單元64、覆蓋該導(dǎo)熱管單元64的被覆構(gòu)件66以及設(shè)在被覆構(gòu)件66的外周的絕熱構(gòu)件68構(gòu)成。皿構(gòu)件62由熱傳導(dǎo)性良好，機(jī)械強度優(yōu)良，且熱膨脹系數(shù)小的材料，例如Cu-W、Al-Mg-Zn等形成，其內(nèi)面被覆有丫203、A1203、碳等。被覆構(gòu)件66由絕熱效果高的不銹鋼等形成。圖示的蒸發(fā)皿50由皿構(gòu)件62、導(dǎo)熱管單元64、被覆構(gòu)件66以及絕熱構(gòu)件68構(gòu)成。再者，如圖所示，在蒸發(fā)皿50的底部設(shè)有加熱器70。另外，在橫切部分領(lǐng)域的A-A、線上，設(shè)有用于規(guī)定7個部分領(lǐng)域的第1間隔部72，該第1間隔部72具有不能達(dá)到皿構(gòu)件52的底部的高度。此外，在圖示的第1間隔部72內(nèi)部沒有設(shè)置導(dǎo)熱管。圖ll(c)及(d)分別所示為沿圖11(a)的B-B，及C-C、線配置的第2及第3間隔部74及76。在第2間隔部74的內(nèi)部埋設(shè)有向圖ll(c)的右方向下降的導(dǎo)熱管741。另一方面，如圖ll(d)所示，在第3間隔部76的內(nèi)部，也埋設(shè)有向圖11(d)的左方向下降的導(dǎo)熱管761。如圖ll(c)及(d)所示，在埋設(shè)在第2及第3間隔部74及76中的導(dǎo)熱管741及761的內(nèi)部，設(shè)有使液體流動的傾斜。具備向右下降及向左下降的導(dǎo)熱管741、761的間隔部74、76被交叉配置在圖ll(a)的皿構(gòu)件52內(nèi)。因此，通過連接第1至第3的間隔部72、74及76，可以構(gòu)成圖11所示的隔板。此外，為了不產(chǎn)生因催化劑造成的溶劑分解，在各導(dǎo)熱管741、761的表面上，施有￥203等的鍍敷。圖ll(e)所示為沿圖ll(a)的D-D'線的隔板的剖面圖，從該圖可知，第2及第3的間隔部74及76被交叉配置，在該第2及第3的間隔部74及76上，埋設(shè)有分別向右下降及向左下降的導(dǎo)熱管741及761。另外，為了使第2及第3的間隔部74及76與皿構(gòu)件62的底部之間具有規(guī)定的間隔，即不與皿構(gòu)件62的底部接觸，將其配置在皿構(gòu)件62內(nèi)。因此，在這種構(gòu)造中，在皿構(gòu)件62的底部上，被第1至第3的間隔部72、74、76規(guī)定的各部分領(lǐng)域相互連通，所以即使有機(jī)EL材料被液化，在各部分領(lǐng)域內(nèi)也能夠使液化的有機(jī)EL材料的表面保持一定。圖11(a)(e)所示的隔板，可以通過在第2及第3的間隔部74及76之間，加入作為墊片的、沒有埋設(shè)導(dǎo)熱管的第1間隔部72而輕易制成。第1至第3的間隔板，可以用熱傳導(dǎo)性良好、機(jī)械強度優(yōu)良且熱膨脹系數(shù)小的材料形成，例如Cu-W、Al-Mg-Zn等，其外表面上由Y203、A1203、碳等被覆。圖11所示的隔板的厚度為0.52mm，形成尺寸為25mmX25mm的部分領(lǐng)域。在另外制成的具體例中，將皿構(gòu)件的尺寸設(shè)為長邊123mm、短邊72mm、深度30mm，第2及第3的間隔部(相當(dāng)于圖11中的74、76)具有3mm的板厚，埋設(shè)有直徑為2mm的導(dǎo)熱管，另一方面，第1間隔部(相當(dāng)于圖11中的72)具有2mm的板厚。被第1至第3的間隔部72、74及76包圍的部分領(lǐng)域呈5mmX3mm(將埋設(shè)有導(dǎo)熱管的間隔板之間的距離設(shè)為5mm)的長方形，合計配列有200個的部分領(lǐng)域。圖ll(f)所示為圖11(b)及(e)所示的皿構(gòu)件62的上端部的變形例。艮口，當(dāng)有機(jī)EL原料被液化時，出現(xiàn)沿著蒸發(fā)皿50的內(nèi)壁上溢，泄漏到外部的現(xiàn)象。為了防止液狀原料的上溢，如圖ll(b)及(e)所示，僅使皿構(gòu)件62的上端部向蒸發(fā)皿50的內(nèi)側(cè)彎曲，因有機(jī)EL原料的不同而存在不能充分防止原料上溢的現(xiàn)象。如圖ll(f)所示，在該蒸發(fā)、氣化有機(jī)EL原料的蒸發(fā)皿50中，不僅使該皿構(gòu)件62的上端部向蒸發(fā)皿50的內(nèi)側(cè)彎曲，還通過使上端部的彎曲部向著液面呈銳角傾斜，或者呈鉤形向蒸發(fā)皿50的內(nèi)側(cè)彎曲，可以防止液狀原料的上溢。參考圖12，對本發(fā)明的其他實施例的蒸發(fā)夾具(也稱為"蒸發(fā)容器")55進(jìn)行說明。圖示的蒸發(fā)夾具55具有適于使載氣均勻流動的構(gòu)造。具體地講，與圖ll(a)相關(guān)聯(lián)進(jìn)行說明，圖示的蒸發(fā)夾具55具有蒸發(fā)皿50和間隔部72，該蒸發(fā)皿50具有短邊方向和長邊方向；該間隔部72被設(shè)在蒸發(fā)皿50的內(nèi)部。由此可知與圖ll(b)同樣，圖12所示為蒸發(fā)皿50的短邊方向的剖面。間隔部72被構(gòu)成為不與蒸發(fā)皿50的底部接觸，結(jié)果在蒸發(fā)皿50的底部，被間隔部72規(guī)定的部分領(lǐng)域相互連通。另外，與圖ll(b)所示的蒸發(fā)皿同樣，圖示的蒸發(fā)皿50也具有皿構(gòu)件62、導(dǎo)熱管單元64、被覆構(gòu)件66、絕熱構(gòu)件68以及加熱器70。再者，在圖示的蒸發(fā)夾具55上，安裝有設(shè)在短軸方向上游側(cè)的上游側(cè)過濾器82和設(shè)在短軸方向下游側(cè)的下游側(cè)過濾器84。在上游側(cè)過濾器82和下游側(cè)過濾器84上，設(shè)有由A1203、、03等形成的狹縫狀的過濾器。上游側(cè)過濾器82經(jīng)閥門Val、流量控制系統(tǒng)(FCSa)以及閥門Va2，與載氣供給源結(jié)合，另一方面，下游側(cè)過濾器84與吹出容器結(jié)合。在圖示的夾具(蒸發(fā)容器)55中，載氣向其短邊方向流通。如此可知，上游側(cè)過濾器82及下游側(cè)過濾器84起到將在蒸發(fā)夾具55被蒸發(fā)、氣化的原料傳輸?shù)轿磮D示的基板上的載氣供給機(jī)構(gòu)的作用。這種情況下，蒸發(fā)容器內(nèi)的氣體壓力被保持在大約20Torr，另外，從下游側(cè)過濾器84排出到吹出容器中的氣體被保持在10Torr以下的壓力，且以10cc/mm的氣體流量進(jìn)行供給。因此，優(yōu)選將上游側(cè)過濾器82及下游側(cè)過濾器84中的壓力下降值調(diào)整到分別為700Torr及10Torr以下(更優(yōu)為5Torr)左右。另外，當(dāng)蒸發(fā)皿50在長邊方向上具有10cm或20cm的寬度時，如果以5mm的寬度通入10cc/min的氣體，總氣體流量達(dá)到200cc/min或400cc/min。在氣體的供給口的內(nèi)側(cè)設(shè)置阻流板83，使氣體能夠均勻流動。將圖7圖10、圖11及圖12所示的蒸發(fā)夾具55適用于圖1圖4所示的成膜裝置時，可以極高精度地、穩(wěn)定地形成規(guī)定膜厚的有機(jī)膜。例如，將用作有機(jī)EL原料的H材料、C材料填充到蒸發(fā)夾具55內(nèi)時，可以以規(guī)定的濃度，長時間地、穩(wěn)定地對有機(jī)EL材料進(jìn)行蒸發(fā)、氣化。這種情況下，確認(rèn)到通過將蒸發(fā)夾具55配置的蒸發(fā)容器內(nèi)的溫度及壓力的任何一方保持為一定，可以以規(guī)定的濃度對有機(jī)EL材料進(jìn)行蒸發(fā)、氣化。如圖18所述，例如采用H材料時，在將圖7圖10、圖11及圖12所示的蒸發(fā)夾具55保持在一定的壓力的狀態(tài)下進(jìn)行加熱，此時由溫度決定的濃度可以長時間地大約保持一定。另外，如圖19所述，將溫度設(shè)為一定時，H材料的蒸發(fā)特性如下隨著壓力變低，載氣中的H材料的濃度變高，另外，無論在什么樣的壓力下，都能夠?qū)嵸|(zhì)上使載氣中的H材料的濃度保持一定。同樣，在用作有機(jī)EL原料的其他的公知材料(例如C材料)中，也具有同樣的關(guān)系。圖13所示為將圖7圖10、圖11及圖12所示的蒸發(fā)夾具55的溫度設(shè)為一定的狀態(tài)下，H材料的濃度和壓力的關(guān)系圖。此外，為了參考，圖13中取上刻度為Torr，下刻度為1/P(l/Torr)。在圖13中，特性C9表示將H材料加熱到43(TC時的壓力和載氣中的H材料的濃度的關(guān)系，同樣，特性C10及C11分別表示將H材料加熱到44(TC及46(TC時的特性。這里，用y表示圖13的縱軸的濃度，用x表示橫軸的下刻度的(l/P)時，特性C9可以用y二16.991x—0，0264的直線進(jìn)行近似，同樣，特性C10及C11可以分別通過y二24.943x+0.1053的直線及y二59.833x+0.0314的直線進(jìn)行近此處，相對于絕對溫度的倒數(shù)(1/T)(10、1/K),將圖13的濃度y的對數(shù)Plot時，可以獲得圖14的特性C12、C13及C14。此處特性C12表示10Torr中的Plot結(jié)果，同樣，特性C13及C14分別表示20Torr及30Torr中的Plot結(jié)果。從圖11可知，在x-y面中，表示x和y的關(guān)系的曲線的傾斜，與壓力無關(guān)幾乎保持一定。另外，特性C12、C13及C14可以分別通過y二6E+13e—2'附x、y=3E+13e-21983x、y=2E+13e—21'953x進(jìn)行近似。此處x為用絕對溫度表示的1/T的值。由上述公式及特性C12C14可知，特性C12C14的傾斜分別表示在10Torr、20Torr及30Torr的一定的壓力狀態(tài)下的活化能Ea，其值分別為1.893eV、1.894eV及1.892eV。另一方面，H材料的蒸發(fā)量，即H材料濃度可以用下述公式(1)表示。V二(Ko/P)Xe-讓1(1)其中，Ko表示常數(shù)(G/。'Torr)、P表示壓力(Torr)、k表示波茲曼常數(shù)(二8.617X10—5eV/K)、Ea表示活化能(eV)，用公式(l)表示的H材料濃度，應(yīng)該與由圖13求得的公式，即y二6E+13e-謂x、y=3E+13e-21983x、y=2E+13e—219^相等，所以從公式(l)和由圖14獲得的公式，通過給出溫度及H材料濃度，可以求出常數(shù)Ko。表l、2及3分別表示10、20及30Torr壓力下，10cc/min中的H材料濃度及Ko的值。[表l]10Torr的壓力下，10cc/min中的H材料濃度<table>tableseeoriginaldocumentpage31</column></row><table>20Torr的壓力下，10cc/min中的H材料濃度<table>tableseeoriginaldocumentpage31</column></row><table>30Torr的壓力下，10cc/min中的H材料濃度<table>tableseeoriginaldocumentpage31</column></row><table>在表13中，求出了H材料的常數(shù)Ko，但材料不明的情況下，可以獲得特定溫度下的濃度的測定值，再者，如果從圖14所示的有機(jī)EL原料濃度的溫度依存性可以獲得活化能Ea的話，通過決定常數(shù)Ko的值，將該值與表13進(jìn)行比較，可以特定材料為H材料。同樣，對于作為C材料公知的有機(jī)EL原料，也進(jìn)行了與H材料相同的評估，其結(jié)果與H材料相同。圖15所示為本發(fā)明的第4實施例的蒸發(fā)夾具55。在圖10及圖11所示的蒸發(fā)夾具55的說明中，對向蒸發(fā)夾具55中填充固體有機(jī)EL原料，在蒸發(fā)夾具55中進(jìn)行加熱使有機(jī)EL原料熔融液化的情況進(jìn)行了說明。但是，將固體有機(jī)EL原料填充到蒸發(fā)夾具55中時，有機(jī)EL原料不可避免地暴露在空氣中，固體有機(jī)EL原料被氧化后導(dǎo)致其品質(zhì)劣化?？紤]到這一點，圖15所示的蒸發(fā)容器部，具有在蒸發(fā)夾具55上連接有液化容器86的構(gòu)成。圖示的液化容器86不僅具有傾斜的底面，還經(jīng)具有閥門VL的配管87與蒸發(fā)夾具55連接。另外，液化容器86中還設(shè)有用于對填充到內(nèi)部的固體有機(jī)EL原料進(jìn)行加熱的加熱器。首先在潔凈N2氣氛(或潔凈干空氣氣氛)中，向圖示的蒸發(fā)容器部的液化容器86中填充固體有機(jī)EL原料。接著，在大氣壓下通入Ar或N2的狀態(tài)下，在液化容器86內(nèi)對固體有機(jī)EL原料進(jìn)行焙燒，可以去除附著在固體有機(jī)EL原料上的污染物質(zhì)。再者，在大氣壓下對液化容器86緩慢升溫，例如在25(TC下使有機(jī)EL原料液化。有機(jī)EL原料被液化時，閥門VL開啟，經(jīng)安裝在液化容器86的底部附近的配管87，在自重的作用下，液狀的有機(jī)EL原料從液化容器86填充到蒸發(fā)夾具55中。當(dāng)液化的有機(jī)EL原料的粘度大不易流動時，通過氣體進(jìn)行加壓，將液狀的有機(jī)EL原料從液化容器86推壓到蒸發(fā)夾具55中。在這種構(gòu)成中，可以不使液體狀的有機(jī)EL原料與空氣接觸，而將液狀的有機(jī)EL原料填充到蒸發(fā)夾具55中。另外，也可以采用與蒸發(fā)夾具55同樣的、在液化容器86內(nèi)設(shè)置隔板對有機(jī)EL原料進(jìn)行均勻加熱的構(gòu)成。在如上所述的實施例中，對將蒸發(fā)夾具55應(yīng)用到圖1圖6所示的成膜裝置的情況進(jìn)行了說明，但本發(fā)明的蒸發(fā)夾具并不限定于此，也可以適用于其他形式的成膜裝置。例如，先行申請l中記載的成膜裝置。另外在對于一個成膜部，設(shè)有多個氣化機(jī)構(gòu)的成膜裝置和成膜方法中，也可以同樣將本發(fā)明的蒸發(fā)夾具作為氣化機(jī)構(gòu)。再者，如圖1圖6、先行申請l所述，本發(fā)明的蒸發(fā)夾具，不僅具有作為成膜部將包含氣化后的原料吹向基板的吹出構(gòu)造，還可以用于使氣化原料包含在載氣中，將其供給到微波激勵的等離子體裝置等其他成膜機(jī)構(gòu)。不僅如此，本發(fā)明的蒸發(fā)夾具也可以用作蒸著裝置中的蒸著夾具。圖16所示為將本發(fā)明的蒸發(fā)夾具用于蒸著裝置(即，真空蒸著裝置)的例子。圖示的蒸著裝置，具備本發(fā)明的蒸發(fā)夾具55，和與該蒸發(fā)夾具55對向地、以面朝下方式配置在臺座262上的基板30(例如玻璃基板)。圖示的蒸發(fā)夾具55，與圖11所示的蒸發(fā)夾具55同樣，由皿構(gòu)件66、導(dǎo)熱管單元64、覆蓋該導(dǎo)熱管單元64的被覆構(gòu)件66以及設(shè)在被覆構(gòu)件66的外周上的絕熱構(gòu)件68。再者，基板30和蒸發(fā)夾具55的上端部之間的距離di被設(shè)為320cm(例如5cm)。這里，首先在1(^Torr的壓力下，以面朝下狀態(tài)(成膜面朝下的狀態(tài))，將具有10m左右的平均自由行程的有機(jī)EL原料蒸著在配置在臺座262上的基板上的情況進(jìn)行說明。這種情況下，有機(jī)EL原料通過配管87，由未圖示的液化容器填充到蒸發(fā)夾具55內(nèi)。另一方面，基板30以保持在100。C的溫度的狀態(tài)被配置在臺座262上。這種狀態(tài)下，當(dāng)把蒸發(fā)夾具55減壓到10^Torr左右，并加熱到250。C左右時，有機(jī)EL原料的平均自由行程為10m左右，因此與使用載氣的情況(350。C左右)相比，即使在100。C以上的低溫下，有機(jī)EL原料也會蒸發(fā)。結(jié)果，在短時間內(nèi)，即30-60秒左右就可以在基板30上完成有機(jī)EL膜的成膜。因為蒸發(fā)量與壓力成反比，所以可以通過使蒸發(fā)夾具55的氣氛壓力上升到110Torr而使成膜停止。這種成膜裝置，不僅可以用于有機(jī)EL原料的成膜，還適用于蒸汽壓力低的金屬鋰(Li)的成膜。一方面在蒸發(fā)夾具55內(nèi)將熔點為179r的Li加熱到200~250°C，另一方面在Ar氣氛下減壓到1Xl(T5Torr進(jìn)行蒸著，可以在將Ar氣氛的壓力設(shè)為10To!T后停止成膜。如果使用本發(fā)明的蒸發(fā)夾具55，可以進(jìn)行大面積的、蒸發(fā)量經(jīng)時均勻的蒸發(fā)，因此，可以在大面積基板的表面上進(jìn)行均勻的蒸著，且即使是不同的基板也可以進(jìn)行均勻厚度的蒸著。產(chǎn)業(yè)上的利用可能性本發(fā)明可以獲得一種適用于形成有機(jī)EL膜的高品質(zhì)的有機(jī)EL裝置。再者，本發(fā)明不僅適用于形成有機(jī)EL膜，而且還適用于要求高品質(zhì)、長壽命的各種顯示裝置等的膜的形成。再者，在上述的實施例中，對蒸發(fā)夾具的小幵口的平面形狀為長方形的情況進(jìn)行了說明，但并不限定于長方形，也可以是正方形、正三角形、正五角形、正六角形、正八角形、其他的多邊形、菱形、圓形、橢圓形、三葉草形、十字形(周圍為直線或曲線)、其他的形狀等。另外，對于隔板只要是能夠防止熱對流的構(gòu)造，并不限定于板狀，也可以是波板狀、棒狀、網(wǎng)狀等其他的形狀。另外，對于各小開口，即使具有從上方看時其周圍相互完全地被間隔包圍，小開口通過表面連接在一起的構(gòu)造，只要能夠防止熱對流即可。這種情況下也可以省略底部的連通構(gòu)造?；蛘撸词褂脧娜萜鞯牡撞肯蛏戏酵黄鸬闹鶢罨虬魻畹臉?gòu)件，制成相當(dāng)于小開口的、相互連通的領(lǐng)域，只要是能夠防止熱對流的構(gòu)造即可。再者，優(yōu)選為蒸發(fā)容器自身以及間隔板或柱，由熱傳導(dǎo)性好的材料形成，且將與熔融液接觸的面作為對于有機(jī)EL材料催化劑效果小的面。催化劑效果小的面是指氧化鋁、氧化釔等的鈍態(tài)膜；碳；氟碳(FluoroCarbon)容器的形狀優(yōu)選為即使液面下降蒸發(fā)面積也不會變動的構(gòu)成。例如立方體、長方體、圓柱體、多角柱體等'，以內(nèi)側(cè)面呈垂直狀的為優(yōu)。優(yōu)選間隔用的構(gòu)件也同樣具有即使液面下降蒸發(fā)面積也不會變動的構(gòu)成。蒸發(fā)量與壓力和溫度的關(guān)系敏感，因此需要嚴(yán)格地將壓力、溫度控制為一定。另外，將載氣供給到液表面時，要使溫度及流量保持一定。因此，優(yōu)選在朝向蒸發(fā)容器的入口及出口處設(shè)置狹縫式過濾器等的過濾器。權(quán)利要求1.一種成膜裝置，其通過氣化機(jī)構(gòu)使原料氣化，將該氣化后的原料供給到基板上，在所述基板上形成規(guī)定材料的膜，其特征在于，所述氣化機(jī)構(gòu)具有具備開口和底面的容器，在該容器上具有在從所述開口朝向所述底面的方向上延伸的間隔構(gòu)件。2.根據(jù)權(quán)利要求l所述的成膜裝置，其特征在于，所述間隔構(gòu)件被設(shè)為連續(xù)或部分地橫切所述開口，且構(gòu)成為在所述間隔構(gòu)件的底部或側(cè)部空間連續(xù)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的成膜裝置，其特征在于，所述間隔構(gòu)件被構(gòu)成為所述原料為液狀在所述容器內(nèi)受到氣化處理時，不產(chǎn)生熱對流，且液面變得均勻。4.根據(jù)權(quán)利要求13中任一項所述的成膜裝置，其特征在于，還具有將所述氣化后的原料傳輸?shù)剿龌迳系妮d氣的供給機(jī)構(gòu)，所述載氣中的所述原料的濃度一定。5.—種成膜裝置，其使用于形成規(guī)定材料的膜的原料氣化，將氣化后的所述原料供給到基板上，在所述基板上形成所述規(guī)定材料的膜，其特征在于，使所述原料氣化的氣化機(jī)構(gòu)具有在一端上具有規(guī)定面積的開口在內(nèi)部收納液體狀的所述原料的耐熱性容器；用于將該容器的所述開口分割成比所述規(guī)定面積小的、具有多個小面積的部分空間的分割機(jī)構(gòu)，所述分割機(jī)構(gòu)具有連續(xù)或部分地橫切所述開口的部分；在所述容器的底面部或開口的至少一方上使所述部分空間相互連通的部分。6.—種蒸發(fā)夾具，其使用于對填充的原料進(jìn)行氣化，其特征在于，具有氣化皿，該氣化皿具有底面和從該底面立設(shè)的側(cè)面，并通過所述底面和所述側(cè)面規(guī)定所述開口部和所述原料收容空間；間隔構(gòu)件，該間隔構(gòu)件被收納在該原料收納空間內(nèi)，在從所述開口部朝向所述底面的方向上延伸。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的蒸發(fā)夾具，其特征在于，所述間隔構(gòu)件被設(shè)為連續(xù)或部分地橫切所述開口部，且構(gòu)成為在所述間隔構(gòu)件的底部或側(cè)部空間連續(xù)。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的蒸發(fā)夾具，其特征在于，所述間隔構(gòu)件其底部的至少一部分與所述底面相接，在所述底面附近具有連通孔。9.根據(jù)權(quán)利要求6~8中任一項所述的蒸發(fā)夾具，其特征在于，所述開口部是具有長邊和短邊的長方形，所述原料收納空間為長方體，所述間隔構(gòu)件具備沿所述長邊方向延伸的長邊方向隔片、和沿所述短邊方向延伸的短邊方向隔片。10.—種蒸發(fā)夾具，其使用于使填充的液狀原料氣化，其特征在于，具備氣化皿，該氣化皿具有底面和從該底面立設(shè)的側(cè)面，規(guī)定在側(cè)面的內(nèi)開口的原料收納空間；將該原料收納空間分割成多個部分空間的隔板，并且，所述隔板以所述多個部分空間在所述氣化皿的底面?zhèn)冗B通的方式保持于所述氣化皿。11.根據(jù)權(quán)利要求io所述的蒸發(fā)夾具，其特征在于，所述氣化皿規(guī)定具有規(guī)定長度、寬度以及深度的矩形或者正方形的開口形狀的原料收納空間，所述隔板具備沿所述氣化皿的長度方向延伸的隔片、和沿所述氣化皿的寬度方向延伸的隔片，所述隔片具有低于所述原料收納空間的深度的高度。12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的蒸發(fā)夾具，其特征在于，所述側(cè)面在其上部具有防止所述液狀原料溢出的構(gòu)造。13.根據(jù)權(quán)利要求IO所述的蒸發(fā)夾具，其特征在于，所述部分空間以從開口上部觀看成為多邊形的方式構(gòu)成。14.一種蒸發(fā)夾具，其使用于使填充的液狀原料氣化，其特征在于，具備氣化皿，該氣化皿具有底面和從該底面立設(shè)的側(cè)面，規(guī)定在側(cè)面的內(nèi)部開口的原料收納空間；將該原料收納空間分割成多個部分空間的隔板，并且，所述隔板在與所述底面平行的方向上形成非連續(xù)的構(gòu)造，以所述多個部分空間在所述平行方向上連通的方式保持于所述氣化皿。15.根據(jù)權(quán)利要求1014中任一項所述的蒸發(fā)夾具，其特征在于，還具有對所述氣化皿進(jìn)行加熱的機(jī)構(gòu)。16.根據(jù)權(quán)利要求1015中任一項所述的蒸發(fā)夾具，其特征在于，還具有對所述隔板進(jìn)行加熱的機(jī)構(gòu)。17.根據(jù)權(quán)利要求15或16所述的蒸發(fā)夾具，其特征在于，所述加熱機(jī)構(gòu)包括熱管。18.根據(jù)權(quán)利要求1014中任一項所述的蒸發(fā)夾具，其特征在于，在所述氣化皿上還具有供給載氣的機(jī)構(gòu)。19.根據(jù)權(quán)利要求18所述的蒸發(fā)夾具，其特征在于，所述載氣經(jīng)過濾器供給。20.—種測定方法，其特征在于，向權(quán)利要求6~19中任一項所述的蒸發(fā)夾具中收納有機(jī)原料進(jìn)行氣化，通過載氣傳輸該氣化后的有機(jī)原料，對該載氣中的所述氣化后的有機(jī)原料的濃度進(jìn)行測定。21.-—種測定方法，其特征在于，根據(jù)由權(quán)利要求20所述的測定方法測得的所述濃度，算出所述有機(jī)原料的活化能。22.--種測定方法，其特征在于，根據(jù)由權(quán)利要求21所述的測定方法獲得的所述活化能、和所測得的所述濃度及所述原料的溫度，求出規(guī)定所述載氣中的所述氣化后的有機(jī)原料的濃度VC/。)的公式(1)的常數(shù)Ko，V二(Ko/P)Xe德(1)其中，Ko表示常數(shù)(G/。'Torr)、P表示壓力(Torr)、Ea表示活化能(eV)、k表示波茲曼常數(shù)、T表示絕對溫度。23.—種測定方法，其特征在于，根據(jù)由權(quán)利要求22所述的測定方法獲得的常數(shù)Ko的計算結(jié)果，推定所述有機(jī)原料。24.根據(jù)權(quán)利要求2023中任一項所述的測定方法，其特征在于，所述有機(jī)原料為有機(jī)電致發(fā)光元件的原料。25.—種成膜方法，其特征在于，向權(quán)利要求69中任一項所述的蒸發(fā)夾具中收納有機(jī)原料進(jìn)行氣化，通過載氣傳輸該氣化后的有機(jī)原料，在基板上堆積所述有機(jī)原料的膜。26.—種成膜方法，其特征在于，將液狀原料收納到權(quán)利要求10~19中任一項所述的蒸發(fā)夾具中進(jìn)行氣化，通過載氣傳輸該氣化后的原料，在基板上堆積所述原料的膜。27.—種成膜方法，其特征在于，將液狀原料收納到權(quán)利要求10~19中任一項所述的蒸發(fā)夾具中，在減壓狀態(tài)下使其蒸發(fā)，將該蒸發(fā)的原料堆積在配置于所述蒸發(fā)夾具上方的基板的底面上。全文摘要提供一種能夠長時間均勻地成膜薄膜，特別是有機(jī)EL膜的蒸發(fā)夾具及包含蒸發(fā)夾具的成膜裝置。蒸發(fā)夾具具備蒸發(fā)皿，該蒸發(fā)皿具有底面和由該底面立設(shè)的側(cè)面，用于對開口于側(cè)面內(nèi)部的原料收納空間進(jìn)行規(guī)定；用于將該原料收納空間分割成多個分空間的隔板。另外，在隔板上設(shè)有卡止片，該卡止片具有用所述蒸發(fā)皿的底面?zhèn)冗B通所述多個分空間的高度。文檔編號C23C14/24GK101268210SQ20068003447公開日2008年9月17日申請日期2006年9月19日優(yōu)先權(quán)日2005年9月20日發(fā)明者中山尚三,伊藤日藝,大見忠弘,松岡孝明申請人:國立大學(xué)法人東北大學(xué);東京毅力科創(chuàng)株式會社