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空氣靜壓導軌的制作方法

文檔序號:12622645閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種空氣靜壓導軌,包括導軌和滑行在導軌內的滑臺,其特征在于,

所述滑臺兩側均設置有與導軌軌道平行的上進氣通道以及下進氣通道;

所述上進氣通道上垂直連通有用于通氣時在滑臺和導軌間形成氣膜的上節(jié)流孔和側節(jié)流孔;所述下進氣通道上連通有用于通氣時滑臺在垂直方向上處于靜壓氣浮狀態(tài)的下節(jié)流孔。

2.如權利要求1所述的空氣靜壓導軌,其特征在于,所述導軌包括基體以及設置在基體上的側導軌和上導軌。

3.如權利要求1所述的空氣靜壓導軌,其特征在于,所述上節(jié)流孔為沿上進氣通道均勻分布的多個上節(jié)流孔,其間距不大于50微米,所述側節(jié)流孔為沿上進氣通道均勻分布的多個側節(jié)流,其間距不大于50微米。

4.如權利要求1所述的空氣靜壓導軌,其特征在于,所述下節(jié)流孔為沿下進氣通道均勻分布的多個下節(jié)流孔,其間距不大于50微米。

5.如權利要求1所述的空氣靜壓導軌,其特征在于,所述上進氣通道的直徑是上節(jié)流孔直徑的10倍以上,所述上進氣通道的直徑是側節(jié)流孔直徑的10倍以上。

6.如權利要求1所述的空氣靜壓導軌,其特征在于,所述下進氣通道的直徑是下節(jié)流孔直徑的10倍以上。

7.如權利要求1所述的空氣靜壓導軌,其特征在于,所述滑臺的底面上設置了一層緩沖層以及外層。

8.如權利要求1所述的空氣靜壓導軌,其特征在于,所述上節(jié)流孔、下節(jié)流孔以及側節(jié)流孔的長度與直徑比大于10,所述上節(jié)流孔、下節(jié)流孔以及側節(jié)流孔的直徑不大于10微米。

9.如權利要求1所述的空氣靜壓導軌,其特征在于,所述導軌設置有一層耐高壓氣體沖擊的耐沖擊外層,所述導軌與滑臺之間的距離范圍為10微米-20微米。

10.如權利要求1所述的空氣靜壓導軌,其特征在于,所述上節(jié)流孔包括與上進氣通道連通的第一上節(jié)流孔以及與第一上節(jié)流孔連通的第二上節(jié)流孔,所述第一上節(jié)流孔的直徑大于第二上節(jié)流孔的直徑;所述側節(jié)流孔包括與上進氣通道連通的第一側節(jié)流孔以及與第一側節(jié)流孔連通的第二側節(jié)流孔,所述第一側節(jié)流孔的直徑大于第二上側流孔的直徑;所述下節(jié)流孔包括與下進氣通道連通的第一下節(jié)流孔以及與第一下節(jié)流孔連通的第二下節(jié)流孔,所述第一下節(jié)流孔的直徑大于第二下節(jié)流孔的直徑。

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