一種新型粉體等離子體處理裝置制造方法
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種新型粉體等離子體處理裝置，包括進(jìn)料腔、反應(yīng)腔、電極組件、等離子體發(fā)生器、收集腔和負(fù)壓裝置，反應(yīng)腔頂部設(shè)置有用于反應(yīng)氣體通入的氣體入口，反應(yīng)腔上部設(shè)置有進(jìn)料口，反應(yīng)腔底部設(shè)置有出料口，進(jìn)料腔與進(jìn)料口連接，電極組件設(shè)置于反應(yīng)腔外表面并且位于進(jìn)料口下方，等離子體發(fā)生器與電極組件電連接，收集腔與出料口連接，負(fù)壓裝置分別與進(jìn)料腔、反應(yīng)腔連接。本發(fā)明粉體材料在進(jìn)入反應(yīng)腔的過程中有反應(yīng)氣體吹動(dòng)，使得處理效果均勻，進(jìn)料腔在進(jìn)料的過程中保持反應(yīng)腔的真空度，不需要停止處理即可進(jìn)料，節(jié)約了時(shí)間，提高了工作效率。
【專利說明】一種新型粉體等離子體處理裝置【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明屬于等離子體處理裝置領(lǐng)域，更具體的說是涉及一種新型粉體等離子體處
理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]等離子體是由部分電子被剝奪后的原子及原子被電離后產(chǎn)生的正負(fù)電子組成的離子化氣體狀物質(zhì)，它廣泛存在于宇宙中，常被視為是除去固、液、氣外，物質(zhì)存在的第四態(tài)。
[0003]目前，等離子體裝置一般的是在密封容器中設(shè)置兩個(gè)電極形成電場(chǎng)，用真空泵實(shí)現(xiàn)一定的真空度，隨著氣體愈來愈稀薄，分子間距及分子或離子的自由運(yùn)動(dòng)距離也愈來愈長(zhǎng)，受電場(chǎng)作用，他們發(fā)生碰撞而形成離子體，這些離子的活性很高，其能量足以破壞幾乎所有的化學(xué)鍵，在任何暴露的材料表面引起化學(xué)反應(yīng)，從而使材料表面的結(jié)構(gòu)、成分和基團(tuán)發(fā)生變化，得到滿足實(shí)際要求的表面。等離子體反應(yīng)速度快、處理效率高，而且改性僅發(fā)生在材料表面，對(duì)材料內(nèi)部本體材料的性能沒有影響，是理想的表面改性手段。
[0004]粉體是一種干燥、分散的固體顆粒組成的細(xì)微粒子?，F(xiàn)有技術(shù)中，等離子體處理裝置在處理粉體表面時(shí)，由于粉體堆積，微粒間的團(tuán)聚使得沒有暴露在等離子體氣氛中的表面得不到處理，難以實(shí)現(xiàn)微粒表面全部處理，導(dǎo)致處理不完全、不均勻，處理效果差。
[0005]因此，亟需一種均勻處理的粉體材料表面等離子體處理裝置。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)存在的缺陷，提供一種新型粉體等離子體處理裝置。
[0007]實(shí)現(xiàn)本發(fā)明目的的技術(shù)方案是:一種新型粉體等離子體處理裝置，包括進(jìn)料腔、反應(yīng)腔、電極組件、等離子體發(fā)生器、收集腔和負(fù)壓裝置，所述反應(yīng)腔頂部設(shè)置有用于反應(yīng)氣體通入的氣體入口，所述反應(yīng)腔上部設(shè)置有進(jìn)料口，所述反應(yīng)腔底部設(shè)置有出料口，所述進(jìn)料腔與所述進(jìn)料口連接，所述電極組件設(shè)置于所述反應(yīng)腔外表面并且位于所述進(jìn)料口下方，所述等離子體發(fā)生器與所述電極組件電連接，所述收集腔與所述出料口連接，所述負(fù)壓裝置分別與所述進(jìn)料腔、所述反應(yīng)腔連接。
[0008]進(jìn)一步的，還包括螺桿送料機(jī)構(gòu)，所述螺桿送料機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述進(jìn)料腔與所述進(jìn)料口之間，所述螺桿送料機(jī)構(gòu)包括外殼以及設(shè)置于所述外殼內(nèi)的進(jìn)料螺桿。
[0009]進(jìn)一步的，所述進(jìn)料螺桿的包絡(luò)線與所述外殼內(nèi)壁相匹配。
[0010]進(jìn)一步的，所述進(jìn)料腔內(nèi)還設(shè)置有攪拌機(jī)構(gòu)。
[0011]進(jìn)一步的，所述等離子發(fā)生器包括用于調(diào)節(jié)電極組件功率的電源和與所述電源連接的匹配器，所述匹配器還與所述電極組件連接。
[0012]進(jìn)一步的，所述負(fù)壓裝置包括與所述反應(yīng)腔連接的真空泵，所述真空泵與所述反應(yīng)腔之間還設(shè)置有過濾器。[0013]進(jìn)一步的，所述負(fù)壓裝置與所述反應(yīng)腔之間還設(shè)置有旋風(fēng)分離器，所述旋風(fēng)分離器底部連接有第二收集腔。
[0014]本發(fā)明具有積極的效果:本發(fā)明中負(fù)壓裝置將進(jìn)料腔、反應(yīng)腔和收集腔抽真空，反應(yīng)氣體從氣體入口進(jìn)入反應(yīng)腔，等離子體發(fā)生器驅(qū)動(dòng)電極組件生成電場(chǎng)，反應(yīng)氣體經(jīng)過電場(chǎng)電離形成等離子體，進(jìn)料腔中的粉體材料從進(jìn)料口進(jìn)入反應(yīng)腔進(jìn)行處理，最后由收集腔收集，粉體材料在進(jìn)入反應(yīng)腔的過程中有反應(yīng)氣體吹動(dòng)，使得處理效果均勻，進(jìn)料腔在進(jìn)料的過程中保持反應(yīng)腔的真空度，不需要停止處理即可進(jìn)料，節(jié)約了時(shí)間，提高了工作效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0015]為了使本發(fā)明的內(nèi)容更容易被清楚地理解，下面根據(jù)具體實(shí)施例并結(jié)合附圖，對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳細(xì)的說明，其中:
圖1為本發(fā)明第一實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本發(fā)明第二實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]其中:1、進(jìn)料螺桿，2、外殼，3、進(jìn)料腔，4、攪拌機(jī)構(gòu)，5、負(fù)壓裝置，6、氣體入口，7、反應(yīng)腔，8、電極組件，9、匹配器，10、電源，11、旋風(fēng)分離器，12、過濾器，13、收集腔，14、第二收集腔。
【具體實(shí)施方式】
[0017]實(shí)施例1
如圖1所示，作為第一優(yōu)選實(shí)施例，本實(shí)施例提供一種新型粉體等離子體處理裝置，包括進(jìn)料腔3、螺桿送料機(jī)構(gòu)、反應(yīng)腔7、電極組件8、等離子體發(fā)生器、收集腔13和負(fù)壓裝置5，反應(yīng)腔7頂部設(shè)置有用于反應(yīng)氣體通入的氣體入口 6，反應(yīng)腔7上部設(shè)置有進(jìn)料口(圖中未示出)，反應(yīng)腔7底部設(shè)置有出料口(圖中未示出)，進(jìn)料腔3與進(jìn)料口連接，螺桿送料機(jī)構(gòu)設(shè)置于進(jìn)料腔3與進(jìn)料口之間，電極組件8設(shè)置于反應(yīng)腔7外表面并且位于進(jìn)料口下方，等離子體發(fā)生器與電極組件8電連接，收集腔13與出料口連接，負(fù)壓裝置5與反應(yīng)腔7連接。
[0018]本實(shí)施例提供的進(jìn)料腔3內(nèi)設(shè)置有攪拌機(jī)構(gòu)4，進(jìn)料腔3還與負(fù)壓裝置5連接，螺桿送料機(jī)構(gòu)包括外殼2以及設(shè)置于外殼2內(nèi)的進(jìn)料螺桿I，進(jìn)料螺桿I的包絡(luò)線與外殼內(nèi)壁I相匹配；等離子發(fā)生器包括用于調(diào)節(jié)電極組件8功率的電源10和與電源10連接的匹配器9，匹配器9還與電極組件8連接；負(fù)壓裝置5包括與反應(yīng)腔7連接的真空泵，真空泵與反應(yīng)腔7之間還設(shè)置有過濾器12。
[0019]本實(shí)施例中負(fù)壓裝置5將進(jìn)料腔3、反應(yīng)腔7和收集腔13抽真空，反應(yīng)氣體從氣體入口 6進(jìn)入反應(yīng)腔7，等離子體發(fā)生器驅(qū)動(dòng)電極組件8生成電場(chǎng)，反應(yīng)氣體經(jīng)過電場(chǎng)電離形成等離子體，進(jìn)料腔3中的粉體材料通過螺桿送料機(jī)構(gòu)從進(jìn)料口進(jìn)入反應(yīng)腔7進(jìn)行處理，最后由收集腔13收集，粉體材料在進(jìn)入反應(yīng)腔7的過程中有反應(yīng)氣體吹動(dòng)，使得處理效果均勻。
[0020]實(shí)施例2
如圖2所示，其余與實(shí)施例1相同，不同之處在于，本實(shí)施例還包括旋風(fēng)分離器11，旋風(fēng)分離器11設(shè)置于負(fù)壓裝置5與反應(yīng)腔7之間，旋風(fēng)分離器11底部連接有第二收集腔14。
[0021]本實(shí)施例中增加旋風(fēng)分離器11，可以將反應(yīng)氣體帶出的粉體材料與反應(yīng)氣體分開，粉體材料由第二收集腔14收集，反應(yīng)氣體由負(fù)壓裝置5抽出，二次收集粉體材料，有效的避免了粉體材料隨反應(yīng)氣體抽出，節(jié)約了原材料，更加環(huán)保。
[0022]以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【權(quán)利要求】
1.一種新型粉體等離子體處理裝置，其特征在于，包括進(jìn)料腔、反應(yīng)腔、電極組件、等離子體發(fā)生器、收集腔和負(fù)壓裝置，所述反應(yīng)腔頂部設(shè)置有用于反應(yīng)氣體通入的氣體入口，所述反應(yīng)腔上部設(shè)置有進(jìn)料口，所述反應(yīng)腔底部設(shè)置有出料口，所述進(jìn)料腔與所述進(jìn)料口連接，所述電極組件設(shè)置于所述反應(yīng)腔外表面并且位于所述進(jìn)料口下方，所述等離子體發(fā)生器與所述電極組件電連接，所述收集腔與所述出料口連接，所述負(fù)壓裝置分別與所述進(jìn)料腔、所述反應(yīng)腔連接。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型粉體等離子體處理裝置，其特征在于，還包括螺桿送料機(jī)構(gòu)，所述螺桿送料機(jī)構(gòu)設(shè)置于所述進(jìn)料腔與所述進(jìn)料口之間，所述螺桿送料機(jī)構(gòu)包括外殼以及設(shè)置于所述外殼內(nèi)的進(jìn)料螺桿。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的新型粉體等離子體處理裝置，其特征在于，所述進(jìn)料螺桿的包絡(luò)線與所述外殼內(nèi)壁相匹配。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型粉體等離子體處理裝置，其特征在于，所述進(jìn)料腔內(nèi)還設(shè)置有攪拌機(jī)構(gòu)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型粉體等離子體處理裝置，其特征在于，所述等離子發(fā)生器包括用于調(diào)節(jié)電極組件功率的電源和與所述電源連接的匹配器，所述匹配器還與所述電極組件連接。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的新型粉體等離子體處理裝置，其特征在于，所述負(fù)壓裝置包括與所述反應(yīng)腔連接的真空泵，所述真空泵與所述反應(yīng)腔之間還設(shè)置有過濾器。
7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一所述的新型粉體等離子體處理裝置，其特征在于，所述負(fù)壓裝置與所述反應(yīng)腔之間還設(shè)置有旋風(fēng)分離器，所述旋風(fēng)分離器底部連接有第二收集腔。
【文檔編號(hào)】H01J37/32GK103730319SQ201310713037
【公開日】2014年4月16日 申請(qǐng)日期:2013年12月23日 優(yōu)先權(quán)日:2013年12月23日
【發(fā)明者】王紅衛(wèi), 沈文凱 申請(qǐng)人:蘇州市奧普斯等離子體科技有限公司