技術總結
本公開案總體涉及一種用于處理基于網的基板的方法和設備。當所述基板在輥之間行進時，所述基板可被拉伸并且因而扭曲。一旦所述基板到達所述輥處，所述基板扭曲就會固定。通過調整處理參數(shù)，所扭曲的基板得以處理，而不需要校正所述扭曲。

技術研發(fā)人員：克里斯多佛·本徹
受保護的技術使用者：應用材料公司
文檔號碼：201710069376
技術研發(fā)日：2014.09.25
技術公布日：2017.06.27