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超硬遠(yuǎn)紅外鍍膜膜層結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):12256891閱讀:來(lái)源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.超硬遠(yuǎn)紅外鍍膜膜層結(jié)構(gòu),其特征在于:包括底膜層(110)和頂膜層(120),底膜層(110)和頂膜層(120)間設(shè)有多個(gè)中間膜層單元,中間膜層單元包括自下而上依次層疊的中間膜層組件A和中間膜層組件B;底膜層(110)的材質(zhì)為五氧化二鉭,中間膜層組件A的材質(zhì)為二氧化硅,中間膜層組件B的材質(zhì)為四氮化三硅,頂膜層(120)的材質(zhì)為二氧化硅。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的超硬遠(yuǎn)紅外鍍膜膜層結(jié)構(gòu),其特征在于:底膜層(110)的厚度為89.52nm。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的超硬遠(yuǎn)紅外鍍膜膜層結(jié)構(gòu),其特征在于:頂膜層(120)的厚度為84.05nm。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的超硬遠(yuǎn)紅外鍍膜膜層結(jié)構(gòu),其特征在于:所述多個(gè)中間膜層單元的數(shù)量為16個(gè),分別為第一至第十六中間膜層單元。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的超硬遠(yuǎn)紅外鍍膜膜層結(jié)構(gòu),其特征在于:第一中間膜層單元包括第一中間膜層組件A(131a)和第一中間膜層組件B(132a),第一中間膜層組件A(131a)的厚度為64.65nm,第一中間膜層組件B(132a)的厚度為82.16nm;

第二中間膜層單元包括第二中間膜層組件A(131b)和第二中間膜層組件B(132b),第二中間膜層組件A(131b)的厚度為129.30nm,第二中間膜層組件B(132b)的厚度為82.16nm;

第三中間膜層單元包括第三中間膜層組件A(131c)和第三中間膜層組件B(132c),第三中間膜層組件A(131c)的厚度為129.30nm,第三中間膜層組件B(132c)的厚度為82.16nm;

第四中間膜層單元包括第四中間膜層組件A(131d)和第四中間膜層組件B(132d),第四中間膜層組件A(131d)的厚度為129.30nm,第四中間膜層組件B(132d)的厚度為82.16nm;

第五中間膜層單元包括第五中間膜層組件A(131e)和第五中間膜層組件B(132e),第五中間膜層組件A(131e)的厚度為129.30nm,第五中間膜層組件B(132e)的厚度為82.16nm;

第六中間膜層單元包括第六中間膜層組件A(131f)和第六中間膜層組件B(132f),第六中間膜層組件A(131f)的厚度為129.30nm,第六中間膜層組件B(132f)的厚度為82.16nm;

第七中間膜層單元包括第七中間膜層組件A(131g)和第七中間膜層組件B(132g),第七中間膜層組件A(131g)的厚度為129.30nm,第七中間膜層組件B(132g)的厚度為82.16nm;

第八中間膜層單元包括第八中間膜層組件A(131h)和第八中間膜層組件B(132h),第八中間膜層組件A(131h)的厚度為129.30nm,第八中間膜層組件B(132h)的厚度為82.16nm;

第九中間膜層單元包括第九中間膜層組件A(131i)和第九中間膜層組件B(132i),第九中間膜層組件A(131i)的厚度為148.70nm,第九中間膜層組件B(132i)的厚度為106.81nm;

第十中間膜層單元包括第十中間膜層組件A(131j)和第十中間膜層組件B(132j),第十中間膜層組件A(131j)的厚度為168.09nm,第十中間膜層組件B(132j)的厚度為106.81nm;

第十一中間膜層單元包括第十一中間膜層組件A(131k)和第十一中間膜層組件B(132k),第十一中間膜層組件A(131k)的厚度為168.09nm,第十一中間膜層組件B(132k)的厚度為106.81nm;

第十二中間膜層單元包括第十二中間膜層組件A(131l)和第十二中間膜層組件B(132l),第十二中間膜層組件A(131l)的厚度為168.09nm,第十二中間膜層組件B(132l)的厚度為106.81nm;

第十三中間膜層單元包括第十三中間膜層組件A(131m)和第十三中間膜層組件B(132m),第十三中間膜層組件A(131m)的厚度為168.09nm,第十三中間膜層組件B(132m)的厚度為106.81nm;

第十四中間膜層單元包括第十四中間膜層組件A(131n)和第十四中間膜層組件B(132n),第十四中間膜層組件A(131n)的厚度為168.09nm,第十四中間膜層組件B(132n)的厚度為106.81nm;

第十五中間膜層單元包括第十五中間膜層組件A(131o)和第十五中間膜層組件B(132o),第十五中間膜層組件A(131o)的厚度為168.09nm,第十五中間膜層組件B(132o)的厚度為106.81nm;

第十六中間膜層單元包括第十六中間膜層組件A(131p)和第十六中間膜層組件B(132p),第十六中間膜層組件A(131p)的厚度為168.09nm,第十六中間膜層組件B(132p)的厚度為106.81nm。

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