本實(shí)用新型涉及增透膜技術(shù)領(lǐng)域，具體地說，涉及一種超硬遠(yuǎn)紅外鍍膜膜層結(jié)構(gòu)。

背景技術(shù)：

光學(xué)儀器中，光學(xué)元件表面的反射，不僅影響光學(xué)元件的通光能量，而且這些反射光還會在儀器中形成雜散光，影響光學(xué)儀器的成像質(zhì)量。為了解決這些問題，通常在光學(xué)元件的表面鍍上一定厚度的單層或多層膜，目的是為了減小元件表面的反射光，這樣的膜叫光學(xué)增透膜(或減反膜)。

對于具有超高要求的光學(xué)儀器或設(shè)備(如天文、航空或者軍用等光學(xué)儀器或設(shè)備)，其對遠(yuǎn)紅外相應(yīng)波段有可視要求，因此需要利用光學(xué)增透膜實(shí)現(xiàn)增透功能。對于現(xiàn)有的遠(yuǎn)紅外增透膜來說，其設(shè)計(jì)層數(shù)一般較多，而隨著層數(shù)的增加其表面的硬度也會相應(yīng)的下降。因此，現(xiàn)有的遠(yuǎn)紅外增透膜來很難同時(shí)達(dá)到較佳的表面硬度和增透效果。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的內(nèi)容是提供一種超硬遠(yuǎn)紅外鍍膜膜層結(jié)構(gòu)，其能夠克服現(xiàn)有技術(shù)的某種或某些缺陷。

根據(jù)本實(shí)用新型的超硬遠(yuǎn)紅外鍍膜膜層結(jié)構(gòu)，其包括底膜層和頂膜層，底膜層和頂膜層間設(shè)有多個(gè)中間膜層單元，中間膜層單元包括自下而上依次層疊的中間膜層組件A和中間膜層組件B；底膜層的材質(zhì)為五氧化二鉭，中間膜層組件A的材質(zhì)為二氧化硅，中間膜層組件B的材質(zhì)為四氮化三硅，頂膜層的材質(zhì)為二氧化硅。

本實(shí)用新型中，底膜層、中間膜層單元和頂膜層能夠自下而上的依次層疊，底膜層的材質(zhì)能夠采用五氧化二鉭，中間膜層組件A的材質(zhì)能夠采用二氧化硅，中間膜層組件B的材質(zhì)能夠采用四氮化三硅，頂膜層的材質(zhì)為二氧化硅；通過上述構(gòu)造，使得本實(shí)用新型的膜層結(jié)構(gòu)能夠具備較佳的增透效果，且表面硬度能夠達(dá)到9H以上。

作為優(yōu)選，底膜層的厚度為89.52nm。

作為優(yōu)選，頂膜層的厚度為84.05nm。

作為優(yōu)選，所述多個(gè)中間膜層單元的數(shù)量為16個(gè)，分別為第一至第十六中間膜層單元。

作為優(yōu)選，第一中間膜層單元包括第一中間膜層組件A和第一中間膜層組件B，第一中間膜層組件A的厚度為64.65nm，第一中間膜層組件B的厚度為82.16nm；

第二中間膜層單元包括第二中間膜層組件A和第二中間膜層組件B，第二中間膜層組件A的厚度為129.30nm，第二中間膜層組件B的厚度為82.16nm；

第三中間膜層單元包括第三中間膜層組件A和第三中間膜層組件B，第三中間膜層組件A的厚度為129.30nm，第三中間膜層組件B的厚度為82.16nm；

第四中間膜層單元包括第四中間膜層組件A和第四中間膜層組件B，第四中間膜層組件A的厚度為129.30nm，第四中間膜層組件B的厚度為82.16nm；

第五中間膜層單元包括第五中間膜層組件A和第五中間膜層組件B，第五中間膜層組件A的厚度為129.30nm，第五中間膜層組件B的厚度為82.16nm；

第六中間膜層單元包括第六中間膜層組件A和第六中間膜層組件B，第六中間膜層組件A的厚度為129.30nm，第六中間膜層組件B的厚度為82.16nm；

第七中間膜層單元包括第七中間膜層組件A和第七中間膜層組件B，第七中間膜層組件A的厚度為129.30nm，第七中間膜層組件B的厚度為82.16nm；

第八中間膜層單元包括第八中間膜層組件A和第八中間膜層組件B，第八中間膜層組件A的厚度為129.30nm，第八中間膜層組件B的厚度為82.16nm；

第九中間膜層單元包括第九中間膜層組件A和第九中間膜層組件B，第九中間膜層組件A的厚度為148.70nm，第九中間膜層組件B的厚度為106.81nm；

第十中間膜層單元包括第十中間膜層組件A和第十中間膜層組件B，第十中間膜層組件A的厚度為168.09nm，第十中間膜層組件B的厚度為106.81nm；

第十一中間膜層單元包括第十一中間膜層組件A和第十一中間膜層組件B，第十一中間膜層組件A的厚度為168.09nm，第十一中間膜層組件B的厚度為106.81nm；

第十二中間膜層單元包括第十二中間膜層組件A和第十二中間膜層組件B，第十二中間膜層組件A的厚度為168.09nm，第十二中間膜層組件B的厚度為106.81nm；

第十三中間膜層單元包括第十三中間膜層組件A和第十三中間膜層組件B，第十三中間膜層組件A的厚度為168.09nm，第十三中間膜層組件B的厚度為106.81nm；

第十四中間膜層單元包括第十四中間膜層組件A和第十四中間膜層組件B，第十四中間膜層組件A的厚度為168.09nm，第十四中間膜層組件B的厚度為106.81nm；

第十五中間膜層單元包括第十五中間膜層組件A和第十五中間膜層組件B，第十五中間膜層組件A的厚度為168.09nm，第十五中間膜層組件B的厚度為106.81nm；

第十六中間膜層單元包括第十六中間膜層組件A和第十六中間膜層組件B，第十六中間膜層組件A的厚度為168.09nm，第十六中間膜層組件B的厚度為106.81nm。

本實(shí)用新型中，第二～第八中間膜層單元的單體構(gòu)造完全相同，在實(shí)際應(yīng)用中，能夠?qū)υ撎幍木唧w數(shù)量進(jìn)行增減。

本實(shí)用新型中，第十～第十六中間膜層單元的單體構(gòu)造完全相同，在實(shí)際應(yīng)用中，能夠?qū)υ撎幍木唧w數(shù)量進(jìn)行增減。

附圖說明

圖1為實(shí)施例1中的一種超硬遠(yuǎn)紅外鍍膜膜層結(jié)構(gòu)；

圖2為實(shí)施例1中的超硬遠(yuǎn)紅外鍍膜膜層結(jié)構(gòu)的波長與透過率間的關(guān)系。

圖2中，橫軸為波長(nm)，縱軸為透過率(％)。

具體實(shí)施方式

為進(jìn)一步了解本實(shí)用新型的內(nèi)容，結(jié)合附圖和實(shí)施例對本實(shí)用新型作詳細(xì)描述。應(yīng)當(dāng)理解的是，實(shí)施例僅僅是對本實(shí)用新型進(jìn)行解釋而并非限定。

實(shí)施例1

如圖1所示，本實(shí)施例提供了一種超硬遠(yuǎn)紅外鍍膜膜層結(jié)構(gòu)，其包括底膜層110和頂膜層120，底膜層110和頂膜層120間設(shè)有多個(gè)中間膜層單元，中間膜層單元包括自下而上依次層疊的中間膜層組件A和中間膜層組件B；底膜層110的材質(zhì)為五氧化二鉭，中間膜層組件A的材質(zhì)為二氧化硅，中間膜層組件B的材質(zhì)為四氮化三硅，頂膜層120的材質(zhì)為二氧化硅。

本實(shí)施例中，底膜層110的厚度為89.52nm，頂膜層120的厚度為84.05nm，中間膜層單元的數(shù)量為16個(gè)，分別為第一至第十六中間膜層單元。

第一中間膜層單元包括第一中間膜層組件A131a和第一中間膜層組件B132a，第一中間膜層組件A131a的厚度為64.65nm，第一中間膜層組件B132a的厚度為82.16nm。

第二中間膜層單元包括第二中間膜層組件A131b和第二中間膜層組件B132b，第二中間膜層組件A131b的厚度為129.30nm，第二中間膜層組件B132b的厚度為82.16nm。

第三中間膜層單元包括第三中間膜層組件A131c和第三中間膜層組件B132c，第三中間膜層組件A131c的厚度為129.30nm，第三中間膜層組件B132c的厚度為82.16nm。

第四中間膜層單元包括第四中間膜層組件A131d和第四中間膜層組件B132d，第四中間膜層組件A131d的厚度為129.30nm，第四中間膜層組件B132d的厚度為82.16nm。

第五中間膜層單元包括第五中間膜層組件A131e和第五中間膜層組件B132e，第五中間膜層組件A131e的厚度為129.30nm，第五中間膜層組件B132e的厚度為82.16nm。

第六中間膜層單元包括第六中間膜層組件A131f和第六中間膜層組件B132f，第六中間膜層組件A131f的厚度為129.30nm，第六中間膜層組件B132f的厚度為82.16nm。

第七中間膜層單元包括第七中間膜層組件A131g和第七中間膜層組件B132g，第七中間膜層組件A131g的厚度為129.30nm，第七中間膜層組件B132g的厚度為82.16nm。

第八中間膜層單元包括第八中間膜層組件A131h和第八中間膜層組件B132h，第八中間膜層組件A131h的厚度為129.30nm，第八中間膜層組件B132h的厚度為82.16nm。

第九中間膜層單元包括第九中間膜層組件A131i和第九中間膜層組件B132i，第九中間膜層組件A131i的厚度為148.70nm，第九中間膜層組件B132i的厚度為106.81nm。

第十中間膜層單元包括第十中間膜層組件A131j和第十中間膜層組件B132j，第十中間膜層組件A131j的厚度為168.09nm，第十中間膜層組件B132j的厚度為106.81nm。

第十一中間膜層單元包括第十一中間膜層組件A131k和第十一中間膜層組件B132k，第十一中間膜層組件A131k的厚度為168.09nm，第十一中間膜層組件B132k的厚度為106.81nm。

第十二中間膜層單元包括第十二中間膜層組件A131l和第十二中間膜層組件B132l，第十二中間膜層組件A131l的厚度為168.09nm，第十二中間膜層組件B132l的厚度為106.81nm。

第十三中間膜層單元包括第十三中間膜層組件A131m和第十三中間膜層組件B132m，第十三中間膜層組件A131m的厚度為168.09nm，第十三中間膜層組件B132m的厚度為106.81nm。

第十四中間膜層單元包括第十四中間膜層組件A131n和第十四中間膜層組件B132n，第十四中間膜層組件A131n的厚度為168.09nm，第十四中間膜層組件B132n的厚度為106.81nm。

第十五中間膜層單元包括第十五中間膜層組件A131o和第十五中間膜層組件B132o，第十五中間膜層組件A131o的厚度為168.09nm，第十五中間膜層組件B132o的厚度為106.81nm。

第十六中間膜層單元包括第十六中間膜層組件A131p和第十六中間膜層組件B132p，第十六中間膜層組件A131p的厚度為168.09nm，第十六中間膜層組件B132p的厚度為106.81nm。

如圖2所示，本實(shí)施例中的一種超硬遠(yuǎn)紅外鍍膜膜層結(jié)構(gòu)，對波長在0～30000nm間的光線均具有較佳的增透效果，透過率均可達(dá)到約97％。此外，本實(shí)施例中的一種超硬遠(yuǎn)紅外鍍膜膜層結(jié)構(gòu)的表面硬度能夠達(dá)到9H。

以上示意性的對本實(shí)用新型及其實(shí)施方式進(jìn)行了描述，該描述沒有限制性，附圖中所示的也只是本實(shí)用新型的實(shí)施方式之一，實(shí)際的結(jié)構(gòu)并不局限于此。所以，如果本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員受其啟示，在不脫離本實(shí)用新型創(chuàng)造宗旨的情況下，不經(jīng)創(chuàng)造性的設(shè)計(jì)出與該技術(shù)方案相似的結(jié)構(gòu)方式及實(shí)施例，均應(yīng)屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。