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一種顯影槽的制作方法

文檔序號:2701364閱讀:697來源:國知局
一種顯影槽的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種顯影槽,包括沿顯影槽內(nèi)周邊設置的鐵氟龍軟管,鐵氟龍軟管的兩頭部均伸出顯影槽,一頭為進水口,另一頭為出水口。本發(fā)明顯影槽可控制其內(nèi)部的溫度在規(guī)定范圍內(nèi)變動,避免了因顯影液溫度過高造成的停機浪費;裝置改進前每日需停機4-5次,每次停機20min;裝置改進后每日需停機0次,大大的提高了生產(chǎn)效率。
【專利說明】一種顯影槽
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種顯影槽,屬于信息顯示屏【技術領域】。
【背景技術】
[0002]現(xiàn)有技術中,在玻璃的ITO層上涂上一層光刻膠后,用紫外光通過預先制作好的電極圖形掩膜,照射光刻膠表面,使被照部分的光刻膠層發(fā)生反應。然后用顯影液處理玻璃表面,將經(jīng)過光照分解的光刻膠層(正性膠)除去,保留未曝光部分的光刻膠層。顯影液的主要成分是Κ0Η,呈弱堿性。當顯影液問題升高時,顯影液會對去除光刻膠部分的玻璃ITO造成腐蝕,從而造成缺劃不良。為避免造成缺劃,當溫度超高時,需停機等KOH達到設定溫度時方可生產(chǎn),浪費生產(chǎn)效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術問題是提供一種顯影槽,有效解決了因顯影液溫度過高而導致的經(jīng)常性停機問題。
[0004]為解決上述技術問題,本發(fā)明所采用的技術方案為:
一種顯影槽,包括沿顯影槽內(nèi)周邊設置的鐵氟龍軟管,鐵氟龍軟管的兩頭部均伸出顯影槽,一頭為進水口,另一頭為出水口。
[0005]使用時,可將鐵氟龍軟管內(nèi)通入冷卻水。
[0006]所述的鐵氟龍軟管沿顯影槽內(nèi)周邊呈螺旋狀設置,起到了更好的冷卻效果。
[0007]所述的鐵氟龍軟管的長度為2.5-3m,保證了冷卻效果的同時,不影響產(chǎn)品的質(zhì)量。
[0008]優(yōu)選,所述的鐵氟龍軟管的長度為2.8m。
[0009]所述的鐵氟龍軟管的直徑為10_15mm,進一步保證了冷卻效果的同時,并不影響產(chǎn)品的質(zhì)量。優(yōu)選,所述的鐵氟龍軟管的直徑為13mm。
[0010]所述的鐵氟龍軟管更優(yōu)選設在顯影槽內(nèi)高度方向上從下到上的二分之一到三分之二處。
[0011]上述顯影槽的應用,顯影槽的使用壓力為0.3MP。
[0012]本發(fā)明未特別說明的技術均為現(xiàn)有技術。
[0013]本發(fā)明顯影槽可控制其內(nèi)部的溫度在規(guī)定范圍內(nèi)變動,避免了因顯影液溫度過高造成的停機浪費;裝置改進前每日需停機4-5次,每次停機20min ;裝置改進后每日需停機O次,大大的提聞了生廣效率。
【專利附圖】

【附圖說明】
圖1為本發(fā)明顯影槽結構示意圖;
圖中,I為鐵氟龍軟管,2為進水口,3為出水口,4為顯影槽。
【權利要求】
1.一種顯影槽,其特征在于:包括沿顯影槽(4)內(nèi)周邊設置的鐵氟龍軟管(1),鐵氟龍軟管(I)的兩頭部均伸出顯影槽(4),一頭為進水口(2),另一頭為出水口(3)。
2.如權利要求1所述的顯影槽(4),其特征在于:所述的鐵氟龍軟管(I)沿顯影槽(4)內(nèi)周邊呈螺旋狀設置。
3.如權利要求1或2所述的顯影槽(4),其特征在于:所述的鐵氟龍軟管(I)的長度為2.5_3m0
4.如權利要求1或2所述的顯影槽(4),其特征在于:所述的鐵氟龍軟管(I)的長度為2.8m。
5.如權利要求1或2所述的顯影槽(4),其特征在于:所述的鐵氟龍軟管(I)的直徑為10-15mmo
6.如權利要求1或2所述的顯影槽(4),其特征在于:所述的鐵氟龍軟管(I)的直徑為13mm。
7.如權利要求1或2所述的顯影槽(4),其特征在于:所述的鐵氟龍軟管(I)設在顯影槽(4)內(nèi)高度方向上從下到上的二分之一到三分之二處。
8.權利要求1-7任意一項所述的顯影槽(4)的應用,其特征在于:顯影槽(4)的使用壓力為0.3MP。
【文檔編號】G03F7/30GK103472692SQ201310345450
【公開日】2013年12月25日 申請日期:2013年8月9日 優(yōu)先權日:2013年8月9日
【發(fā)明者】常平, 張小光, 竇友江 申請人:句容駿成電子有限公司
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