一種緩存裝置及設(shè)有該緩存裝置的涂膠顯影機(jī)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及集成電路生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種緩存裝置及設(shè)有該緩存裝置的涂膠顯影機(jī)。緩存裝置包括框架和設(shè)于所述框架內(nèi)沿其高度方向依次設(shè)置的多層支撐板，所述支撐板用于放置待曝光的基板，所述框架上相應(yīng)地設(shè)有多層支撐部件，每層所述支撐板均滑動(dòng)地安裝于所述支撐部件上。本實(shí)用新型提供的緩存裝置縮短了維護(hù)保養(yǎng)的時(shí)間，提高了工作效率以及設(shè)備的稼動(dòng)率。
【專利說(shuō)明】
一種緩存裝置及設(shè)有該緩存裝置的涂膠顯影機(jī)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及集成電路生產(chǎn)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種緩存裝置及設(shè)有該緩存裝置的涂膠顯影機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]在TFT-LCD行業(yè)涂膠顯影制程工藝中，由于曝光設(shè)備的造價(jià)非常高，因此在曝光設(shè)備前設(shè)置緩存裝置放置基板來(lái)避免曝光設(shè)備的閑置，緩存裝置的兩側(cè)都需要機(jī)械手進(jìn)行來(lái)進(jìn)行取放基板，緩存裝置長(zhǎng)時(shí)間使用會(huì)存在異物，異物附著在基板上會(huì)影響后續(xù)基板的曝光，為避免緩存裝置對(duì)基板的曝光造成影響，需要定期維護(hù)保養(yǎng)緩存裝置。目前緩存裝置的設(shè)計(jì)均是采用將多層固定支架全部采用螺絲固定在4個(gè)豎直的立柱上，每層固定支架上方設(shè)有多個(gè)支撐柱，基板放置在支撐柱上，這樣在進(jìn)行設(shè)備保養(yǎng)維護(hù)時(shí)就必須花費(fèi)大量時(shí)間來(lái)進(jìn)行拆裝，需要浪費(fèi)大量的人力，并且造成曝光設(shè)備的長(zhǎng)時(shí)間閑置。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003](一)要解決的技術(shù)問(wèn)題
[0004]本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是解決現(xiàn)有技術(shù)中緩存裝置維護(hù)保養(yǎng)不方便的技術(shù)問(wèn)題。
[0005](二)技術(shù)方案
[0006]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種緩存裝置，包括框架和設(shè)于所述框架內(nèi)沿其高度方向依次設(shè)置的多層支撐板，所述支撐板用于放置待曝光的基板，所述框架上相應(yīng)地設(shè)有多層支撐部件，每層所述支撐板均滑動(dòng)地安裝于所述支撐部件上。
[0007]根據(jù)本實(shí)用新型，所述框架上拿取所述基板的一側(cè)設(shè)有鎖定機(jī)構(gòu)，用于固定所述支撐板。
[0008]根據(jù)本實(shí)用新型，所述框架上與設(shè)有鎖定機(jī)構(gòu)的一側(cè)相對(duì)的一側(cè)設(shè)有限位擋板。
[0009]根據(jù)本實(shí)用新型，所述鎖定機(jī)構(gòu)包括設(shè)于所述框架上的第一螺紋孔、設(shè)于所述支撐板上的第二螺紋孔以及與所述第一螺紋孔和第二螺紋孔相配合的螺栓。
[0010]根據(jù)本實(shí)用新型，所述鎖定機(jī)構(gòu)包括通過(guò)合頁(yè)固定于所述框架上的前擋板。
[0011 ]根據(jù)本實(shí)用新型，所述支撐板兩側(cè)的下方均設(shè)有滑輪。
[0012]根據(jù)本實(shí)用新型，所述支撐部件為設(shè)置于所述框架上與所述支撐板滑動(dòng)方向平行的兩側(cè)邊的第一滑槽，所述滑輪與所述滑槽相配合。
[0013]根據(jù)本實(shí)用新型，所述支撐板上與其滑動(dòng)方向相平行的兩側(cè)邊設(shè)有滑軌，所述支撐部件為設(shè)置于與所述支撐板滑動(dòng)方向平行的兩側(cè)邊的與所述滑軌相配合的第二滑槽。
[0014]根據(jù)本實(shí)用新型，所述支撐板的上方設(shè)有多個(gè)支撐柱。
[0015]本實(shí)用新型還提供了一種涂膠顯影機(jī)，包括上述的緩存裝置。
[0016](三)有益效果
[0017]本實(shí)用新型的上述技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比具有如下優(yōu)點(diǎn):本實(shí)用新型提供的緩存裝置設(shè)有支撐部件，支撐板可滑動(dòng)的安裝于支撐部件上，需要進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)時(shí)，直接將支撐板從支撐部件上抽下即可，相較于現(xiàn)有技術(shù)中所有的支撐板均是固定在框架上，緩存裝置的拆卸與安裝操作簡(jiǎn)單，縮短了緩存裝置維護(hù)保養(yǎng)所需要的時(shí)間，避免了維護(hù)保養(yǎng)耗費(fèi)時(shí)間長(zhǎng)導(dǎo)致曝光設(shè)備的長(zhǎng)時(shí)間閑置，提高了工作效率。
【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的緩存裝置的三維結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2是本實(shí)用新型實(shí)施例一提供的緩存裝置的主剖視圖；
[0020]圖3是本實(shí)用新型實(shí)施例二提供的緩存裝置的主剖視圖；
[0021 ]圖4是本實(shí)用新型實(shí)施例三提供的緩存裝置的主剖視圖。
[0022]圖中:1:框架;2:支撐板;3:支撐部件;31:第一滑槽;32:滑輪;33:第二滑槽;34:滑軌;4:前擋板;5:限位擋板;6:支撐柱。
【具體實(shí)施方式】
[0023]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例。基于本實(shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0024]實(shí)施例一
[0025]如圖1所示，本實(shí)用新型實(shí)施例提供的一種緩存裝置，包括框架I和設(shè)于框架I內(nèi)的沿其高度方向依次設(shè)置的多層支撐板2，支撐板2用于放置待曝光的基板，框架I上相應(yīng)地設(shè)有多層支撐部件3，每層支撐板2均滑動(dòng)地安裝于支撐部件上。在緩存裝置需要進(jìn)行維護(hù)保養(yǎng)時(shí)，直接將支撐板2從支撐部件3上抽下即可，相較于現(xiàn)有技術(shù)中所有的支撐板2均是固定在框架I上，緩存裝置的拆卸與安裝操作簡(jiǎn)單，縮短了緩存裝置維護(hù)保養(yǎng)所需要的時(shí)間，避免了維護(hù)保養(yǎng)耗費(fèi)時(shí)間長(zhǎng)導(dǎo)致曝光設(shè)備的長(zhǎng)時(shí)間閑置，提高了工作效率。具體地，經(jīng)過(guò)實(shí)驗(yàn)，以具有19層支撐板2的緩存裝置為例，維護(hù)時(shí)間可以從4小時(shí)縮短到1.5小時(shí)以內(nèi)，由于進(jìn)行單層維護(hù)，維護(hù)效果更好，有助于提升產(chǎn)品的良率。
[0026]進(jìn)一步地，本實(shí)施例中框架I上拿取基板的一側(cè)設(shè)有鎖定機(jī)構(gòu)，用于固定支撐板2。在采用機(jī)械手拿取基板時(shí)基板容易帶動(dòng)支撐板2產(chǎn)生一定的滑動(dòng)，使得支撐板2移出框架I夕卜，在框架I上拿取基板的一側(cè)設(shè)有鎖定機(jī)構(gòu)可以限制支撐板的運(yùn)動(dòng)，避免支撐板在拿取基板時(shí)移出框架I外。
[0027]進(jìn)一步地，本實(shí)施例中框架I上與設(shè)有鎖定機(jī)構(gòu)的一側(cè)相對(duì)的一側(cè)設(shè)有限位擋板
5。設(shè)置限位擋板5可以在安裝支撐板2時(shí)限定支撐板2的放置位置。
[0028]進(jìn)一步地，本實(shí)施例中鎖定機(jī)構(gòu)包括設(shè)于框架I上的第一螺紋孔、設(shè)于支撐板2上的第二螺紋孔以及與第一螺紋孔和第二螺紋孔相配合的螺栓。采用螺栓將支撐板2與框架I固定在一起，固定方式簡(jiǎn)單可靠。進(jìn)一步地，如圖1所示，本實(shí)施例中鎖定機(jī)構(gòu)也可以包括通過(guò)合頁(yè)固定于框架上的前擋板4。在需要維護(hù)保養(yǎng)時(shí)，將前擋板4打開(kāi)即可抽出支撐板2，當(dāng)緩存裝置工作時(shí)，前擋板4位于拿取基板的一側(cè)，起到固定支撐板2的作用。
[0029]進(jìn)一步地，本實(shí)施例中支撐板2的上方設(shè)有多個(gè)支撐柱6。使用時(shí)將基板放置于支撐柱6的上方，便于基板的取放。
[0030]實(shí)施例二
[0031]本實(shí)施例二與實(shí)施例一相同的技術(shù)內(nèi)容不重復(fù)描述，實(shí)施例一公開(kāi)的內(nèi)容也屬于本實(shí)施例二公開(kāi)的內(nèi)容，本實(shí)施例二是對(duì)具體特征支撐板2可滑動(dòng)地安裝于支撐部件3的進(jìn)一步優(yōu)化:本實(shí)施例中支撐板2兩側(cè)的下方均設(shè)有滑輪32。支撐板2的下方設(shè)有滑輪32即可在支撐板2上滑動(dòng)，降低了操作人員的勞動(dòng)強(qiáng)度。進(jìn)一步地，本實(shí)施例中的支撐部件3為設(shè)置于框架I上與支撐板2滑動(dòng)方向平行的兩側(cè)邊的第一滑槽31，滑輪34與第一滑槽31相配合。采用第一滑槽31作為支撐部件3，既起到了支撐支撐板2的作用，也起到了限制滑輪32沿第一滑槽31的延伸方向運(yùn)動(dòng)的作用，使得支撐板2在框架I內(nèi)的滑動(dòng)更加可靠。
[0032]實(shí)施例三
[0033]本實(shí)施例三與實(shí)施例一相同的技術(shù)內(nèi)容不重復(fù)描述，實(shí)施例一公開(kāi)的內(nèi)容也屬于本實(shí)施例三公開(kāi)的內(nèi)容，本實(shí)施例三是對(duì)具體特征支撐板2可滑動(dòng)地安裝于支撐部件3的進(jìn)一步優(yōu)化:本實(shí)施例中支撐板2上與其滑動(dòng)方向相平行的兩側(cè)邊設(shè)有滑軌34，支撐部件3為設(shè)置于與支撐板2滑動(dòng)方向平行的兩側(cè)邊的與滑軌34相配合的第二滑槽33。本實(shí)施例中采用滑軌34與第二滑槽33的配合實(shí)現(xiàn)支撐板2的穩(wěn)定抽取與安裝。
[0034]實(shí)施例四
[0035]本實(shí)用新型實(shí)施例四提供了一種涂膠顯影機(jī)，包括上述的緩存裝置。采用上述的緩存裝置提高了操作人員的工作效率，進(jìn)而提升了涂膠顯影機(jī)整個(gè)設(shè)備的稼動(dòng)率。
[0036]最后應(yīng)說(shuō)明的是:以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換;而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種緩存裝置，包括框架和設(shè)于所述框架內(nèi)沿其高度方向依次設(shè)置的多層支撐板，所述支撐板用于放置待曝光的基板，其特征在于:所述框架上相應(yīng)地設(shè)有多層支撐部件，每層所述支撐板均滑動(dòng)地安裝于所述支撐部件上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩存裝置，其特征在于:所述框架上拿取所述基板的一側(cè)設(shè)有鎖定機(jī)構(gòu)，用于固定所述支撐板。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的緩存裝置，其特征在于:所述框架上與設(shè)有鎖定機(jī)構(gòu)的一側(cè)相對(duì)的一側(cè)設(shè)有限位擋板。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的緩存裝置，其特征在于:所述鎖定機(jī)構(gòu)包括設(shè)于所述框架上的第一螺紋孔、設(shè)于所述支撐板上的第二螺紋孔以及與所述第一螺紋孔和第二螺紋孔相配合的螺栓。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的緩存裝置，其特征在于:所述鎖定機(jī)構(gòu)包括通過(guò)合頁(yè)固定于所述框架上的前擋板。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩存裝置，其特征在于:所述支撐板兩側(cè)的下方均設(shè)有滑輪。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的緩存裝置，其特征在于:所述支撐部件為設(shè)置于所述框架上與所述支撐板滑動(dòng)方向平行的兩側(cè)邊的第一滑槽，所述滑輪與所述滑槽相配合。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩存裝置，其特征在于:所述支撐板上與其滑動(dòng)方向相平行的兩側(cè)邊設(shè)有滑軌，所述支撐部件為設(shè)置于與所述支撐板滑動(dòng)方向平行的兩側(cè)邊的與所述滑軌相配合的第二滑槽。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的緩存裝置，其特征在于:所述支撐板的上方設(shè)有多個(gè)支撐柱。10.—種涂膠顯影機(jī)，其特征在于:包括如權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的緩存裝置。
【文檔編號(hào)】G03F7/16GK205608389SQ201620433712
【公開(kāi)日】2016年9月28日
【申請(qǐng)日】2016年5月11日
【發(fā)明人】汪直超, 宋翔宇, 關(guān)永兵, 劉丙強(qiáng), 曹坤
【申請(qǐng)人】重慶京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司