輻射固化設(shè)備的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明輻射固化設(shè)備，包括：光源裝置；以及固化基座，所述固化基座設(shè)置在所述光源裝置下方。所述光源裝置為動(dòng)態(tài)光源裝置或固定光源裝置。所述動(dòng)態(tài)光源裝置包括至少一輻射光源燈具單元、一移動(dòng)裝置以及一反射罩；其中所述移動(dòng)裝置使所述輻射光源燈具產(chǎn)生水平方向移動(dòng)。本發(fā)明輻射固化設(shè)備可應(yīng)用于制造晶圓級(jí)微鏡頭，利用動(dòng)態(tài)光源裝置或擴(kuò)散組件，可消除輻射光源產(chǎn)生的平行光線，因此可克服鏡頭外觀上出現(xiàn)的彩虹紋或者牛頓環(huán)的光學(xué)缺陷，進(jìn)而改善鏡頭的光學(xué)質(zhì)量，提升相機(jī)模塊與應(yīng)用此相機(jī)模塊的手機(jī)與平板計(jì)算機(jī)的電子設(shè)備的攝影質(zhì)量與降低生產(chǎn)成本。
【專(zhuān)利說(shuō)明】輻射固化設(shè)備
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種輻射固化設(shè)備，特別是有關(guān)于一種晶圓級(jí)微鏡頭或晶圓級(jí)封裝材料的輻射固化設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科技的日新月異，電子產(chǎn)品的外觀尺寸也越來(lái)越小。為了配合越來(lái)越小的電子產(chǎn)品，各種電子組件的設(shè)計(jì)也日趨精密。
[0003]當(dāng)手機(jī)與平板計(jì)算機(jī)的厚度愈來(lái)愈薄，而功能要求卻愈來(lái)愈高。目前智能型手機(jī)或平板計(jì)算機(jī)的相機(jī)模塊也日漸趨于微型化。在這種情況下，晶圓級(jí)(Wafer Level)鏡頭受到愈來(lái)愈多的關(guān)注。使用晶圓級(jí)鏡頭的相機(jī)模塊得以由傳統(tǒng)相機(jī)模塊的厚度約3毫米?6毫米，降至厚度約0.8毫米?2.5毫米，甚至于更趨于薄形化。
[0004]以目前產(chǎn)業(yè)發(fā)展的趨勢(shì)而言，不久的將來(lái)，大部分的智能型手機(jī)與平板計(jì)算機(jī)均采用晶圓級(jí)鏡頭作為影像拍攝的主要裝置。事實(shí)上，采用晶圓級(jí)鏡頭可避免如傳統(tǒng)相機(jī)模塊的鏡頭，其必須針對(duì)生產(chǎn)線上的每一個(gè)鏡頭逐一組裝調(diào)整。而晶圓級(jí)鏡頭則可一次調(diào)校與組裝著數(shù)百甚至數(shù)千個(gè)鏡頭。此外，相較于傳統(tǒng)的鏡頭模具僅具有少數(shù)的模穴可形成所需的鏡頭，而晶圓級(jí)鏡頭則一次可以形成百倍以上的鏡頭在一晶圓大小上，其制作成本與組裝成本可因此有效地降低。
[0005]由于晶圓級(jí)微鏡頭不僅可降低制作成本，亦可以降低組裝成本，但如何能進(jìn)一步地改善鏡頭的質(zhì)量，使晶圓級(jí)鏡頭的光學(xué)質(zhì)量提升，為晶圓級(jí)光學(xué)鏡頭與具有相機(jī)模塊的電子裝置質(zhì)量提升與成本降低的不可或缺的關(guān)鍵因素。
[0006]目前，在本【技術(shù)領(lǐng)域】中，制造晶圓級(jí)微鏡頭的固化設(shè)備大都利用輻射光源，但由于使用平行光線進(jìn)行固化容易造成晶圓級(jí)微鏡頭材料固化時(shí)造成鏡頭中形成干涉圖樣(fringe pattern),導(dǎo)致鏡頭外觀上出現(xiàn)彩虹紋或者牛頓環(huán)的光學(xué)缺陷。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種晶圓級(jí)微鏡頭的輻射固化設(shè)備，以改善晶圓級(jí)微鏡頭利用輻射光線固化時(shí)，因?yàn)檩椛涔庠此a(chǎn)生的平行光線，以至于在鏡頭材料固化時(shí)造成鏡頭中形成干涉圖樣(fringe pattern)的光學(xué)缺陷。
[0008]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明輻射固化設(shè)備，包括:光源裝置；以及固化基座，所述固化基座設(shè)置在所述光源裝置下方。
[0009]優(yōu)選的，所述光源裝置為動(dòng)態(tài)光源裝置或固定光源裝置。所述動(dòng)態(tài)光源裝置包括至少一輻射光源燈具單元、一移動(dòng)裝置以及一反射罩；其中所述移動(dòng)裝置使所述輻射光源燈具產(chǎn)生水平方向移動(dòng)。
[0010]優(yōu)選的，所述動(dòng)態(tài)光源裝置包括至少一輻射光源燈具單元、一旋轉(zhuǎn)裝置以及一反射罩；其中所述旋轉(zhuǎn)裝置帶動(dòng)所述輻射光源燈具旋轉(zhuǎn)。
[0011]優(yōu)選的，所述固定光源裝置包括至少一輻射光源燈具單元及一反射罩；其中所述輻射光源燈具為固定不動(dòng)。
[0012]優(yōu)選的，所述輻射光源燈具單元包括至少一個(gè)輻射光源燈具，且當(dāng)復(fù)數(shù)個(gè)輻射光源燈具時(shí)，所述輻射光源燈具為平行配置。
[0013]優(yōu)選的，所述輻射光源燈具包括一 700納米以下波長(zhǎng)的燈管或燈泡。例如:可見(jiàn)光/紫外光燈管或燈泡，較佳為包含一 600納米以下波長(zhǎng)之燈管或燈泡,更佳為包含一 480納米以下波長(zhǎng)之燈管或燈泡。此外，所述輻射光源燈具可以由單或復(fù)數(shù)個(gè)輻射光源燈管或燈泡所構(gòu)成配置于所述反射罩之中，且于復(fù)數(shù)個(gè)輻射光源燈管或燈泡時(shí)，各輻射光源相互平行。
[0014]所述反射罩將所述輻射光源燈具所產(chǎn)生之輻射光線反射至所述固化基座，使所述固化基座上的微鏡頭模具通過(guò)輻射光線照射，可達(dá)到微鏡頭模具中之由輻射固化材料所構(gòu)成之復(fù)數(shù)個(gè)微鏡頭固化的目的。
[0015]優(yōu)選的，所述光源裝置還包括一擴(kuò)散組件，所述擴(kuò)散組件位于所述光源裝置與所述固化基座之間。
[0016]優(yōu)選的，所述擴(kuò)散組件為一表面具有凹凸結(jié)構(gòu)的擴(kuò)散膜。所述擴(kuò)散組件為一石英擴(kuò)散板，且所述石英擴(kuò)散板至少包括一經(jīng)噴沙或氫氟酸處理的擴(kuò)散表面。例如:
[0017]所述擴(kuò)散組件是一表面具凹凸結(jié)構(gòu)之?dāng)U散膜。
[0018]所述擴(kuò)散組件是一石英擴(kuò)散板且石英擴(kuò)散板包含一經(jīng)噴沙或氫氟酸處理之?dāng)U散表面。
[0019]所述擴(kuò)散組件是 一具有透鏡結(jié)構(gòu)之?dāng)U散板。
[0020]所述擴(kuò)散組件是一具有菱鏡結(jié)構(gòu)之?dāng)U散板。
[0021]優(yōu)選的，所述固化基座上進(jìn)一步包括一輸送帶。所述輸送帶以每秒I厘米至I米的速度帶動(dòng)微鏡頭模具通過(guò)輻射光線照射。
[0022]本發(fā)明輻射固化設(shè)備可應(yīng)用于制造晶圓級(jí)微鏡頭，利用動(dòng)態(tài)光源裝置或擴(kuò)散組件，可消除輻射光源產(chǎn)生的平行光線，因此可克服鏡頭外觀上出現(xiàn)的彩虹紋或者牛頓環(huán)的光學(xué)缺陷，進(jìn)而改善鏡頭的光學(xué)質(zhì)量，提升相機(jī)模塊與應(yīng)用此相機(jī)模塊的手機(jī)與平板計(jì)算機(jī)的電子設(shè)備的攝影質(zhì)量與降低生產(chǎn)成本。
【專(zhuān)利附圖】

【附圖說(shuō)明】
[0023]圖1A至圖1C為本發(fā)明晶圓級(jí)微鏡頭的制作流程實(shí)施例一流程示意圖；
[0024]圖2A至圖2C為本發(fā)明晶圓級(jí)微鏡頭的制作流程實(shí)施例二流程示意圖；
[0025]圖3圖為本發(fā)明輻射固化設(shè)備結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖4圖為本發(fā)明輻射固化設(shè)備內(nèi)部結(jié)構(gòu)示意圖。
[0027]本發(fā)明輻射固化設(shè)備附圖中附圖標(biāo)記說(shuō)明:
[0028]110-下模120-輻射固化材料 122-微鏡頭
[0029]130-上模132-模穴140-輻射線
[0030]205-固化基座 210-輸送帶220-微鏡頭模具
[0031]230-光源裝置 232-輻射光源燈具 234-反射罩
[0032]236-旋轉(zhuǎn)裝置 238-擴(kuò)散板240-燈殼
[0033]250-微鏡頭數(shù)組260-移動(dòng)裝置【具體實(shí)施方式】
[0034]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明輻射固化設(shè)備作進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。
[0035]本發(fā)明涉及一種輻射固化設(shè)備，可有效地避免晶圓級(jí)微鏡頭在輻射固化時(shí)產(chǎn)生光學(xué)缺陷，例如是干涉條紋等規(guī)律或不規(guī)律的圖樣，進(jìn)而改善鏡頭的光學(xué)質(zhì)量，提升相機(jī)模塊與應(yīng)用此相機(jī)模塊的電子裝置的攝影質(zhì)量。
[0036]如圖1A所示，進(jìn)行晶圓級(jí)微鏡頭的制作時(shí)，首先將輻射固化材料120置于下模110與上模130之間。
[0037]進(jìn)一步參閱圖1B，然后將上模130與下模110密合，并利用輻射線140進(jìn)行輻射固化材料120的固化。然而，其亦可以是先將上模130與下模110密合后，再利用注入輻射固化材料120的方式，在上模130的模穴132中充填輻射固化材料120。
[0038]其中，在此實(shí)施例中，上模130較佳地是透明的材料所構(gòu)成，而下模110則可以是由不透明的材料所構(gòu)成，以使輻射線140可經(jīng)由上模130照射在輻射固化材料120上，以形成所需的復(fù)數(shù)個(gè)微鏡頭122。輻射固化材料120可以是紫外光/可見(jiàn)光固化材料、雷射光固化材料、電子束固化材料或者是其他可利用輻射線進(jìn)行固化的材料，較佳紫外光/可見(jiàn)光固化材料。
[0039]如圖1C所示，將上模130與下模110及微鏡頭122分離。其中，下模110更可以形成有用來(lái)扣合于影像感應(yīng)組件造型的凸起，以使微鏡頭122可以方便地與影像感應(yīng)組件扣合。此外，上模130與下模110的形狀較佳地與晶圓的形狀相同，以形成與晶圓形狀相同的復(fù)數(shù)個(gè)微鏡頭122，并固定于晶圓上的影像感應(yīng)組件，再進(jìn)行切割。如此，不僅方便進(jìn)行微鏡頭122與影像感應(yīng)組件的結(jié)合，且更可以一次進(jìn)行微鏡頭122與影像感應(yīng)組件的對(duì)焦，節(jié)省鏡頭模塊的組裝成本。
[0040]其中，有關(guān)于微鏡頭122的尺寸，鏡頭透鏡的部份約為直徑50微米?600微米，較佳地約為50微米?300微米，而其高度約為5微米?100微米，較佳地約為10微米?50微米。此外，鏡頭透鏡下方扣合于影像感應(yīng)組件的部份則可依需求改變。
[0041]如圖2A所示，進(jìn)行晶圓級(jí)微鏡頭的制作時(shí)，首先將輻射固化材料120置于下模110與上模130之間。
[0042]進(jìn)一步參閱圖2B，然后將上模130與下模110密合，并利用輻射線140進(jìn)行輻射固化材料120的固化。然而，其亦可以是先將上模130與下模110密合后，再利用注入輻射固化材料120的方式，以在上模130的模穴132中充填輻射固化材料120，其亦不脫離本發(fā)明的精神與范圍。
[0043]其中，在此實(shí)施例中，下模110較佳地為透明的材料所構(gòu)成，而上模130則可以是由不透明的材料所構(gòu)成，以使輻射線140可經(jīng)由下模110照射在輻射固化材料120上，以形成所需的復(fù)數(shù)個(gè)微鏡頭122。輻射固化材料120可以是紫外光固化材料、雷射光固化材料、電子束固化材料或者是其他可利用輻射線進(jìn)行固化的材料，較佳紫外光/可見(jiàn)光固化材料。
[0044]接著參閱圖2C，將上模130與下模110及微鏡頭122分離。其中，下模110更可以形成有用來(lái)扣合于影像感應(yīng)組件造型的凸起，以使微鏡頭122可以方便地與影像感應(yīng)組件扣合。此外，上模130與下模110的形狀較佳地與晶圓的形狀相同，以形成與晶圓形狀相同的復(fù)數(shù)個(gè)微鏡頭122，并固定于晶圓上的影像感應(yīng)組件，再進(jìn)行切割。如此，不僅方便進(jìn)行微鏡頭122與影像感應(yīng)組件的結(jié)合，且更可以一次進(jìn)行微鏡頭122與影像感應(yīng)組件的對(duì)焦，節(jié)省鏡頭模塊的組裝成本。
[0045]如前所述，有關(guān)于微鏡頭122的尺寸，鏡頭透鏡的部份約為直徑50微米?600微米，較佳地約為50微米?300微米，而其高度約為5微米?100微米，較佳地約為10微米?50微米。此外，鏡頭透鏡下方扣合于影像感應(yīng)組件的部份則可依需求改變。
[0046]在進(jìn)行如此微小的鏡頭生產(chǎn)時(shí)，利用輻射線進(jìn)行輻射固化材料的固化，例如是利用UV燈管進(jìn)行UV固化聚合物的固化。但是由于UV燈管本身的平行排列及/或反射罩反射UV燈管的UV光線，所形成的平行輻射光線，將會(huì)在微鏡頭上形成如條紋狀的干涉紋(fringe pattern),其將降低微鏡頭的光學(xué)質(zhì)量與良率。
[0047]因此，本發(fā)明進(jìn)一步根據(jù)改善輻射固化設(shè)備，以提升晶圓級(jí)微鏡頭的光學(xué)質(zhì)量與良率。參閱圖3，其為本發(fā)明的晶圓級(jí)微鏡頭的輻射固化設(shè)備的一實(shí)施例示意圖。晶圓級(jí)鏡頭的輻射固化設(shè)備200主要為由一固化基座205與一光源裝置220所構(gòu)成。固化基座205上則設(shè)置有輸送帶210。
[0048]如圖4所示，微鏡頭模具220包括下模222與上模224，其中容置有微鏡頭數(shù)組250，被傳送至本發(fā)明的晶圓級(jí)鏡頭的輻射固化設(shè)備。接著，由固化基座205上的輸送帶210運(yùn)送至光源裝置230的下方進(jìn)行固化制程。
[0049]其中，光源裝置230包括有至少一輻射光源燈具232以及一反射罩234，使得輻射光源燈具232發(fā)出的光線，產(chǎn)生一平行光線朝向固化基座205的輸送帶210的方向照射。而光源裝置230更可以包括一燈殼240以用來(lái)將光源裝置230固定于輸送帶210的一側(cè)。
[0050]其中，輻射光源燈具232可以是由700納米以下波長(zhǎng)的燈管，例如是可見(jiàn)光或紫外光燈管所構(gòu)成，其亦可以是一雷射光燈具或一紅外線燈具所構(gòu)成。在一實(shí)施例中，輻射光源燈具232可以是由600納米以下波長(zhǎng)的燈管所構(gòu)成。此外，輻射光源燈具232亦可以是由復(fù)數(shù)個(gè)輻射光源燈管所構(gòu)成，且相互平行配置于反射罩234的中。
[0051]其中，在一實(shí)施例中，光源裝置230更可以是一動(dòng)態(tài)光源裝置，其更包括有一移動(dòng)裝置260，其可以使輻射光源燈具232產(chǎn)生水平的運(yùn)動(dòng)，使得微鏡頭數(shù)組250接受來(lái)自各不同方向的輻射照射，進(jìn)而避免微鏡頭數(shù)組250中產(chǎn)生如彩虹紋或者牛頓環(huán)的光學(xué)缺陷。輻射光源燈具移動(dòng)方式，例如但不限于為單向式移動(dòng)或往返式移動(dòng)(較佳地，移動(dòng)速度介于
0.1厘米/秒至50厘米/秒之間，然并不限定于此)。
[0052]此外，在一實(shí)施例中，光源裝置230更可以是一動(dòng)態(tài)光源裝置，其更可以包括一旋轉(zhuǎn)裝置236，以進(jìn)行輻射光源燈具232的旋轉(zhuǎn)，使得輻射光源燈具232所發(fā)射出的輻射從多個(gè)角度均勻地照射在微鏡頭數(shù)組250上，進(jìn)而避免微鏡頭數(shù)組250中產(chǎn)生如彩虹紋或者牛頓環(huán)的光學(xué)缺陷。輻射光源燈具旋轉(zhuǎn)方式，例如但不限于為固定式旋轉(zhuǎn)或往返式旋轉(zhuǎn)。
[0053]在又一實(shí)施例中，光源裝置230更可以是一動(dòng)態(tài)光源裝置，其結(jié)合移動(dòng)裝置260與旋轉(zhuǎn)裝置236 (較佳地，轉(zhuǎn)動(dòng)速率介于0.01圈/秒至100圈/秒之間，然并不限定于此)。
[0054]再者，光源裝置230亦可以固定不動(dòng)，以形成一固定光源裝置，或同時(shí)包括一移動(dòng)裝置260與一旋轉(zhuǎn)裝置236使其運(yùn)動(dòng)與旋轉(zhuǎn)，而固化基座205的輸送帶210則提供一水平運(yùn)動(dòng)，例如在每秒鐘約I厘米至I公尺的移動(dòng)速度下，使微鏡頭數(shù)組250相對(duì)于光源裝置230產(chǎn)生一水平相對(duì)速度的移動(dòng),使得輻射光源燈具232所發(fā)射出的輻射從多個(gè)角度平均地照射在微鏡頭數(shù)組250上，以避免微鏡頭數(shù)組250中產(chǎn)生的條狀紋。
[0055]此外，光源裝置230更可以包括有一擴(kuò)散板238，安裝于輻射光源燈具232與固化基座205的輸送帶210之間，以更進(jìn)一步地將輻射光源燈具232所發(fā)射出的輻射多個(gè)角度均勻地照射在輸送帶210上的微鏡頭數(shù)組250，以避免微鏡頭數(shù)組250中產(chǎn)生的條狀紋。
[0056]擴(kuò)散板238可以是一表面具凹凸結(jié)構(gòu)的擴(kuò)散膜、一石英擴(kuò)散板且石英擴(kuò)散板包括一經(jīng)噴沙或氫氟酸處理的擴(kuò)散表面或者一具有發(fā)散光源的透鏡結(jié)構(gòu)的擴(kuò)散板。
[0057]本發(fā)明的較佳實(shí)施例，本發(fā)明輻射固化設(shè)備，包括光源裝置230與固化基座205，其中光源裝置更包括有一移動(dòng)裝置260。
[0058]本發(fā)明的較佳實(shí)施例，本發(fā)明輻射固化設(shè)備，包括光源裝置230與固化基座205，其中光源裝置更包括有一旋轉(zhuǎn)裝置236。
[0059]本發(fā)明的較佳實(shí)施例，本發(fā)明輻射固化設(shè)備，包括固定不動(dòng)的光源裝置230與固化基座205，其中固化基座更包括有一輸送帶210。
[0060]本發(fā)明的較佳實(shí)施例，本發(fā)明輻射固化設(shè)備，包括固定不動(dòng)的光源裝置230與固化基座205，其中光源裝置更包括有一擴(kuò)散板238。
[0061]本發(fā)明的較佳實(shí)施例，本發(fā)明輻射固化設(shè)備，包括光源裝置230與固化基座205，其中固化基座更包括有一輸送帶210，其中光源裝置更包括有擴(kuò)散板238。
[0062]因此，本發(fā)明的晶圓級(jí)微鏡頭的輻射固化設(shè)備，可以有效地利用輸送帶讓輻射固化材料/樹(shù)脂可以接受各不同方向的輻射進(jìn)行固化，以改善微鏡頭中的干涉紋，亦可以利用移動(dòng)裝置或旋轉(zhuǎn)裝置，`改變平行光源，以改善微鏡頭中的干涉紋，還可以利用擴(kuò)散組件，勻化光源來(lái)改善微鏡頭中的干涉紋。所以，本發(fā)明的晶圓級(jí)微鏡頭的輻射固化設(shè)備可以有效地改善微鏡頭的光學(xué)質(zhì)量與良率，進(jìn)而提升相機(jī)模塊、手機(jī)與平板計(jì)算機(jī)的攝影質(zhì)量與降低其制造成本。
[0063]據(jù)本發(fā)明的可能實(shí)施態(tài)樣，本發(fā)明的輻射固化設(shè)備除了可用于晶圓級(jí)微鏡頭的制作，另可用于封裝材料的輻射固化設(shè)備，例如晶圓級(jí)封裝材料的制作。
[0064]實(shí)施例
[0065]實(shí)施例1~39與比較例I~3
[0066]實(shí)施方法:將樣品A、B和C三種添加光起始劑Irgacurel84 (濃度0.5wt%)的壓克力樹(shù)脂灌注于一上為石英平板，下為金屬平板的八吋模具中，厚度為I毫米，隨后以表一所列的固化條件，經(jīng)UV曝光3000mJ/cm2后固化，拆模取下試片。將試片對(duì)著光源，直接進(jìn)行觀察，觀察試片在不同角度下，是否有彩虹紋產(chǎn)生。而其觀察的結(jié)果如表一所示。
[0067]樣品:
[0068]A:丙烯酸單體(EM2M)
[0069]B:丙烯酸寡聚物(EM6H8J75)
[0070]C:使用A:B比例為I:1的混合物
[0071]固化條件:
[0072]有使用所述固化裝置:◎;
[0073]無(wú)使用所述固化裝置:(空白)
[0074]固化裝置參數(shù):
[0075]固化裝置主體:使用改裝的FusionF300S固化裝置。[0076]固化裝置燈源:使用1.8kW、6英吋高壓汞燈I支。
[0077]輸送帶:使用百利達(dá)輸送帶，速度為10厘米/秒。
[0078]擴(kuò)散膜:使用長(zhǎng)興D1-780A的光學(xué)膜。
[0079]移動(dòng)光源:使用經(jīng)改裝的可前后移動(dòng)燈具，距離15厘米，速率10厘米/秒。
[0080]轉(zhuǎn)動(dòng)光源:使用經(jīng)改裝的轉(zhuǎn)動(dòng)燈具其包含一 USH-500D、500W的UV燈泡，其轉(zhuǎn)動(dòng)速率為0.5圈/秒。
[0081]經(jīng)觀察彩虹紋:
[0082]有:.；無(wú):X
【權(quán)利要求】
1.輻射固化設(shè)備，其特征在于，包括: 光源裝置；以及 固化基座，所述固化基座設(shè)置在所述光源裝置下方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述輻射固化設(shè)備，其特征在于，所述光源裝置為動(dòng)態(tài)光源裝置或固定光源裝置。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述輻射固化設(shè)備，其特征在于，所述動(dòng)態(tài)光源裝置包括至少一輻射光源燈具單元、一移動(dòng)裝置以及一反射罩；其中所述移動(dòng)裝置使所述輻射光源燈具產(chǎn)生水平方向移動(dòng)。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述輻射固化設(shè)備，其特征在于，所述動(dòng)態(tài)光源裝置包括至少一輻射光源燈具單元、一旋轉(zhuǎn)裝置以及一反射罩；其中所述旋轉(zhuǎn)裝置帶動(dòng)所述輻射光源燈具旋轉(zhuǎn)。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述輻射固化設(shè)備，其特征在于，所述固定光源裝置包括至少一輻射光源燈具單兀及一反射罩。
6.根據(jù)權(quán)利要求3、4或5所述輻射固化設(shè)備，其特征在于，所述輻射光源燈具單元包括至少一個(gè)輻射光源燈具。
7.根據(jù)權(quán)利要求6的輻射固化設(shè)備，其特征在于，所述輻射光源燈具包括一700納米以下波長(zhǎng)的燈管或燈泡。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的輻射固化設(shè)備，其特征在于，所述光源裝置還包括一擴(kuò)散組件，所述擴(kuò)散組件位于所述光源裝置與所述固化基座之間。
9.根據(jù)權(quán)利要求8的輻射固化設(shè)備，其特征在于，所述擴(kuò)散組件為一表面具有凹凸結(jié)構(gòu)的擴(kuò)散膜。
10.根據(jù)權(quán)利要求8的輻射固化設(shè)備，其特征在于，所述擴(kuò)散組件為一石英擴(kuò)散板，且所述石英擴(kuò)散板至少包括一經(jīng)噴沙或氫氟酸處理的擴(kuò)散表面。
11.根據(jù)權(quán)利要求1的輻射固化設(shè)備，其特征在于，所述固化基座上包括一輸送帶。
【文檔編號(hào)】G02B3/00GK103487852SQ201310345235
【公開(kāi)日】2014年1月1日 申請(qǐng)日期:2013年8月8日 優(yōu)先權(quán)日:2012年12月13日
【發(fā)明者】黃基毓, 石訓(xùn)嘉 申請(qǐng)人:長(zhǎng)興化學(xué)工業(yè)股份有限公司