專利名稱：射線敏感性樹(shù)脂組合物、顯示元件用固化膜、顯示元件用固化膜的形成方法以及顯示元件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種射線敏感性組合物、顯示元件用固化膜、顯示元件用固化膜的形成方法以及顯示元件。
背景技術(shù)：
作為形成層間絕緣膜、隔片、保護(hù)膜等顯示元件用固化膜的材料，廣泛使用射線敏感性樹(shù)脂組合物。作為該射線敏感性樹(shù)脂組合物，例如，已知含有由不飽和羧酸、含環(huán)氧基的不飽和化合物等所形成的共聚物的組合物(參見(jiàn)日本特開(kāi)2001-354822號(hào)公報(bào))。在使用這種組合物，形成例如顯示元件用的隔片時(shí)，為了將隔片的表面硬度提高至商業(yè)上所要求的水平，需要進(jìn)行在高溫下的焙燒工序。另一方面，如今電子紙等撓性顯示器正在普及。作為該撓性顯示器的基板，正在研究聚對(duì)苯二甲酸乙二醇酯等塑料基板。由于該塑料基板因加熱而拉伸或收縮，導(dǎo)致其存在有阻礙作為顯示器功能的缺陷，因此在塑料基板上形成固化膜時(shí)的焙燒工序中，需要低溫化。鑒于上述情況，已經(jīng)開(kāi)發(fā)了即使低溫焙燒，也含有能夠固化的聚酰亞胺前體的撓性顯示器用的柵極絕緣膜用涂布液的技術(shù)(參見(jiàn)日本特開(kāi)2009-4394號(hào)公報(bào))。但是，由于該涂布液不具有通過(guò)曝光顯影而形成圖案的能力，因此無(wú)法形成微細(xì)的圖案。進(jìn)一步，由于固化反應(yīng)未充分進(jìn)行，因此所得固化膜的耐熱性、耐試劑性、固化性和透光性，以及具備該固化膜的顯示元件的電壓保持率等都未達(dá)到充分滿足的水平。因此，考慮了通過(guò)添加用作環(huán)氧類材料的固化劑的胺化合物，從而即使在低溫下也可以進(jìn)行交聯(lián)反應(yīng)的對(duì)策。但是，添加一般的胺化合物，導(dǎo)致其和組合物中存在的環(huán)氧基隨時(shí)間推移發(fā)生反應(yīng)，因而保存穩(wěn)定性下降。從這種狀況考慮，人們希望開(kāi)發(fā)一種即使低溫焙燒也具有充分分辨率的射線敏感性樹(shù)脂組合物，以及作為顯示元件用固化膜所要求特性的耐熱性、耐試劑性、透光性、固化性等優(yōu)良的顯示元件用固化膜?，F(xiàn)有技術(shù)專利文獻(xiàn)專利文獻(xiàn)I :日本特開(kāi)2001-354822號(hào)公報(bào)專利文獻(xiàn)2 :日本特開(kāi)2009-4394號(hào)公報(bào)

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明是基于上述情況而作出的，其目的是提供一種即使低溫焙燒也具有充分分辨率的射線敏感性樹(shù)脂組合物，耐熱性、耐試劑性、透光性和固化性優(yōu)良的顯示元件用固化膜，以及電壓保持率優(yōu)良的顯示元件。為了解決上述問(wèn)題，本發(fā)明是一種射線敏感性樹(shù)脂組合物，其含有
[A]含有0. I摩爾％ 35摩爾％ (al)下述式(I)所表示的結(jié)構(gòu)單元(以下，也稱為“(al)結(jié)構(gòu)單元”)的共聚物(以下，也稱為“[A]共聚物”)、[B]具有乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物(以下，也稱為“ [B]聚合性化合物”)， 和[C]射線敏感性聚合引發(fā)劑(以下，也稱為“[C]聚合引發(fā)劑”)。
權(quán)利要求
1.一種射線敏感性樹(shù)脂組合物，其含有[A]含有0.I摩爾％ 35摩爾％ (al)下述式(I)所表示的結(jié)構(gòu)單元的共聚物、[B]具有乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物，和[C]射線敏感性聚合引發(fā)劑，
2.如權(quán)利要求I所述的射線敏感性樹(shù)脂組合物，其中[A]共聚物是進(jìn)一步含有(a2)具有羧基的結(jié)構(gòu)單元和(a3)具有環(huán)氧基的結(jié)構(gòu)單元的共聚物。
3.如權(quán)利要求I所述的射線敏感性樹(shù)脂組合物，其中[A]共聚物中(al)結(jié)構(gòu)單元、 (a2)結(jié)構(gòu)單元和(a3)結(jié)構(gòu)單元的含有比例分別為15摩爾％ 33摩爾％。
4.如權(quán)利要求I、權(quán)利要求2或權(quán)利要求3所述的射線敏感性樹(shù)脂組合物，其用于形成作為層間絕緣膜、保護(hù)膜或隔片的顯示元件用固化膜。
5.一種顯示元件用固化膜的形成方法，具有(1)在基板上形成如權(quán)利要求4所述的射線敏感性樹(shù)脂組合物的涂膜的工序、(2)對(duì)上述涂膜的至少一部分照射射線的工序、(3)將上述照射了射線的涂膜顯影的工序，以及(4)對(duì)上述顯影的涂膜進(jìn)行焙燒的工序。
6.如權(quán)利要求5所述的顯示元件用固化膜的形成方法，其中上述工序(4)的焙燒溫度為200°C以下。
7.由權(quán)利要求4所述的射線敏感性樹(shù)脂組合物所形成的作為層間絕緣膜、保護(hù)膜或隔片的顯示元件用固化膜。
8.具備如權(quán)利要求7所述的顯示元件用固化膜的顯示元件。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種射線敏感性組合物、顯示元件用固化膜、顯示元件用固化膜的形成方法以及顯示元件，其目的是提供一種即使低溫焙燒也具有充分分辨率的射線敏感性樹(shù)脂組合物，耐熱性、耐試劑性、透光性和固化性優(yōu)良的顯示元件用固化膜，以及電壓保持率優(yōu)良的顯示元件。本發(fā)明是一種射線敏感性樹(shù)脂組合物，其含有[A]含有0.1摩爾％～35摩爾％(a1)下述式(1)所表示的結(jié)構(gòu)單元的共聚物、[B]具有乙烯性不飽和鍵的聚合性化合物，和[C]射線敏感性聚合引發(fā)劑。
文檔編號(hào)G03F7/027GK102540720SQ201110394180
公開(kāi)日2012年7月4日 申請(qǐng)日期2011年11月29日 優(yōu)先權(quán)日2010年11月30日
發(fā)明者兒玉誠(chéng)一郎, 松本仁成, 米田英司, 西信弘 申請(qǐng)人:Jsr株式會(huì)社