專利名稱：貼合裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
貼合裝置技術(shù)領(lǐng)域[0001]本發(fā)明涉及一種在真空中將兩片基板貼合的貼合裝置，特別是涉及一種在液晶 顯示面板的制造工序中對玻璃基板進行貼合的貼合裝置。
背景技術(shù)：
[0002]在液晶顯示面板的制造工序中將兩片基板(玻璃基板)在真空中貼合的貼合裝 置，將滴下液晶的一片玻璃基板保持在下方，并且將另一片保持在上方，將裝置內(nèi)的作 業(yè)區(qū)域抽成真空，將兩片玻璃基板在上下方向上貼合。[0003]這種貼合裝置中，需要在上方保持一片玻璃基板的保持機構(gòu)、和解除保持而卸 下玻璃基板的拆卸機構(gòu)。[0004]例如，專利文獻1中公開了一種粘著夾緊裝置，其具備通過供給到氣動室的負 壓向上移動且通過供給到氣動室的正壓向下移動的剛體部，通過粘著部件粘著保持玻璃 基板，并且，使剛體部向下移動而卸下玻璃基板。[0005]另外，專利文獻2中公開了一種基板貼合裝置，其通過吸附頭將基板吸起，通 過由丁二烯橡膠構(gòu)成的粘著片和真空吸附來保持基板。[0006]此外，專利文獻3中公開了一種基板保持裝置，通過由二烯類系樹脂構(gòu)成的粘 著墊保持基板，通過使粘著墊向上移動而使基板脫離。[0007]專利文獻1 (日本)專利第3917651號公報[0008]專利文獻2 (日本)專利第4163242號公報[0009]專利文獻3 (日本)專利第4134907號公報[0010]例如，專利文獻1所公開的粘著夾緊裝置，使用硅類、丙烯類粘著材料制成的 粘著片，但存在不能保持對粘著力的控制和粘著面的平坦度而制作這樣的問題。[0011]另外，還存在不能從上側(cè)提起保持在上側(cè)的基板這樣的問題。[0012]另外，專利文獻2所公開的基板貼合裝置，存在需要在粘著機構(gòu)部利用空壓進 行動作的升降機構(gòu)而使結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜這樣的問題。[0013]另外，專利文獻3所公開的基板保持裝置，存在需要使粘著墊向上移動的構(gòu)成 從而使結(jié)構(gòu)變得復(fù)雜這樣的問題。發(fā)明內(nèi)容[0014]于是，本發(fā)明的課題在于，提供一種具備能夠以簡單的結(jié)構(gòu)保持大型的玻璃基 板的基板保持裝置的貼合裝置。[0015]為了解決所述課題，本發(fā)明的貼合裝置具有基板保持裝置，該基板保持裝置通 過不飽和聚丁二烯樹脂的粘著墊對玻璃基板進行粘著保持，并且通過朝向玻璃基板突出 的膜狀部件使玻璃基板脫離粘著墊。[0016]根據(jù)本發(fā)明，可提供具備能夠以簡單的結(jié)構(gòu)保持大型的玻璃基板的基板保持裝 置的貼合裝置。[0017]本發(fā)明提供一種貼合裝置，在真空室內(nèi)具備使基板相對而進行保持的兩個基板 保持裝置，將由兩個所述基板保持裝置各保持一片的兩片所述基板在真空狀態(tài)下貼合， 其特征在于，[0018]所述兩個基板保持裝置的至少一個基板保持裝置具有粘著保持所述基板的基板 保持部，[0019]所述基板保持部中，具備[0020]粘著墊，以不飽和聚丁二烯樹脂為材料并粘著于所述基板；以及[0021]可動膜，從所述粘著墊一側(cè)朝向粘著在該粘著墊上的所述基板突出，使所述基 板從所述粘著墊脫離。[0022]所述可動膜配置成堵塞開口部，所述開口部在設(shè)置在所述基板保持裝置內(nèi)且能 夠使內(nèi)部氣壓上升的增壓室、及粘著在所述粘著墊上的所述基板之間的位置上開口，[0023]所述可動膜為下述構(gòu)造隨著所述增壓室的氣壓上升，所述可動膜從所述開口 部朝向粘著在所述粘著墊上的所述基板突出。


[0024]圖1是表示本實施方式的貼合裝置的概略結(jié)構(gòu)的剖面圖；[0025]圖2是表示下基板保持裝置的結(jié)構(gòu)之一例的圖，(a)為俯視圖，(b)為圖2(a)的 Xl-Xl剖面圖；[0026]圖3是表示本實施方式的上基板保持裝置的構(gòu)成的圖，(a)為仰視圖，(b)為圖 3(a)的X2-X2剖面圖，(c)為圖3(b)的Al部放大圖；[0027]圖4(a)是基板保持部的仰視圖，(b)是圖4(a)的X3-X3剖面圖，(c)是表示微 小突起的配置的圖；[0028]圖5是表示對上基板保持裝置安裝或卸下玻璃基板的圖，(a)是表示使上基板保 持裝置保持玻璃基板的狀態(tài)的剖面圖，(b)是表示粘著墊粘著玻璃基板的狀態(tài)的剖面圖， (c)是表示將玻璃基板從粘著墊上卸下的狀態(tài)的剖面圖；[0029]圖6(a) (d)是以時間序列表示貼合玻璃基板時的貼合裝置的狀態(tài)的剖面圖；[0030]圖7(a)是表示經(jīng)由緩沖件將粘著墊安裝在周緣部的狀態(tài)的圖，(b)是表示將周 緣部和可動膜一體成型而成的基板保持部的圖，(C)是表示非圓環(huán)狀的多個粘著墊的配置 的一例的仰視圖。[0031]標號說明[0032]1貼合裝置[0033]2真空室[0034]3A、3B玻璃基板(基板)[0035]4上基板保持裝置(基板保持裝置)[0036]5下基板保持裝置(基板保持裝置)[0037]40上載物臺[0038]41基板保持部[0039]41c可動膜[0040]41d粘著墊[0041]41S粘著面[0042]42增壓室[0043]44 通氣 口[0044]46吸起墊[0045]411、412 凸部[0046]413微小突起具體實施方式
[0047]下面，利用附圖說明本發(fā)明的實施方式。[0048]如圖1所示，本實施方式的貼合裝置1是在已成為真空狀態(tài)的真空室2內(nèi)將形成 液晶顯示面板的兩片玻璃基板3A、3B (基板)貼合的裝置。[0049]在兩片玻璃基板3A、3B的一方(例如3B)上，在前面工序滴下液晶7，進而涂 敷有用于防止液晶7的擴散的密封劑6。[0050]貼合裝置1通過下方的基板保持裝置(以下稱為“下基板保持裝置5” )保持滴 下了液晶7的玻璃基板3B，通過上方的基板保持裝置(以下稱為“上基板保持裝置4” ) 保持與玻璃基板3B貼合的玻璃基板3A。[0051]這時，玻璃基板3A、3B以相對的方式被保持。[0052]另外，未圖示的是，在上基板保持裝置4或下基板保持裝置5的任一方上具備對 水平方向的位置進行微調(diào)的調(diào)節(jié)機構(gòu)，優(yōu)選能夠?qū)善ＡЩ?A、3B在水平方向上高 精度地進行定位的構(gòu)成。[0053]另外，貼合裝置1如下構(gòu)成能夠通過開關(guān)門8開關(guān)用于將玻璃基板3A、3B 搬入及搬出真空室2的基板入出口 9，當(dāng)基板入出口 9被開關(guān)門8關(guān)閉時，真空室2被密 封。[0054]而且，貼合裝置1在使真空室2內(nèi)成為真空狀態(tài)后，使上基板保持裝置4下降而 將兩片玻璃基板3A、3B貼合。[0055]如圖2 (a)、(b)所示，下基板保持裝置5具備載置玻璃基板3B (參照圖1)的 下載物臺50、粘著玻璃基板3B的多個粘著墊51、以及安裝粘著墊51的基體部52。[0056]另外，下基板保持裝置5中，以具備下載物臺50的一側(cè)為上側(cè)設(shè)定上下方向。[0057]下載物臺50可水平移動地設(shè)置在貼合裝置1 (參照圖1)上，形成載置玻璃基板 3B(參照圖1)的平面。[0058]另外，基體部52可相對于下載物臺50沿上下方向移動地配置在下載物臺50的 下方。[0059]基體部52上朝向上方形成有凸狀的臺座部52a，在下載物臺50上開口有供臺座 部5 松脫嵌合的貫通孔50a。[0060]而且，臺座部5 上安裝有粘著墊51，且與基體部52—體地上下移動。[0061]在粘著墊51上配置有和玻璃基板3B(參照圖1)貼緊的凸部51a和吸附部51b。[0062]吸附部51b形成為和凸部51a相同高度的凸狀，粘著墊51為圓形時，吸附部51b 形成為圍繞中心部的圓形。而且，在吸附部51b的中心形成有上下方向的貫通孔51c。[0063]粘著墊51具有橡膠狀的彈性，厚度為數(shù)mm。另外，凸部51a及吸附部51b的5高度優(yōu)選100 1000 μ m,更優(yōu)選300 500 μ m。[0064]在基體部52的內(nèi)部形成有由中空的空洞部構(gòu)成的真空室52b，真空室52b和粘著 墊51的貫通孔51c連通，進而經(jīng)由真空引入孔52c和外部連通。[0065]另外，如圖2(a)所示，在本實施方式中，使凸部51a構(gòu)成為六邊形，但其形狀 沒有限定，也可以為四邊形、五邊形等多邊形、圓形、直線狀、波線狀等，只要適當(dāng)決 定即可。[0066]此外，將凸部51a構(gòu)成為六邊形時，如圖2(a)所示將粘著墊51做成圓形時，具 有能夠無間隙地緊密配置凸部51a等優(yōu)點。[0067]通過這樣構(gòu)成的下基板保持裝置5保持玻璃基板3B(參照圖1)時，通過未圖示 的機械臂等搬運單元將玻璃基板3B配置在下載物臺50的上方。[0068]使未圖示的升降銷從下基板保持裝置5上升而支承玻璃基板3B，使搬運單元退 出后使升降銷下降，將玻璃基板3B載置于下載物臺50上。[0069]這時，使基體部52上升，以使下載物臺50的上面和粘著墊51成為同一面。[0070]玻璃基板3B(參照圖1)被載置于下載物臺50上之后，通過與真空引入孔5 連 接的未圖示的真空泵等，將真空室5 抽成真空。[0071]由此，玻璃基板3B(參照圖1)被從粘著墊51的貫通孔51c吸引，并被凸部51a 及吸附部51b通過粘著力粘著保持在粘著墊51上。[0072]另外，卸下被粘著保持在粘著墊51上的玻璃基板3B(參照圖1)時，使真空室 52b的氣壓上升到和真空室2 (參照圖1)的氣壓相同程度以后，使基體部52下降。由此 能夠容易地將玻璃基板3B從粘著墊51上卸下。[0073]如圖3(a)、(b)所示，為了從后述的機械臂10(參照圖5(a))等搬運單元接收并 提升玻璃基板3A，上基板保持裝置4上設(shè)有具備未圖示的升降機構(gòu)的吸起墊46。[0074]此外，上基板保持裝置4中，在可上下移動地配置在真空室2(參照圖1)內(nèi)的上 載物臺40上，配置有至少一個基板保持部41。[0075]此外，上基板保持裝置4中，以具備基板保持部41的一側(cè)為下側(cè)設(shè)定上下方 向。[0076]另外，圖3(a)中圖示了 15個基板保持部41，但其數(shù)量沒有限定，只要根據(jù)上基 板保持裝置4粘著保持的玻璃基板3A(參照圖1)的重量、大小等適當(dāng)設(shè)定即可。[0077]如圖3(b)所示，在上載物臺40的內(nèi)部形成有由中空的空洞部構(gòu)成的增壓室42， 該增壓室42經(jīng)由空氣注入口 43向外部開口。[0078]增壓室42經(jīng)由空氣注入口 43與空氣壓調(diào)節(jié)單元(空氣泵等)45連接，可調(diào)節(jié)內(nèi) 部的空氣壓。[0079]具體地說，通過空氣壓調(diào)節(jié)單元45能夠使增壓室42內(nèi)部的氣壓上升。[0080]另外，增壓室42中，與安裝基板保持部41的位置相對應(yīng)形成有通氣口 44。通 氣口 44貫通上載物臺40而形成增壓室42的開口部，其被配置在基板保持部41上的可動 膜41c堵塞。[0081]如圖3的(a)、(c)所示，基板保持部41包括具有中空部41b的圓環(huán)狀的周緣 部41a、以覆蓋周緣部41a的中空部41b的方式安裝的可動膜41c、以及在中空部41b的 周圍且在形成于周緣部41a的安裝槽41e內(nèi)配置成圓環(huán)狀的粘著件(以下稱為“粘著墊41d，，)。[0082]可動膜41c以覆蓋中空部41b的方式安裝，因此，圓環(huán)狀地配置在中空部41b的 周圍的粘著墊41d配置在可動膜41c的周圍。[0083]另外，周緣部41a優(yōu)選以金屬(不銹鋼等)為材料，但也可以樹脂、硬質(zhì)橡膠等 作為材料。[0084]粘著墊41d優(yōu)選通過具有二烯類樹脂那樣的粘性及彈性的材料形成。而且，形 成為例如圖3(a)所示的圓環(huán)狀。[0085]另外，在本實施方式中，粘著墊41d以二烯類樹脂的不飽和聚丁 二烯樹脂作為 材料。[0086]另外，優(yōu)選在粘著墊41d的表面形成作為與玻璃基板3A(參照圖1)相對的粘著 面的多個凸部。[0087]例如，如圖4(a)所示，由徑向延伸的放射狀的多個凸部411、411、……和沿著 周方向的同心圓狀的多個凸部412、412、……大致格子狀地形成凸部，其頂部成為粘著 面 41S。[0088]圖4(b)所示的凸部411、412的高度hi沒有限定，但和粘著墊51的凸部51a(參 照圖2 (a))同樣優(yōu)選100 1000 μ m，更優(yōu)選300 500 μ m。[0089]另外，圖4(a)的符號4al是用于使將基板保持部41固定在上載物臺40 (參照圖 3(b))的未圖示的固定部件(聯(lián)接螺栓等)通過的貫通孔。[0090]另外，如圖4(b)所示，凸部411、412的截面形狀優(yōu)選為例如梯形且頂部形成 平面的粘著面41S，進一步優(yōu)選在凸部411、412的粘著面41S上形成有高度h2為10 100 μ m(更優(yōu)選20 40 μ m)的、例如呈圓柱狀的多個微小突起413、413、……。[0091]圖4(b)表示凸部411的截面、凸部412的側(cè)面。[0092]這樣構(gòu)成的粘著墊41d優(yōu)選如上所述形成為圓環(huán)狀，例如圖3(c)所示，安裝在 以與中空部41b同心圓狀地形成于周緣部41a中的安裝槽41e內(nèi)，多個微小突起413、 413、……突出至相比周緣部41a的下表面靠下方處。[0093]根據(jù)該構(gòu)成，如后所述，能夠?qū)⒉ＡЩ?A(參照圖1)粘著保持在粘著墊41d 上。[0094]本實施方式中，鑒于粘著墊41d所粘著保持的玻璃基板3A(參照圖1)的重量、 不飽和聚丁二烯樹脂的粘著力、將玻璃基板3A從粘著墊41d上卸下來時的作業(yè)容易性 等，做成沿徑方向及周方向都每隔1英寸(25.4mm)形成200 400個微小突起413的粘 著墊41d。[0095]例如，如圖4(c)所示，做成形成有微小突起413的粘著墊41d，所述微小突起 413例如是直徑為0.04mm的大致圓柱狀的突起以0.127 0.063mm的間距Pl有規(guī)則地配 置而成。[0096]也就是說，每一平方英寸(645.16mm2)形成有40000 160000個微小突起413， 且在由直徑0.04mm的大致圓柱狀構(gòu)成的微小突起413的情況下，網(wǎng)眼率(微小突起413 與玻璃基板3A相接觸的面積的、相對于粘著面41S的面積的比例)為7.8 31.2%。[0097]另外，并不限定于多個微小突起413、413、……有規(guī)則地配置的粘著墊41d， 也可以是多個微小突起413、413、……隨機地配置的粘著墊41d。[0098]這種情況下，也優(yōu)選每一平方英寸(645.16mm2)形成40000 160000個微小突 起413，且使網(wǎng)眼率為7.8 31.2%。此外，微小突起413的形狀也不限定于大致圓柱狀，也可以是棱柱狀等其他形 狀，還可以是多個微小突起413、413、……連續(xù)的線形。
任何情況下，都優(yōu)選使網(wǎng)眼率為7.8 31.2%。此外，凸部411、412(參照圖4(a))的配置并不限定于格子狀，例如，也可以是 未圖示的配置成六邊形鄰接而成的蜂窩狀等其它形狀的凸部。例如，在比重為2.8、厚度為0.7mm的玻璃基板3A(參照圖1)的情況下，每一 平方毫米的重量為約1.96X 10_5N(2.0X 10_3gf)。另外，不飽和聚丁二烯樹脂的粘著力為3.86X ICT2Pa(394X10_2gf/mm2)，因此， 粘著玻璃基板3A的整個面時粘著力過剩，玻璃基板3A從粘著墊41d(參照圖4(a))脫離 時，過大的應(yīng)力會施加在玻璃基板3A上。玻璃基板3A的每一平方毫米的重量為約1.96 X ICT5N(2.0 X 10_3gf)時，如果具有 3.86 X IO^2Pa (394 X lO^gf/mm2)粘著力的粘著墊41d做成表面(和玻璃基板3A相對的面) 的約0.05% ( = 2.0X10-7(394X10_2))以上和玻璃基板3A相接觸的構(gòu)成，就能夠通過粘 著墊41d吸附保持玻璃基板3A。另外，玻璃基板3A(參照圖1)和粘著墊41d(參照圖4(a))相接觸的粘著面 41S(參照圖4(b))的面積相同時，與玻璃基板3A和粘著墊41d在粘著面41S的整個面上 相接觸的情況相比，多個微小突起413、413、……(參照圖4(b))形成的點狀的粘著面 41S能夠相對于玻璃基板3A在較廣范圍形成粘著面41S。玻璃基板3A從粘著墊41d脫離時，應(yīng)力加在玻璃基板3A的、粘著面41S粘著 的部位，因此，通過在較廣范圍形成粘著面41S，能夠使從粘著墊41d脫離時加在玻璃基 板3A上的應(yīng)力分散，能夠使應(yīng)力帶來的殘余應(yīng)力分散。因而，為了使玻璃基板3A的殘余應(yīng)力適宜地分散，優(yōu)選在粘著墊41d上形成多 個微小突起413、413、……組成的點狀的粘著面41S。另一方面，如圖4(a)所示，使玻璃基板3A(參照圖1)脫離粘著墊41d的可動膜 41c配置在圓環(huán)狀配置的粘著墊41d的中心，因此，可動膜41c突出而使玻璃基板3A脫 離粘著墊41d時，隨著離開可動膜41c，玻璃基板3A的變形增大。該變形增大時，玻璃 基板3A上就會產(chǎn)生殘余應(yīng)力。因而，為了適宜地抑制變形造成的殘余應(yīng)力，需要將粘著面41S從可動膜 41c(參照圖4(b))的擴展抑制在適宜的范圍內(nèi)?？紤]到以上情況，適宜地抑制玻璃基板3A(參照圖1)脫離粘著墊41d(參照圖 4(a))時的殘余應(yīng)力，并為了確保需要面積的粘著面41S，7.8 31.2%的網(wǎng)眼率是適宜 的。以飽和聚丁二烯樹脂為材料的粘著墊41d，例如可以用如下所示的方法制作。在曝光裝置的玻璃板(下側(cè)玻璃板)上，依次安放印有圖4(a)所示的凸部411、 412的圖案的負片、覆蓋膜、未硬化的不飽和聚丁二烯樹脂、基膜，從上方用玻璃板(上 側(cè)玻璃板)按壓。從上側(cè)玻璃板的上方進行背面曝光，使不飽和聚丁二烯樹脂的上方硬化后，從下側(cè)玻璃板的下方進行浮雕曝光。在通過該工 序硬化的部分形成作為凸部411、412((參照圖4(a))的部分。然后，通過清洗液將不飽和聚丁二烯樹脂洗凈而除去未硬化部分，進行干燥。接著，根據(jù)需要進行再曝光，以使微細部分可靠地硬化。通過以上所述的工序，可制作出如圖4(a)所示形成有凸部411、412的粘著墊 41d。粘著墊41d(參照圖4(a))上形成的凸部411、412(參照圖4(a))的形狀及數(shù) 量根據(jù)負片的印刷圖案來確定，通過變更負片的印刷圖案，能夠容易地變更凸部411、 412(參照圖4(a))的形狀及數(shù)量。另外，在上述的工序中制作的粘著墊41d能夠以較高尺寸精度做成。本實施方式的基板保持部41上，如圖3(c)所示，例如配置有在上述工序中做成 的粘著墊41d，還配置有可動膜41c?？蓜幽?1c由橡膠等彈性高的材料構(gòu)成，以從上載物臺40 —側(cè)堵塞周緣部41a的 中空部41b的方式配置。另外，如上所述，可動膜41c堵塞上載物臺40上形成的通氣口 44。通氣口 44成為在粘著于粘著墊41d的玻璃基板3A(參照圖1)和增壓室42之間 的位置開口的開口部，可動膜41c配置成堵塞該開口部。另外，由于可動膜41c以覆蓋中空部41b的方式配置，因此下方被開放，增壓室 42內(nèi)的氣壓上升時，可動膜41c從增壓室42膨出并朝向玻璃基板3A從通氣口 44(開口 部)突出。而且，基板保持部41優(yōu)選通過未圖示的固定部件(聯(lián)接螺栓等)固定在上載物 臺40(參照圖3(b))上。根據(jù)該構(gòu)成，基板保持部41被裝卸自如地安裝在上載物臺40上，能夠?qū)崿F(xiàn)基 板保持部41的維護等作業(yè)的容易化。另外，可動膜41c優(yōu)選通過適宜的張力進行安裝。本實施方式中的適宜的張力為下述程度的張力上載物臺40的增壓室42的氣壓 和真空室2(參照圖1)內(nèi)的氣壓相等時，可動膜41c不會相比周緣部41a的下表面向下方 突出(不會下垂)。另外，只要是將可動膜41c固定在周緣部41a的構(gòu)成、或通過周緣部41a和上載 物臺40夾持可動膜41c的構(gòu)成，就能夠通過將基板保持部41從上載物臺40 (參照圖3 (b)) 卸下而容易地卸下可動膜41c。根據(jù)這種構(gòu)成，例如可提高需要更換可動膜41c時的工藝性。通過這樣構(gòu)成的上基板保持裝置4保持玻璃基板3A(參照圖1)時，如圖5(a)所 示，以通過機械臂10等搬運單元將玻璃基板3A的膜面(和玻璃基板3B相貼合的一側(cè)的 面)的相反側(cè)保持在配置于機械臂10上的吸附頭IOa的狀態(tài)，向上載物臺40的上方搬運 玻璃基板3A。在該狀態(tài)下，使上載物臺40的吸起墊46下降直至與玻璃基板3A相接觸 的位置，向吸起墊46供給真空壓，以保持玻璃基板3A。停止真空壓向吸附頭IOa的供給后，機械臂10上升而退出。進而，機械臂10從上載物臺40的下方退出后，使吸起墊46上升。[0133]然后，當(dāng)玻璃基板3A與粘著墊41d的凸部411、412上形成的多個微小突起413、413、……(參照圖4(b))接觸時，如圖5(b)所示，粘著墊41d利用不飽和聚丁二 烯樹脂的粘著力粘著保持玻璃基板3A。然后，停止真空壓對吸起墊46的供給，使吸起墊46進一步上升直至規(guī)定的退出 位置。另外，使玻璃基板3A從粘著墊41d上脫離時，通過空氣壓調(diào)節(jié)單元45對增壓室 42 (參照圖5(a))內(nèi)進行加壓。如圖5(c)所示，將與增壓室42連通的通氣口 44堵塞的可動膜41c通過增壓室 42內(nèi)的壓力朝向增壓室42的外側(cè)、即朝向下方突出，其一部分突出至相比周緣部41a的 下表面靠下方處。然后，突出至周緣部41a的下方的可動膜41c向下方按壓玻璃基板3A，使玻璃 基板3A從粘著墊41d脫離。如上所述，圖3 (a) (c)所示的上基板保持裝置4通過具備基板保持部41而能 夠利用粘著墊41d的粘著力粘著保持玻璃基板3A(參照圖1)，進而，能夠通過可動膜41c 的動作使玻璃基板3A從粘著墊41d脫離。另外，如圖4(a)所示，由于和玻璃基板3A粘著的粘著墊41d配置在可動膜41c 的周圍，因此能夠使由突出來的可動膜41c加在玻璃基板3A上的力(更詳細地說，是加 在粘著墊41d粘著玻璃基板3A的點上的力)的分布在周方向上均勻地分散。因而，使玻 璃基板3A從粘著墊41d上脫離時，能夠使殘留在玻璃基板3A上的應(yīng)力(殘余應(yīng)力)在 周方向上均勻地分散。參照圖6，說明通過貼合裝置1(參照圖1)將兩片玻璃基板3A、3B貼合的順 序，該貼合裝置1具備如圖2(a)、(b)所示構(gòu)成的下基板保持裝置5及如圖3(a) (c) 所示構(gòu)成的上基板保持裝置4。如圖6(a)所示，在前面的工序中貼合玻璃基板3A、3B而成的液晶顯示面板 3PNL被載置在下基板保持裝置5上的狀態(tài)時，將玻璃基板3A搬入真空室2，如前所述通 過上基板保持裝置4粘著保持玻璃基板3A。然后，搬出液晶顯示面板3PNL后，如圖6(b)所示，將玻璃基板3B搬入真空室 2并保持在下基板保持裝置5上，如前所述，通過配置在基體部52上的粘著墊51粘著保 持玻璃基板3B。這時，在前面的工序中，在玻璃基板3B上滴下液晶7，再涂敷密封劑6。然后，如圖6(c)所示，通過開閉門8關(guān)閉基板入出口 9而將真空室2密封，通 過真空泵等未圖示的真空發(fā)生裝置將真空室2內(nèi)抽成真空狀態(tài)后，使上基板保持裝置4下 降，直至玻璃基板3A和玻璃基板3B即將接觸之間(玻璃基板3A和玻璃基板3B并未貼
合)ο然后，對上基板保持裝置4的水平位置進行微調(diào)，高精度地對齊玻璃基板3A、 3B的水平位置，對上載物臺(上托盤)40的增壓室42加壓，如圖5(c)所示使可動膜41c 突出，使玻璃基板3A從粘著墊41d上脫離。玻璃基板3A向玻璃基板3B落下，玻璃基板3A、3B貼合而形成液晶顯示面板 3PNL。[0147] 然后，如圖6(d)所示，提升上基板保持裝置4。在此，高精度地對齊水平位置后，也可以使上基板保持裝置4下降，通過加壓 將密封劑6壓扁，對上載物臺(上托盤)40的增壓室42加壓，如圖5 (c)所示使可動膜41c 突出，同時提升上基板保持裝置4，使玻璃基板3A脫離粘著墊41d。在下基板保持裝置5上，載置有夾持液晶7及密封劑6而貼合玻璃基板3A、3B 所形成的液晶顯示面板3PNL。解除真空室2內(nèi)的真空狀態(tài)，如前所述將液晶顯示面板3PNL(玻璃基板3B)從 基體部52的粘著墊51上卸下，如圖6(a)所示打開基板入出口 9，將玻璃基板3A搬入真
空室2。這樣，貼合裝置1重復(fù)圖6(a) (d)所示的動作，連續(xù)地組裝液晶顯示面板 3PNL。使粘著保持在上基板保持裝置4的玻璃基板3A向玻璃基板3B上落下而進行貼 合、或?qū)⒚芊鈩?壓扁而進行貼合，由此能夠不殘留殘余變形而將兩片玻璃基板3A、3B 貼合。如上所述，本實施方式的貼合裝置1(參照圖1)具有圖3 (a) (c)所示構(gòu)成的具 備基板保持部41的上基板保持裝置4，能夠?qū)⒉ＡЩ?A(參照圖1)粘著保持在上側(cè)。在基板保持部41上配置有以不飽和聚丁二烯樹脂為材料的粘著墊41d。由于不 飽和聚丁二烯樹脂粘著力強且穩(wěn)定，因此能夠可靠地粘著保持玻璃基板3A(參照圖1)。進而，在基板保持部41上配置有通過對上載物臺40的增壓室42加壓而動作的 可動膜41c，能夠通過可動膜41c使基板保持部41粘著保持的玻璃基板3A容易地脫離。另外，可動膜41c的結(jié)構(gòu)極其簡單，構(gòu)成零件也少，所以能夠形成可靠性高的基 板保持部41，進而，也提高了更換可動膜41c時的工藝性。另外，本實施方式在不脫離發(fā)明的宗旨的范圍內(nèi)可以進行適當(dāng)?shù)脑O(shè)計變更。例如，如圖7(a)所示，其構(gòu)成也可以為，經(jīng)由緩沖部件41f將粘著墊41d安裝在 周緣部41a上。如圖5(a)所示，使玻璃基板3A抵接于粘著墊41d而粘著保持，因此，如圖7(a) 所示經(jīng)由緩沖部件41f將粘著墊41d安裝在周緣部41a上時，可減小粘著墊41d和玻璃基 板3A之間的接觸壓，進而能夠通過緩沖部件41f吸收玻璃基板3A與粘著墊41d抵接時的 沖擊。作為這種緩沖部件41f的材料，優(yōu)選具有彈性的軟質(zhì)橡膠等。另外，如圖7(b)所示，也可將可動膜41c和周緣部41a—體成型。例如，使由橡膠等彈性高的材料構(gòu)成的適當(dāng)厚度的圓盤狀部件的中心部變薄而 作為可動膜41c。而且，將可動膜41c周圍的壁厚部分作為周緣部41a。這樣，通過將可動膜41c和周緣部41a—體成型，可使基板保持部41的結(jié)構(gòu)簡 單化，獲得降低基板保持部41的制造成本、將基板保持部41安裝在上載物臺40 (參照圖 3(b))時的作業(yè)容易化等效果。另外，也可以不像圖4(a)所示那樣將粘著墊41d形成圓環(huán)狀，而是例如圖7(c) 所示，將多個粘著墊41d配置在可動膜41c的周圍。此外，其形狀也并不限定于圖7(c) 所示的大致扇形，也可以適當(dāng)?shù)卦O(shè)定為未圖示的圓形、四邊形等。
權(quán)利要求1.一種貼合裝置，在真空室內(nèi)具備使基板相對而進行保持的兩個基板保持裝置，將 由兩個所述基板保持裝置各保持一片的兩片所述基板在真空狀態(tài)下貼合，其特征在于，所述兩個基板保持裝置的至少一個基板保持裝置具有粘著保持所述基板的基板保持部，所述基板保持部中，具備粘著墊，以不飽和聚丁二烯樹脂為材料并粘著于所述基板；以及 可動膜，從所述粘著墊一側(cè)朝向粘著在該粘著墊上的所述基板突出。
2.如權(quán)利要求1所述的貼合裝置，其特征在于，在所述粘著墊上形成有凸部，作為和所述基板相接觸的粘著面， 在所述粘著面上形成有突起，所述突起與所述基板相接觸的面積相對于所述粘著面的面積的比例為7.8 31.2%。
3.如權(quán)利要求1或權(quán)利要求2所述的貼合裝置，其特征在于，所述可動膜配置成堵塞開口部，所述開口部在設(shè)置在所述基板保持裝置內(nèi)且能夠使 內(nèi)部氣壓上升的增壓室、及粘著在所述粘著墊上的所述基板之間的位置上開口，所述可動膜為下述構(gòu)造隨著所述增壓室的氣壓上升，所述可動膜從所述開口部朝 向粘著在所述粘著墊上的所述基板突出。
4.如權(quán)利要求3所述的貼合裝置，其特征在于，所述粘著墊配置在所述可動膜的周圍。
5.如權(quán)利要求4所述的貼合裝置，其特征在于，所述基板保持裝置中的設(shè)置在上方的 上基板保持裝置中，具備通過真空吸引將所述基板吸起的至少一個吸起墊、和使所述吸 起墊升降的升降機構(gòu)。
專利摘要本實用新型的課題在于提供一種貼合裝置，其具備能夠以簡單的結(jié)構(gòu)保持大型的玻璃基板的基板保持裝置。貼合裝置通過具有基板保持部(41)的上基板保持裝置(4)而粘著保持玻璃基板，所述基板保持部(41)中在圓環(huán)狀的周緣部(41a)上安裝有以不飽和聚丁二烯樹脂為材料且呈圓環(huán)狀的粘著墊(41d)、和配置成覆蓋周緣部(41a)的圓環(huán)狀的中空部(41b)的可動膜(41c)。其特征在于，使玻璃基板從粘著墊(41d)脫離時，可動膜(41c)隨著增壓室(42)的氣壓上升，朝向粘著在粘著墊(41d)上的玻璃基板突出。
文檔編號G02F1/1333GK201808268SQ20102014093
公開日2011年4月27日 申請日期2010年3月15日 優(yōu)先權(quán)日2010年3月15日
發(fā)明者中山幸德, 平井明, 海津拓哉, 石田剛 申請人:株式會社日立工業(yè)設(shè)備技術(shù)