真空貼合設備的制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及顯示面板制造技術領域，尤其涉及一種真空貼合設備。
【背景技術】
[0002]在TFT-1XD行業(yè)的封裝工藝中，通常采用真空貼合設備(Vacuum Aligner System，簡稱VAS)將涂布Sealant (密封劑)的上基板玻璃和涂布LC (液晶)的下基板玻璃在真空條件下進行對位貼合，從而得到貼合基板。
[0003]如圖1所示，真空貼合設備通常包括固定于基座上的下基臺20和與下基臺20配合的上基臺10。上基臺10中心部設有上腔室11，上腔室11內安裝有上吸附基板12 (Table)，上吸附基板12上設置有可上下移動的多個吸附桿13 (Support Pad);下基臺20中心部設有下腔室21，下腔室21內安裝有下吸附基板22，下吸附基板22上設置有可上下移動的支撐桿23。
[0004]如圖1和圖2所示，當真空貼合設備工作時，首先，機械手40的牙叉伸入真空貼合設備內，真空貼合設備的上基臺10上的吸附桿13從機械手40 (Robot Hand)上受取涂布Sealant的上基板玻璃50，吸附桿再上移將上基板玻璃50移至上吸附基板12的表面，然后，通過上吸附基板12的真空吸附將上基板玻璃50固定在上吸附基板12的表面；然后，通過機械手40將涂布LC的下基板玻璃置于支撐桿上，支撐桿再下移將下基板玻璃移至下吸附基板22的表面，然后通過下吸附基板22的真空吸附將下基板玻璃固定在下吸附基板22的表面；上基臺10在動力系統(tǒng)的帶動下慢慢落下，與下基臺20緊密貼合，完成貼合工作。
[0005]目前現(xiàn)有的真空貼合設備存在著以下問題:
[0006]如圖2所示，在機械手40 (Robot Fork)的牙叉伸進設備內時，因牙叉以及上基板玻璃重力原因，機械手40的牙叉前端會有向下彎曲的現(xiàn)象，導致上基臺10的吸附桿在真空吸取上基板玻璃50時會發(fā)生偏移，從而影響真空貼合設備的貼合精度；另外，由于自身重量原因，機械手40的牙叉在伸進設備內時，會有一定時間顫動，待其穩(wěn)定需要幾秒時間，增加了額外單件工時(Tact Time)。

【發(fā)明內容】

[0007]本發(fā)明的目的在于提供一種真空貼合設備，其能夠保證吸附桿吸取基板時的平整度，提高貼合精度，并減少單件工時。
[0008]本發(fā)明所提供的技術方案如下:
[0009]一種真空貼合設備，用于從機械手受取待貼合基板后，將待貼合基板進行貼合；所述真空貼合設備包括:
[0010]相對設置的兩基臺；
[0011]以及用于從機械手受取待貼合基板時，對機械手的伸入至兩基臺之間的部分進行支撐，以使機械手上吸附的待貼合基板保持水平的支撐部件，所述支撐部件設置于至少一基臺上。
[0012]進一步的，所述支撐部件可移動地設置于至少一基臺上，具有第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，
[0013]在所述第一狀態(tài)，所述支撐部件移動至兩基臺的相對的兩表面之間，以對機械手的伸入至兩基臺之間的部分進行支撐，使機械手上吸附的待貼合基板保持水平；
[0014]在所述第二狀態(tài)，所述支撐部件移動至兩基臺的相對的兩表面之間的區(qū)域之外，以使兩基臺能夠相對靠近而將待貼合基板貼合。
[0015]進一步的，所述基臺包括第一端和與所述第一端相對的第二端，其中機械手自所述基臺第一端伸入兩基臺之間，所述支撐部件設置在所述基臺的第二端。
[0016]進一步的，所述支撐部件包括:
[0017]用于支撐機械手的伸入至兩基臺之間的部分的支撐部；
[0018]以及活動連接于基臺上，用于移動所述支撐部的移動部。
[0019]進一步的，所述支撐部為一框架結構，具有用于供機械手的伸入至兩基臺之間的部分插入的中空區(qū)。
[0020]進一步的，所述移動部包括:一端與所述支撐部固定，另一端可移動地設置于基臺上的至少一個連接桿，所述連接桿能夠在垂直于基臺的表面的方向上進行往復運動，并在所述第一狀態(tài)時，帶動所述支撐部移動至兩基臺的相對的兩表面之間，在所述第二狀態(tài)時，帶動所述支撐部移動至兩基臺的相對的兩表面之間的區(qū)域之外。
[0021]進一步的，所述兩基臺包括第一基臺和位于所述第一基臺下方的第二基臺，其中，
[0022]所述第一基臺的表面上可移動地設置有用于吸附從機械手受取的待貼合基板，并在垂直于基臺的表面的方向上進行往復運動的多個吸附桿；
[0023]所述第二基臺的表面上設置有用于支撐從機械手受取的待貼合基板，并在垂直于基臺的表面的方向上進行往復運動的多個支撐桿。
[0024]進一步的，所述連接桿設置于所述第一基臺上，并與所述吸附桿通過同一驅動機構驅動進行往復運動。
[0025]進一步的，所述連接桿設置于所述第二基臺上。
[0026]本發(fā)明的有益效果如下:
[0027]本發(fā)明所提供的真空貼合設備，通過設置一支撐部件，可以在從機械手受取待貼合基板時，對機械手的伸入至兩基臺之間的部分(如牙叉)進行支撐，一方面，使得機械手上吸附的待貼合基板保持水平，從而保證基臺上的吸附桿吸取待貼合基板時的待貼合基板的平整度，減少基臺從機械手受取待貼合基板時待貼合基板的偏移量，提高貼合精度，另一方面，還可以使得伸入至基臺之間的機械手能夠快速達到穩(wěn)定狀態(tài)，減少機械手伸入設備后的穩(wěn)定時間，從而減少單件工時(Tact Time)。
【附圖說明】
[0028]圖1表示現(xiàn)有技術中的真空貼合設備的結構示意圖；
[0029]圖2表示機械手的牙齒由于重力原因發(fā)生彎曲的示意圖；
[0030]圖3表示本發(fā)明所提供的一種實施例中的真空貼合設備的結構示意圖。
[0031]圖4表示圖3的側視圖。
【具體實施方式】
[0032]以下結合附圖對本發(fā)明的原理和特征進行描述，所舉實例只用于解釋本發(fā)明，并非用于限定本發(fā)明的范圍。
[0033]針對現(xiàn)有技術中真空貼合設備在從機械手受取待貼合基板時機械手的伸入至基臺之間的部分由于重力原因而發(fā)生彎曲和顫動，從而影響貼合精度以及增加額外單件工時的技術問題，本發(fā)明提供了一種真空貼合設備，其能夠提高貼合精度，并減少單件工時。
[0034]本發(fā)明所提供的真空貼合設備，用于從機械手受取待貼合基板后，將待貼合基板進行貼合。如圖3和圖4所示，所述真空貼合設備包括:
[0035]相對設置的兩基臺100，每一基臺100包括用于吸附固定待貼合基板的表面，且兩基臺100的表面相對；
[0036]以及支撐部件200，所述支撐部件200設置于至少一基臺100上，用于從機械手400受取待貼合基板500時，對機械手400的伸入至兩基臺100之間的部分進行支撐，以使機械手400上吸附的待貼合基板500保持水平。
[0037]本發(fā)明所提供的真空貼合設備，通過設置一支撐部件200，可以在從機械手400受取待貼合基板500時，對機械手400的伸入至兩基臺100之間的部分(如:機械手400的牙叉)進行支撐，一方面，使得機械手400上吸附的待貼合基板500保持水平，從而能夠保證基臺100在吸取待貼合基板500時，待貼合基板500處于水平狀態(tài)，從而減少基臺100從機械手400受取待貼合基板500時待貼合基板500的偏移量，提高貼合精度，另一方面，還可以使得機械手400的伸入至基臺100之間的部分能夠快速達到穩(wěn)定狀態(tài)，從而減少機械手400伸入設備后的穩(wěn)定時間，減少單件工時(Tact Time)。
[0038]在本發(fā)明中，當機械手400的伸入至兩基臺100之間的部分(如:機械手400的牙叉)長度足夠(能夠自基臺100的一端伸入兩基臺100之間，并從基臺100的另一端伸出兩基臺100的相對的兩表面之間的區(qū)域之外)時，所述支撐部件200可以直接設置在兩基臺100的相對的兩表面之間的區(qū)域以外的位置，而不會妨礙從機械手400受取待貼合基板500之后兩基臺100相對靠近。然而，機械手400的伸入至兩基臺100之間的部分長度越大，越容易由于重力原因而發(fā)生彎曲，因此，通常機械手400的伸入至兩基臺100之間的部分的長度與待貼合基板500的長度相匹配，這樣，在從機械手400受取待貼合基板500時，支撐部件200需位于兩基臺100的相對的兩表面之間，以支撐機械手400的伸入至兩基臺100之間的部分，但是這樣支撐部件200在兩基臺100相對靠近時會對基臺100產(chǎn)生干涉，而妨礙基臺100的運動。
[0039]因此，為了避免支撐部件200妨礙基臺100的運動，在本發(fā)明所提供的實施例中，優(yōu)選的，所述支撐部件200可移動地設置于至少一基臺100上，具有第一狀態(tài)和第二狀態(tài)，其中，
[0040]在所述第一狀態(tài)，所述支撐部件200移動至兩基臺100的相對的兩表面之間，以對機械手400的伸入至兩基臺100之間的部分進行支撐，使機械手400上吸附的待貼合基板500保持水平；
[0041]在所述第二狀態(tài)，所述支撐部件200移動至兩基臺100的相對的兩表面之間的區(qū)域之外，以使兩基臺100能夠相對靠近而將待貼合基板500貼合。
[0042]采用上述方案，支撐部件200能夠移動，在從機械手400受取待貼合基板500時(即第一狀態(tài)時)，支撐部件200可以移動至兩基臺100的相對的兩表面之間，以對機械手400的伸入至兩基臺100之間的部分進行支撐，而當從機械手400受取待貼合基板500完成之后(即第二狀態(tài)時)，支撐部件200可以移動至兩基臺100的相對的兩表面之間的區(qū)域以外的位置，以使得兩基臺100相對靠近而將兩基臺100表面上的待貼合基板500進行貼合時，該支撐部件200不會與基臺100產(chǎn)生干涉。
[0043]此外，通常，機械手400的伸入至兩基臺100之間的部分(牙叉)的前端更容易因重力作用會發(fā)生彎曲以及顫動現(xiàn)象，因此，在本發(fā)明的實施例中，優(yōu)選的，如圖所示，所述基臺100包括第一端和與所述第一端相對的第二端，其中機械手400自所述基臺100第一端伸入兩基臺100之間，且所述支撐部件200設置在所述基臺100的第二端。
[0044]采用上述方案，將支撐部件200至少設置在基臺100的第二端，即，支撐部件200設置在機械手400的伸入至兩基臺100之間的部分的前端所對應的位置，用于對機械手400的伸入至兩基臺100之間的部分的前端進行支撐。應當理解的是，在實際應用中，所述支撐部件200也可以設置在其他位置，在此僅是提供了一種支撐部件200的優(yōu)選設置位置，但并不對支撐部件200的具體設置位置進行局限。
[0045]在本發(fā)明所提供的實施例中，優(yōu)選的，如圖3和圖4所示，所述支撐部件200包括:
[0046]用于支