專利名稱：真空貼合設(shè)備的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實(shí)用新型涉及一種貼合設(shè)備，特別是涉及一種真空貼合設(shè)備。
背景技術(shù)：
在TFT-IXD行業(yè)的封裝工藝中，通常采用真空貼合設(shè)備將涂布kalant的上基板和滴有LC的下基板在真空條件下進(jìn)行對位貼合，從而得到貼合基板。真空貼合設(shè)備通常包括固定于基座上的下基臺和與下基臺配合的上基臺。上基臺中心部設(shè)有上腔室，上腔室內(nèi)安裝有上吸附基板；下基臺中心部設(shè)有下腔室，下腔室內(nèi)安裝有下吸附基板，當(dāng)真空貼合設(shè)備工作時(shí)，上基臺在動(dòng)力系統(tǒng)的帶動(dòng)下慢慢落下，與下基臺緊密貼合，上腔室與下腔室對合形成用以提供真空環(huán)境的密封腔室。在腔室內(nèi)的真空環(huán)境下，由上吸附基板、下吸附基板分別吸附工件，完成貼合工作。日常生產(chǎn)中，上腔室與下腔室需要經(jīng)常維護(hù)。當(dāng)維護(hù)下腔室時(shí)，需將上基臺升起， 并用支撐柱對上基臺進(jìn)行支撐，防止其落下?，F(xiàn)有技術(shù)中的支撐柱均與上下基臺分離，需要使用時(shí)，由操作人員將支撐柱從操作側(cè)的支撐柱存放位置取出，搬送到下基臺指定位置，再固定安裝。由于支撐柱體積較大，搬送中容易擦傷上基臺的上吸附基板，損傷上吸附基板上的精細(xì)電路，降低上吸附基板的吸附能力，給生產(chǎn)造成不必要的損失。同時(shí)支撐柱多為金屬材質(zhì)，相對較重，搬送過程容易從操作人員手中脫落，對操作人員造成傷害。

實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問題是提供一種支撐上基臺操作簡單、安全的真空貼合設(shè)備。本實(shí)用新型的真空貼合設(shè)備，包括下基臺和上基臺，所述下基臺上安裝有支撐體， 所述支撐體的一端為連接部，所述支撐體的另一端為支撐部，所述連接部可旋轉(zhuǎn)連接于所述下基臺，所述連接部旋轉(zhuǎn)至初始位置，所述支撐部低于所述下基臺上表面，所述連接部旋轉(zhuǎn)至工作位置，所述支撐部高于所述下基臺上表面以支撐所述上基臺。本實(shí)用新型的真空貼合設(shè)備，其中，所述下基臺上表面設(shè)置有安裝槽，所述支撐體的連接部可旋轉(zhuǎn)連接于所述安裝槽內(nèi)。本實(shí)用新型的真空貼合設(shè)備，其中，所述支撐體上遠(yuǎn)離可旋轉(zhuǎn)連接點(diǎn)的一端開有螺孔，所述螺孔內(nèi)設(shè)置有螺栓，所述支撐部為所述螺栓，所述螺栓上套有用于固定所述螺栓與所述螺孔的緊固螺母。本實(shí)用新型的真空貼合設(shè)備，其中，所述支撐體還包括把手，所述連接部旋轉(zhuǎn)至工作位置時(shí)，所述把手位于所述下基臺上表面之上且與所述下基臺上表面接觸。本實(shí)用新型的真空貼合設(shè)備，其中，所述安裝槽為四個(gè)，所述下基臺的前邊的上表面開有兩個(gè)所述安裝槽，所述前邊的上表面的兩個(gè)所述安裝槽以所述下基臺的縱向中軸線為軸左右對稱，所述下基臺的左邊的上表面、所述下基臺的右邊的上表面分別開有一個(gè)所述安裝槽，所述下基臺的左邊的上表面的所述安裝槽、所述下基臺的右邊的上表面的所述安裝槽以所述下基臺的縱向中軸線為軸左右對稱，所述四個(gè)安裝槽內(nèi)分別安裝有所述支撐體。本實(shí)用新型的真空貼合設(shè)備，其中，所述連接部可旋轉(zhuǎn)連接于所述下基臺的外側(cè)表面。本實(shí)用新型的真空貼合設(shè)備，其中，所述下基臺的外側(cè)表面上設(shè)置有連接部螺栓， 所述連接部上設(shè)置有連接部螺孔，所述連接部螺栓與所述連接部螺孔配合，所述支撐體可圍繞所述連接部螺栓旋轉(zhuǎn)。本實(shí)用新型的真空貼合設(shè)備，其中，所述下基臺的外側(cè)表面上固定有用于限制所述支撐體的限位螺栓，所述支撐體上設(shè)置有與所述限位螺栓配合的限位槽，所述連接部旋轉(zhuǎn)至所述初始位置，所述限位槽與所述限位螺栓配合。本實(shí)用新型的真空貼合設(shè)備，其中，支撐體上設(shè)置有向所述下基臺的外側(cè)彎曲的曲折部，所述連接部旋轉(zhuǎn)至工作位置時(shí)，所述曲折部面向所述連接部螺栓的一邊位于所述下基臺的上表面之上且與所述下基臺的上表面接觸。本實(shí)用新型的真空貼合設(shè)備，其中，所述支撐體分別通過所述連接部螺栓安裝于所述下基臺的前邊的外側(cè)表面上、所述下基臺的左邊的外側(cè)表面上、所述下基臺的右邊的外側(cè)表面上，所述下基臺的前邊的外側(cè)表面上、所述下基臺的左邊的外側(cè)表面上、所述下基臺的右邊的外側(cè)表面上分別固定有用于限制所述支撐體的所述限位螺栓。當(dāng)對本實(shí)用新型的真空貼合設(shè)備進(jìn)行維護(hù)時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)下基臺上的支撐體，使連接部由初始位置旋轉(zhuǎn)到工作位置，即可實(shí)現(xiàn)對上基臺的支撐，由此避免了搬送操作中對設(shè)備可能造成的損傷，且不需要操作人員遠(yuǎn)距離搬運(yùn)支撐柱，安全可靠，提高了工作效率。

圖1為本實(shí)用新型的真空貼合設(shè)備的第一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為圖1中下基臺的結(jié)構(gòu)示意圖的俯視圖；圖3為圖1中下基臺的結(jié)構(gòu)示意圖的主視圖，示出了支撐體工作時(shí)的結(jié)構(gòu)；圖4為本實(shí)用新型的真空貼合設(shè)備的第一種實(shí)施例中的支撐體的主視圖；圖5為圖4的左視圖；圖6為本實(shí)用新型的真空貼合設(shè)備的第二種實(shí)施例中下基臺的結(jié)構(gòu)示意圖的俯視圖；圖7為圖6的主視圖，示出了支撐體工作時(shí)的結(jié)構(gòu)；圖8為圖6的A局部放大圖；圖9為圖7中的支撐體的主視圖。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例一如圖1所示，本實(shí)用新型的真空貼合設(shè)備包括固定于基座上的下基臺1和與下基臺1配合的上基臺2。上基臺2中心部設(shè)有上腔室9，上腔室9內(nèi)安裝有上吸附基板8，下基臺1中心部設(shè)有下腔室3，下腔室3內(nèi)安裝有下吸附基板7。結(jié)合圖2所示，下基臺1包括下腔室3左右方的左邊11、右邊12及下腔室3前后方的前邊18、后邊19。下基臺1上安裝有支撐體21，支撐體21的一端為連接部，支撐體21的另一端為支撐部，支撐體21的連接部可旋轉(zhuǎn)連接于下基臺1，支撐體21的連接部旋轉(zhuǎn)至初始位置，支撐體21的支撐部低于下基臺1上表面，支撐體21的連接部旋轉(zhuǎn)至工作位置，支撐體21的支撐部高于下基臺上表面以支撐上基臺2。下基臺的前邊18的上表面分別開有兩個(gè)安裝槽16。左邊11的上表面、右邊12的上表面分別開有安裝槽16。前邊18的上表面的兩個(gè)安裝槽16以下基臺1的縱向中軸線為軸左右對稱。下基臺1的左邊11的上表面的安裝槽16、下基臺1的右邊12的上表面的安裝槽16以下基臺1的縱向中軸線為軸左右對稱。四個(gè)安裝槽16內(nèi)分別安裝有支撐體21。結(jié)合圖4、圖5所示，支撐體21的連接部開有貫穿支撐體21的小孔。通過此小孔并利用鉚釘，支撐體21的連接部可旋轉(zhuǎn)連接于安裝槽16內(nèi)部。支撐體21的遠(yuǎn)離可旋轉(zhuǎn)連接點(diǎn)的一端開有螺孔23。螺孔23內(nèi)設(shè)有用于支撐的螺栓M。螺栓M上套有用于固定螺栓M與螺孔23的緊固螺母四。螺栓M即為本實(shí)施例中的用于支撐上基臺2的支撐部。 支撐體21包括弓形的把手22，支撐體21的連接部旋轉(zhuǎn)至工作位置時(shí)，把手22位于下基臺 1的上表面之上且與下基臺1的上表面接觸。為保證上下基臺2、1的緊密貼合，當(dāng)支撐體21放倒于安裝槽16內(nèi)時(shí)，也就是連接部位于初始位置時(shí)，螺栓M及把手22的高度應(yīng)低于下基臺1的上表面。當(dāng)本實(shí)用新型真空貼合設(shè)備工作時(shí)，上基臺2在動(dòng)力系統(tǒng)的帶動(dòng)下慢慢落下，與下基臺1緊密貼合，下基臺1的下腔室3與上基臺2中心的上腔室9形成用以提供真空環(huán)境的腔室。在腔室內(nèi)的真空環(huán)境下，由上吸附基板8、下吸附基板7分別吸附工件，完成貼合工作。結(jié)合圖3所示，當(dāng)對下基臺1的下腔室3維護(hù)時(shí)，將上基臺2升起，用手握住把手 22，將支撐體21旋轉(zhuǎn)豎起，然后旋轉(zhuǎn)螺栓M，使其上升至適當(dāng)高度，再利用緊固螺母四鎖住螺栓對。這時(shí)，作為支撐部的螺栓M位于工作位置。利用多個(gè)螺栓M的向上平面就可以快速便捷實(shí)現(xiàn)對上基臺2的支撐。當(dāng)維護(hù)結(jié)束，分別將螺栓M收回支撐體21內(nèi)，分別將支撐體21旋轉(zhuǎn)放倒，使其收回各自的安裝槽內(nèi)，本實(shí)用新型真空貼合設(shè)備又可以正常工作。實(shí)施例二本實(shí)施例同實(shí)施例一的區(qū)別是下基臺1上安裝了不同的支撐體。如圖6所示，本實(shí)施例的真空貼合設(shè)備的下基臺1的前邊18的外側(cè)表面安裝有兩個(gè)支撐體30。下基臺1的左邊11的外側(cè)表面、右邊12的外側(cè)表面分別可旋轉(zhuǎn)連接一個(gè)支撐體30。支撐體30的一端為連接部，支撐體30的另一端為支撐部，支撐體30的連接部可旋轉(zhuǎn)連接于下基臺1，支撐體30的連接部旋轉(zhuǎn)至初始位置，支撐體30的支撐部低于下基臺 1上表面，支撐體30的連接部旋轉(zhuǎn)至工作位置，支撐體30的支撐部高于下基臺上表面以支撐上基臺2。結(jié)合圖8、圖9所示，下基臺1的外側(cè)表面上設(shè)置有連接部螺栓37，支撐體30的連接部上設(shè)置有連接部螺孔，連接部螺栓37與連接部螺孔配合，支撐體30可圍繞所述連接部螺栓37旋轉(zhuǎn)。下基臺1的外側(cè)表面上固定有用于限制支撐體30的限位螺栓36，支撐體30 上設(shè)置有與限位螺栓37配合的限位槽51，當(dāng)支撐體30的連接部旋轉(zhuǎn)至初始位置，限位槽 51與限位螺栓36配合。支撐體30上設(shè)置有向下基臺1的外側(cè)彎曲的曲折部52，連接部旋轉(zhuǎn)至工作位置時(shí)，曲折部52面向連接部螺栓37的一邊53位于下基臺1的上表面之上且與下基臺1的上表面接觸。支撐體30分別通過連接部螺栓37安裝于下基臺1的前邊18的外側(cè)表面上、下基臺1的左邊11的外側(cè)表面上、下基臺1的右邊12的外側(cè)表面上，下基臺1的前邊18的外側(cè)表面上、下基臺1的左邊11的外側(cè)表面上、下基臺1的右邊12的外側(cè)表面上分別固定有限位螺栓36。結(jié)合圖7所示，當(dāng)對下基臺1的下腔室3維護(hù)時(shí)，將上基臺2升起，支撐體30旋轉(zhuǎn) 90度，然后沿連接部螺栓37輕推，使曲折部52卡在下基臺1的上表面上，曲折部52面向連接部螺栓37的一邊53位于下基臺1的上表面之上且與下基臺1的上表面接觸。支撐體30 的支撐部向上伸出。利用四個(gè)支撐部的向上平面就可以快速便捷實(shí)現(xiàn)對上基臺2的支撐。當(dāng)維護(hù)結(jié)束，分別將支撐體30旋轉(zhuǎn)放倒，使支撐體30的支撐部低于下基臺1的上表面，即連接部旋轉(zhuǎn)至初始位置。本實(shí)用新型的真空貼合設(shè)備又可以正常工作。以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型原理的前提下，還可以作出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
權(quán)利要求1.一種真空貼合設(shè)備，包括下基臺(1)和上基臺O)，其特征在于，所述下基臺(1)上安裝有支撐體，所述支撐體的一端為連接部，所述支撐體的另一端為支撐部，所述連接部可旋轉(zhuǎn)連接于所述下基臺(1)，所述連接部旋轉(zhuǎn)至初始位置，所述支撐部低于所述下基臺(1) 上表面，所述連接部旋轉(zhuǎn)至工作位置，所述支撐部高于所述下基臺上表面以支撐所述上基臺⑵。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空貼合設(shè)備，其特征在于，所述下基臺(1)上表面設(shè)置有安裝槽(16)，所述支撐體的連接部可旋轉(zhuǎn)連接于所述安裝槽(16)內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空貼合設(shè)備，其特征在于，所述支撐體上遠(yuǎn)離可旋轉(zhuǎn)連接點(diǎn)的一端開有螺孔(23)，所述螺孔內(nèi)設(shè)置有螺栓(M)，所述支撐部為所述螺栓(M)， 所述螺栓04)上套有用于固定所述螺栓04)與所述螺孔的緊固螺母09)。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的真空貼合設(shè)備，其特征在于，所述支撐體還包括把手(22)，所述連接部旋轉(zhuǎn)至工作位置時(shí)，所述把手位于所述下基臺上表面之上且與所述下基臺上表面接觸。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的真空貼合設(shè)備，其特征在于，所述安裝槽(16)為四個(gè)，所述下基臺的前邊(18)的上表面開有兩個(gè)所述安裝槽(16)，所述前邊(18)的上表面的兩個(gè)所述安裝槽(16)以所述下基臺⑴的縱向中軸線為軸左右對稱，所述下基臺⑴的左邊(11) 的上表面、所述下基臺(1)的右邊(1 的上表面分別開有一個(gè)所述安裝槽(16)，所述下基臺⑴的左邊(11)的上表面的所述安裝槽(16)、所述下基臺⑴的右邊(12)的上表面的所述安裝槽(16)以所述下基臺(1)的縱向中軸線為軸左右對稱，所述四個(gè)安裝槽(16)內(nèi)分別安裝有所述支撐體。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空貼合設(shè)備，其特征在于，所述連接部可旋轉(zhuǎn)連接于所述下基臺(1)的外側(cè)表面。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的真空貼合設(shè)備，其特征在于，所述下基臺(1)的外側(cè)表面上設(shè)置有連接部螺栓，所述連接部上設(shè)置有連接部螺孔，所述連接部螺栓與所述連接部螺孔配合，所述支撐體可圍繞所述連接部螺栓旋轉(zhuǎn)。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的真空貼合設(shè)備，其特征在于，所述下基臺(1)的外側(cè)表面上固定有用于限制所述支撐體的限位螺栓(36)，所述支撐體上設(shè)置有與所述限位螺栓(36)配合的限位槽，所述連接部旋轉(zhuǎn)至所述初始位置，所述限位槽與所述限位螺栓(36)配合。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的真空貼合設(shè)備，其特征在于，支撐體上設(shè)置有向所述下基臺 (1)的外側(cè)彎曲的曲折部，所述連接部旋轉(zhuǎn)至工作位置時(shí)，所述曲折部面向所述連接部螺栓的一邊位于所述下基臺(1)的上表面之上且與所述下基臺(1)的上表面接觸。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的真空貼合設(shè)備，其特征在于，所述支撐體分別通過所述連接部螺栓安裝于所述下基臺(1)的前邊(18)的外側(cè)表面上、所述下基臺(1)的左邊(11)的外側(cè)表面上、所述下基臺(1)的右邊(1 的外側(cè)表面上，所述下基臺(1)的前邊(18)的外側(cè)表面上、所述下基臺(1)的左邊(11)的外側(cè)表面上、所述下基臺(1)的右邊(1 的外側(cè)表面上分別固定有用于限制所述支撐體的所述限位螺栓(36)。
專利摘要本實(shí)用新型提供了一種真空貼合設(shè)備，包括下基臺和上基臺，下基臺上安裝有支撐體，支撐體的一端為連接部，支撐體的另一端為支撐部，連接部可旋轉(zhuǎn)連接于所述下基臺，連接部旋轉(zhuǎn)至初始位置，支撐部低于所述下基臺上表面，連接部旋轉(zhuǎn)至工作位置，支撐部高于所述下基臺上表面以支撐所述上基臺。當(dāng)對本實(shí)用新型的真空貼合設(shè)備進(jìn)行維護(hù)時(shí)，轉(zhuǎn)動(dòng)下基臺上的支撐體，使連接部由初始位置旋轉(zhuǎn)到工作位置，即可實(shí)現(xiàn)對上基臺的支撐，由此避免了搬送操作中對設(shè)備可能造成的損傷，且不需要操作人員遠(yuǎn)距離搬運(yùn)支撐柱，安全可靠，提高了工作效率。
文檔編號B32B43/00GK202045971SQ20112009541
公開日2011年11月23日 申請日期2011年4月1日 優(yōu)先權(quán)日2011年4月1日
發(fā)明者劉亮, 楊國波 申請人:京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 成都京東方光電科技有限公司