專利名稱：：一種用于印刷電路板的光固化噴墨抗蝕劑及其制備方法
技術領域：
：本發(fā)明涉及一種用于印刷電路板的光固化噴墨抗蝕劑及其制備方法。背暈技術光致抗蝕劑也稱光刻膠，主要應用于電子工業(yè)中集成電路和半導體分立器件的細微加工過程中。人類最先應用在電子工業(yè)上的光刻膠是1954年由Eastman-Kodak公司合成的聚乙烯醇肉桂酸酯及其衍生物類光刻膠體系。1958年同一公司又開發(fā)出環(huán)化橡膠——雙疊氮系光刻膠，使集成電路制作的產業(yè)化成為現實。傳統(tǒng)的印刷線路板(PCB)的制造工藝包括基片處理、涂膠、前烘、曝光、中烘、顯影、后烘、去膠。在制作過程中往往需要多次甚至幾十次的光刻，每次光刻均需要完成上述的工作循環(huán)，過程非常復雜。與此同時，即使是使用抽真空的方法而使掩膜與預涂覆了感光抗蝕材料的PCB板緊密貼附，仍然會在層與層之間存在縫隙，導致在曝光時產生衍射，使圖象失真。因此運用傳統(tǒng)方法制作的PCB板的分辨率、對位以及產品的成品率都難以達到要求。噴墨技術制造PCB板是使用專用的噴墨打印機，直接將光致抗蝕劑準確地噴打在覆銅板上所需的地方而獲得電路圖形，不需要顯影以及掩膜的制作這些復雜的工藝過程。與傳統(tǒng)工藝相比，此方法大大簡化了PCB板的制作工藝，節(jié)約成本，并且由于不需要掩膜，從而有效地提高了PCB板的分辨率。US005270368A公開了一種光固化抗蝕刻噴墨油墨，該油墨包含兩種或多種丙烯酸樹脂、光引發(fā)劑、有機載體(溶劑)。所選用的樹脂粘度較大，通過加入溶劑來降低粘度以滿足噴墨的要求。但是，揮發(fā)性溶劑的加入無法滿足目前綠色環(huán)保的要求，并且對PCB板的分辨率也會產生不良影響。US20060154033Al報道了一種制備電子裝置的方法和油墨。所制得的抗蝕刻油墨不含溶劑，通過選擇合適的單體來滿足噴墨的要求。但是，這種抗蝕刻油墨光固化速度慢，不利于提高PCB板的分辨率。
發(fā)明內容本發(fā)明的目的在于提供一種印刷電路板(PCB)用新型光固化噴墨抗蝕劑及其制備方法。采用含羧基的丙烯酸酯類低聚物、丙烯酸酯類低粘度樹脂以及采用自由基、陽離子混合固化方式，使抗蝕劑具有良好的脫膜性、固化時間短、分辨率高，可以利用噴墨的技術，將噴墨抗蝕劑噴在覆銅板的特定區(qū)域，光固化后形成抗蝕刻圖形。制得的固化膜硬度高、柔韌性好，并且具有良好的抗蝕性。本發(fā)明的一種印刷電路板(PCB)用新型光固化噴墨抗蝕劑，其組成及質量百分含量為A丙烯酸酯類低聚物10%~60%，優(yōu)選范圍是20%~50%，其中含羧基的丙烯酸酯類低聚物占A組份的1090%，優(yōu)選范圍是40~80%，丙烯酸酯類低粘度樹脂占A組份的10~90%，優(yōu)選范圍是20~60%;B丙烯酸酯類活性單體20~70%，優(yōu)選范圍是3060%;C乙烯基醚類活性單體550%，優(yōu)選范屈是10-30%;D光引發(fā)劑1~8%，優(yōu)選范圍是3~5%;E染料0.5~5%，優(yōu)選范圍是1~2%;F消泡劑0.1~1.0%;G流平劑0.11.0。/o;H潤濕分散劑0.1~1.0°/。；I阻聚劑0.1~1.0%。所述的含羧基的丙烯酸酯類低聚物為粘度范圍100~6000mPa*s(25°C),優(yōu)選范圍是100-3000mPa's(25°C),酸值范圍20~200mgKOH/g的含羧基的聚酯丙烯酸酯、含羧基的丙烯酸酯、含羧基的甲基丙烯酸酯、芳香酸丙烯酸半酯、芳香酸甲基丙烯酸半酯中的一種或它們的混合物，其中酸值表征了丙烯酸酯類低聚物的羧基含量。所述的丙烯酸酯類低粘度樹脂為粘度范圍100500mPa's(25。C)的丙烯酸酯樹脂。此低粘度樹脂粘度低、官能度大，可以在降低粘度的同時有效的提高體系的光固化速度，進而提高抗蝕劑的分辨率。所述的丙烯酸酯類活性單體為單官能團、雙官能團、多官能團三種官能團活性丙烯酸酯類單體以1~3:3~5:1~3的質量比混合的混合物。單官能團丙烯酸酯類單體為下列物質中的任何一種或它們的組合丙烯酸丁酯、丙烯酸異辛酯、丙烯酸異癸酯、丙烯酸月桂酯、丙烯酸羥乙酯、丙烯酸羥丙酯、甲基丙烯酸羥乙酯、甲基丙烯酸羥丙酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸異冰片酯、甲基丙烯酸四氫呋喃甲酯、丙烯酸苯氧基乙酯、苯乙烯、醋酸乙烯酯、N-乙烯基吡咯烷酮、丁基丙烯酸酯、二乙基己基丙烯酸酯、正己基丙烯酸酯、環(huán)己基丙烯酸酯、正癸基丙烯酸酯、雙環(huán)戊烯氧乙基丙烯酸酯、苯氧基乙基丙烯酸酯、4-羥丁基乙烯基醚、甘油碳酸酯丙稀基醚、十二烷基乙烯基醚、甲氧基聚乙二醇(350)單甲基丙烯酸酯、甲氧基聚乙二醇(350)單丙烯酸酯、甲氧基聚乙二醇(550)單甲基丙烯酸酯、甲氧基聚乙二醇(550)單丙烯酸酯、甲氧基三丙二醇單丙烯酸酯、甲氧基丙氧基新戊二醇單丙烯酸酯。雙官能團丙烯酸酯類單體為下列物質中的任何一種或它們的組合新戊二醇二丙烯酸酯、乙氧基新戊二醇二丙烯酸酯、丙氧基新戊二醇二丙烯酸酯、二丙二醇類二丙烯酸酯、三丙二醇類二丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、1，4-丁二醇二丙烯酸酯、1，6-己二醇二丙烯酸酯、二乙二醇類二丙烯酸酯、三乙二醇類二丙烯酸酯、聚乙二醇(200)二丙烯酸酯、聚乙二醇(400)二丙烯酸酯、聚乙二醇(600)二丙烯酸酯、雙酚A二丙烯酸酯、鄰苯二甲酸乙二醇二丙烯酸酯、三甘醇二乙烯基醚、1,4-環(huán)己基二甲醇二乙烯基醚、甲氧基乙氧基三羥甲基丙烷二丙烯酸酯。多官能團丙烯酸酯類單體為下列物質中的任何一種或它們的組合三羥甲基丙垸三丙烯酸酯、乙氧基三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、9乙氧基三羥甲基丙垸三丙烯酸酯、丙氧基三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二縮三羥甲基丙烷四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯。所述的乙烯基醚類活性單體為下列物質中的任何一種或它們的組合-三甘醇二乙烯基醚、1，4-環(huán)己基二甲醇二乙烯基醚、4-羥丁基乙烯基醚、甘油碳酸酯丙烯基醚、十二烷基乙烯基醚。所述的光引發(fā)劑為自由基型光引發(fā)劑、陽離子型光引發(fā)劑的任何一種或以35:1~3的質量比混合的混合物。自由基型光引發(fā)劑為下列物質中的任何一種或它們的組合苯偶姻、苯偶酰、a，a，-二甲基苯偶酰縮酮、a，a-二乙氧基苯乙酮、2-羥基-2-甲基-1-苯基丙酮、1-羥基環(huán)己基苯甲酮、2-羥基-2-甲基-l-對羥乙基醚基苯基丙酮、2-甲基l-(4-甲巰基苯基)-2-嗎啉l-丙酮、2-芐基-2-二甲氨基-1-(4-嗎啉苯基)l-丁酮、2，4，6-三甲基苯甲酰基乙氧基苯基氧化磷、2，4,6-三甲基苯甲?；交趸?、雙(2，4,6-三甲基苯甲?；?苯基氧化膦、4-對甲苯巰基二苯甲酮、二苯甲酮、2，4,6-三甲基二苯甲酮、4-甲基二苯甲酮、4,4，-雙(二甲氨萄二苯甲酮、4,4，-雙(二乙氨基)二苯甲酮、4，4，-雙(甲基、乙基氨基)二苯甲酮、異丙基硫雜蒽酮、2-氯硫雜蒽酮、l-氯-4-丙氧基硫雜蒽酮、2,4-二乙基硫雜蒽酮、2-乙基蒽醌。陽離子型光引發(fā)劑為下列物質中的任何一種或它們的組合雙十二烷基苯碘鐵鹽、長鏈垸氧基二苯基碘総鹽、雙(4，4'-硫醚三苯基硫錄)六氟銻酸鹽、苯硫基苯基二苯基硫錄六氟銻酸鹽、雙(4，4，-硫醚三苯基硫総)六氟磷酸鹽、苯硫基苯基二苯基硫鎗六氟磷酸鹽、tf-異丙苯茂鐵六氟磷酸鹽。所述的染料為藍色或綠色染料。藍色染料為下列物質中的任何一種或它們的組合酸性翠藍2G、弱酸性藍AS、酸性藍2G、酸性藍78、酸性湖藍V、酸性艷藍R、酸性藍G、弱酸性深藍5R、弱酸性深藍GR、酸性絡合藍GGN、直接藍2B、直接耐曬藍FRL、分散藍BGL、分散深藍H-3G、分散藍FFR、分散翠藍HBF、分散藍2BLN、分散艷藍G，上述均為藍色染料商品牌號。綠色染料為下列物質中的任何一種或它們的組合還原艷綠3B、還原艷綠2G、還原橄欖綠B、硫化艷綠GB、堿性綠，上述均為綠色染料商品牌號。本發(fā)明所用的消泡劑、流平劑、潤濕分散劑、阻聚劑都是現有技術中光固化常用的，如消泡劑可以是下列物質中的任何一種或它們的組合德謙2700、3100、5300、迪高Foamex810、FoamexN、Airex920、Airex986、畢克BYK055、BYK088、BYK020、BYK067A、埃夫卡Efka2720、Efka2721，上述均為消泡劑商品牌號。流平劑可以是下列物質中的任何一種或它們的組合德謙431、432、488、495、810、迪高Glide100、Glide432、Glide435、Glide440、Flow300、Flow425、FlowZFS460、畢克BYK333、BYK371、BYK373、BYK361、TROYTroysolS366、科寧PerenolS71uv、PerenolS83uv、埃夫卡Efka3883，上述均為流平劑商品牌號。潤濕分散劑可以是下列物質中的任何一種或它們的組合德謙DP983、912、畢克BYKP-105、Disperbyk-lll、Disperbyk-180、Disperbyk-168、迪高Dispers680UV、Dispers681UV、Dispers710、Dispers652、科寧TexaphorP61、埃夫卡Efka4800，上述均為潤濕分散劑商品牌號。阻聚劑可以是下列物質中的任何一種或它們的組合對羥基苯甲醚、對苯二酚、2,6-二叔丁基對甲苯酚、FIRSTCUREST-l(商品牌號)、FIRSTCUREST-2(商品牌號)。本發(fā)明還提供了一種用于印刷電路板的光固化噴墨抗蝕劑的制備方法，依次包括下列步驟首先將含羧基的丙烯酸酯類低聚物、丙烯酸酯類低粘度樹脂、丙烯酸酯類活性單體、乙烯基醚類活性單體攪拌混合均勻，再在黃光(濾去波長小于420nm的光)條件下加入光引發(fā)劑，升溫至使光引發(fā)劑充分溶解，然后降至室溫，按比例加入染料，攪拌至混合均勻，加入流平劑、潤濕分散劑、阻聚劑、消泡劑再均勻混合，經過濾制得。如上所述，在蝕刻后，光致抗蝕劑需在堿性條件下易于脫去，酸值范圍應在3540mgKOH/g之間。由于采用噴墨方法制作PCB板無需顯影這一工藝，則不需要用堿性不同的兩種堿性溶液對PCB板進行操作，因此對酸值的要求不再苛刻，本發(fā)明的光致噴墨抗蝕劑的酸值大于10mgKOH/g。本發(fā)明制備的用于PCB板的新型光固化噴墨抗蝕劑具有如下性能粘度《30mPa's(4(TC)，可保證油墨能夠連續(xù)噴出。酸值》10mgKOH/g、光固化時間6s10s、硬度2H3H、附著力0級、柔韌性12mm、耐蝕刻性好、堿溶性好。本發(fā)明制得的PCB板制作工藝簡單、綠色環(huán)保，滿足于目前對PCB板的需求。具體實施方式實施例1~10審IJ備用于印刷電路板(PCB)的新型光固化噴墨抗蝕劑各組分的質量百分含量見表l。首先將含羧基的丙烯酸酯類低聚物、丙烯酸酯類低粘度樹脂、丙烯酸酯類活性單體、乙烯基醚類活性單體混合均勻，再在黃光條件下加入光引發(fā)劑，升溫至5(TC使光引發(fā)劑充分溶解，再降至室溫按比例加入染料，使用攪拌、砂磨、分散多用機攪拌2小時后至混合均勻，加入流平劑、潤濕分散劑、阻聚劑、消泡劑再均勻混合，經過濾制得。用噴墨印刷機噴涂于基材表面，然后進行光固化，得到實驗樣板。表1用于PCB板的新型光固化噴墨抗蝕劑各組份及用量(質量百分濃度)<table>tableseeoriginaldocumentpage13</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage14</column></row><table>續(xù)表l<table>tableseeoriginaldocumentpage15</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage16</column></row><table>本發(fā)明實施例1-10制備的用于PCB板的新型光固化噴墨抗蝕劑的評價結果列于表2。評價方法如下粘度采用NDJ-79型旋轉粘度劑測定抗蝕刻油墨在4(TC時的粘度。酸值準確稱取0.10.5g抗蝕刻油墨溶解在50毫升丙酮和無水乙醇的等體積混合液中，以酚酞為指示劑，用0.1mol/LKOH水溶液，滴定至淺紅色出現為終點。酸值(KOHmg/g)氣VXMX56.1)/W。式中V是樣品消耗的氫氧化鉀水溶液體積(ml);56.1是氫氧化鉀的摩爾質量；W是樣品質量；M是氫氧化鉀的體積摩爾濃度。光固化時間將抗蝕刻油墨噴涂在干燥清潔的覆銅板上，然后將涂有油墨的基板在高壓汞燈下曝光，光固化能量為1000mJ/crn2，測定其曝光時間。鉛筆硬度參照GB6739-86，使用QHQ型涂膜鉛筆劃痕硬度儀測定實驗樣板在25'C時的鉛筆硬度。附著力參照GB9256-88，通過劃格實驗的方法判定實驗樣板的附著力好壞。柔韌性參照GB/T1731-93，使用QTX-1型漆膜彈性實驗器測定實驗樣板的柔韌性?？刮g刻性將實驗樣板浸于45°C、40波美度的FeCl3蝕刻液10分鐘，觀察其膜的狀態(tài)。涂膜完全無變化，邊緣陡直為優(yōu)，涂膜脫落為差。堿溶性將實驗樣板浸于6(TC、5M的NaOH溶液5分鐘，觀察脫膜性好壞。涂膜脫落為優(yōu)，部分脫落為差。表2實施例110評價結果<table>tableseeoriginaldocumentpage18</column></row><table>權利要求1.一種印刷電路板用光固化噴墨抗蝕劑，其組成及質量百分含量為A丙烯酸酯類低聚物10％～60％，其中含羧基的丙烯酸酯類低聚物占A組份的10～90％，丙烯酸酯類低粘度樹脂占A組份的10～90％；B丙烯酸酯類活性單體20～70％；C乙烯基醚類活性單體5～50％；D光引發(fā)劑1～8％；E染料0.5～5％；F消泡劑0.1～1.0％；G流平劑0.1～1.0％；H潤濕分散劑0.1～1.0％；I阻聚劑0.1～1.0％；其特征是組分A中含羧基的丙烯酸酯類低聚物是粘度范圍為100～6000mPa·s(25℃)，優(yōu)選范圍是100～3000mPa·s(25℃)，酸值范圍為20～200mgKOH/g的含羧基的聚酯丙烯酸酯、含羧基的丙烯酸酯、含羧基的甲基丙烯酸酯、芳香酸丙烯酸半酯、芳香酸甲基丙烯酸半酯中的一種或它們的混合物；組分A中丙烯酸酯類低粘度樹脂是粘度范圍為100～500mPa·s(25℃)的丙烯酸酯樹脂；組分C為下列物質中的任何一種或它們的混合物三甘醇二乙烯基醚、1，4-環(huán)己基二甲醇二乙烯基醚、4-羥丁基乙烯基醚、甘油碳酸酯丙烯基醚、十二烷基乙烯基醚。2.根據權利要求1的光固化噴墨抗蝕劑，其特征是光固化噴墨抗蝕劑中下列組份的質量百分含量為A丙烯酸酯類低聚物20%~50%，其中含羧基的丙烯酸酯類低聚物占A組份的40~80%，丙烯酸酯類低粘度樹脂占A組份的20~60%;B丙烯酸酯類活性單體30~60%;C乙烯基醚類活性單體1030%;D光引發(fā)劑35。/o;E染料1~2%。3.根據權利要求1或2的光固化噴墨抗蝕劑，其中組分B為單官能團、雙官能團、多官能團三種官能團活性丙烯酸酯類單體以13:3~5:1~3的質量比混合的混合物；所說的單官能團丙烯酸酯類單體為下列物質中的任何一種或它們的組合丙烯酸丁酯、丙烯酸異辛酯、丙烯酸異癸酯、丙烯酸月桂酯、丙烯酸羥乙酯、丙烯酸羥丙酯、甲基丙烯酸羥乙酯、甲基丙烯酸羥丙酯、甲基丙烯酸縮水甘油酯、丙烯酸異冰片酯、甲基丙烯酸四氫呋喃甲酯、丙烯酸苯氧基乙酯、苯乙烯、醋酸乙烯酯、N-乙烯基吡咯烷酮、丁基丙烯酸酯、二乙基己基丙烯酸酯、正己基丙烯酸酯、環(huán)己基丙烯酸酯、正癸基丙烯酸酯、雙環(huán)戊烯氧乙基丙烯酸酯、苯氧基乙基丙烯酸酯、4-羥丁基乙烯基醚、甘油碳酸酯丙稀基醚、十二烷基乙烯基醚、甲氧基聚乙二醇(350)單甲基丙烯酸酯、甲氧基聚乙二醇(350)單丙烯酸酯、甲氧基聚乙二醇(550)單甲基丙烯酸酯、甲氧基聚乙二醇(550)單丙烯酸酯、甲氧基三丙二醇單丙烯酸酯、甲氧基丙氧基新戊二醇單丙烯酸酯；雙官能團丙烯酸酯類單體為下列物質中的任何一種或它們的組合:新戊二醇二丙烯酸酯、乙氧基新戊二醇二丙烯酸酯、丙氧基新戊二醇二丙烯酸酯、二丙二醇類二丙烯酸酯、三丙二醇類二丙烯酸酯、乙二醇二丙烯酸酯、1，4-丁二醇二丙烯酸酯、1,6-己二醇二丙烯酸酯、二乙二醇類二丙烯酸酯、三乙二醇類二丙烯酸酯、聚乙二醇(200)二丙烯酸酯、聚乙二醇(400)二丙烯酸酯、聚乙二醇(600)二丙烯酸酯、雙酚A二丙烯酸酯、鄰苯二甲酸乙二醇二丙烯酸酯、三甘醇二乙烯基醚、1，4-環(huán)己基二甲醇二乙烯基醚、甲氧基乙氧基三羥甲基丙烷二丙烯酸酯；多官能團丙烯酸酯類單體為下列物質中的任何一種或它們的組合:三羥甲基丙垸三丙烯酸酯、乙氧基三羥甲基丙垸三丙烯酸酯、9乙氧基三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、丙氧基三羥甲基丙烷三丙烯酸酯、季戊四醇三丙烯酸酯、季戊四醇四丙烯酸酯、二縮三羥甲基丙垸四丙烯酸酯、二季戊四醇五丙烯酸酯、二季戊四醇六丙烯酸酯。4.根據權利要求1或2的光固化噴墨抗蝕劑，其中組分D為自由基型光引發(fā)劑、陽離子型光引發(fā)劑的任何一種或兩者以35:13的質量比混合的混合物；所說的自由基型光引發(fā)劑為下列物質中的任何一種或它們的組合:苯偶姻、苯偶酰、a，a'-二甲基苯偶?？s酮、a，a-二乙氧基苯乙酮、2-羥基-2-甲基-l-苯基丙酮、1-羥基環(huán)己基苯甲酮、2-羥基-2-甲基-l-對羥乙基醚基苯基丙酮、2-甲基l-(4-甲巰基苯基)-2-嗎啉l-丙酮、2-芐基-2-二甲氨基-l-(4-嗎啉苯基)l-丁酮、2,4,6-三甲基苯甲?；已趸交趸住?，4,6-三甲基苯甲?；交趸ⅰ㈦p(2，4,6-三甲基苯甲酰基)苯基氧化膦、4-對甲苯巰基二苯甲酮、二苯甲酮、2,4,6-三甲基二苯甲酮、4-甲基二苯甲酮、4，4，-雙(二甲氨基)二苯甲酮、4，4，-雙(二乙氨基)二苯甲酮、4，4，-雙(甲基、乙基氨基)二苯甲酮、異丙基硫雜蒽酮、2-氯硫雜蒽酮、l-氯-4-丙氧基硫雜蒽酮、2，4-二乙基硫雜蒽酮、2-乙基蒽醌；陽離子型光引發(fā)劑為下列物質中的任何一種或它們的組合雙十二烷基苯碘鎗鹽、長鏈垸氧基二苯基碘鎗鹽、雙(4，4'-硫醚三苯基硫鎗)六氟銻酸鹽、苯硫基苯基二苯基硫鑰六氟銻酸鹽、雙(4，4，-硫醚三苯基硫鐵)六氟磷酸鹽、苯硫基苯基二苯基硫鑰六氟磷酸鹽、η6-異丙苯茂鐵六氟磷酸鹽。5.根據權利要求1或2的光固化噴墨抗蝕劑，其中組分E為藍色或綠色染料；所說的藍色染料為下列物質中的任何一種或它們的組合酸性翠藍2G、弱酸性藍AS、酸性藍2G、酸性藍78、酸性湖藍V、酸性艷藍R、酸性藍G、弱酸性深藍5R、弱酸性深藍GR、酸性絡合藍GGN、直接藍2B、直接耐曬藍FRL、分散藍BGL、分散深藍H-3G、分散藍FFR、分散翠藍HBF、分散藍2BLN、分散艷藍G;綠色染料為下列物質中的任何一種或它們的組合還原艷綠3B、還原艷綠2G、還原橄欖綠B、硫化艷綠GB、堿性綠。6.—種用于印刷電路板的光固化噴墨抗蝕劑的制備方法，依次包括下列步驟首先將含羧基的丙烯酸酯類低聚物、丙烯酸酯類低粘度樹脂、丙烯酸酯類活性單體、乙烯基醚類活性單體攪拌混合均勻，再在黃光條件下加入光引發(fā)劑，升溫至使光引發(fā)劑充分溶解，然后降至室溫按比例加入染料，攪拌至混合均勻，加入流平劑、潤濕分散劑、阻聚劑、消泡劑再均勻混合，經過濾制得。全文摘要本發(fā)明涉及一種印刷電路板用光固化噴墨抗蝕劑及其制備方法。采用含羧基的丙烯酸酯類低聚物、丙烯酸酯類低粘度樹脂以及采用自由基、陽離子混合固化方式，使抗蝕劑具有良好的脫膜性、固化時間短、分辨率高，可以利用噴墨的技術，將噴墨抗蝕劑噴在覆銅板的特定區(qū)域，光固化后形成抗蝕刻圖形。制得的固化膜硬度高、柔韌性好，并且具有良好的抗蝕性。文檔編號G03F7/027GK101201543SQ20061016525公開日2008年6月18日申請日期2006年12月15日優(yōu)先權日2006年12月15日發(fā)明者玥王,杰魏申請人:北京化工大學