專利名稱：涂布有機材料的組合系統(tǒng)與方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明一般地涉及生產(chǎn)與篩選涂層集合的方法與設(shè)備，更具體地說，涉及在基體上平行沉積多層材料以形成涂層集合的方法與系統(tǒng)。
背景技術(shù)：
工業(yè)上已廣泛使用涂層來提高疏松材料的功能性與附加值。功能涂層一般有兩類無機涂層與有機涂層。無機涂層已用于半導(dǎo)體工業(yè)，如各種薄膜集成電路器件中，以及傳統(tǒng)工業(yè)，如蒸汽渦輪和飛機發(fā)動機翼面的隔熱涂層。有機涂層也廣泛用于多個工業(yè)保護/裝飾性應(yīng)用中，例如汽車表面的透明涂層、油漆等。其它涂層類型包括，例如，保護和防腐涂層、粘結(jié)與隔離涂層，環(huán)境阻隔涂層、導(dǎo)電/透光涂層、耐刮硬涂層等。功能涂層配方的發(fā)現(xiàn)給制造者帶來巨大效益。
但是，為加速各種涂布系統(tǒng)的發(fā)明過程，發(fā)展通用技術(shù)可能具有更高的價值，因為功能涂層的尋找和優(yōu)化，與其說是一門科學，不如說是一門技術(shù)。在尋找和優(yōu)化功能涂層中，理論指導(dǎo)的能力有限，很大程度上因為典型涂布系統(tǒng)的復(fù)雜性和所需達到的質(zhì)量要求的多樣性。一般而言，工業(yè)涂層配方必須滿足多功能要求，而為了獲得平衡配方，必須有多種相容的功能基團或共混物。此外，涂布系統(tǒng)的性能不僅依賴于配方/組成，而且依賴于加工條件與涂布方法。例如，取決于涂層涂布方法與加工條件的厚度均勻性與表面粗糙度在涂層質(zhì)量與重現(xiàn)性上很重要。而且，不同的加工條件，包括暴露于紫外光(UV)/電子束固化、不同的溫度/壓力以及多層涂層中各層的涂布順序，在決定最終涂層的結(jié)構(gòu)/組成上是非常重要的因素。此外，最終涂層的結(jié)構(gòu)/組成影響涂層的功能性。因此，因諸多變量，迄今發(fā)展的大多數(shù)可采用的工業(yè)涂布系統(tǒng)是在不斷摸索實驗過程中的偶然產(chǎn)物。

發(fā)明內(nèi)容
因此，目前需要一種方法來為各種制造應(yīng)用加速產(chǎn)生并研究功能涂層。因此，本發(fā)明提供高產(chǎn)制造并分析涂布材料陣列的系統(tǒng)與方法。
制造涂布材料陣列所用的一個實施方案的一個系統(tǒng)，包括多種有機材料和一個用來將多種有機材料中的每一種輸送至輸送區(qū)的機構(gòu)。輸送機構(gòu)具有多個源，每個源與多種有機材料中相應(yīng)的一種相連。多個源中的每個源為相應(yīng)有機材料提供一個至少部分位于輸送區(qū)內(nèi)的厚度分布，其中，至少一個厚度分布沿輸送區(qū)橫向變化。
制造涂布材料陣列所用的一個實施方案的一種方法，包括提供多種有機材料并選擇性地將多種有機材料中的每一種輸送至輸送區(qū)。輸送的多種有機材料中的每一種具有一個至少部分位于輸送區(qū)內(nèi)的厚度分布，其中，至少一個厚度分布沿輸送區(qū)橫向變化。
附圖簡述

圖1是一個用來制造涂布材料陣列的系統(tǒng)的示意圖。
圖2是由圖1中的系統(tǒng)形成的涂層集合的示意圖。
圖3是正在從輸送機構(gòu)源輸送至輸送區(qū)內(nèi)基體表面的蒸發(fā)材料的籠罩區(qū)。
圖4是輸自輸送機構(gòu)垂直聚焦設(shè)備的厚度沿輸送區(qū)橫向尺寸的分布圖。
圖5是輸自輸送機構(gòu)源斜聚焦設(shè)備的厚度沿輸送區(qū)橫向尺寸的分布圖。
圖6是輸自輸送機構(gòu)源垂直偏焦設(shè)備的厚度沿輸送區(qū)橫向尺寸的分布圖。
圖7是輸自輸送機構(gòu)源斜偏焦設(shè)備的厚度沿輸送區(qū)橫向尺寸的分布圖。
圖8是具有兩個相反輸送源的組合涂布系統(tǒng)的一個實施方案的側(cè)視圖。
圖9是由圖8系統(tǒng)形成的涂層集合的頂視圖。
圖10是一個三元組合涂布系統(tǒng)的一個實施方案的投影圖。
圖11是由圖10系統(tǒng)形成的涂層集合的頂視圖。
圖12是一個組合涂布系統(tǒng)的另一個實施方案的示意圖。
圖13是一個有多個花樣的掩膜的頂視圖，可應(yīng)用于圖12的系統(tǒng)中。
圖14是用圖12系統(tǒng)中圖13的掩膜形成的涂層集合的頂視圖。
圖15是示意一個蒸汽沉積組合涂布系統(tǒng)之一個實施方案的橫截面的側(cè)視圖。
具體實施例方式
參考圖1和2，一個用來制造形成涂層集合的涂布材料陣列的系統(tǒng)10，包括一個輸送機構(gòu)12，它將多種材料14中的一種材料或一種組合輸送到基體18的一個表面16，以形成涂層20。基體表面16具有多個預(yù)定區(qū)域22，位于輸送區(qū)24內(nèi)，優(yōu)選輸送區(qū)在系統(tǒng)10內(nèi)的一個固定位置上。定位輸送機構(gòu)12和/或多種材料14，以將多種材料中的每一種同時輸送或平行輸送至輸送區(qū)24。一個控制器26控制多種材料14中每一種的選擇、定量與輸送順序，從而使涂層20的組成能在基體表面16上的每個區(qū)域22之間變化，以形成一個涂層集合28。這樣，多個預(yù)定區(qū)22中的每個區(qū)都涂有多個預(yù)定涂層30之一。該多個預(yù)定涂層30包括多種材料14之一的單層涂層；多種材料組合物的單層涂層；一種多層涂層，其中每一層都是多種材料之一；以及一種多層涂層，其中每一層都是多種材料的一種組合物。此外，系統(tǒng)10可以包括一張掩膜32，與控制器26通信，以允許將多種材料14輸送到不同組合的多個預(yù)定區(qū)域22，形成多個預(yù)定涂層30。系統(tǒng)10也可包括一個固化源34，用來固化多種材料14，或者在它們被輸送到基體18的過程中，或者當它們一旦已沉積到基體上時。更進一步，系統(tǒng)10可包括一個試驗裝置36，以便在已涂布基體或涂層集合28上進行分析試驗，以確定多個預(yù)定涂層30中每個涂層的性能。掩膜32也可以由一個固定裝置35來固定，它任選地可以通過移動將掩膜定位于系統(tǒng)10內(nèi)。同樣，基體18可以由一個支承裝置37固定，它任選地可以通過移動將基體定位于系統(tǒng)10內(nèi)。因此，本發(fā)明提供一個制造并試驗涂層集合的系統(tǒng)與方法，該涂層集合具有一個涂層陣列，由同時聚焦或平行聚焦在基體上的多種材料形成。
輸送機構(gòu)12要構(gòu)造到使多種材料14中的每一種都可以從多個角度同時輸送或平行輸送到輸送區(qū)24。因此，輸送機構(gòu)12要定位或聚焦到使至少一部分輸送材料到達輸送區(qū)24，如以下更詳細的討論。輸送機構(gòu)12可以是單個裝置，或者，也可以是多個分立的裝置，每一個對應(yīng)于多種材料14之一。一個或多個輸送機構(gòu)12中每一個的位置優(yōu)選相對于輸送區(qū)24和相對于其它輸送機構(gòu)固定在系統(tǒng)10內(nèi)。優(yōu)選輸送機構(gòu)12將多種材料14中的每一種以蒸發(fā)或離子化形式噴射至輸送區(qū)24。輸送機構(gòu)12的適用實例包括任何類型的噴咀或噴槍，例如超聲、空氣、熱、無空氣槍，如用液壓力的那些；微波或射頻(“RF”)輸送機構(gòu)；噴墨打印頭；蒸氣沉積裝置，包括濺射，熱/電子/激光蒸發(fā)，化學蒸氣沉積(CVD)，分子束外延，等離子噴鍍；以及離子束沉積。
多種材料14包括多種狀態(tài)的無機材料和有機材料，例如固態(tài)、液態(tài)、氣態(tài)和蒸發(fā)或原子化材料。無機涂料的適用實例包括金屬、合金、陶瓷、氧化物、氮化物和硫化物。有機涂料的適用實例包括聚合物、齊聚物和小分子，其中小分子是反應(yīng)生成涂層的分立單體。聚合物材料包括，但不限于，聚碳酸酯、丙烯酸類、聚硅氧烷、纖維素酯、聚酯、醇酸樹脂、聚氨酯和乙烯基聚合物等等。優(yōu)選多種有機材料包括有機聚合物材料，如衍生自具有保護或裝飾功能的有機材料的“結(jié)構(gòu)”材料，尤其包括熱塑性或熱固性聚合物。多種無機材料優(yōu)選包括氧化物。更進一步，多種材料14優(yōu)選能被蒸發(fā)或原子化，并分別或組合地被噴涂或沉積在基體上，如果輸送到基體上的料量足夠多的話，蒸發(fā)或原子化的物質(zhì)在此處熔并而形成連續(xù)涂層。此外，材料或材料的組合可形成具有多個層的涂層，這種涂層可以是一種具有由每一層預(yù)定功能所決定的綜合功能的多功能涂層。材料可以組合起來，使多種有機材料或多種無機材料或有機與無機的組合物組合成一個涂層。此外，通過提供這類材料的組合，可以確定各種組合材料的相互作用和相容性。
涂層20是沉積在基體18上的一種材料或一種組合材料。這些材料可以保持為各自的均質(zhì)材料，也可以彼此反應(yīng)、相互作用、擴散、混合或組合，以形成一種新的均質(zhì)材料、混合物、復(fù)合材料或共混物。如前所述，涂層20可包括單層或多層。一般地說，涂層20的橫向尺寸，即沿基體表面橫向測量的長度，遠遠大于厚度，即垂直于基體表面的涂層量度。優(yōu)選每一層都是一個薄膜層。涂層20在組成上從一個預(yù)定區(qū)22到另一個區(qū)可變，任選地以連續(xù)方式，從而形成一個確定涂層集合28中多個預(yù)定涂層30的涂層陣列。涂層陣列中的每一個都隨它們的位置而彼此區(qū)別。而且，涂層陣列中的每一個都可以在相同條件下加工和分析，以確定它們有關(guān)功能或使用性能，然后相互比較以確定它們的相對應(yīng)用性。
多個預(yù)定區(qū)22中的每一個都是在基體18上的一個固定區(qū)，用來接受多種材料14中的一種材料或材料的組合，以形成單層或多層涂層。預(yù)定區(qū)22中的每個區(qū)具有足以接受并分析沉積在其上的涂層的任何形狀，如矩形、線形、弧形、圓形、橢圓形、它們的組合等。每個預(yù)定區(qū)22一般都有一個約0.01mm2-約100cm2的面積，優(yōu)選約1mm2-約1cm2，更優(yōu)選10mm2-約50mm2。也可以有其它面積，且每個預(yù)定區(qū)22的面積可以用沉積和分析裝置的能力及涂層集合的優(yōu)選密度來確定。
基體18是一種適合于接受和支持多種材料14中至少一種的剛性或半剛性材料?；w18至少有一個基本平整的包括多個預(yù)定區(qū)22的表面16。但是，基本平整的表面可以具有凸起部分以將多個預(yù)定區(qū)域22中的各區(qū)一一隔開?；w18可具有任何尺寸與形狀，但優(yōu)選是圓盤狀、板狀或長條狀，例如帶或輥?；w18上基本平整的表面16與輸送區(qū)24對應(yīng)，一般具有約1mm2-約1m2的面積，優(yōu)選約50mm2-約750cm2，更優(yōu)選約1cm2-約500cm2。
基體18可以由支承裝置37固定在系統(tǒng)10內(nèi)并定位于輸送區(qū)24內(nèi)。支承裝置37能通過移動來定位基體18。例如，對于一個長帶狀基體18，支承裝置37可包括一個送帶裝置和一個收帶裝置，兩者在輸送區(qū)24內(nèi)都可旋轉(zhuǎn)并支持可能與輥組合在一起的帶。在另一個實施例中，支承裝置37可以是一塊平板，基體放置并固定在其上，其中，該平板和一個控制平板與輸送區(qū)24相對位置的馬達或其它傳動型裝置相聯(lián)。因此，控制器26可以控制支承裝置37的位置，以控制材料14輸送到其上的預(yù)定區(qū)22。例如，控制器26可移動支承裝置37，使多個預(yù)定區(qū)22中預(yù)定的若干個在輸送區(qū)24以外，從而不會接受材料14中的一種或多種。
輸送區(qū)24是系統(tǒng)10內(nèi)一個固定位置上的區(qū)域。輸送區(qū)24可具有任何形狀或大小，一般，但不一定，形狀和尺寸基本對應(yīng)于基體18之一個表面16上的多個預(yù)定區(qū)22。但是，該多個預(yù)定區(qū)22可以比輸送區(qū)24大很多或小很多。輸送區(qū)24的固定定位為系統(tǒng)10提供了一個將多種材料14輸送至基體18之表面16的固定場所。
控制器26是一個有輸入、輸出、存儲和處理器的計算機系統(tǒng)，用來接收、輸送、存儲和處理信號和數(shù)據(jù)，以操作、監(jiān)控、記錄或功能性地控制系統(tǒng)10的操作?？刂破?6包括一個具有用來集成系統(tǒng)所有部件的界面板和一個用來控制掩膜32和基體18移動的移動控制器?？刂破?6可包括一個用來輸入數(shù)據(jù)和指令的鍵盤、一個用來顯示信息的顯示屏和一個打印信息的打印機?？刂破?6可包括軟件、硬件、操作系統(tǒng)和其它類似的部件以及用來操作系統(tǒng)10的電路?？刂破?6可以是單個裝置，也可以是聯(lián)動的多個裝置?？刂破?6優(yōu)選與系統(tǒng)10中所有的其它部件通信，包括輸送機構(gòu)12、多種材料14、基體18、掩膜32、固化源34、試驗裝置36、固定裝置35和支承裝置37，以便使系統(tǒng)同步運作。例如，控制器控制材料向基體的輸送，記錄在每一預(yù)定區(qū)構(gòu)成涂層的材料的精確組合。通過控制輸送，控制器可控制一種或多種材料體積、材料的組合、噴涂能力、涂布速度、噴射角、輸送機構(gòu)與基體之間的間距、屏蔽等。更進一步，控制器26控制、協(xié)調(diào)、組合和記錄輸送材料的輸送與固化、涂層集合的試驗和試驗結(jié)果的分析。
掩膜32是一種具有一種或多種由開口區(qū)和阻隔區(qū)組成的花樣的材料，其中開口區(qū)允許多種材料14輸送到基體18，而阻隔區(qū)阻隔輸送?；涌梢允侨魏涡螤睢Ｑ谀?2用來限定材料在涂層集合28中的空間變化。例如，在一個二元屏蔽系統(tǒng)中，掩膜包括多個花樣，它們順序排列，以允許輸送到基體18上交替的一半?yún)^(qū)域，這一點將在下面更詳細說明。掩膜32可位于多種材料14與基體18之間的任何地方，包括沿材料輸送線直接位于基體頂部并與基體接觸。通過增加掩膜32與基體18之間的間距，會產(chǎn)生一種稱做“陰影”的效果，這在某些情況下是不希望的。在陰影形成中，輸送到基體上的材料的花樣正比于掩膜的花樣，但更大，因為掩膜與基體間的間距允許輸送的花樣在到達基體之前膨脹。掩膜32可以由一種剛性或半剛性材料制成，或者，掩膜也可以是一種在基體表面形成的化合物。優(yōu)選掩膜材料要保證掩膜盡可能平整且耐彎和/或折。掩膜材料的適用實例包括硅、氧化硅和玻璃作剛性或較難彎曲的材料；片、膜或箔狀的塑料、金屬和合金作半剛性或較易彎曲的材料；以及光刻聚丙烯酸酯(“PMMA”)和形成負性或正性化學掩膜的其它化學材料。
掩膜32可以用固定裝置35固定在系統(tǒng)10內(nèi)并相對于輸送區(qū)24定位。固定裝置35可通過移動定位掩膜32。例如，對于一種帶有多個花樣的長條狀半剛性材料的掩膜32，固定裝置35可包括一個送帶裝置和一個收帶裝置，兩者都可相對于輸送區(qū)24旋轉(zhuǎn)并支持可能與輥組合的帶。在另一個實施例中，對于一種剛性材料形式的掩膜32，固定裝置35可以是一個與一臺馬達或其它傳動型裝置相聯(lián)的平臺或其它支持結(jié)構(gòu)，控制平臺和掩膜與輸送區(qū)24的相對位置。這樣就能通過移動掩膜32，利用多個花樣中的一個花樣來屏蔽基體18上的不同預(yù)定區(qū)22。這樣，控制器26就可控制固定裝置35的移動以控制在其上輸送材料14的預(yù)定區(qū)22。
固化源34是一個與多種材料14中的每一種通信的裝置，以造成與一種材料或材料的組合發(fā)生反應(yīng)或溶劑的揮發(fā)。例如，反應(yīng)可以是適合于輸送材料的聚合反應(yīng)、交聯(lián)反應(yīng)、小分子反應(yīng)、無機相反應(yīng)和其它類似的反應(yīng)。固化源34的適用實例包括與基體18通信的加熱裝置、與輸送材料或沉積材料通信的輻射裝置、微波裝置、等離子體裝置和它們的組合。
試驗裝置36是一個用來分析基體18上多個預(yù)定涂層30中每一個性能的系統(tǒng)。試驗裝置36使整個涂層集合28經(jīng)受相同的條件，以確定預(yù)定涂層30中每一個的相對性能。為編輯和分析試驗數(shù)據(jù)，試驗裝置36與控制器26通信。試驗裝置36的適用實例包括一臺厚度分布儀、一臺表面分析儀、一臺紫外(UV)吸收試驗儀、一臺滲透試驗儀、一臺耐刮擦試驗機以及試驗涂層結(jié)構(gòu)、保護、裝飾和其它功能特點的其它類似裝置。
參考圖3，來自輸送機構(gòu)12的材料的輸送輸送源38在籠罩區(qū)40內(nèi)以蒸發(fā)或原子化狀態(tài)輸送多種材料中的一種材料，為使涂層復(fù)蓋整個輸送區(qū)，籠罩區(qū)40優(yōu)選包圍輸送區(qū)24。源12是材料從輸送機構(gòu)的出料點。例如，源12可以是噴槍上的噴咀。但在有些情況下最好不要讓涂料籠罩整個輸送區(qū)24。例如，籠罩區(qū)40可以僅包圍一部分輸送區(qū)24，當基體18的一部分預(yù)定區(qū)22不需要被涂布且當時未用掩膜32來防止材料輸送到這些區(qū)域時?；\罩區(qū)40可以具有任何常見形狀，包括截面形狀不同的錐體，例如圓形、橢圓形和矩形；截面形狀不同的的半錐體；以及細線形?；\罩區(qū)40的形狀可取決于輸送區(qū)24的形狀、基體18之表面16的形狀、輸送機構(gòu)12、多個預(yù)定涂層30中每一個所需的組成、預(yù)定區(qū)22的形狀與個數(shù)、輸送源38的個數(shù)、擬輸送到基體18的材料14的種類數(shù)目和類似的因素?；\罩區(qū)40的形狀可以由輸送機構(gòu)12上的噴咀形狀、與輸送機構(gòu)相聯(lián)的空氣套或與輸送機構(gòu)相聯(lián)的其它決定形狀的結(jié)構(gòu)或裝置來控制。
參考圖3和4，在一個垂直聚焦設(shè)備41中，輸送源38有一個與輸送區(qū)24中心點44重合的焦點42，用來輸送材料14。輸送源38的放置要使材料14沿一個其中心線46基本垂直于輸送區(qū)24表面的輸送角對準中心點44。參考圖4，以一個基本垂直于輸送區(qū)平面49的輸送角α輸自圖3設(shè)備的涂層，沿輸送區(qū)24的一個尺寸50(如圖3的橫向尺寸)的截面厚度分布48，一般有一個二維的擬高斯分布或正態(tài)分布。因此厚度分布48具有一個與中心點44之上的中心線46重合的頂點52，而在中心線的每一側(cè)，有兩個相等的鏡影拖尾54。更進一步，輸送源38在與輸送區(qū)24的平面49垂直間距60的位置上(圖3)。垂直間距60影響厚度分布48的總寬度51，從而影響涂層在沿厚度分布任何給定點的厚度。因此，在這種情況下，厚度分布48的中心位于輸送區(qū)24的尺寸50內(nèi)，厚度在頂點52處最大，從中心線46向所有方向逐漸減小。
參考圖5，在一個斜聚焦設(shè)備55中，輸送源38有一個與輸送區(qū)24的中心點44重合的焦點42，用來輸送材料14，但是源的定位要使材料的中心線46相對于輸送區(qū)平面49有一個約0°-約90°的輸送角α。進一步，由于該斜而聚焦的輸送，輸送源38位于離中心點44水平間距53處。水平間距53是在一個平行于輸送區(qū)平面49的輸送源38的平面內(nèi)離垂直聚焦設(shè)備位置的距離。水平間距53、垂直間距60和輸送角α，在數(shù)學上全都相關(guān)，且可以改變到使厚度分布48位于輸送區(qū)24之內(nèi)。在該實施方案中，厚度分布48有一個畸變的高斯分布，帶有一個較靠近輸送源38的斜拖尾56和一個遠離源的長拖尾58。在長拖尾58中，一般是厚度分布48沿尺寸50基本隨長度線性變化的一個區(qū)域。因此，在這種情況下，厚度分布48在輸送區(qū)24的尺寸50內(nèi)發(fā)生了畸變，厚度在靠近有斜拖尾56的尺寸一端最大，而從頂點52朝對應(yīng)于長拖尾58的尺寸邊緣逐漸減小。
參考圖6，在一個垂直偏焦設(shè)備57中，輸送源38有一個用來輸送材料14的焦點42，它位于輸送區(qū)24的平面內(nèi)在尺寸50的方向上與中心點44的偏離距離59處。在這種情況下，中心線46位于一個基本垂直于輸送區(qū)24平面49的輸送角α上，偏離距離59基本上等于輸送源38離垂直聚焦設(shè)備位置的水平距離(見圖4)。還要指出，輸送機構(gòu)的焦點可以位于輸送區(qū)內(nèi)或輸送區(qū)外。因此，在該情況下，厚度分布48在輸送區(qū)24的尺寸50內(nèi)偏移，厚度在偏置的頂點52處最大，而在離中心線46的所有方向上逐漸減小。
參考圖7，在一個斜偏焦設(shè)備61內(nèi)，輸送源38有一個用來輸送材料14的焦點42，它位于尺寸50方向上偏離中心點44距離59處，這時，中心線46處于一個與輸送區(qū)24的平面49有一個約0°-約90°的輸送角α。在這種情況下，由于輸送角α和焦點42的偏離，輸送源38離垂直聚焦輸送點的水平間距53大于從焦點到中心點44的偏離距離59。因此，在該情況下，厚度分布48在輸送區(qū)24的尺寸50內(nèi)比圖5設(shè)備中的畸變更嚴重。
在圖4-7的每個設(shè)備中，輸送區(qū)24內(nèi)厚度分布48的平坦度將隨離輸送源38之間的垂直間距60而變化，其中平坦度將隨間距的增加而提高。而且，厚度分布48的平坦度將在輸送區(qū)24內(nèi)變化，取決于輸送角α、水平間距53和偏離距離59，其中，較小的角度和較大的水平間距與偏離距離將增加平坦度。例如，參考圖4，適當組合輸送角、水平間距和偏離距離，可使厚度分布48在輸送區(qū)24的尺寸50內(nèi)基本平坦。但是，隨間距縮短，厚度分布48在輸送區(qū)24的尺寸50內(nèi)，會從頂點52的最大厚度逐漸變到輸送區(qū)尺寸邊緣處的最小厚度。優(yōu)選涂層集合具有一個基本恒定的厚度，這樣，在對與每個預(yù)定區(qū)22相關(guān)的多個預(yù)定涂層30的分析中，就可取消厚度變量，從而集中研究涂層組成的影響。在操作中，實現(xiàn)厚度基本不變的涂層集合的方法是校正每個輸送機構(gòu)，從而在輸送區(qū)橫向上形成一個線性厚度分布。當使用多個輸送機構(gòu)時，優(yōu)選厚度分布的相同部分位于每個輸送機構(gòu)的輸送區(qū)內(nèi)。因此，本發(fā)明通過對多種材料14中每一種材料的各個輸送源38，改變垂直間距60、輸送角α和偏離距離59，能制成在基體18上的多個預(yù)定區(qū)22內(nèi)，涂層在組成、層數(shù)和厚度上變化很小的涂層集合。
參考圖8和9，在一個組合涂布系統(tǒng)62的一個實施方案中，通過同時沉積來自輸送源38的多種材料14中的至少兩種(A和B)，在基體18上形成了一個連續(xù)變化的涂層集合64。多個預(yù)定涂層30中每一個的相對厚度和組成都可以隨材料A和B中的每一種在輸送到基體18時的厚度分布48(見圖4-7)而單獨或同時連續(xù)變化。這種連續(xù)變化可以是線性或非線性的，取決于輸送角α、與每個輸送源38相連的輸送機構(gòu)12(未示出)的噴涂能力、涂布速度或單位時間沉積的材料量、輸進輸送機構(gòu)材料的喂料速度和濃度、垂直間距60、輸送源38相對于中心點44的偏離距離59、每個輸送源38到中心點44的水平間距53、籠罩區(qū)40(未示出)的形狀、蒸氣沉積中的氣氛和單位面積的功率和氣體的壓力與種類等變量及其它類似的因素。這些變量中的每個變量都可獨立地或組合地改變，以在每個預(yù)定區(qū)22中產(chǎn)生一個預(yù)定涂層。進一步，雖然未示出，可以在每個輸送源38與基體18之間放置一張掩膜32，優(yōu)選靠近或接觸基體，以有利于形成涂層集合。
此外，參考圖8，輸送角α值可以為約0°-約90°，更優(yōu)選約15°-約75°，非常優(yōu)選約30°-約60°。垂直間距60可以在約0cm-約90cm范圍內(nèi)變化，更優(yōu)選約3cm-約30cm，非常優(yōu)選約10cm-約20cm。水平間距53可以在約0cm-約60cm范圍內(nèi)變化，更優(yōu)選約3cm-約30cm，非常優(yōu)選約10cm-約20cm。涂層厚度可在約1nm-約1mm范圍內(nèi)變化，更優(yōu)選約1μm(或數(shù)μm)-約500μm，非常優(yōu)選5μm-約100μm。
參考圖9，由組合涂布系統(tǒng)62(圖8)產(chǎn)生涂層集合64的一個實施方案，包括材料A和B的反向梯度，從靠近材料A的輸送源38的一側(cè)沿涂層集合橫向移動，材料A連續(xù)地從約100％-約0％，而材料B從約0％-約100％。取決于上述關(guān)于材料輸送到基體的變量，涂層集合64在基體橫向上可具有一個基本恒定或可變的厚度。優(yōu)選材料A和B的輸送源具有各自的焦點42，它們離輸送區(qū)中心點44有一個預(yù)定的偏離距離53，使涂層集合的厚度在基體橫向上基本恒定。進一步，通過控制蒸發(fā)速率，使材料A和B有足夠長時間的擴散，那就可以通過原位擴散/混合法或通過A與B的反應(yīng)而形成一種新材料。或者圖8中的基體18可以移動，例如轉(zhuǎn)動、縱向或橫向移動，以獲得各預(yù)定涂層30中組成的多種變化。更進一步，可向輸送源38相繼喂進新的和不同的材料，再結(jié)合橫向移動的長條狀基體，則會產(chǎn)生沿基體縱向長度連續(xù)變化的涂層。此外，每個輸送源38優(yōu)選位于基本平行于輸送區(qū)平面49但與之的垂直距離60的輸送平面65內(nèi)。但是，在一個替代實施方案中，每個輸送源38的垂直距離60可獨立改變，以便在輸送區(qū)24內(nèi)提供一個不同的厚度分布48。因此，系統(tǒng)62保證將多種材料中至少兩種同時輸送到基體上，以獲得具有至少兩種材料梯度的連續(xù)變化涂層。
參考圖10-11，在類似于圖8-9的另一個實施方案中，一個三元組合涂布系統(tǒng)68提供一個連續(xù)的三元涂層集合70。多種材料14(圖1)中至少3種材料(A，B和C)可以同時或相繼地輸自輸送源38。每個輸送源38分別位于一個基本相同的如前所述斜偏焦設(shè)備61中(圖7)。輸送源38優(yōu)選等間距地分布在一個圓心76與中心點44在同一軸78的圓周74上。優(yōu)選圓周74的直徑大于輸送區(qū)的直徑。例如，圓周74優(yōu)選直徑為約30cm，而輸送區(qū)的直徑為約10cm-約15cm。由系統(tǒng)68形成的涂層集合70可以是3種材料A、B和C中的每一種連續(xù)變化的組合，模擬一個三元相圖。影響形成涂層集合64(圖8-9)的相同變量，如上所述，同樣適用于系統(tǒng)68的涂層集合70。例如，涂層集合70在任何一點的相對組成是水平間距53、偏離距離59、輸送角α、每種材料噴射籠罩區(qū)40的形狀、每個源的焦點42等的函數(shù)。而且優(yōu)選的間距與角度與前述相同，參考圖8-9。在一個實施例中，用一臺斜偏焦設(shè)備61(圖7)同時聚焦三把空氣刷槍，以將三種不同材料的細噴霧輸送到基體上。所有槍都位于一個平行于輸送區(qū)并離輸送區(qū)的垂直間距約15cm的輸送平面內(nèi)。而且，每把槍都定位到有一個約45°的輸送角和一個約18cm的水平間距53?；w18基本上是一個直徑約8cm的圓盤狀單晶硅片材料。多個預(yù)定區(qū)中每個區(qū)的尺寸都定制到形成一個具有66個預(yù)定涂層的涂層集合。涂層材料包括聚丙烯酸乙甲酯(PEMA)在異丙醇溶劑中的2％溶液并混有有機顏料。在通過一個三元或三角掩膜(未示出)的沉積并熱固化后，在幾分鐘內(nèi)就生成了具有66個不同組成的三元涂層集合。該涂層厚約2μm，涂層厚度隨涂布時間線性增加。
參考圖12-14，在另一個實施方案中，一個組合涂布系統(tǒng)72包括多個共聚焦或同時聚焦的輸送機構(gòu)12，每個定位到同時或相繼將多種材料14之一通過掩膜32輸送到達基體18。多個輸送機構(gòu)12中的每一個在籠罩區(qū)40內(nèi)(圖3)產(chǎn)生一種原子化材料的噴霧，籠罩區(qū)與基體18的表面16相切。每個輸送源38優(yōu)選位于一個斜偏焦設(shè)備61中(圖7)。優(yōu)選每個輸送機構(gòu)12等間距地位于一個圓心76與中心點44在同一軸78的圓周74上。而且，每個輸送機構(gòu)12優(yōu)選具有一個自圓心76的徑向水平間距53(圖7)小于中心點44至輸送區(qū)24邊緣的距離。優(yōu)選每個輸送機構(gòu)12的焦點42(未示出)聚焦在一個離中心點44基本相等的偏離距離59處(圖7)，從而使每種材料厚度分布48(圖7)的相同部分位于輸送區(qū)24內(nèi)。但是，每個輸送機構(gòu)12的焦點42無需偏離中心點44或具有相等的偏離距離53。事實上，每個輸送機構(gòu)12都可具有一個獨自的焦點42，包括使中心線46相對于表面16為垂直或傾斜的焦點在內(nèi)，而輸送機構(gòu)與中心點44在一直線上或徑向離開中心點44，只要輸送材料14的籠罩區(qū)40(圖3)與輸送區(qū)24，進而與基體18的表面16，至少部分重合即可。進一步，輸送機構(gòu)12不必位于圓周上，而可以位于能平行地或同時將多種材料14輸送到至少部分輸送區(qū)24的任何相關(guān)位置上。
掩膜32優(yōu)選包含多個花樣80(圖13)，它可以移進或移出材料14的輸送線，以便控制不同預(yù)定區(qū)22(圖2)涂有不同材料的涂層，以形成一個涂層集合82(圖13)。雖然在圖12中畫成掩膜離基體18有一個間距，但優(yōu)選掩膜是一張接觸或靠近基體的物理接觸掩膜，為的是消除陰影。例如，參考圖14，用多種材料14中的四種(A，B，C和D)組合掩膜32中的前四種花樣80(圖13)，系統(tǒng)72就可以產(chǎn)生一個具有16個預(yù)定涂層30的涂層集合82。
在系統(tǒng)72的一個實施例中，每個輸送機構(gòu)12是一個噴咀，它們把一種液態(tài)前體材料14原子化為細噴霧并分別或與其它噴咀/材料組合起來噴至基體18上，形成一層涂層。壓縮空氣、過熱流或超聲波都可用于液體材料，以產(chǎn)生液體材料的細噴霧。具有多個涂層的涂層集合82可以通過相繼輸自多個輸送機構(gòu)12的材料14的輸送，結(jié)合一系列掩膜花樣和固化步驟(如必要)而在基體的預(yù)定區(qū)22(圖2)提供預(yù)定涂層30。這種做法可能是理想的，例如，當尋求一種其中每一個涂層或涂層的組合提供至少一種功能的多功能涂層時。在這個不應(yīng)將之視為限制的特定實施例中，在8把獨立控制的噴槍中喂入8種不同的液態(tài)涂料(A-H)。例如，適用的液態(tài)涂料包括聚丙烯酸酯、聚碳酸酯、乙烯基聚合物、聚硅氧烷和二氧化硅凝膠。進一步，例如，適用的噴槍包括由Sono Tech制造的那些。如果材料需要固化，則固化源34(圖1)的適用實例包括能在約80-約200℃，更優(yōu)選約100-約150℃于約10min-約10h，更優(yōu)選約1h-約4h的固化周期內(nèi)固化材料的一塊加熱板和一個UV燈。因此具有多個預(yù)定多層涂層的涂層集合要以平行方式制造，或者結(jié)合不同的掩膜花樣與不同的液態(tài)前體材料，或者用這些材料的無掩膜連續(xù)相分散法，利用輸自各個噴咀的液態(tài)前體材料的間距與體積變化等優(yōu)點，形成涂層集合。
參考圖15，在另一個實施方案中，一個蒸氣沉積組合涂布系統(tǒng)90包括多個輸送機構(gòu)12，彼此共聚焦或同時聚焦，用來將多種固體材料14中的一種同時或相繼輸送到位于沉積室94內(nèi)可移動臺92的基體18上。為保持蒸氣沉積的高溫，該基體包含一種穩(wěn)定的耐高溫材料，如氧化鎂或鋁酸鑭(LaAlO3)。沉積室94可密封，以便在其內(nèi)表面上形成一個真空室96。在該情況下，輸送機構(gòu)12是蒸氣沉積設(shè)備，如由RF能量驅(qū)動的濺射槍，優(yōu)選匹配到給出最佳輸出。移動臺92將基體18支持在已知位置內(nèi)，在此處該臺可垂直地、旋轉(zhuǎn)或線性調(diào)節(jié)，以將基體定位于輸送區(qū)內(nèi)。掩膜32位于輸送機構(gòu)12與基體18之間，它具有一系列不同的花樣80。在蒸氣沉積期間，優(yōu)選掩膜32基本上與基體18接觸，以盡量減少“陰影效果”。掩膜32可通過移動位于掩膜室100內(nèi)的真空室98中。掩膜室100與沉積室94以一定方式通信，以保持真空室96與98的氣氛。進一步，掩膜室100包括一個齒輪箱120和微米計104，分別用來移動和測量掩膜花樣80相對于基體18的位置。
進一步，系統(tǒng)90可任選地包括一個帶一個或多個小眼108的擋板106，以選擇一種或多種同時或先后輸送的材料并防止材料互混。擋板106可通過移動與轉(zhuǎn)子110聯(lián)接，后者旋轉(zhuǎn)擋板106和小眼108，以便選擇要蒸發(fā)的固體材料14，而掩膜花樣80在真空室內(nèi)隨線性運動真空引線而變。材料14的沉積量用厚度監(jiān)控裝置112，如石英晶體示波器進行監(jiān)控。不同的固體前體通過不同掩膜花樣的蒸氣沉積，在一天以內(nèi)可以制成具有超過100個不同涂層組成/層結(jié)構(gòu)的基體，而無需為變更固體材料和/或掩膜花樣而中斷真空。
在真空室96與98內(nèi)的真空氣氛由與渦輪分子泵116連接的增壓泵站114維持。例如，增壓泵站114可提供約10-3乇的真空，而渦輪分子泵116可提供10-6乇的真空。泵114和116通過一個閘閥118與真空室96連接。
例如，系統(tǒng)90可產(chǎn)生任何陶瓷、金屬和/或半導(dǎo)體材料的涂層集合，具有nm量級的表面粗糙度和厚度精度。除上述濺射裝置外，其它適用的輸送機構(gòu)12包括激光燒蝕、電子束蒸發(fā)，CVD等，都可用于掩膜系統(tǒng)來產(chǎn)生無機涂層集合。為制造有機涂層集合，可以建立一個與掩膜系統(tǒng)偶聯(lián)的共聚焦多源熱蒸發(fā)設(shè)備。同樣的系統(tǒng)可用來制造小分子涂層集合，例如用于有機發(fā)光二極管(“LED”)器件。
顯然，按照本發(fā)明，已提供了一個組合涂布系統(tǒng)與方法。雖然本發(fā)明已特別結(jié)合優(yōu)選實施方案給出并進行了描述，但應(yīng)理解，本領(lǐng)域的一般技術(shù)人員都可對之作變動與修改而不會偏離本發(fā)明范圍。此外，應(yīng)該理解，為形成本文所述的涂層厚度分布而定位輸送機構(gòu)和輸送材料的原理，在凡可應(yīng)用的地方，都可以類似方式適用于所有實施方案。
權(quán)利要求
1.一種用來制造涂布材料陣列的系統(tǒng)(10)，它包含多種有機材料(14)；和一個用來將多種有機材料中的每一種輸送到輸送區(qū)(24)的輸送機構(gòu)(12)，該輸送機構(gòu)有多個輸送源(38)，每個輸送源與多種有機材料中相應(yīng)的一種相聯(lián)，多個輸送源中的每個源都為相應(yīng)有機材料提供一個至少部分位于輸送區(qū)內(nèi)的厚度分布(48)，其中至少一個厚度分布沿輸送區(qū)橫向變化。
2.權(quán)利要求1的系統(tǒng)，其中多種有機材料包含功能涂料。
3.權(quán)利要求1的系統(tǒng)，其中多種有機材料包含保護涂料。
4.權(quán)利要求1的系統(tǒng)，其中多種有機材料包含裝飾涂料。
5.權(quán)利要求1的系統(tǒng)，其中多種有機材料包含結(jié)構(gòu)聚合物材料。
6.權(quán)利要求1的系統(tǒng)，其中多種有機材料是選自聚合物、齊聚物、單體和小分子的材料。
7.權(quán)利要求1的系統(tǒng)，其中多種有機材料是選自下列一組的材料聚碳酸酯、聚丙烯酸類、聚硅氧烷、纖維素酯、聚酯、醇酸樹脂、丙烯酸類、聚氨酯和乙烯基聚合物。
8.權(quán)利要求1的系統(tǒng)，其中至少一個厚度分布沿輸送區(qū)橫向線性地變化。
9.權(quán)利要求1的系統(tǒng)，其中每個厚度分布都沿輸送區(qū)橫向變化，從而在輸送區(qū)內(nèi)可形成多種有機材料中的每一種都有一個連續(xù)變化組成的涂層集合。
10.權(quán)利要求1的系統(tǒng)，其中輸送區(qū)與具有多個預(yù)定區(qū)(22)的基體(18)之一個表面(16)相關(guān)，以及其中多個預(yù)定涂層(30)之一在每個預(yù)定區(qū)內(nèi)形成以構(gòu)成一個連續(xù)變化的涂層集合。
11.權(quán)利要求1的系統(tǒng)，它還包含一個用來控制輸送機構(gòu)多個輸送源中每個源的控制器(26)，以便相繼或同時輸送多種有機材料中的每一種。
12.權(quán)利要求1的系統(tǒng)，其中多種有機材料中的每一種輸自一個選自下列一組的設(shè)備垂直聚焦設(shè)備、斜聚焦設(shè)備、垂直偏焦設(shè)備和斜偏焦設(shè)備。
13.權(quán)利要求1的系統(tǒng)，它還包含一個用來支持掩膜(32)的固定裝置(35)，其中固定裝置可相對于輸送區(qū)移動。
14.權(quán)利要求1的系統(tǒng)，它還包含一個支承裝置(37)，用來支持輸送區(qū)內(nèi)基體(18)之一個表面(16)，其中支承裝置可相對于輸送區(qū)移動。
15.權(quán)利要求1的系統(tǒng)，它還包含一個有一個表面(16)可位于輸送區(qū)內(nèi)的基體(18)，其中該表面有多個預(yù)定區(qū)(22)，用來接受形成具有多個連續(xù)變化預(yù)定涂層(30)的涂層集合(28)的多種有機材料。
16.一種用來制造涂布材料陣列的系統(tǒng)(10)，它包含多種有機結(jié)構(gòu)涂布材料(14)；和一個用來將多種有機材料中的每一種輸送到輸送區(qū)(24)的輸送機構(gòu)(12)，該輸送機構(gòu)有多個輸送源(38)，每個輸送源與多種有機材料中相應(yīng)的一種相聯(lián)，多個輸送源中的每個源都為相應(yīng)有機材料提供一個至少部分位于輸送區(qū)內(nèi)的厚度分布(48)，其中至少一個厚度分布沿輸送區(qū)橫向變化。
17.權(quán)利要求16的系統(tǒng)，其中多種有機材料是選自聚合物、齊聚物、單體和小分子的材料。
18.權(quán)利要求17的系統(tǒng)，其中多種有機材料是選自下列一組的材料聚碳酸酯、聚丙烯酸類、聚硅氧烷、纖維素酯、聚酯、醇酸樹脂、丙烯酸類、聚氨酯和乙烯基聚合物。
19.權(quán)利要求16的系統(tǒng)，其中至少一個厚度分布沿輸送區(qū)橫向線性地變化。
20.權(quán)利要求16的系統(tǒng)，其中每個厚度分布都沿輸送區(qū)橫向變化，從而在輸送區(qū)內(nèi)可形成多種有機材料中每一種都有一個連續(xù)變化組成的涂層集合。
21.權(quán)利要求20的系統(tǒng)，其中輸送區(qū)與具有多個預(yù)定區(qū)的基體之一個表面相連，以及其中，多個預(yù)定涂層中之一在各預(yù)定區(qū)內(nèi)形成，以構(gòu)成一個連續(xù)變化的涂層集合。
22.權(quán)利要求21的系統(tǒng)，其中多種有機材料中的每一種輸自一個選自下列一組的設(shè)備垂直聚焦設(shè)備、斜聚焦設(shè)備、垂直偏焦設(shè)備和斜偏焦設(shè)備。
23.權(quán)利要求22的系統(tǒng)，它還包含一個用來支持掩膜(32)的固定裝置(35)，其中固定裝置可相對于輸送區(qū)移動。
24.權(quán)利要求23的系統(tǒng)，它還包含一個支承裝置(37)，用來支持輸送區(qū)內(nèi)基體(18)之一個表面(16)，其中支承裝置可相對于輸送區(qū)移動。
25.權(quán)利要求24的系統(tǒng)，它還包含一個控制器(26)，用來控制輸送機構(gòu)多個輸送源中的每一個源，以便相繼或同時輸送有機結(jié)構(gòu)涂料中的每一種。
26.權(quán)利要求16的系統(tǒng)，它還包含一個有一個表面(16)可位于輸送區(qū)內(nèi)的基體(18)，其中，該表面有多個預(yù)定區(qū)(22)，用來接受多種有機結(jié)構(gòu)涂料，形成具有多個連續(xù)變化預(yù)定涂層(30)的涂層集合(28)。
27.一種制造涂布材料陣列的方法，它包含提供多種有機材料(14)；選擇性地將多種有機材料中的每一種輸送到輸送區(qū)(24)，其中，輸送的多種有機材料中的每一種具有一個至少部分位于輸送區(qū)內(nèi)的厚度分布(48)，其中，至少一個厚度分布沿輸送區(qū)橫向變化。
28.權(quán)利要求27的方法，其中，多種有機材料包含功能涂料。
29.權(quán)利要求27的方法，其中，多種有機材料包含保護涂料。
30.權(quán)利要求27的方法，其中，多種有機材料包含裝飾涂料。
31.權(quán)利要求27的方法，其中，多種有機材料包含結(jié)構(gòu)聚合物材料。
32.權(quán)利要求27的方法，其中，多種有機材料選自聚合物、齊聚物、單體和小分子。
33.權(quán)利要求27的方法，其中，多種有機材料是選自下列一組的材料聚碳酸酯、聚丙烯酸類、聚硅氧烷、纖維素酯、聚酯、醇酸樹脂、丙烯酸類、聚氨酯和乙烯基聚合物。
34.權(quán)利要求27的方法，其中，至少一個厚度分布沿輸送區(qū)橫向線性地變化。
35.權(quán)利要求27的方法，其中，每個厚度分布都沿輸送區(qū)橫向變化，從而在輸送區(qū)內(nèi)可形成多種材料的每一種都有一個連續(xù)變化組成的涂層集合。
36.權(quán)利要求27的方法，其中，輸送區(qū)與具有多個預(yù)定區(qū)(22)的基體(18)之一個表面(16)相連，還包含在每一預(yù)定區(qū)形成多個預(yù)定涂層(30)之一，以形成一個連續(xù)變化的涂層集合(28)。
37.權(quán)利要求27的方法，還包含控制輸送機構(gòu)多個輸送源中的每個源的控制器，以相繼或同時輸送多種有機材料中的每一種。
38.權(quán)利要求27的方法，多種有機材料中每一種的輸送還包含輸自一個選自下列一組的設(shè)備垂直聚焦設(shè)備、斜聚焦設(shè)備、垂直偏焦設(shè)備和斜偏焦設(shè)備。
39.權(quán)利要求27的方法，還包含通過移動將掩膜(32)定位于多種有機材料的每一種和輸送區(qū)之間。
40.權(quán)利要求27的方法，還包含通過移動將基體(18)定位于輸送區(qū)內(nèi)，在此處，該基體有一個表面(16)帶有多個預(yù)定區(qū)(22)，用來接受多種有機材料，形成具有多個連續(xù)變化預(yù)定涂層(30)的涂層集合(28)。
41.一種制造涂布材料陣列的方法，它包含提供多種有機結(jié)構(gòu)涂布材料(14)；和選擇性地將多種有機材料中的每一種輸送到輸送區(qū)(24)，其中，輸送的多種有機材料中的每一種具有一個至少部分位于輸送區(qū)內(nèi)的厚度分布(48)，其中，至少一種厚度分布沿輸送區(qū)橫向變化。
42.權(quán)利要求41的方法，其中多種有機材料是選自聚合物、齊聚物、單體和小分子的材料。
43.權(quán)利要求42的方法，其中多種有機材料是選自下列一組的材料聚碳酸酯、聚丙烯酸類、聚硅氧烷、纖維素酯、聚酯、醇酸樹脂、丙烯酸類、聚氨酯和乙烯基聚合物。
44.權(quán)利要求41的方法，其中至少一個厚度分布沿輸送區(qū)橫向線性變化。
45.權(quán)利要求41的方法，其中每個厚度分布沿輸送區(qū)橫向變化，從而在輸送區(qū)內(nèi)可形成多種材料中每一種組成連續(xù)變化的涂層集合。
46.權(quán)利要求45的方法，其中輸送區(qū)與具有多個預(yù)定區(qū)(22)的基體(18)之一個表面(16)相連，還包含在每個預(yù)定區(qū)內(nèi)形成多個預(yù)定涂層(30)之一，以形成連續(xù)變化的涂層集合(28)。
47.權(quán)利要求41的方法，多種有機材料中每一種的輸送還包含輸一個選自下列一組的設(shè)備垂直聚焦裝置、斜聚焦設(shè)備、垂直偏焦設(shè)備和斜偏焦設(shè)備。
48.權(quán)利要求47的方法，還包含通過移動將一張掩膜(32)定位于多種材料與輸送區(qū)之間。
49.權(quán)利要求48的方法，還包含可通過移動定位一個用來支持輸送區(qū)內(nèi)基體(18)之一個表面(16)的支承裝置(37)，其中，該表面具有多個預(yù)定區(qū)(22)，用來接受多種有機結(jié)構(gòu)涂層，形成具有多個連續(xù)變化預(yù)定涂層(30)的涂層集合(28)。
50.權(quán)利要求49的方法，還包含控制多種有機結(jié)構(gòu)涂料中每一種的輸送，以相繼或同時輸送多種有機結(jié)構(gòu)涂料中的每一種。
全文摘要
用于高產(chǎn)制造并分析涂布材料陣列的系統(tǒng)和方法。制造涂布材料陣列的一個實施方案的系統(tǒng)(10)，包括多種有機材料(14)和一個將多種有機材料中的每一種輸送到輸送區(qū)(24)的輸送機構(gòu)(12)。該輸送機構(gòu)具有多個源(38)，每個源與多種有機材料中相應(yīng)的一種連接。多個源中每個源為一種相應(yīng)有機材料提供一個至少部分位于輸送區(qū)內(nèi)的厚度分布(48)，其中至少一個厚度分布沿輸送區(qū)橫向變化。用來制造涂布材料陣列的一個實施方案的一種方法，包括提供多種有機材料(14)并選擇性地將有多種有機材料中的每一種輸送至輸送區(qū)(24)。輸送的多種有機材料中的每一種有一個至少部分位于輸送區(qū)內(nèi)的厚度分布，其中至少一個厚度分布沿輸送區(qū)橫向變化。
文檔編號B44C1/04GK1468145SQ01816613
公開日2004年1月14日 申請日期2001年7月7日 優(yōu)先權(quán)日2000年9月29日
發(fā)明者X·－D·孫, X -D 孫 申請人:通用電氣公司