技術(shù)總結(jié)
本實(shí)用新型涉及運(yùn)動平臺技術(shù)領(lǐng)域，尤其是一種用于OLED檢測設(shè)備的運(yùn)動平臺，該平臺由上至下機(jī)構(gòu)依次包括：真空吸盤、Z向微調(diào)臺，XY方向移動臺、大理石基座，所述Y1永磁直線電機(jī)與Y2永磁直線電機(jī)一側(cè)均設(shè)置有Y向機(jī)械緩沖器，所述X永磁直線電機(jī)一側(cè)設(shè)置有X向機(jī)械緩沖器，其中Z向微調(diào)臺包括Z向永磁直線電機(jī)、Z向機(jī)構(gòu)、Z向平衡彈簧與Z向載物臺，所述Z向載物臺一側(cè)設(shè)置有楔形塊，所述Z向微調(diào)臺安裝有柔性彈片，簡化了垂向的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，減少了Z軸運(yùn)動過程中的直線度誤差。本發(fā)能夠明保證載物臺面在XY的整個(gè)運(yùn)動行程內(nèi)的垂向準(zhǔn)確性，其在檢測行程范圍內(nèi)載物臺的平面度誤差要小于1um，且具有緊湊、精密、高響應(yīng)的特點(diǎn)。

技術(shù)研發(fā)人員：陸敏杰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：無錫星微科技有限公司
文檔號碼：201621405868
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.21
技術(shù)公布日：2017.06.27