1.一種用于OLED檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，該平臺(tái)由上至下機(jī)構(gòu)依次包括：真空吸盤(pán)(18)、Z向微調(diào)臺(tái)，XY方向移動(dòng)臺(tái)、大理石基座(1)，XY方向移動(dòng)臺(tái)由三套相互獨(dú)立的Y方向上平行的Y1永磁直線電機(jī)(3)、Y2永磁直線電機(jī)(10)和X永磁直線電機(jī)(6)，所述Y1永磁直線電機(jī)(3)與Y2永磁直線電機(jī)(10)一側(cè)均設(shè)置有Y向機(jī)械緩沖器(8)，所述X永磁直線電機(jī)(6)一側(cè)設(shè)置有X向機(jī)械緩沖器(9)，其特征在于，其中Z向微調(diào)臺(tái)(17)包括Z向永磁直線電機(jī)(24)、Z向機(jī)構(gòu)、Z向平衡彈簧(21)與Z向載物臺(tái)(20)，所述Z向載物臺(tái)(20)一側(cè)設(shè)置有楔形塊(23)，所述Z向微調(diào)臺(tái)(17)安裝有柔性彈片(26)，簡(jiǎn)化了垂向的機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)，減少了Z軸運(yùn)動(dòng)過(guò)程中的直線度誤差。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于OLED檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述Z向機(jī)構(gòu)安裝有兩組機(jī)械導(dǎo)軌單元，所述機(jī)械導(dǎo)軌單元包括Z1向機(jī)械導(dǎo)軌與Z2向機(jī)械導(dǎo)軌，其中Z1向機(jī)械導(dǎo)軌用于楔形塊與底板(25)連接，另外一組Z2向機(jī)械導(dǎo)軌用于楔形塊(23)與Z向載物臺(tái)(20)連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于OLED檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述Z向載物臺(tái)(20)通過(guò)柔性彈片(26)與Z向機(jī)構(gòu)的底板(25)連接。
4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于OLED檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，Z向機(jī)構(gòu)的所述底板(25)上安裝有Z向永磁直線電機(jī)定子，且Z向永磁直線電機(jī)定子設(shè)置在Z向永磁直線電機(jī)(24)上，楔形塊(23)上安裝有Z向永磁直線電機(jī)動(dòng)子。
5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于OLED檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述Z向載物臺(tái)(20)下端面與Z向機(jī)構(gòu)的底板(25)之間安裝有Z向平衡彈簧(21)，此Z向平衡彈簧(21)可補(bǔ)償Z向載物臺(tái)(20)與所述真空吸盤(pán)(18)的重量。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種用于OLED檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述Z向機(jī)構(gòu)內(nèi)設(shè)置有光柵尺(22)，所述Z向機(jī)構(gòu)中的光柵尺(22)安裝于Z向機(jī)構(gòu)的楔形塊(23)上，所述底板(25)上還設(shè)置有讀數(shù)頭(13)。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于OLED檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，Y向的導(dǎo)向機(jī)構(gòu)為兩套高精密的滾柱導(dǎo)軌，且滾柱導(dǎo)軌分別安裝于大理石基座(1)Y向的兩側(cè)。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于OLED檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述XY方向運(yùn)動(dòng)臺(tái)的兩側(cè)為Y向運(yùn)動(dòng)方向，其中Y1永磁直線電機(jī)(3)的定子安裝于大理石基座(1)上，Y1永磁直線電機(jī)(3)的動(dòng)子與該側(cè)Y1機(jī)械導(dǎo)軌(2)上的Y1永磁直線電機(jī)動(dòng)子連接件連接，其中Y2永磁直線電機(jī)(10)的定子安裝于大理石基座(1)上，Y2永磁直線電機(jī)(10)的動(dòng)子與該側(cè)Y2機(jī)械導(dǎo)軌(4)上的Y2永磁直線電機(jī)動(dòng)子連接件(101)連接，Y1，Y2向中的讀數(shù)頭(13)分別固定在Y1永磁直線電機(jī)動(dòng)子連接件與Y2永磁直線電機(jī)動(dòng)子連接件(101)上。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于OLED檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述Y1機(jī)械導(dǎo)軌(2)與Y2機(jī)械導(dǎo)軌(4)上還包括Y向反饋光柵尺(11)，且Y向反饋光柵尺(11)安裝于大理石基座(1)上。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種用于OLED檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，Y1機(jī)械導(dǎo)軌(2)、Y2機(jī)械導(dǎo)軌(4)之間為X向氣浮導(dǎo)軌(5)，所述X向氣浮導(dǎo)軌(5)中間安裝有Z永磁直線電機(jī)定子，以及X向反饋光柵尺(12)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的一種用于OLED檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，X向氣浮導(dǎo)軌(5)左右兩側(cè)與X向氣浮滑塊下氣浮底板(14)為氣浮板(15)，上蓋板固定連接在兩側(cè)氣浮板(15)的上端，且上蓋板用于承載真空吸盤(pán)(18)，形成一個(gè)“口”字型的氣浮滑塊(16)。
12.根據(jù)權(quán)利要求10所述的一種用于OLED檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述氣浮滑塊(16)部分的X向氣浮滑塊下氣浮底板(14)與所述大理石基座(1)上表面形成10um左右的氣膜，所述X向氣浮滑塊下氣浮底板(14)四角為氣浮區(qū)域。
13.根據(jù)權(quán)利要求10所述的一種用于OLED檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述X向永磁直線電機(jī)(6)的動(dòng)子與氣浮滑塊(16)的上蓋板連接。
14.根據(jù)權(quán)利要求10所述的一種用于OLED檢測(cè)設(shè)備的運(yùn)動(dòng)平臺(tái)，其特征在于，所述X向氣浮導(dǎo)軌(5)上端面的兩側(cè)安裝有磁預(yù)載用的鋼條(7)，所述氣浮滑塊(16)的上蓋板內(nèi)部安裝有永磁體(19)，組成氣浮滑塊(16)的磁預(yù)載，與X向氣浮滑塊下氣浮底板(14)氣浮組合使用達(dá)到氣浮滑塊(16)的高剛度性能。