加工夾具、加工裝置及加工方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種加工夾具、加工裝置及加工方法。實(shí)施形態(tài)大概涉及加工夾具、加工裝置及加工方法。提供能夠提高加工精度的加工夾具、加工裝置及加工方法。實(shí)施形態(tài)的加工夾具具備：基部，在一個(gè)面上具有保持加工物的區(qū)域；檢測(cè)部，具有導(dǎo)電性，具備設(shè)置在保持上述加工物的區(qū)域的周邊的連接部，以及分別連接在上述連接部兩端的布線部。
【專利說明】加工夾具、加工裝置及加工方法
[0001] 本申請(qǐng)以日本專利申請(qǐng)2013-059184 (申請(qǐng)日：03/21/2013)為基礎(chǔ)，從該申請(qǐng)享 受優(yōu)先權(quán)利益。本申請(qǐng)通過參照該申請(qǐng)包含該申請(qǐng)的全部內(nèi)容。
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0002] 后述實(shí)施形態(tài)大概涉及加工夾具、加工裝置及加工方法。
【背景技術(shù)】
[0003] 在電子元件或精密加工零件等機(jī)械加工中，有時(shí)進(jìn)行要求高的加工精度的溝槽加 工。
[0004] 在要求高的加工精度的溝槽加工中，有必要準(zhǔn)確地知道刀片的刀尖位置。
[0005] 因此，提出過設(shè)置光學(xué)地檢測(cè)刀片的刀尖位置的檢測(cè)部，在機(jī)械加工過程中隨時(shí) 檢測(cè)刀片的刀尖位置的技術(shù)。
[0006] 但是，在加工物與加工裝置的保持部之間設(shè)置粘接帶或加工夾具等的情況下，存 在粘接帶或加工夾具等的厚度尺寸的偏差成為加工后的溝槽的深度尺寸的誤差的原因的 擔(dān)憂。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0007] 本發(fā)明想要解決的問題就是要提供一種能夠提高加工精度的加工夾具、加工裝置 及加工方法。
[0008] 實(shí)施形態(tài)的加工夾具具備：基部，在一個(gè)面上具有保持加工物的區(qū)域；檢測(cè)部，具 備具有導(dǎo)電性、設(shè)置在保持上述加工物的區(qū)域的周邊的連接部，以及分別連接在上述連接 部兩端的布線部。
[0009] 根據(jù)上述結(jié)構(gòu)的加工夾具、加工裝置及加工方法，能夠提供能夠提高加工精度的 加工夾具、加工裝置以及加工方法。
【專利附圖】
【附圖說明】
[0010] 圖1為用來舉例說明第1實(shí)施形態(tài)的加工夾具1的示意圖；
[0011] 圖2 (a)、（b)為圖1中的A-A線剖視圖；
[0012] 圖3為用來舉例說明檢測(cè)部3的其他配設(shè)形態(tài)的示意圖；
[0013] 圖4為用來舉例說明絕緣層4的其他配設(shè)形態(tài)的示意圖；
[0014] 圖5為用來舉例說明第2實(shí)施形態(tài)的加工夾具11的示意圖；
[0015] 圖6為用來舉例說明加工裝置50的示意圖；
[0016] 圖7為用來舉例說明刀片53b在Z方向移動(dòng)量的修正的示意圖；
[0017] 圖8為用來舉例說明溝槽加工中的誤差要因的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0018] 下面參照附圖舉例說明實(shí)施形態(tài)。
[0019] 另外，在各附圖中，同樣的構(gòu)成要素添加相同的附圖標(biāo)記，詳細(xì)的說明適當(dāng)省略。 并且，各圖中箭頭X、Y、Z表示互相正交的三個(gè)方向。例如，箭頭X、Y表示與基部2的面2a 平行的方向，Z表不與基部2的面2a垂直的方向。
[0020] [第1實(shí)施形態(tài)]
[0021] 圖1為用來舉例說明第1實(shí)施形態(tài)的加工夾具1的示意圖。
[0022] 圖2 (a)、（b)為圖1中的A-A線剖視圖。
[0023] 圖3為用來舉例說明檢測(cè)部3的其他配設(shè)形態(tài)的示意圖。
[0024] 圖4為用來舉例說明絕緣層4的其他配設(shè)形態(tài)的示意圖。
[0025] 如圖1所示，在加工夾具1上設(shè)置有基部2和檢測(cè)部3。
[0026] 基部2呈板狀。在基部2的一側(cè)設(shè)置有面2a。并且，在面2a的中央部分設(shè)置有保 持加工物的保持區(qū)域2c?；?的與保持區(qū)域2c相反一側(cè)的面2b成為保持在后述加工裝 置50的保持部52上的面。
[0027] 基部2的外形尺寸和形狀沒有特別限制，能夠根據(jù)被保持的加工物100的大小和 形狀適當(dāng)變更。
[0028] 在基部2的保持區(qū)域2c中能夠設(shè)置保持加工物100的裝置。
[0029] 例如，能夠在保持區(qū)域2c設(shè)置貫穿基部2的厚度方向（Z方向）的孔，使用真空泵 等通過孔吸附保持加工物100。這種情況下，也可以用多孔質(zhì)材料形成基部2的保持區(qū)域 2c的部分。
[0030] 并且，也可以在基部2的內(nèi)部設(shè)置電極，利用靜電力吸附保持加工物100。
[0031] 并且，還可以在基部2的保持區(qū)域2c設(shè)置粘接層，利用粘接力保持加工物100。
[0032] 并且，也可以用玻璃等透光性材料形成基部2,用通過紫外線照射容易剝離的粘接 劑固定基部2的保持區(qū)域2c和加工物100。
[0033] 另外，保持加工物100的裝置并不局限于舉例說明過的裝置，能夠適當(dāng)變更。
[0034] 如圖2 (a)所示，在檢測(cè)部3與基部2之間沒有設(shè)置絕緣層4的情況下，基部2用 絕緣性材料形成。這種情況下，優(yōu)選使用尺寸穩(wěn)定性高的絕緣性材料。作為尺寸穩(wěn)定性高 的絕緣性材料，能夠列舉例如玻璃、陶瓷等。
[0035] 如圖2 (b)所示，在在檢測(cè)部3與基部2之間設(shè)置了絕緣層4的情況下，基部2的 材料沒有特別限制。但是，優(yōu)選使用尺寸穩(wěn)定性高的材料。作為尺寸穩(wěn)定性高的材料，能夠 列舉金屬、玻璃、陶瓷等。
[0036] 檢測(cè)部3檢測(cè)后述的刀片(旋轉(zhuǎn)刃）53b的刀尖在Z方向（加工物100的厚度方向） 上的位置。
[0037] 檢測(cè)部3具有設(shè)置在保持區(qū)域2c周邊的連接部3a以及分別連接在連接部3a兩 端的2個(gè)布線部3b。
[0038] 優(yōu)選連接部3a的基部2側(cè)的面和加工物100的設(shè)置面100a實(shí)際上位于同一平面。
[0039] 另外，在本說明書中，實(shí)際上同一平面上意味著允許±0. 5μ m左右的差。
[0040] 布線部3b的與連接部3a連接的一側(cè)的相反側(cè)的端部從基部2的邊緣向外面突 出。另外，也可以像圖3所示那樣，與連接部3a連接的一側(cè)的相反側(cè)的端部設(shè)置在基部2 的邊緣附近，電氣布線13等連接到設(shè)置在基部2的邊緣附近的端部。
[0041] 連接部3a及布線部3b的材料只要是導(dǎo)電性材料就沒有特別限制。連接部3a及 布線部3b的材料能夠采用例如金屬等。
[0042] 連接部3a及布線部3b的形成方法沒有特別限制。連接部3a及布線部3b能夠例 如用絲網(wǎng)印刷法或電鍍法等一體形成。
[0043] 檢測(cè)部3至少設(shè)置一個(gè)。
[0044] 如果設(shè)置多個(gè)檢測(cè)部，能夠提高檢測(cè)精度，進(jìn)而提高加工精度。
[0045] 另外，有關(guān)檢測(cè)精度的提1?的詳情后面敘述。
[0046] 在設(shè)置多個(gè)檢測(cè)部3的情況下，能夠夾著保持區(qū)域2c設(shè)置多個(gè)連接部3a。
[0047] 在具有X方向和Y方向的尺寸長的平面形狀(例如正方形）的加工物100的情況 下，如圖1所示，能夠分別在加工物100的四個(gè)角的各自的附近至少各設(shè)置一個(gè)連接部3a。 艮P，連接部3a能夠在加工物100的四個(gè)角一側(cè)夾著保持區(qū)域2c設(shè)置多個(gè)。
[0048] 根據(jù)這樣的形態(tài)，能夠檢測(cè)包括后述的加工裝置50的保持部52的平面度和平行 度的誤差的刀片53b的刀尖在Z方向上的位置。
[0049] 并且，在具有X方向或Y方向的尺寸長的平面形狀(例如長方形）的加工物100的 情況下，如圖3所示，能夠分別在加工物100的長度方向的兩端的各自的附近至少各設(shè)置一 個(gè)連接部3a。即，能夠在加工物100的長度方向上夾著保持區(qū)域2c設(shè)置多個(gè)連接部3a。
[0050] 根據(jù)這樣的形態(tài)，能夠檢測(cè)包括后述的加工裝置50的保持部52的平行度的誤差 的刀片53b的刀尖在Z方向的位置。
[0051] 另外，檢測(cè)部3的配設(shè)形態(tài)和配設(shè)數(shù)量并不局限于示例，加工物100的形狀和外形 尺寸能夠根據(jù)必要的檢測(cè)精度等適當(dāng)變更。
[0052] 如圖2 (b)所示，絕緣層4至少能夠設(shè)置在連接部3a與基部2之間。
[0053] 如上所述，優(yōu)選連接部3a的基部2側(cè)的面與加工物100的設(shè)置面100a實(shí)際上在 同一平面上。
[0054] 因此，能夠在例如基部2的面2a的設(shè)置連接部3a的區(qū)域的上面以及基部2的保 持區(qū)域2c的上面設(shè)置絕緣層4。這種情況下，能夠在設(shè)置在基部2的保持區(qū)域2c的上面的 絕緣層4上設(shè)置用來吸附保持加工物100的孔。
[0055] 并且，如圖4所示，在基部2的保持區(qū)域2c從面2a突出的情況下，只要使絕緣層 4的上表面與基部2的保持區(qū)域2c實(shí)際上在同一平面上就可以。
[0056] 絕緣層4的材料只要是絕緣性材料就沒有特別限制。
[0057] 如果設(shè)置絕緣層4,能夠擴(kuò)大有關(guān)基部2的材料選擇的自由度。
[0058] 并且，如后面將要敘述的那樣，在檢測(cè)刀片53b的刀尖在Z方向的位置之際，連接 部3a被切斷。因此，如果設(shè)置絕緣層4,能夠抑制損傷基部2。
[0059] 并且，通過將被切斷的連接部3a、布線部3b以及絕緣層4從基部2的面2a剝離， 在基部2的面2a上再次形成絕緣層4、連接部3a以及布線部3b，能夠容易地進(jìn)行加工夾具 1的再生。
[0060] [第2實(shí)施形態(tài)]
[0061] 圖5為用來舉例說明第2實(shí)施形態(tài)的加工夾具11的示意圖。
[0062] 如圖5所示，在加工夾具11上設(shè)置有基部12和檢測(cè)部3。
[0063] 基部12呈板狀。在基部12的一側(cè)設(shè)置有保持加工物的保持區(qū)域2c。保持區(qū)域 2c設(shè)置在基部12的中央部分，在保持區(qū)域2c的周邊設(shè)置有傾斜面12a。基部12的與保持 區(qū)域2c相反一側(cè)的面12b成為保持在后述的加工裝置50的保持部52上的面。
[0064] 傾斜面12a的基部12的邊端側(cè)比基部12的中央側(cè)靠近面12b。
[0065] 在傾斜面12a上設(shè)置有檢測(cè)部3的連接部3a。
[0066] 如果在傾斜面12a上設(shè)置多個(gè)連接部3a，能夠使連接部3a的基部12側(cè)的面在Z 方向上的位置彼此不同。
[0067] 其中，形成具有高的尺寸精度的傾斜面12a變得容易。因此，能夠使連接部3a的基 部12側(cè)的面在Z方向上的位置稍微變化。例如，在以Γ的角度形成傾斜面的情況下，在傾 斜面的位置，以Y方向上的1mm的差分，在Z方向能夠掌握0· 017mm的位移量。這樣一來， 能夠精密地判斷傾斜面12a在Z方向的位置，并且能夠提高該檢測(cè)位置的分辨率。因此，像 后述那樣，能夠提1?檢測(cè)精度。
[0068] 基部12的外形尺寸和形狀沒有特別限制，能夠根據(jù)被保持的加工物100的大小和 形狀適當(dāng)變更。
[0069] 在基部12的保持區(qū)域2c能夠設(shè)置保持加工物100的裝置。
[0070] 例如，能夠在保持區(qū)域2c設(shè)置貫穿基部12的厚度方向（Z方向)的孔，使用真空泵 通過孔吸附保持加工物100。這種情況下，也可以用多孔質(zhì)材料形成基部12的保持區(qū)域2c 的部分。
[0071] 并且，也可以在基部12的內(nèi)部設(shè)置電極，利用靜電力吸附保持加工物100。
[0072] 并且，還可以在基部12的保持區(qū)域2c設(shè)置粘接層，利用粘接力保持加工物100。
[0073] 另外，保持加工物100的裝置并不局限于舉例說明過的裝置，能夠適當(dāng)變更。
[0074] 并且，基部12的材料能夠采用與上述基部2的材料相同的材料。并且，能夠與上 述加工夾具1同樣，設(shè)置絕緣層4。
[0075] [第3實(shí)施形態(tài)]
[0076] 接著，舉例說明第3實(shí)施形態(tài)的加工裝置50。
[0077] 另外，雖然作為一個(gè)例子舉例說明了保持加工夾具1時(shí)的情況，但也能夠保持其 他形態(tài)的加工夾具(例如加工夾具11)。
[0078] 圖6為用來舉例說明加工裝置50的示意圖。
[0079] 如圖6所示，在加工裝置50中設(shè)置有臺(tái)座部51、保持部52、加工部53、切削液供給 部54、控制部55及運(yùn)算部56。
[0080] 并且，還設(shè)置有測(cè)量被保持在加工夾具1上的加工物100的上表面位置的未圖示 的測(cè)量裝置。
[0081] 臺(tái)座部51能夠使用例如XY工作臺(tái)等。
[0082] 保持部52設(shè)置在臺(tái)座部51的上表面。保持部52保持加工夾具1。在保持部52 上設(shè)置有用來保持加工夾具1的未圖示的保持裝置。未圖示的保持裝置能夠使用例如真空 吸力或靜電力的裝置。
[0083] 保持部52由未圖示的驅(qū)動(dòng)部沿Θ方向旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)。
[0084] 在加工部53上設(shè)置有主軸部53a、刀片53b、旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部53 c以及升降部53 d。
[0085] 主軸部53a具有旋轉(zhuǎn)軸。在主軸部53a的旋轉(zhuǎn)軸的一個(gè)端部安裝有刀片53b。在 主軸部53a的旋轉(zhuǎn)軸的另一個(gè)端部設(shè)置有旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部53 c。
[0086] 刀片53b加工被保持在加工夾具1上的加工物100。刀片53b能夠使用例如包含 金剛石磨粒的刀片。
[0087] 旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部53 c通過使主軸部53a的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)使刀片53b旋轉(zhuǎn)。主軸部53a 的旋轉(zhuǎn)軸的轉(zhuǎn)速根據(jù)刀片53b的直徑尺寸和加工物100的材料等適當(dāng)調(diào)整。
[0088] 升降部53 d通過使旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)部53 c升降，使刀片53b的刀尖在Z方向上的位置 變化。
[0089] 另外，X方向、Y方向、Z方向及Θ方向的驅(qū)動(dòng)部并不局限于上述驅(qū)動(dòng)部。例如，能 夠在臺(tái)座部51上設(shè)置X方向、Y方向及Z方向的驅(qū)動(dòng)部。
[0090] 切削液供給部54在對(duì)加工物100實(shí)施加工之際給加工部分提供切削液。切削液 能夠采用例如水溶性冷卻介質(zhì)等。
[0091] 控制部55進(jìn)行設(shè)置在加工裝置50中的各要素的動(dòng)作控制?？刂撇?5例如分別 控制設(shè)置在臺(tái)座部51、保持部52及加工部53上的驅(qū)動(dòng)部，控制刀片53b的刀尖位置。并 且，控制設(shè)置在加工部53上的驅(qū)動(dòng)部進(jìn)行刀片53b的旋轉(zhuǎn)和停止，或者控制切削液供給部 54進(jìn)行切削液的提供和停止。
[0092] 運(yùn)算部56與檢測(cè)部3電氣連接。在設(shè)置多個(gè)檢測(cè)部3的情況下，多個(gè)檢測(cè)部3并 聯(lián)連接到運(yùn)算部56上。
[0093] 其中，通過檢測(cè)檢測(cè)部3的電阻、檢測(cè)部3中流過的電流以及檢測(cè)部3上的電壓中 的至少某個(gè)，能夠檢測(cè)連接部3a被切斷。
[0094] 因此，通過用刀片53b切斷連接部3a，檢測(cè)連接部3a被切斷，能夠檢測(cè)刀片53b的 刀尖在Z方向上的位置。
[0095] 并且，如果連接部3a的基部2側(cè)的面與加工物100的設(shè)置面100a實(shí)際上在同一 平面上的話，能夠同時(shí)檢測(cè)加工物100的設(shè)置面l〇〇a在Z方向上的位置。
[0096] 運(yùn)算部56根據(jù)從控制部55提供的刀片53b在Z方向上的位置信息和檢測(cè)部3檢 測(cè)到的連接部3a被切斷的信息計(jì)算刀片53b的刀尖在Z方向上的位置。并且，運(yùn)算部56 同時(shí)計(jì)算加工物1〇〇的設(shè)置面l〇〇a在Z方向上的位置。
[0097] 并且，運(yùn)算部56根據(jù)預(yù)先確定的加工溝槽的深度尺寸、預(yù)先測(cè)量的加工物100的 厚度尺寸、刀片53b的刀尖在Z方向上的位置信息以及加工物100的設(shè)置面100a在Z方向 上的位置信息，計(jì)算刀片53b在Z方向上的移動(dòng)量(加工量)。
[0098] 另外，在測(cè)量被保持在加工夾具1上的加工物100的上表面的位置的情況下，運(yùn)算 部56根據(jù)預(yù)先確定的加工的溝槽的深度尺寸、加工物100上表面的位置信息以及刀片53b 的刀尖在Z方向上的位置信息計(jì)算刀片53b在Z方向上的移動(dòng)量。
[0099] 有關(guān)計(jì)算出的刀片53b在Z方向上的移動(dòng)量的信息送給控制部55,進(jìn)行加工物 100的加工。
[0100] 并且，如果設(shè)置多個(gè)檢測(cè)部3,能夠提高檢測(cè)精度，進(jìn)而提高加工精度。
[0101] 例如，通過分別檢測(cè)切斷多個(gè)連接部3a的Z方向的位置，能夠檢測(cè)加工夾具1上Z 方向位置的偏差。因此，能夠根據(jù)檢測(cè)到的Z方向位置的偏差修正上述刀片53b在Z方向 上的移動(dòng)量。
[0102] 根據(jù)這樣的形態(tài)，能夠提1?檢測(cè)精度，進(jìn)而能夠提1?加工精度。
[0103] 并且，如圖3所示，在分別在加工物100的長度方向的兩端的各自的附近至少各設(shè) 置1個(gè)連接部3a的情況下，能夠檢測(cè)加工物100的長度方向在Z方向上的位置偏差，即能 夠檢測(cè)載置的加工物100的傾斜。因此，能夠根據(jù)檢測(cè)到的Z方向上的位置偏差修正上述 刀片53b在Z方向上的移動(dòng)量。
[0104] 根據(jù)這樣的形態(tài)，能夠提1?檢測(cè)精度，進(jìn)而能夠提1?加工精度。
[0105] 并且，如圖1所示，在分別在加工物100的四個(gè)角的各自的附近至少各設(shè)置一個(gè)連 接部3a的情況下，能夠更精確地檢測(cè)Z方向的位置的平面內(nèi)的偏差即載置的加工物100的 傾斜。因此，能夠根據(jù)檢測(cè)到的Z方向位置的偏差修正上述刀片53b在Z方向上的移動(dòng)量。
[0106] 根據(jù)這樣的形態(tài)，能夠進(jìn)一步提1?檢測(cè)精度，進(jìn)而能夠提1?加工精度。
[0107] 并且，如圖5所示，在基部12的傾斜面12a上設(shè)置有連接部3a的情況下，能夠使 連接部3a在Z方向上的位置沿傾斜面12a稍微變化。例如，在以Γ的角度形成傾斜面的 情況下，在傾斜面的位置，以Y方向上的1mm的差分，在Z方向上能夠掌握0· 017mm的位移 量。
[0108] 因此，由于能夠更精確地檢測(cè)切斷連接部3a的Z方向的位置，因此能夠進(jìn)一步提 高檢測(cè)精度。結(jié)果，能夠進(jìn)一步提高加工精度。
[0109] 接著，與加工裝置50的作用一起舉例說明加工方法。
[0110] 首先，使保持部52保持加工夾具1，該加工夾具1在保持區(qū)域2c保持將加工物 100。
[0111] 接著，檢測(cè)刀片53b的刀尖在Z方向上的位置。
[0112] 例如，通過用控制部55控制升降部53 d，用刀片53b切斷連接部3a。即，控制部 55控制刀片53b的刀尖位置，切斷設(shè)置在加工夾具1上的連接部3a。
[0113] 如果連接部3a被切斷，檢測(cè)部3的電阻等変化。因此，能夠用運(yùn)算部56根據(jù)來自 控制部55的位置信息和檢測(cè)部3的電阻等的変化檢測(cè)刀片53b的刀尖在Z方向上的位置。 艮P，運(yùn)算部56檢測(cè)連接部3a被切斷這一 ,清況，根據(jù)連接部3a被切斷這一,清況計(jì)算刀片53b 的刀尖位置。并且，還能夠同時(shí)檢測(cè)加工物1〇〇的設(shè)置面l〇〇a在Z方向上的位置。
[0114] 另外，在切斷連接部3a之際，從切削液供給部54提供切削液。因此，在檢測(cè)檢測(cè) 部3的電阻等之際，從未圖示的吹氣裝置朝檢測(cè)部3噴射空氣，清除切削液。
[0115] 并且，用運(yùn)算部56根據(jù)預(yù)先確定的加工的溝槽的深度尺寸、預(yù)先測(cè)量的加工物 100的厚度尺寸、刀片53b的刀尖在Z方向上的位置信息以及加工物100的設(shè)置面100a在 Z方向上的位置信息，計(jì)算刀片53b在Z方向上的移動(dòng)量。
[0116] 另外，能夠用未圖示的測(cè)量裝置測(cè)量被保持在加工夾具1上的加工物100的上表 面的位置。在測(cè)量加工物100的上表面的位置的情況下，運(yùn)算部56根據(jù)預(yù)先確定的加工的 溝槽的深度尺寸、加工物100的上表面的位置信息以及刀片53b的刀尖在Z方向上的位置 信息，計(jì)算刀片53b在Z方向上的移動(dòng)量。
[0117] 接著，能夠用運(yùn)算部56進(jìn)行刀片53b在Z方向上的移動(dòng)量的修正。圖7為用來舉 例說明刀片53b在Z方向上的移動(dòng)量修正的示意圖。如圖7所示，用運(yùn)算部56計(jì)算Z方向 的位置偏差，根據(jù)Z方向的位置偏差修正刀片53b在Z方向上的移動(dòng)量。
[0118] 例如，在設(shè)置有多個(gè)檢測(cè)部3的情況下，通過用運(yùn)算部56分別檢測(cè)切斷多個(gè)連接 部3a的Z方向的位置，計(jì)算加工夾具1上的Z方向的位置偏差。然后，根據(jù)求出的Z方向 的位置偏差，用運(yùn)算部56修正刀片53b在Z方向上的移動(dòng)量。
[0119] 并且，在加工物100的長度方向的兩端的各自的附近至少各設(shè)置一個(gè)連接部3a的 情況下，用運(yùn)算部56通過分別檢測(cè)加工物100兩端的連接部3a被切斷的Z方向的位置，計(jì) 算加工物100的長度方向上的Z方向的位置偏差--即載置的加工物100的傾斜。然后， 根據(jù)求出的Z方向的位置偏差用運(yùn)算部56修正刀片53b在Z方向上的移動(dòng)量。
[0120] 并且，在加工物100的四個(gè)角的各自的附近至少各設(shè)置一個(gè)連接部3a的情況下， 通過用運(yùn)算部56分別檢測(cè)加工物100的四個(gè)角的連接部3a被切斷的Z方向的位置，計(jì)算 加工物100在Z方向上的位置在平面內(nèi)的偏差--即被載置的加工物100的傾斜。然后， 根據(jù)求得的Z方向的位置偏差用運(yùn)算部56修正刀片53b在Z方向上的移動(dòng)量。
[0121] 有關(guān)修正后的刀片53b在Z方向上的移動(dòng)量的信息送給控制部55,進(jìn)行加工物 100的加工。
[0122] 另外，由于臺(tái)座部51、保持部52以及加工部53在X方向、Y方向、Z方向及Θ方 向的移動(dòng)、刀片53b的旋轉(zhuǎn)、切削液的提供等能夠使用已知的技術(shù)的作用，因此省略詳細(xì)的 說明。
[0123] 像以上說明過的那樣，本實(shí)施形態(tài)的加工方法具備以下工序。
[0124] 控制加工物100的厚度方向（Z方向）上刀片53b的刀尖位置、切斷設(shè)置在加工夾 具1、11中的連接部3a的工序。
[0125] 檢測(cè)連接部3a被切斷這一,清況，根據(jù)連接部3a被切斷這一,清況求出刀片53b的 刀尖位置的工序。
[0126] 根據(jù)求出的刀片53b的刀尖位置求出加工加工物100之際刀片53b在加工物100 的厚度方向上的移動(dòng)量的工序。
[0127] 根據(jù)求出的刀片53b在加工物100的厚度方向上的移動(dòng)量加工加工物100的工 序。
[0128] 除此以外，還具備進(jìn)行刀片53b在加工物100的厚度方向上的移動(dòng)量的修正的工 序等。
[0129] 另外，各工序的內(nèi)容由于與上述同樣，因此省略詳細(xì)的說明。
[0130] 圖8為用來舉例說明溝槽加工中誤差要因的示意圖。
[0131] 圖8所示的δ 〇為保持部52的形狀誤差，δ 1為加工夾具1與保持部52之間的 間隙誤差，S 2為加工夾具1的形狀誤差，δ 3為加工夾具1與加工物100之間的間隙誤差， S 4為刀片53b消耗引起的誤差。
[0132] 溝槽加工中綜合誤差能夠米用δ 〇?δ 4之和（=δ〇 + δ1+ δ2 + δ 3)。
[0133] 因此，根據(jù)本實(shí)施形態(tài)的加工夾具、加工裝置、及加工方法，能夠使溝槽加工中的 綜合誤差成為最小限度。
[0134] 并且，根據(jù)本實(shí)施形態(tài)的加工夾具、加工裝置、及加工方法，能夠精度良好地檢測(cè) 刀片53b的刀尖位置，并且能夠修正刀片53b在Ζ方向上的移動(dòng)量。
[0135] 因此，即使在例如溝槽的寬度尺寸為0. 10mm左右、溝槽形狀容易變形的情況下， 也能夠提高溝槽加工的加工精度。
[0136] 并且，本實(shí)施形態(tài)的加工夾具能夠用于現(xiàn)有的加工裝置。
[0137] 以上舉例說明了本發(fā)明的幾個(gè)實(shí)施形態(tài)，但這些實(shí)施形態(tài)是作為例子提出的，并 不企圖限定發(fā)明的范圍。這些新的實(shí)施形態(tài)能夠以其他種種形態(tài)實(shí)施，在不超出發(fā)明宗旨 的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行種種省略、替換和變更。這些實(shí)施形態(tài)及其變形例包含在發(fā)明的范圍和 宗旨內(nèi)，同時(shí)包含在權(quán)利要求范圍記載的發(fā)明及其均等的范圍內(nèi)。并且，上述各實(shí)施形態(tài)能 夠互相組合實(shí)施。
【權(quán)利要求】
1. 一種加工夾具，具備： 基部，在一個(gè)面上具有保持加工物的區(qū)域；以及 檢測(cè)部，具有導(dǎo)電性，具備設(shè)置在保持上述加工物的區(qū)域的周邊的連接部、和分別連接 在上述連接部兩端的布線部。
2. 如權(quán)利要求1所述的加工夾具，上述檢測(cè)部設(shè)有多個(gè)。
3. 如權(quán)利要求1所述的加工夾具，上述連接部夾著保持上述加工物的區(qū)域設(shè)有多個(gè)。
4. 如權(quán)利要求1所述的加工夾具，在保持上述加工物的區(qū)域的周邊還具有傾斜面； 上述連接部設(shè)于上述傾斜面。
5. 如權(quán)利要求4所述的加工夾具，上述傾斜面沿上述基部的厚度尺寸隨著向上述基部 的邊端變薄的方向傾斜。
6. 如權(quán)利要求4所述的加工夾具，在上述傾斜面上設(shè)置有多個(gè)上述檢測(cè)部。
7. 如權(quán)利要求1所述的加工夾具，上述連接部在上述加工物的長度方向上夾著保持上 述加工物的區(qū)域設(shè)有多個(gè)。
8. 如權(quán)利要求1所述的加工夾具，上述連接部分別在保持上述加工物的區(qū)域的長度方 向的兩端的各自的附近至少各設(shè)有一個(gè)。
9. 如權(quán)利要求1所述的加工夾具，上述連接部在上述加工物的四個(gè)角一側(cè)夾著保持上 述加工物的區(qū)域設(shè)有多個(gè)。
10. 如權(quán)利要求1所述的加工夾具，上述連接部分別在保持上述加工物的區(qū)域的四個(gè) 角的各自的附近至少各設(shè)有一個(gè)。
11. 如權(quán)利要求1所述的加工夾具，還具備設(shè)置在上述連接部與上述基部之間的絕緣 層。
12. 如權(quán)利要求11所述的加工夾具，上述基部由從金屬、玻璃、陶瓷構(gòu)成的組中選擇的 至少一種材料形成。
13. 如權(quán)利要求1所述的加工夾具，上述基部由尺寸穩(wěn)定性高的絕緣性材料形成。
14. 如權(quán)利要求13所述的加工夾具，上述基部由玻璃及陶瓷中的至少某一個(gè)形成。
15. -種加工裝置，具備： 權(quán)利要求1所述的加工夾具； 保持上述加工夾具的保持部； 具備加工被上述加工夾具所保持的加工物的刀片的加工部； 控制上述刀片在上述加工物的厚度方向上的刀尖位置的控制部；以及 計(jì)算上述刀片在上述加工物的厚度方向上的刀尖位置的運(yùn)算部。
16. 如權(quán)利要求15所述的加工裝置，上述控制部控制上述刀片的刀尖位置，將設(shè)置于 上述加工夾具的連接部切斷； 上述運(yùn)算部檢測(cè)上述連接部被切斷了這一情況，根據(jù)上述連接部被切斷了這一情況計(jì) 算上述刀片的刀尖位置。
17. 如權(quán)利要求16所述的加工裝置，上述運(yùn)算部與上述連接部電連接。
18. 如權(quán)利要求17所述的加工裝置，上述運(yùn)算部通過檢測(cè)上述連接部的電阻、上述連 接部中流過的電流以及上述連接部中的電壓的至少某一個(gè)來檢測(cè)上述連接部被切斷這一 情況。
19. 一種加工方法，具備： 控制刀片在加工物的厚度方向上的刀尖位置，切斷設(shè)置于權(quán)利要求1?7中的任一項(xiàng) 所述的加工夾具的連接部的工序； 檢測(cè)上述連接部被切斷了這一情況，根據(jù)上述連接部被切斷了這一情況求出上述刀片 的刀尖位置的工序； 根據(jù)求出的刀片的刀尖位置，求出在加工上述加工物之際刀片在上述加工物的厚度方 向上的移動(dòng)量的工序；以及 根據(jù)求出的刀片在加工物的厚度方向上的移動(dòng)量，加工上述加工物的工序。
20. 如權(quán)利要求19所述的加工方法， 在切斷上述連接部的工序中，切斷多個(gè)上述連接部； 在求出上述刀片的刀尖位置的工序中，分別檢測(cè)上述多個(gè)連接部被切斷的位置，求出 在上述加工夾具上的位置偏差； 在求出上述刀片的移動(dòng)量的工序中，根據(jù)求出的上述位置偏差來修正上述刀片的移動(dòng) 量。
【文檔編號(hào)】B28D5/02GK104057547SQ201410071820
【公開日】2014年9月24日 申請(qǐng)日期:2014年2月28日 優(yōu)先權(quán)日:2013年3月21日
【發(fā)明者】須藤正昭 申請(qǐng)人:株式會(huì)社東芝