專利名稱：玻璃基板的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種玻璃基板的制造方法。
背景技術(shù)：
如專利文獻(xiàn)I (日本專利特開2009-196879)所示，已有人提出·使用下拉法制造TFT (ThinFilmTransistor,薄膜電晶體)型的顯示器的方法。于下拉法中，在使熔融玻璃流入成形體中之后，使該熔融玻璃自成形體的頂部溢流。溢流的熔融玻璃沿著成形體的兩側(cè)面流下，并于成形體的下端部合流，藉此制成平板狀的玻璃(平板玻璃)。之后，一面利用拉伸輥將平板玻璃向下拉伸，一面加以冷卻。將經(jīng)冷卻的平板玻璃切割成所需的長度，而制成玻璃基板。

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的課題在液晶顯示器等平板顯示器用的玻璃基板上形成有薄膜電晶體(TFT:ThinFilmTransistor)等半導(dǎo)體元件。在TFT形成時(shí)，由于玻璃基板是于高溫下進(jìn)行熱處理,故而會(huì)引起玻璃基板的結(jié)構(gòu)松弛,并因熱收縮而使體積收縮。此時(shí),若熱收縮率較大,則會(huì)產(chǎn)生形成于玻璃基板上的電路圖案錯(cuò)位的問題。作為解決該問題的方法，有專利文獻(xiàn)I中所披露的方法。于該方法中，在下拉法的緩冷步驟中，使自緩冷點(diǎn)至「緩冷點(diǎn)_50°C」的溫度為止的平均冷卻速度低于自「緩冷點(diǎn)+100°C」的溫度至緩冷點(diǎn)為止的平均冷卻速度。利用該構(gòu)成，可獲得熱收縮率較小的玻璃。如此，于專利文獻(xiàn)I中，是考慮熱收縮率而規(guī)定平板玻璃的流動(dòng)方向的冷卻速度，但必須進(jìn)一步提升生產(chǎn)性，并且使熱收縮率成為良好。此外，在專利文獻(xiàn)I中，未能達(dá)到既能夠使熱收縮率成為良好，并且使平板玻璃的板厚均勻化，進(jìn)而減少平板玻璃的翹曲及應(yīng)變的目的。本發(fā)明的課題在于提供一種在使用下拉法制造玻璃基板時(shí)，既能提升玻璃基板的生產(chǎn)量，又能制造熱收縮率良好的玻璃基板的玻璃基板的制造方法。用于解決課題的手段本發(fā)明的玻璃基板的制造方法包括成形步驟及冷卻步驟。于成形步驟中，藉由下拉法將熔融玻璃成形為平板玻璃。于冷卻步驟中，將平板玻璃冷卻。此外，冷卻步驟包括第I冷卻步驟、第2冷卻步驟及第3冷卻步驟。第I冷卻步驟是以第I平均冷卻速度將平板玻璃的中央?yún)^(qū)域的溫度冷卻至緩冷點(diǎn)。第2冷卻步驟是以第2平均冷卻速度將中央?yún)^(qū)域的溫度自緩冷點(diǎn)冷卻至應(yīng)變點(diǎn)-50°C。第3冷卻步驟是以第3平均冷卻速度將中央?yún)^(qū)域的溫度自應(yīng)變點(diǎn)_50°C冷卻至應(yīng)變點(diǎn)-200°C。并且，第I平均冷卻速度為5. (TC /秒以上。第I平均冷卻速度高于第3平均冷卻速度。第3平均冷卻速度高于第2平均冷卻速度。第2平均冷卻速度越小，平板玻璃的熱收縮率越變小。因此，于第I至第3平均冷卻速度下，藉由將第2平均冷卻速度設(shè)為最慢，可有效地降低平板玻璃的熱收縮率。藉此，可提升玻璃基板的生產(chǎn)量，并且制造適宜的玻璃基板。再者，平板玻璃的中央?yún)^(qū)域?yàn)榘拱搴窬鶆蚧膶ο蟮牟糠值膮^(qū)域，平板玻璃的端部為包含制造后經(jīng)切割的對象的部分的區(qū)域。此外，第I平均冷卻速度較佳為5. (TC /秒 50°C /秒的范圍內(nèi)。若第I平均冷卻速度低于5. (TC /秒，則生產(chǎn)性變差。若第I平均冷卻速度超過50°C /秒，則存在玻璃發(fā)生破裂的情形，且平板玻璃的翹曲值及板厚偏差變差。再者，第I平均冷卻速度更佳為5. (TC /秒 45°C /秒的范圍內(nèi)，進(jìn)而較佳為5. (TC /秒 40°C /秒的范圍內(nèi)。第I冷卻步驟較佳為包括如下步驟第I溫度控制步驟，其使平板玻璃的寬度方向的端部的溫度低于由端部夾持的中央?yún)^(qū)域的溫度，且使中央?yún)^(qū)域的溫度變均勻；及第2溫度控制步驟，其于進(jìn)行第I溫度控制步驟后，使平板玻璃的寬度方向的溫度自中央部向端部下降。于第I溫度控制步驟中，藉由使平板玻璃的寬度方向端部的溫度低于中央?yún)^(qū)域的溫度，平板玻璃的端部的黏度增高。藉此，可抑制平板玻璃的寬度方向的收縮。若平板玻璃于寬度方向上收縮，則收縮的部位的板厚增大，且板厚偏差變差。因此，藉由使平板玻璃的寬度方向的端部的溫度低于中央?yún)^(qū)域的溫度，可使板厚均勻化。于第I溫度控制步驟中，藉 由使平板玻璃的中央?yún)^(qū)域的溫度均勻化，可使中央?yún)^(qū)域的黏度變均勻，且可使板厚均勻化。再者，為了使板厚更均勻化，較佳為于成形體正下方進(jìn)行第I溫度控制步驟，又，較佳為進(jìn)行第I溫度控制步驟直至將平板玻璃冷卻至玻璃軟化點(diǎn)的附近。此處，「玻璃軟化點(diǎn)的附近」較佳為自「玻璃軟化點(diǎn)-20°C」至「玻璃軟化點(diǎn)+20°C」的溫度區(qū)域。較佳為第2冷卻步驟包括第3溫度控制步驟，其使平板玻璃的寬度方向的端部與中央部的溫度梯度隨著接近玻璃應(yīng)變點(diǎn)附近而減小。于第2溫度控制步驟中，形成有平板玻璃的寬度方向的溫度自中央部向端部下降的溫度梯度。于第3溫度控制步驟中，于向玻璃應(yīng)變點(diǎn)附近將平板玻璃冷卻的過程中，第2溫度控制步驟中所形成的溫度梯度減小。藉此，由于隨著自平板玻璃的端部朝向中央部，平板玻璃的體積收縮量增大，故而在平板玻璃的寬度方向中央部存在拉伸應(yīng)力的作用。尤其是，于平板玻璃的中央部，在平板玻璃的流動(dòng)方向以及寬度方向上存在拉伸應(yīng)力的作用。在此，在平板玻璃的流動(dòng)方向的拉伸應(yīng)力比寬度方向上的拉伸應(yīng)力大為好。因此能夠一面利用拉伸應(yīng)力維持平板玻璃的平坦度，一面將平板玻璃冷卻。因此，于第2溫度控制步驟及第3溫度控制步驟中，藉由控制平板玻璃的寬度方向的溫度分布，可減少平板玻璃的翹曲及應(yīng)變。若平板玻璃于玻璃應(yīng)變點(diǎn)具有溫度梯度，則于冷卻至常溫時(shí)產(chǎn)生應(yīng)變。因此，于第3溫度控制步驟中，藉由以使寬度方向的溫度梯度向玻璃應(yīng)變點(diǎn)附近的溫度區(qū)域減小的方式加以冷卻，可減少冷卻后的應(yīng)變。于第3溫度控制步驟中，較佳為使冷卻步驟中的平板玻璃的寬度方向的端部與中央部的溫度差成為最小。若平板玻璃于玻璃應(yīng)變點(diǎn)具有溫度差，則于冷卻至常溫后產(chǎn)生應(yīng)變。即，于玻璃應(yīng)變點(diǎn)附近的溫度區(qū)域內(nèi)，減小平板玻璃的寬度方向的端部與中央部的寬度方向的溫度差，藉此可減少平板玻璃的應(yīng)變。再者，于第2溫度控制步驟中，更佳為隨著朝向平板玻璃的流動(dòng)方向的下游，使平板玻璃的寬度方向的溫度梯度逐漸減小。于第2溫度控制步驟中，更佳為以使平板玻璃的寬度方向的溫度自中央部向端部逐漸減小的方式，形成平板玻璃的寬度方向的溫度梯度。
于第2溫度控制步驟中，更佳為使平板玻璃的寬度方向的溫度自中央部向端部逐漸減小，且隨著朝向平板玻璃的流動(dòng)方向的下游，使平板玻璃的寬度方向的溫度梯度逐漸減小。于第2溫度控制步驟中，更佳為平板玻璃的寬度方向的溫度自中央部向端部按凸?fàn)钪饾u減小。于第2溫度控制步驟中，更佳為平板玻璃的寬度方向的溫度自中央部向端部呈凸?fàn)钪饾u減小，且隨著朝向平板玻璃的流動(dòng)方向的下游，平板玻璃的寬度方向的溫度梯度逐漸減小。于第2冷卻步驟中，較佳為包括第3溫度控制步驟，其使平板玻璃的寬度方向的端部與中心部的溫度梯度隨著接近玻璃應(yīng)變點(diǎn)附近而減小。于第3冷卻步驟中，較佳為使包括第4溫度控制步驟，其使平板玻璃的寬度方向的溫度自平板玻璃的寬度方向的端部向中央部下降。 藉此，隨著自平板玻璃的端部朝向中央部，平板玻璃的冷卻量增大。因此，如上所述，于平板玻璃的流動(dòng)方向及寬度方向上，拉伸應(yīng)力對平板玻璃的中央部發(fā)揮作用。因此，由于可一面維持平板玻璃的平坦度，一面加以冷卻，故而可減少平板玻璃的翹曲。此外，于第4溫度控制步驟中，更佳為以使平板玻璃的溫度自寬度方向的端部向中央部呈凸?fàn)钪饾u減小的方式形成溫度梯度。較佳為第2平均冷卻速度為O. 5°C /秒 5. 5°C /秒，且第3平均冷卻速度為I. 5°C /秒 I. (TC /秒。若第2平均冷卻速度低于O. 5°C /秒，則生產(chǎn)性變差。又，若第2平均冷卻速度超過5. 5°C /秒，則平板玻璃的熱收縮率增大。又，平板玻璃的翹曲及應(yīng)變變大。若第3平均冷卻速度低于I. 5°C /秒，則生產(chǎn)性變差。又，若第3平均冷卻速度超過7. (TC /秒，則亦存在于平板玻璃上產(chǎn)生破裂的情形。平板玻璃的翹曲變大。再者，第2平均冷卻速度較佳為I. (TC /秒 3. (TC /秒的范圍內(nèi)，第3平均冷卻速度較佳為2. (TC /秒 5. 50C /秒。進(jìn)而較佳為藉由冷卻步驟冷卻的平板玻璃具有IOOppm以下的熱收縮率。再者，更佳為藉由冷卻步驟冷卻的平板玻璃具有20ppnTl00ppm的范圍內(nèi)的熱收縮率，進(jìn)而較佳為具有20ppnT95ppm的范圍內(nèi)的熱收縮率，尤佳為具有20ppnT90ppm的范圍內(nèi)的熱收縮率。較佳為冷卻步驟進(jìn)而包括溫度梯度控制步驟，其沿著平板玻璃的流動(dòng)方向控制平板玻璃的寬度方向的溫度梯度。于溫度梯度控制步驟中，以成為上述第I平均冷卻速度、第2平均冷卻速度及第3平均冷卻速度的方式控制平板玻璃的流動(dòng)方向的冷卻速度，藉此可使平板玻璃的熱收縮率成為良好。進(jìn)而，藉由控制平板玻璃的寬度方向的溫度梯度，可制造具有均勻的板厚，且翹曲及應(yīng)變減少的玻璃基板?？商嵘ＡЩ宓纳a(chǎn)量。較佳為藉由冷卻步驟冷卻的平板玻璃具有I. Onm以下的應(yīng)變值。再者，更佳為藉由冷卻步驟冷卻的平板玻璃具有OnnTO. 95nm的范圍內(nèi)的應(yīng)變值，進(jìn)而較佳為具有OnnTO. 90nm的范圍內(nèi)的應(yīng)變值。較佳為藉由冷卻步驟冷卻的平板玻璃具有O. 15mm以下的翹曲值。
再者，較佳為藉由冷卻步驟冷卻的平板玻璃具有OmnTO. IOmm的范圍內(nèi)的翹曲值，進(jìn)而較佳為具有OmnTO. 05mm的范圍內(nèi)的翹曲值。較 佳為藉由冷卻步驟冷卻的上述平板玻璃具有15 μ m以下的板厚偏差。再者,較佳為藉由冷卻步驟冷卻的平板玻璃具有0μπΓ 4μηι的范圍內(nèi)的板厚偏差，進(jìn)而較佳為具有0μπΓ 3μ m的范圍內(nèi)的板厚偏差。發(fā)明效果于本發(fā)明的玻璃基板的制造方法中，可提升玻璃基板的生產(chǎn)量，且可制造質(zhì)量較佳的玻璃基板。


圖I為本實(shí)施方式的玻璃基板的制造方法的流程圖；圖2為表示玻璃基板的制造方法所使用的玻璃基板的制造裝置的模式圖；圖3為成形裝置的概略圖(剖面圖)；圖4為成形裝置的概略圖(側(cè)視圖)；圖5為控制裝置的控制方塊圖；圖6為表示平板玻璃的特定高度位置的溫度分布的圖；圖7為表示平板玻璃的冷卻速度的例的圖。
具體實(shí)施例方式于本實(shí)施方式的玻璃基板的制造方法中，制造具有特定的熱收縮率的TFT顯示器用的玻璃基板。所謂特定的熱收縮率，為IOOppm以下。玻璃基板是使用下拉法而制造。以下，一面參照附圖，一面對本實(shí)施方式的玻璃基板的制造方法進(jìn)行說明。(I)玻璃基板的制造方法的概要首先，參照圖I及圖2，對玻璃基板的制造方法中所含的多個(gè)步驟及多個(gè)步驟所使用的玻璃基板的制造裝置100進(jìn)行說明。如圖I所示，玻璃基板的制造方法主要包括熔融步驟SI、澄清步驟S2、成形步驟S3、冷卻步驟S4及切割步驟S5。熔融步驟SI是使玻璃的原料熔融的步驟。將玻璃原料按所需的組成加以調(diào)配后，如圖2所示將玻璃的原料投入至配置于上游的熔融裝置11中。玻璃原料例如包含Si02、A1203、B203、Ca0、Sr0、Ba0等組成。具體而言，使用應(yīng)變點(diǎn)為660°C以上的玻璃原料。玻璃的原料于熔融裝置11中熔融，而成為熔融玻璃FG(FusedGlass)。熔融溫度是根據(jù)玻璃的種類而加以調(diào)整。于本實(shí)施方式中，玻璃原料于1500°C 1650°C下熔融。熔融玻璃FG是通過上游管23而輸送至澄清裝置12中。澄清步驟S2是去除熔融玻璃FG中的氣泡的步驟。其后，通過下游管24將于澄清裝置12內(nèi)去除氣泡的熔融玻璃FG輸送至成形裝置40中。成形步驟S3是將熔融玻璃FG成形為平板狀的玻璃(平板玻璃)SG (SheetGlass)的步驟。具體而言，于將熔融玻璃FG連續(xù)地供給至成形裝置40所含的成形體41中后，自成形體41中溢流。溢流的熔融玻璃FG沿著成形體41的表面流下。其后，熔融玻璃FG于成形體41的下端部合流而成形為平板玻璃SG。冷卻步驟S4是將平板玻璃SG冷卻(緩冷)的步驟。經(jīng)由冷卻步驟S4將玻璃片冷卻至接近室溫的溫度。再者，根據(jù)冷卻步驟S4中的冷卻狀態(tài)，決定玻璃基板的厚度(板厚)、玻璃基板的翹曲量、及玻璃基板的應(yīng)變量。切割步驟S5是將成為接近室溫的溫度的平板玻璃SG切割成特定大小的步驟。再者，其后經(jīng)由端面加工等步驟，切割成特定的大小的平板玻璃SG(玻璃板PG(PlateGlass))成為玻璃基板。以下，參照圖3 圖5，對玻璃基板的制造裝置100中所含的成形裝置40的構(gòu)成進(jìn)行說明。再者，于本實(shí)施方式中，所謂平板玻璃SG的寬度方向，是指與平板玻璃SG流下的方向(流動(dòng)方向)交叉的方向，即水平方向。(2)成形裝置的構(gòu)成
首先，圖3及圖4是表示成形裝置40的概略構(gòu)成。圖3是成形裝置40的剖面圖。圖4是成形裝置40的側(cè)視圖。成形裝置40具有平板玻璃SG所通過的通路與包圍通路的空間。包圍通路的空間包括成形體室20、第I冷卻室30、及第2冷卻室80。成形體室20是將自澄清裝置12輸送而來的熔融玻璃FG成形為平板玻璃SG的空間。第I冷卻室30配置于成形體室20的下方，是用以調(diào)整平板玻璃SG的厚度及翹曲量的空間。于第I冷卻室30中，實(shí)施下述第I冷卻步驟S41的一部分。具體而言，于第I冷卻室30中，將平板玻璃SG的上游區(qū)域冷卻(上游區(qū)域冷卻步驟)。所謂平板玻璃SG的上游區(qū)域，是指平板玻璃SG的中心部C的溫度高于緩冷點(diǎn)的平板玻璃SG的區(qū)域。平板玻璃SG的中心部C為平板玻璃SG的寬度方向中心。具體而言，上游區(qū)域包含第I溫度區(qū)域與第2溫度區(qū)域。第I溫度區(qū)域是平板玻璃SG的中心部C的溫度至軟化點(diǎn)附近為止的平板玻璃SG的溫度區(qū)域。又，所謂第2溫度區(qū)域，是指平板玻璃SG的中心部C的溫度自軟化點(diǎn)附近至緩冷點(diǎn)附近為止的溫度區(qū)域。于通過第I冷卻室30內(nèi)后，平板玻璃SG通過下述第2冷卻室80內(nèi)。第2冷卻室80配置于成形體室20的下方，是用以調(diào)整平板玻璃SG的翹曲及應(yīng)變量的空間。于成形體室20中，實(shí)施下述第I冷卻步驟S41的一部分、第2冷卻步驟S42、及第3冷卻步驟S43。具體而言，于第2冷卻室80中，經(jīng)由緩冷點(diǎn)、應(yīng)變點(diǎn)，將通過第I冷卻室30內(nèi)的平板玻璃SG冷卻至室溫附近的溫度(下游區(qū)域冷卻步驟)。再者，利用隔熱構(gòu)件80b，將第2冷卻室80的內(nèi)部區(qū)分成多個(gè)空間。又，成形裝置40主要包含成形體41、間隔構(gòu)件50、冷卻輥51、溫度調(diào)整單元60、下拉輥81a 81g、加熱器82a 82g及切割裝置90。進(jìn)而，成形裝置40具備控制裝置91 (參照圖5)?？刂蒲b置91控制成形裝置40中所含的各構(gòu)成的驅(qū)動(dòng)部。以下，對成形裝置40中所含的各構(gòu)成進(jìn)行詳細(xì)說明。(2-1)成形體成形體41是設(shè)置于成形體室20內(nèi)。成形體41藉由使熔融玻璃FG溢流，而將熔融玻璃FG成形為平板狀的玻璃(平板玻璃SG)。如圖3所示，成形體41的剖面形狀具有近似五邊形的形狀(類似楔形的形狀)。近似五邊形的前端相當(dāng)于成形體41的下端部41a。又，成形體41于第I端部具有流入口 42 (參照圖4)。流入口 42是與上述下游管24連接，且自澄清裝置12流出的熔融玻璃FG自流入口 42流入至成形體41中。于成形體41上形成有溝槽43。溝槽43于成形體41的長度方向上延伸。具體而言，溝槽43自第I端部延伸至第I端部的相反側(cè)的端部即第2端部。更具體而言，溝槽43是向圖4的左右方向延伸。溝槽43是以于流入口 42附近最深且隨著接近第2端部而緩慢地變淺的方式形成。流入至成形體41中的熔融玻璃FG自成形體41的一對頂部41b、41b溢流，并一面沿著成形體41的一對側(cè)面(表面)41c、41c 一面流下。其后，熔融玻璃FG于成形體41的下端部41a合流而成為平板玻璃SG。此時(shí)，平板玻璃SG的液相溫度為1100°C以上，液相黏度為2. 5X105泊以上。(2-2)間隔構(gòu)件間隔構(gòu)件50是阻止熱量自成形體室20向第I冷卻室30移動(dòng)的構(gòu)件。間隔構(gòu)件50是配置于熔融玻璃FG的合流點(diǎn)的附近。又，如圖3所示，間隔構(gòu)件50是配置于在合流點(diǎn) 合流的熔融玻璃FG(平板玻璃SG)的厚度方向兩側(cè)。間隔構(gòu)件50為隔熱材料。間隔構(gòu)件50藉由隔開熔融玻璃FG的合流點(diǎn)的上側(cè)環(huán)境及下側(cè)環(huán)境，而阻隔熱量自間隔構(gòu)件50的上側(cè)向下側(cè)移動(dòng)。(2-3)冷卻輥冷卻輥51是設(shè)置于第I冷卻室30內(nèi)。更具體而言，冷卻輥51是配置于間隔構(gòu)件50的正下方。又，冷卻輥51是配置于平板玻璃SG的厚度方向兩側(cè)，且配置于平板玻璃SG的寬度方向兩側(cè)。于平板玻璃SG的厚度方向兩側(cè)的冷卻輥51是成對地運(yùn)作。S卩，利用兩對的冷卻輥51、51、...夾住平板玻璃SG的兩側(cè)部(寬度方向兩端部)。冷卻輥51是藉由通過內(nèi)部的空冷管進(jìn)行空冷。冷卻輥51與平板玻璃SG的側(cè)部(耳部)R、L接觸，并藉由熱傳導(dǎo)將平板玻璃SG的側(cè)部(耳部)R、L急冷(急冷步驟)。與冷卻輥51接觸的平板玻璃SG的側(cè)部R、L的黏度為特定值(具體而言，為109_°泊)以上。冷卻輥51是利用冷卻輥驅(qū)動(dòng)馬達(dá)390 (參照圖5)而驅(qū)動(dòng)旋轉(zhuǎn)。冷卻輥51具有將平板玻璃SG的側(cè)部R、L冷卻，并且將平板玻璃SG向下拉伸的功能。再者，利用冷卻輥51的平板玻璃SG的側(cè)部R、L的冷卻會(huì)對平板玻璃SG的寬度W及平板玻璃SG的厚度的均勻化產(chǎn)生影響。(2-4)溫度調(diào)整單元溫度調(diào)整單元60是設(shè)置于第I冷卻室30內(nèi)，是將平板玻璃SG冷卻至緩冷點(diǎn)附近的單元。溫度調(diào)整單元60是配置于間隔構(gòu)件50的下方，且配置于第2冷卻室80的頂板80a的上方。溫度調(diào)整單元60將平板玻璃SG的上游區(qū)域冷卻(上游區(qū)域冷卻步驟)。具體而言，溫度調(diào)整單元60是以使平板玻璃SG的中心部C的溫度接近緩冷點(diǎn)的方式將平板玻璃SG冷卻。其后，于下述第2冷卻室80內(nèi)，經(jīng)由緩冷點(diǎn)、應(yīng)變點(diǎn)，將平板玻璃SG的中心部C冷卻至室溫附近的溫度(下游區(qū)域冷卻步驟)。溫度調(diào)整單元60具有冷卻單元61。于平板玻璃SG的寬度方向配置有多個(gè)(此處為3個(gè))冷卻單元61，及于其流動(dòng)方向配置有多個(gè)。具體而言，以與平板玻璃SG的耳部R、L的表面對向的方式分別配置有I個(gè)冷卻單元61，且以與下述中央?yún)^(qū)域CA(參照圖4或圖7)的表面對向的方式配置有I個(gè)。此處，所謂平板玻璃SG的中央?yún)^(qū)域CA，是指平板玻璃SG的寬度方向中央部分，且指包含平板玻璃SG的有效寬度及其附近的區(qū)域。換言之，平板玻璃SG的中央?yún)^(qū)域CA是由平板玻璃SG的兩側(cè)部(兩耳部)夾持的部分。再者，平板玻璃SG的中央?yún)^(qū)域CA是包含使板厚均勻化的對象的部分的區(qū)域，且平板玻璃SG的耳部R、L是包含制造后經(jīng)切割的對象的部分的區(qū)域。(2-5)下拉輥下拉輥81a Slg是設(shè)置于第2冷卻室80內(nèi)，且將通過第I冷卻室30內(nèi)的平板玻璃SG向平板玻璃SG的流動(dòng)方向下拉。下拉輥81a 81g是于第2冷卻室80的內(nèi)部，沿著流動(dòng)方向隔開特定的間隔而配置。于平板玻璃SG的厚度方向兩側(cè)(參照圖3)、及平板玻璃SG的寬度方向兩側(cè)(參照圖4)配置有多個(gè)下拉輥81a 81g。S卩，下拉輥81a 81g —面與平板玻璃SG的寬度方向的兩側(cè)部(兩耳部)R、L及平板玻璃SG的厚度方向的兩側(cè)接觸，一面將平板玻璃SG下拉。下拉輥Slallg是藉由下拉輥驅(qū)動(dòng)馬達(dá)391 (參照圖5)而進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。又，下拉輥Slallg相對于平板玻璃SG而于內(nèi)側(cè)旋轉(zhuǎn)。越為下游側(cè)的下拉輥，下拉輥Slallg的圓周 速度越大。S卩，于多個(gè)下拉棍81a 81g中，下拉棍81a的圓周速度最小，下拉棍81g的圓周速度最大。配置于平板玻璃SG的厚度方向兩側(cè)的下拉輥81a 81g是成對地運(yùn)作，成對的下拉輥8la、8la、· · ·將平板玻璃SG下拉。(2-6)加熱器于第2冷卻室80的內(nèi)部設(shè)置有加熱器82a 82g，其調(diào)整第2冷卻室80的內(nèi)部空間的溫度。具體而言，于平板玻璃SG的流動(dòng)方向及平板玻璃SG的寬度方向配置有多個(gè)加熱器82a 82g。更具體而言，于平板玻璃SG的流動(dòng)方向配置有7個(gè)加熱器，且于平板玻璃的寬度方向配置有3個(gè)加熱器。配置于寬度方向的3個(gè)加熱器分別對平板玻璃SG的中央?yún)^(qū)域CA、平板玻璃SG的耳部R、L進(jìn)行熱處理。加熱器82a 82g是藉由下述控制裝置91而控制功率。藉此，控制通過第2冷卻室80內(nèi)部的平板玻璃SG的附近的環(huán)境溫度。藉由利用加熱器82a 82g控制第2冷卻室80內(nèi)的環(huán)境溫度，而進(jìn)行平板玻璃SG的溫度控制。又，藉由溫度控制，平板玻璃SG自黏性區(qū)域經(jīng)由黏彈性區(qū)域向彈性區(qū)域遷移。如此，藉由加熱器82a^82g的控制，于第2冷卻室80中，將平板玻璃SG的溫度自緩冷點(diǎn)附近的溫度冷卻至室溫附近的溫度(下游區(qū)域冷卻步驟)。再者，于各加熱器82a 82g的附近設(shè)置有檢測環(huán)境溫度的環(huán)境溫度檢測裝置(于本實(shí)施方式中為熱電偶)380。具體而言，于平板玻璃SG的流動(dòng)方向及平板玻璃SG的寬度方向配置有多個(gè)熱電偶380。熱電偶380分別檢測平板玻璃SG的中心部C的溫度與平板玻璃SG的耳部R、L的溫度?；诶脽犭娕?80檢測出的環(huán)境溫度而控制加熱器82a 82g的功率。(2-7)切割裝置切割裝置90將于第2冷卻室80內(nèi)冷卻至室溫附近的溫度的平板玻璃SG切割成特定尺寸。切割裝置90以特定的時(shí)間間隔切割平板玻璃SG。藉此，平板玻璃SG成為復(fù)數(shù)塊玻璃板PG。切割裝置90是藉由切割裝置驅(qū)動(dòng)馬達(dá)392 (參照圖5)而進(jìn)行驅(qū)動(dòng)。(2-8)控制裝置控制裝置91包含CPU (CentralProcessingUnit,中央處理單兀)、RAM (RandomAccessMemory,隨機(jī)存取記憶體)、ROM (Read-OnIyMemory,唯讀記憶體)及硬碟等，且控制玻璃板的制造裝置100中所含的各種設(shè)備。
具體而言，如圖5所示，控制裝置91接收玻璃基板的制造裝置100中所含的各種感測器(例如熱電偶380)或開關(guān)(例如主電源開關(guān)381)等的信號(hào)，而控制溫度調(diào)整單元60、加熱器82a 82g、冷卻輥驅(qū)動(dòng)馬達(dá)390、下拉輥驅(qū)動(dòng)馬達(dá)391、切割裝置驅(qū)動(dòng)馬達(dá)392等。(3)溫度管理于本實(shí)施方式的玻璃基板的制造方法中，冷卻步驟S4包括多個(gè)冷卻步驟S41、S42、S43。具體而言，沿著平板玻璃SG的流動(dòng)方向，依序?qū)嵤┑贗冷卻步驟S41、第2冷卻步驟S42、及第3冷卻步驟S43。于冷卻步驟S4中，進(jìn)行平板玻璃SG的流動(dòng)方向及寬度方向的溫度管理。基于多個(gè)溫度分布TPfTPlO進(jìn)行溫度管理。所謂溫度分布TPfTPIO，是指關(guān)于平板玻璃SG附近的環(huán)境溫度的沿著平板玻璃SG的寬度方向的溫度分布。換言之，溫度分布TPfTPlO為目標(biāo)的溫度分布。即，溫度管理是以實(shí)現(xiàn)多個(gè)溫度分布TPfTPlO的方式進(jìn)行。使用上述冷卻 輥51、溫度調(diào)整單元60、及加熱器82a 82g進(jìn)行溫度管理。平板玻璃SG的溫度是藉由控制平板玻璃SG的環(huán)境溫度而進(jìn)行管理。再者，平板玻璃SG的溫度可使用平板玻璃SG的溫度的實(shí)測值，又，亦可使用藉由基于利用加熱器82a 82g控制的平板玻璃SG的環(huán)境溫度并藉由模擬而算出的值。進(jìn)而，各冷卻步驟S4fS43中，藉由以特定的冷卻速度將平板玻璃SG冷卻，而進(jìn)行平板玻璃SG的流動(dòng)方向的溫度管理。此處，所謂特定的冷卻速度，是指對應(yīng)于各冷卻步驟S4rS43的冷卻速度。具體而言，于所有冷卻步驟S4f S43的冷卻速度中，第I冷卻步驟的冷卻速度(第I冷卻速度)最快。又，于所有冷卻步驟S4f S43的冷卻速度中，第2冷卻步驟的冷卻速度(第2冷卻速度)最慢。S卩，第3冷卻步驟的冷卻速度(第3冷卻速度)低于第I冷卻速度，且高于第2冷卻速度(第I冷卻速度>第3冷卻速度>第2冷卻速度)。于本實(shí)施方式的冷卻步驟S4中，將平板玻璃SG的中心部C的冷卻速度(中心部冷卻速度)與平板玻璃SG的耳部R、L的冷卻速度(耳部冷卻速度)設(shè)定為不同速度。中心部冷卻速度是基于平板玻璃SG的中心部C的溫度變化的量與溫度變化所需的時(shí)間而算出。耳部冷卻速度是基于平板玻璃SG的耳部R、L的溫度變化的量與溫度變化所需的時(shí)間而算出。以下，參照圖6及圖7，對各冷卻步驟S4fS43中的平板玻璃SG的溫度管理進(jìn)行詳細(xì)說明。圖6是表示平板玻璃SG的特定的高度位置的溫度分布。圖7是表示平板玻璃SG (O. 7mm)的冷卻速度。(3-1)第I冷卻步驟第I冷卻步驟S41是將于成形體41的正下方合流的熔融玻璃冷卻至緩冷點(diǎn)附近的溫度的步驟。具體而言，于第I冷卻步驟中，將約1，IOO0C 1，200°C的平板玻璃SG冷卻至緩冷點(diǎn)附近的溫度(參照圖7)。此處，緩冷點(diǎn)為黏度成為IO13泊時(shí)的溫度，此處為715. (TC。于第I冷卻步驟S41中，基于第I溫度分布TPl 第4溫度分布TP4進(jìn)行平板玻璃SG的溫度管理。以下，對在第I冷卻步驟S41中實(shí)施的各溫度分布TPf TP4與第I冷卻步驟的冷卻速度(第I冷卻速度)進(jìn)行詳細(xì)說明。(3-1-1)第I溫度分布第I溫度分布TPl是于平板玻璃SG的最上游側(cè)實(shí)現(xiàn)的溫度分布(參照圖6)。第I溫度分布TPl中，平板玻璃SG的中央?yún)^(qū)域CA的溫度均勻，且平板玻璃SG的耳部R、L低于平板玻璃SG的中央?yún)^(qū)域CA的溫度。此處，所謂中央?yún)^(qū)域CA的溫度均勻，是指中央?yún)^(qū)域CA的溫度包含于特定的溫度區(qū)域內(nèi)。所謂特定的溫度區(qū)域，是指標(biāo)準(zhǔn)溫度±20°C的范圍。標(biāo)準(zhǔn)溫度為中央?yún)^(qū)域CA的寬度方向的平均溫度。第I溫度分布TPl是藉由控制第I冷卻室30內(nèi)的冷卻輥51及溫度調(diào)整單元60而實(shí)現(xiàn)。具體而言，是指利用冷卻輥51將平板玻璃SG的耳部R、L冷卻。將平板玻璃SG的耳部R、L的溫度冷卻至與中央?yún)^(qū)域CA的溫度相比低特定溫度(例如低200°C ^2500C )的溫度。第I溫度分布TPl中，使平板玻璃SG的板厚均勻化。再者，為了使平板玻璃SG的板厚更均勻化，較佳為于成形體正下方進(jìn)行基于第I溫度分布TPl的溫度管理，又，較佳為進(jìn)行溫度管理直至將平板玻璃SG冷卻至玻璃軟化點(diǎn)的附近。此處，「玻璃軟化點(diǎn)的附近」較佳為自「玻璃軟化點(diǎn)_20°C J至「玻璃軟化點(diǎn)+20°C」的溫度區(qū)域。(3-1-2)第2溫度分布及第3溫度分布第2溫度分布TP2及第3溫度分布TP3是于第I溫度分布TPl后實(shí)現(xiàn)的溫度分布(參照圖6)。具體而言，相對于平板玻璃SG的流動(dòng)方向，第2溫度分布TP2位于上游側(cè)，且第3溫度分布TP3位于下游側(cè)。第2溫度分布TP3及第3溫度分布TP3中，中央?yún)^(qū)域CA的中心部C的溫度最高，耳部R、L的溫度最低。又，于第2溫度分布TP2及第3溫度分布TP3中，溫度自中心部C向耳部R、L緩慢地下降。即，于中心部C的溫度與耳部R、L的溫度中形成有梯度(溫度梯度)。之，第2分布圖TP2及第3溫度分布TP3中，形成有于上部具有凸形的平緩的拋物線。再者，此處，所謂溫度梯度，是指用自中心部C的環(huán)境溫度減去耳部R、L的環(huán)境溫度的值除以將平板玻璃SG的寬度W(例如為1650_，參照圖6)除以2的值而獲得者((中心部C的環(huán)境溫度-耳部R、L的環(huán)境溫度)/ (平板玻璃的寬度W/2))。第3溫度分布TP3中的溫度梯度TG3大于第2溫度分布TP2中的溫度梯度TG2。換言之，第3溫度分布TP3中的平板玻璃SG的耳部R、L的環(huán)境溫度與中心部C的環(huán)境溫度的差(寬度方向溫度差)大于第2溫度分布TP3中的寬度方向溫度差。即，第3溫度分布TP3成為大于第2溫度分布TP2的拋物線。于第2溫度分布TP2及第3溫度分布TP3中，是以與中心部C相比較快地冷卻耳部R、L的方式實(shí)現(xiàn)較大的拋物線狀的分布圖。再者，第2溫度分布TP2及第3溫度分布TP3是藉由控制第I冷卻室30內(nèi)的溫度調(diào)整單元60而實(shí)現(xiàn)。(3-1-3)第4溫度分布第4溫度分布TP4是于第3溫度分布TP3后實(shí)現(xiàn)的溫度分布(參照圖6)。第4溫度分布TP4中，亦為中央?yún)^(qū)域CA的中心部C的溫度最高，耳部R、L的溫度最低。第4溫度分布TP4中，溫度亦自中心部C向耳部R、L緩慢地下降，而形成有于上部具有凸形的平緩的拋物線。再者，第4溫度分布TP4中的溫度梯度TG4小于上游的第3溫度分布TP3中的溫度梯度TG3。S卩，第4溫度分布TP4成為小于第3溫度分布TP3的拋物線。再者，第4溫度分布TP4是藉由控制第2冷卻室80內(nèi)的加熱器82a而實(shí)現(xiàn)。(3-1-4)第I冷卻速度于第I冷卻步驟S41中，與中心部C的環(huán)境溫度相比，以較快的平均冷卻速度將耳部R、L的環(huán)境溫度冷卻。即，與中心部C的平均冷卻速度(第I中心部冷卻速度)相比，耳部R、L的平均冷卻速度(第I耳部冷卻速度)較快。第I冷卻步驟S41中的第I中心部冷卻速度為5. (TC /秒飛O. (TC /秒。若冷卻速度低于5. (TC /秒，則生產(chǎn)性會(huì)變差。若冷卻速度超過50°C /秒，則存在平板玻璃SG發(fā)生破裂的情形。又，平板玻璃SG的翹曲值及板厚偏差變大。第I中心部冷卻速度較佳為8. (TC /秒 16. 50C /秒。又，第I冷卻步驟S41中的第I耳部冷卻速度為5. 5°C /秒飛2. (TC /秒。第I耳部冷卻速度較佳為8. 30C /秒 17. 50C /秒。(3-2)第2冷卻步驟第2冷卻步驟S42是將成為緩冷點(diǎn)附近的溫度的平板玻璃SG冷卻至應(yīng)變點(diǎn)_50°C附近的步驟(參照圖7)。此處，應(yīng)變點(diǎn)為成為黏度IO14 5泊的溫度，此處為661. (TC。又，應(yīng)變點(diǎn)_50°C為611. (TC。具體而言，于第2冷卻步驟中，將700°C 730°C的平板玻璃SG冷卻至 596 0C 626。。。 于第2冷卻步驟S42中，基于第5溫度分布TP5及第6溫度分布TP6進(jìn)行平板玻璃SG的溫度管理。以下，詳細(xì)地說明于第2冷卻步驟S42中實(shí)施的溫度分布TP5、TP6與第2冷卻步驟的冷卻速度(第2冷卻速度)。(3-2-1)第5溫度分布第5溫度分布ΤΡ5是于第4溫度分布ΤΡ4后實(shí)現(xiàn)的溫度分布(參照圖6)。第5溫度分布ΤΡ5中，亦為中心部C的溫度最高，耳部R、L的溫度最低。又，第5溫度分布TP5中，溫度亦自中心部C向耳部R、L緩慢地下降，而形成有于上部具有凸形的平緩的拋物線。第5溫度分布TP5中的溫度梯度TG5小于第4溫度分布TP4中的溫度梯度TG4。即，第5溫度分布TP5成為小于第4溫度分布TP4的拋物線。再者，第5溫度分布TP5是藉由控制第2冷卻室80內(nèi)的加熱器82b而實(shí)現(xiàn)。(3-2-1)第6溫度分布第6溫度分布TP6中，平板玻璃SG的寬度方向的環(huán)境溫度(自寬度方向的耳部R、L至中心部C的環(huán)境溫度)均勻。換言之，第6溫度分布TP6中，于平板玻璃SG的寬度方向上，耳部R、L周邊的環(huán)境溫度與中心部C周邊的環(huán)境溫度的溫度梯度最小，且耳部R、L周邊的環(huán)境溫度與中心部C周邊的環(huán)境溫度成為相同程度的溫度分布。此處，所謂均勻，是指耳部R、L周邊的環(huán)境溫度與中心部C周邊的環(huán)境溫度包含于特定的溫度區(qū)域內(nèi)。所謂特定的溫度區(qū)域，是指標(biāo)準(zhǔn)溫度±5°C的范圍。標(biāo)準(zhǔn)溫度為平板玻璃SG的寬度方向的平均溫度。再者，第6溫度分布TP6是藉由控制第2冷卻室80內(nèi)的加熱器82c而實(shí)現(xiàn)。又，第6溫度分布TP6是于應(yīng)變點(diǎn)附近實(shí)現(xiàn)。此處，所謂應(yīng)變點(diǎn)附近，是指包含應(yīng)變點(diǎn)^60°C)的特定的溫度區(qū)域。所謂特定的溫度區(qū)域，是指自「(緩冷點(diǎn)+應(yīng)變點(diǎn))/2」至「應(yīng)變點(diǎn)-50°C」的范圍。第6溫度分布TP6是于應(yīng)變點(diǎn)附近的至少一點(diǎn)(流動(dòng)方向的一部位)實(shí)現(xiàn)。(3-2-2)第2冷卻速度于第2冷卻步驟S42中，是以使平板玻璃SG的寬度方向的環(huán)境溫度大致成為固定的方式，控制平板玻璃SG的中心部C的環(huán)境溫度與耳部R、L的環(huán)境溫度。即，與耳部R、L的平均冷卻速度(第2耳部冷卻速度)相比，中心部C的平均冷卻速度(第2中心部冷卻速度)稍快。
第2冷卻步驟S42中的第2中心部冷卻速度為O. 5°C /秒 5. 5°C /秒。若第2中心部冷卻速度低于O. 5°C /秒，則生產(chǎn)性變差。又，若第2中心部冷卻速度超過5. 5°C /秒，則平板玻璃SG的熱收縮率增大。又，平板玻璃SG的翹曲及應(yīng)變變大。第2中心部冷卻速度較佳為I. (TC /秒 3. (TC /秒。又，第2冷卻步驟S42中的第2耳部冷卻速度為O. 30C /秒 5. 3°C /秒。第2耳部冷卻速度較佳為O. 8°C /秒 I. 8°C /秒。(3-3)第3冷卻步驟第3冷卻步驟S43是將成為應(yīng)變點(diǎn)_50°C附近的溫度的平板玻璃SG冷卻至應(yīng)變點(diǎn)-200°C附近的溫度的步驟(參照圖7)。具體而言，于第2冷卻步驟中，將596°C飛26°C的平板玻璃SG冷卻至446 °C "476 °C。于第3冷卻步驟S43中，基于第7溫度分布TP7 第10溫度分布TPlO進(jìn)行平板玻璃SG的溫度管理。以下，詳細(xì)地說明于第3冷卻步驟S43中實(shí)施的溫度分布TP7 TPlO與 第3冷卻步驟的冷卻速度(第3冷卻速度)。(3-3-1)第7溫度分布 第10溫度分布第7溫度分布TP7 第10溫度分布TPlO是于第6溫度分布TP6后實(shí)現(xiàn)的溫度分布(參照圖6)。具體而言，第7溫度分布TP7 第10溫度分布TPlO是沿著平板玻璃SG的流動(dòng)方向分別實(shí)現(xiàn)。更具體而言，于上游側(cè)實(shí)現(xiàn)第7溫度分布TP7，繼而實(shí)現(xiàn)第8溫度分布TP8。繼第8溫度分布TP8之后，實(shí)現(xiàn)第9溫度分布TP9，并于下游側(cè)實(shí)現(xiàn)第10溫度分布TP10。第7溫度分布TP7 第10溫度分布TPlO中，中央?yún)^(qū)域CA的中心部C的溫度最低，耳部R、L的溫度最高。又，于第7溫度分布TP7 第10溫度分布TPlO中，溫度自中心部C向耳部R、L緩慢地升高。即，于中心部C的溫度與耳部R、L的溫度中形成有梯度(溫度梯度)。換言之，第7溫度分布TP7 第10溫度分布TPlO中，形成有于下部具有凸形的平緩的拋物線。又，第7溫度分布TP7 第10溫度分布TPlO中的溫度梯度TG7 10是沿著平板玻璃SG的流動(dòng)方向緩慢地變大。換言之，第10溫度分布TPlO中的平板玻璃SG的耳部R、L的環(huán)境溫度與中心部C的環(huán)境溫度的差(寬度方向溫度差)大于第7溫度分布TP7中的寬度方向溫度差。即，第10溫度分布TPlO成為大于第7溫度分布TP7的拋物線。于第7溫度分布TP7 第10溫度分布TPlO中，與耳部R、L相比，亦較快地將中心部C冷卻。再者，第7溫度分布TP7 第10溫度分布TPlO是藉由控制第2冷卻室80內(nèi)的加熱器82cT82g而實(shí)現(xiàn)。具體而言，利用加熱器82d實(shí)現(xiàn)第7溫度分布TP7，利用加熱器82e實(shí)現(xiàn)第8溫度分布TP8，利用加熱器82f實(shí)現(xiàn)第9溫度分布TP9，利用加熱器82g實(shí)現(xiàn)第10溫度分布TPlO。(3-3-2)第3冷卻速度于第3冷卻步驟S43中，以高于耳部R、L的環(huán)境溫度的速度將中心部C的環(huán)境溫度冷卻。即，與耳部R、L的平均冷卻速度(第3耳部冷卻速度)相比，中心部C的平均冷卻速度(第3中心部冷卻速度)較快。又，于第3冷卻步驟S43中，隨著朝向平板玻璃SG的流動(dòng)方向的下游側(cè)，平板玻璃SG的耳部R、L的環(huán)境溫度的冷卻速度與中心部C的環(huán)境溫度的冷卻速度的差增大。第3冷卻步驟S43中的第3中心部冷卻速度為I. 5°C /秒 . (TC /秒。若第3中心部冷卻速度低于I. 50C /秒，則生產(chǎn)性會(huì)變差。又，若第3中心部冷卻速度超過7. 0°C /秒，則亦存在平板玻璃SG發(fā)生破裂的情形，且平板玻璃SG的翹曲亦變大。第3中心部冷卻速度較佳為2. (TC /秒 5. 50C /秒。又，第3冷卻步驟S43中的第3耳部冷卻速度為I. 3°C /秒飛.8°C /秒。第3耳部冷卻速度較佳為I. 5°C /秒飛.(TC /秒。[實(shí)施例]使用上述玻璃基板的制造裝置100及玻璃基板的制造方法，于如下條件下制造玻
璃基板。將玻璃的組成(質(zhì)量％)設(shè)為 SiO2 60%、Al2O3 17%、B2O3 10%、CaO 3%, SrO 3%, BaO1%。玻璃的液相溫度為1，100°c，液相黏度為2. 5X IO5泊。玻璃的緩冷點(diǎn)為715. (TC，應(yīng)變點(diǎn)為661°C。又，平板玻璃SG的寬度為1600mm。進(jìn)而,分別制造不同厚度(O. 3mm、0. 4mm、O. 5mm、O. 7mm)的平板玻璃SG。于表f 4中揭示冷卻步驟S4中的平板玻璃SG的溫度變化(°C)及溫度變化所需的 時(shí)間(秒)的實(shí)測值，基于實(shí)測值內(nèi)推的關(guān)于到達(dá)緩冷點(diǎn)(715°C)、應(yīng)變點(diǎn)-50°C (611°C)、及應(yīng)變點(diǎn)_200°C (46rc)為止的時(shí)間的值(內(nèi)推值)，及中心部C的冷卻速度(V /秒)。表廣表4分別揭示具有O. 7mm、O. 5mm、O. 35mm、O. 3mm的板厚的平板玻璃SG的值。于冷卻步驟S4中，以第I冷卻步驟S41中的冷卻速度成為最大的值，第3冷卻步驟S43中的冷卻速度成為第二大的值，第2冷卻步驟S42中的冷卻速度成為最小的值的方式實(shí)施加冷卻步驟。[表 I]
權(quán)利要求
1.一種玻璃基板制造方法，其包括如下步驟 成形步驟，其藉由下拉法將熔融玻璃成形為平板玻璃，以及 冷卻步驟，其將上述平板玻璃冷卻；并且， 上述冷卻步驟包括如下步驟 第I冷卻步驟，其以第I平均冷卻速度將上述平板玻璃的中央?yún)^(qū)域的溫度冷卻至緩冷點(diǎn)， 第2冷卻步驟，其以第2平均冷卻速度將上述中央?yún)^(qū)域的溫度自上述緩冷點(diǎn)冷卻至應(yīng)變點(diǎn)-50°C，以及 第3冷卻步驟，其以第3平均冷卻速度將上述中央?yún)^(qū)域的溫度自上述應(yīng)變點(diǎn)_50°C冷卻至上述應(yīng)變點(diǎn)_200°C ； 上述第I平均冷卻速度為5. (TC /秒以上， 上述第I平均冷卻速度高于上述第3平均冷卻速度， 上述第3平均冷卻速度高于上述第2平均冷卻速度。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的玻璃基板制造方法，其中， 上述第I冷卻步驟包括如下步驟 第I溫度控制步驟，其使上述平板玻璃的寬度方向的端部的溫度低于由上述端部夾持的中央?yún)^(qū)域的溫度，且使上述中央?yún)^(qū)域的溫度變均勻，及 第2溫度控制步驟，其于進(jìn)行上述第I溫度控制步驟后，使上述平板玻璃的寬度方向的溫度自中央部向端部下降。
3.根據(jù)權(quán)利要求I或2所述的玻璃基板制造方法，其中， 上述第2冷卻步驟包括 第3溫度控制步驟，其使上述平板玻璃的寬度方向的端部與中央部的溫度梯度隨著接近玻璃應(yīng)變點(diǎn)附近而減小。
4.根據(jù)權(quán)利要求I至3中任意一項(xiàng)所述的玻璃基板制造方法，其中， 上述第3冷卻步驟包括 第4溫度控制步驟，其使上述平板玻璃的寬度方向的溫度自上述平板玻璃的寬度方向的端部向中央部下降。
5.根據(jù)權(quán)利要求I至4中任意一項(xiàng)所述的玻璃基板制造方法，其中， 上述第2平均冷卻速度為O. 5°C /秒 5. 5°C /秒， 上述第3平均冷卻速度為I. 50C /秒 . (TC /秒。
6.根據(jù)權(quán)利要求I至5中任意一項(xiàng)所述的玻璃基板制造方法，其中， 藉由上述冷卻步驟冷卻的上述平板玻璃具有IOOppm以下的熱收縮率。
7.根據(jù)權(quán)利要求I至6中任意一項(xiàng)所述的玻璃基板制造方法，其中， 上述冷卻步驟進(jìn)而包括 溫度梯度控制步驟，其沿著上述平板玻璃的流動(dòng)方向控制上述平板玻璃的寬度方向的溫度梯度。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的玻璃基板制造方法，其中， 藉由上述冷卻步驟冷卻的上述平板玻璃具有I. Onm以下的應(yīng)變值。
9.根據(jù)權(quán)利要求7或8所述的玻璃基板制造方法，其中，藉由上述冷卻步驟冷卻的上述平板玻璃具有O. 15mm以下的翹曲值。
10.根據(jù)權(quán)利要求7至9中任意一項(xiàng)所述的玻璃基板制造方法，其中，藉由上述冷卻步驟冷卻的上述平板玻璃具有15 μ m以下的板厚偏差。
全文摘要
本發(fā)明的課題在于提供一種于使用下拉法制造玻璃基板時(shí)，提升玻璃基板的生產(chǎn)量，并且能夠制造適宜的玻璃基板的玻璃基板的制造方法。本發(fā)明的玻璃基板的制造方法包括成形步驟及冷卻步驟。于成形步驟中，藉由下拉法將熔融玻璃成形為平板玻璃。于冷卻步驟中，將平板玻璃冷卻。冷卻步驟包括第1冷卻步驟、第2冷卻步驟及第3冷卻步驟。第1冷卻步驟是以第1平均冷卻速度將平板玻璃的中央?yún)^(qū)域的溫度冷卻至緩冷點(diǎn)。第2冷卻步驟是以第2平均冷卻速度將中央?yún)^(qū)域的溫度自緩冷點(diǎn)冷卻至應(yīng)變點(diǎn)-50℃。第3冷卻步驟是以第3平均冷卻速度將中央?yún)^(qū)域的溫度自應(yīng)變點(diǎn)-50℃冷卻至應(yīng)變點(diǎn)-200℃。第1平均冷卻速度為5.0℃/秒以上。第1平均冷卻速度高于第3平均冷卻速度。第3平均冷卻速度高于第2平均冷卻速度。
文檔編號(hào)C03B17/06GK102822106SQ201280000983
公開日2012年12月12日 申請日期2012年3月30日 優(yōu)先權(quán)日2011年3月31日
發(fā)明者苅谷浩幸 申請人:安瀚視特控股株式會(huì)社