專利名稱：線鋸裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種線鋸裝置，更詳細(xì)地涉及一種具備能夠接收在通過(guò)線鋸切割錠塊 時(shí)所產(chǎn)生的碎片等的籃子的線鋸裝置。
背景技術(shù)：
一般來(lái)說(shuō)，在錠塊的成長(zhǎng)(growth)工序結(jié)束之后，為了將錠塊制成晶片，進(jìn)行按單 片單位切割錠塊的切片工序。
這種切片工序有多種形式，其中典型的是線鋸(Wire Saw)方式，即為在腔室內(nèi)使 鋼琴線或高張力線高速往返移動(dòng)，并在其上噴灑淤漿(slurry)溶液，通過(guò)沾在線上的淤漿 和單晶錠塊之間的摩擦而進(jìn)行切割的方式。
線鋸方式可將錠塊同時(shí)切割為多個(gè)晶片，從而能夠提高單位時(shí)間的生產(chǎn)收率，因 此目前得到廣泛的應(yīng)用。
韓國(guó)專利第887494號(hào)公開(kāi)一種采用線鋸的錠塊切割裝置。其中公開(kāi)橫梁，即為 固定錠塊的單元，所述錠塊設(shè)置于在腔室內(nèi)側(cè)的兩個(gè)輥輪上纏繞300 400圈的線的上方， 所述橫梁的底面供錠塊附著；工作板，底面供所述橫梁附著，側(cè)面具有嵌合形狀；錠塊送料 臺(tái)，具備與工作板的嵌合形狀配合的凹槽，供安裝所述工作板的嵌合形狀結(jié)構(gòu)。
利用如上錠塊切割裝置將錠塊切割成厚度非常薄的晶片。然而，在將錠塊切割成 晶片的過(guò)程中，由于作為切割機(jī)構(gòu)的線的張力等的不均勻性，晶片會(huì)部分地產(chǎn)生破損。
此時(shí)，破損的晶片向下墜落，墜落的晶片會(huì)在不完全從錠塊分離的狀態(tài)下墜落，而 在夾在被切割的其他晶片之間的狀態(tài)即相互接觸的狀態(tài)下墜落。
因此，為了接收墜落的晶片，以往在兩個(gè)輥輪之間具備承接部件等，所述承接部件 通常由金屬等導(dǎo)體構(gòu)成。
當(dāng)墜落的晶片接觸承接部件等時(shí)，在線上流動(dòng)的斷線感測(cè)用電流會(huì)流過(guò)承接部 件，隨著承接部件被導(dǎo)通，電流會(huì)流在與承接部件結(jié)合的整體腔室。
結(jié)果是，這種狀態(tài)會(huì)被控制整體系統(tǒng)的控制部判斷為和線已斷線并與腔室接觸的 情況相同的狀態(tài)。發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的課題是解決上述以往的問(wèn)題，其目的是提供一種線鋸裝置，該線鋸裝置 能夠防止由于在切割錠塊時(shí)部分被破損而墜落的晶片而被判斷為斷線。
此外，本發(fā)明的另一目的是提供一種線鋸裝置，該線鋸裝置在外部易于識(shí)別部分 被破損的晶片墜落于絕緣籃中的情況。
上述課題可通過(guò)本發(fā)明的以下方案來(lái)實(shí)現(xiàn)一種線鋸裝置，用于切割向下移動(dòng)的 錠塊，所述線鋸裝置的特征在于，包括多個(gè)繞線管，相互隔開(kāi)配置而旋轉(zhuǎn)；線，在所述多個(gè) 繞線管上往復(fù)纏繞為數(shù)圈，用于切割錠塊；絕緣籃，配置在所述錠塊的下部即所述多個(gè)繞線 管的隔離空間；以及導(dǎo)向板，在所述絕緣籃的兩側(cè)與所述繞線管相對(duì)而結(jié)合。
其中，可進(jìn)一步包括與所述繞線管的前端和后端結(jié)合的一對(duì)支承板。
此外，可進(jìn)一步包括與所述絕緣籃結(jié)合，且分別與所述一對(duì)支承板可裝卸地結(jié)合的結(jié)合件。此時(shí)，所述結(jié)合件可為絕緣材料。
此外，所述絕緣籃可包括底板和與所述底板的邊緣結(jié)合的多個(gè)側(cè)板，以形成內(nèi)部空間。
此外，所述底板可包括傾斜部，從所述底板的中央部的兩側(cè)向下傾斜形成；和貫穿部，延伸形成在所述傾斜部的末端，形成有穿孔。
此外，在所述側(cè)板可形成有淤漿流出用的穿孔。所述側(cè)板可包括前端部，與所述底板的前方端部結(jié)合；和側(cè)端部，沿所述底板的長(zhǎng)度方向的兩側(cè)端部結(jié)合，在所述前端部可形成有可供握持的握持部。
此外，所述導(dǎo)向板可以以所述絕緣籃為中心向上外側(cè)傾斜形成，用于導(dǎo)向在錠塊切割時(shí)下落的錠塊碎片。此時(shí)，所述導(dǎo)向板可為絕緣材料。
根據(jù)本發(fā)明，提供一種能夠防止由于在切割錠塊時(shí)部分被破損而墜落的晶片而判斷為斷線的線鋸裝置。
此外，提供一種在外部易于識(shí)別部分被破損的晶片墜落于絕緣籃中的情況的線鋸>J-U ρ α裝直。


圖1是本發(fā)明第一實(shí)施例的線鋸裝置中的切割部的立體圖。
圖2是圖1的分解立體圖?！?br> 圖3是圖2的絕緣籃和導(dǎo)向板的放大圖。
圖4和圖5是本發(fā)明第一實(shí)施例的線鋸裝置的工作狀態(tài)圖。
具體實(shí)施方式
進(jìn)行說(shuō)明之前需要說(shuō)明的是，在多個(gè)實(shí)施例中，對(duì)于具有相同的結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)要素使用相同的符號(hào)，并在第一實(shí)施例中進(jìn)行代表性的說(shuō)明，在其他實(shí)施例中對(duì)與第一實(shí)施例不同的結(jié)構(gòu)進(jìn)行說(shuō)明。
下面，參照附圖詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的第一實(shí)施例的線鋸裝置。
本發(fā)明第一實(shí)施例的線鋸裝置如常規(guī)的線鋸裝置，在規(guī)定大小的腔室內(nèi)側(cè)設(shè)置有錠塊，包括切割部和送出部，通過(guò)所述送出部向切割部供給線并從切割部回收線，所述切割部使所述錠塊向下移動(dòng)并由所述線將錠塊切割成晶片，所述送出部在所述腔室的一側(cè)包括多個(gè)輥輪及經(jīng)由所述多個(gè)輥輪的線。
圖1是本發(fā)明第一實(shí)施例的線鋸裝置中的切割部的立體圖，圖2是圖1的分解立體圖。
參照?qǐng)D1及圖2，切割部I設(shè)置在腔室100的內(nèi)側(cè)，可包括一對(duì)支承板10、一對(duì)繞線管20、線30、絕緣籃40及導(dǎo)向板60而構(gòu)成。
所述一對(duì)支承板10包括第一支承板11和第二支承板12，其為供后述的一對(duì)繞線管20通過(guò)規(guī)定的軸承等進(jìn)行空轉(zhuǎn)(idle)而設(shè)置的部件，所述一對(duì)支承板相隔規(guī)定的間隔設(shè)置在腔室100的內(nèi)側(cè)。
此時(shí)，可通過(guò)螺絲或螺栓等，位于前方的第一支承板11結(jié)合固定于腔室100的前方內(nèi)壁，第二支承板12固定于腔室100的后方內(nèi)壁。
此外，在第一支承板11上可形成有槽狀或孔狀的觀察部11a，以供在外部觀察后述的絕緣籃40。
而且，在各支承板上形成有供后述的一對(duì)繞線管20結(jié)合的規(guī)定的槽或孔，在本實(shí)施例中示出形成有孔的結(jié)構(gòu)。
所述一對(duì)繞線管20包括第一繞線管21和第二繞線管22，彼此相互隔開(kāi)而配置，其兩端旋轉(zhuǎn)自如地結(jié)合于所述一對(duì)支承板10。
其中，在各繞線管的外側(cè)面上可形成有供后述的線30以規(guī)定的間隔纏繞的槽(未圖示)。
而且，各繞線管可通過(guò)位于后方的第二支承板12，與規(guī)定的驅(qū)動(dòng)電機(jī)等的施加驅(qū)動(dòng)力的驅(qū)動(dòng)裝置結(jié)合而驅(qū)動(dòng)。
所述線30設(shè)置為經(jīng)由送出部的多個(gè)輥輪，且從送出部在所述的一對(duì)繞線管20的外側(cè)可纏繞為至少300 400圈，此時(shí)，線30可以以嵌合等方式纏繞于按規(guī)定的間隔形成于各繞線管的外側(cè)的槽中。
如上纏繞于繞線管上的線30通過(guò)送出部的供給及回收，可在一側(cè)上沿著各繞線管的外側(cè)面纏繞，而在另一側(cè)解卷。
圖3是圖2中的絕緣籃和導(dǎo)向板的放大圖。參照?qǐng)D3，所述絕緣籃40由不導(dǎo)電的絕緣材料制備，可包括形成內(nèi)部空間的底板41和與底板41的各邊結(jié)合的多個(gè)側(cè)板42。
其中，底板41為具有規(guī)定厚度的板材，可包括傾斜部41a和貫穿部41b。所述傾斜部41a可形成為從底板41的中央部的兩側(cè)向下傾斜。
所述貫穿部41b為從傾斜部41a延伸形成的部分，可形成有能夠使淤漿(slurry) 向下貫通而下落的穿孔41b'。
這樣的絕緣籃40可設(shè)置在向下移動(dòng)的錠塊的下部即所述第一繞線管21和第二繞線管22的隔尚空間。
S卩，通過(guò)絕緣籃40的傾斜部41a，淤漿或錠塊的碎片等能夠從絕緣籃40的長(zhǎng)度方向的兩側(cè)向下流動(dòng) 或移動(dòng)，而通過(guò)傾斜部41a流下的淤漿可通過(guò)貫穿部41b下落。結(jié)果是， 不會(huì)出現(xiàn)在絕緣籃40的內(nèi)部空間沉積淤漿而凝固的現(xiàn)象。
所述側(cè)板42可由結(jié)合于底板41的前方端部且具有規(guī)定的高度的前端部42a及以規(guī)定的高度結(jié)合于底板的長(zhǎng)度方向兩側(cè)端部的側(cè)端部42b形成。
在本實(shí)施例中，絕緣籃40的后方端部以與第二支承板12相接的方式結(jié)合，因此圖中示出與后面之外的其余三個(gè)面結(jié)合的結(jié)構(gòu)，根據(jù)需要也可以與所有的邊，即與四個(gè)面全卻彡口口 O
其中，在前端部42a和側(cè)端部42b上可如上述貫穿部41b，形成有淤漿流出用的穿孔 42a' A2h'。
此外，在前端部42a形成有裝拆時(shí)可供握持的握持部42a"，因此在裝拆時(shí)，管理人員可在直接握持絕緣籃40的狀態(tài)下進(jìn)行裝拆，從而能夠防止損壞或破壞線及繞線管等其他結(jié)構(gòu)。
另一方面，絕緣籃40可通過(guò)結(jié)合件50分別與第一支承板11和第二支承板12能夠裝拆地結(jié)合。
其中，結(jié)合件50可具有大致“L”字形剖面，可包括與絕緣籃40的長(zhǎng)度方向的端部結(jié)合的結(jié)合部51及與所述結(jié)合部51的長(zhǎng)度方向端部的下部結(jié)合的固定部52。
其中，固定部52可通過(guò)規(guī)定的螺栓(未圖示)分別與所述的支承板10的內(nèi)側(cè)面能夠裝拆地結(jié)合。
以往盡管具備承接部件等，但其與腔室一體形成，或者即使能夠裝拆，也需要避開(kāi)繞線管等的干涉而拆卸，因此具有不便之處，但由于如上結(jié)合于支承板，只由螺栓的擰緊和擰開(kāi)即可裝拆，因此能夠易于拆卸絕緣籃40。
導(dǎo)向板60可由絕緣材料設(shè)置為一對(duì)，分別通過(guò)結(jié)合裝置53與所述側(cè)板42的側(cè)端部42b結(jié)合，并且包括與側(cè)端部42b結(jié)合的垂直板61及從垂直板61向上外側(cè)即以絕緣籃 40為中心向上外側(cè)傾斜折曲的折板62。
此時(shí)，導(dǎo)向板可根據(jù)需要多次折曲而形成，在本實(shí)施例中示出相對(duì)于垂直板，折板為折曲一次而形成的結(jié)構(gòu)。
此外，在垂直板61上可形成有連通孔60a，該連通孔60a與形成在與該連通孔彼此相對(duì)而結(jié)合的側(cè)端部42b上的淤漿流出用的穿孔42b'連通。
S卩，沿垂直板61的內(nèi)壁而流下的淤漿可通過(guò)淤漿流出用的穿孔42b'及連通孔 60a向外流出。
如此形成而能夠穩(wěn)定地向下導(dǎo)引在錠塊切割時(shí)所產(chǎn)生的碎片等。
下面說(shuō)明上述線鋸裝置的第一實(shí)施例的工作。
圖4和圖5是本發(fā)明第一實(shí)施例的線鋸裝置的工作狀態(tài)圖。參照?qǐng)D4，將線30纏繞于第一繞線管21及第二繞線管22的外側(cè)，并以預(yù)先設(shè)定的速度使錠塊200向下移動(dòng)。此時(shí)，預(yù)先設(shè)定為斷線感測(cè)用的電流在線30中流動(dòng)。
而且如圖5所示，通過(guò)線30，錠塊200被切割成薄厚度的晶片，此時(shí)由于線30的張力不均勻或整體裝置 的振動(dòng)等，已被切割的部分晶片200A破損，并在夾在其他晶片之間的狀態(tài)下向下滑動(dòng)而移動(dòng)。
此時(shí)，破損的晶片200A通過(guò)導(dǎo)向板60被導(dǎo)引至絕緣籃40的方向并與絕緣籃40 接觸，但由于絕緣籃40和導(dǎo)向板60為絕緣材料，因此不會(huì)使整體腔室通電，從而能夠防止感測(cè)為斷線。
此外，裝置的管理人員可通過(guò)第一支承板11上形成的觀察部Ila從外部易于發(fā)現(xiàn)絕緣籃40中的破損的晶片200A，因此能夠暫時(shí)停止整體裝置后，去除破損的晶片并重新啟動(dòng)裝置。
另外，下落并安置在絕緣籃40中的微小的碎片可在完成將錠塊切割成晶片的作業(yè)之后，拆卸絕緣籃40并從中去除。
如上所述，根據(jù)本發(fā)明若具備由絕緣材料構(gòu)成的絕緣籃及導(dǎo)向板，在錠塊部分產(chǎn)生破損時(shí)能夠易于從外部觀察，且能夠防止由于部分地破損并與絕緣籃接觸的晶片，整體腔室被導(dǎo)通從而錯(cuò)誤地判斷為斷線的情況。
本發(fā)明的保護(hù)范圍不僅限于上述實(shí)施例，在所附上的權(quán)利要求書(shū)記載的內(nèi)容基礎(chǔ)上能夠?qū)崿F(xiàn)為各種形式的實(shí)施例。在不脫離權(quán)利要求書(shū)所要求保護(hù)的本發(fā)明宗旨的范圍內(nèi)，本發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域中具有一般知識(shí)的人都能變更的各種范圍也應(yīng)認(rèn)為屬于本發(fā)明的保護(hù)范圍內(nèi)。
工業(yè)上的可應(yīng)用性
本發(fā)明在使用線鋸裝置切割錠塊時(shí)，能夠防止由于部分被破損而墜落的晶片而判 斷為斷線的現(xiàn)象，從而能夠進(jìn)行連續(xù)作業(yè)。
權(quán)利要求
1.一種線鋸裝置，用于切割向下移動(dòng)的錠塊，所述線鋸裝置的特征在于，包括多個(gè)繞線管，相互隔開(kāi)配置而旋轉(zhuǎn)；線，在所述多個(gè)繞線管上往復(fù)纏繞為數(shù)圈，用于切割錠塊；絕緣籃，配置在所述錠塊的下部即所述多個(gè)繞線管的隔離空間；以及導(dǎo)向板，在所述絕緣籃的兩側(cè)與所述繞線管相對(duì)而結(jié)合。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線鋸裝置，其特征在于，進(jìn)一步包括與所述繞線管的前端和后端結(jié)合的一對(duì)支承板。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線鋸裝置，其特征在于，進(jìn)一步包括與所述絕緣籃結(jié)合，且分別與所述一對(duì)支承板能夠裝卸地結(jié)合的結(jié)合件。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的線鋸裝置，其特征在于，所述結(jié)合件為絕緣材料。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線鋸裝置，其特征在于，所述絕緣籃包括底板和與所述底板的邊緣結(jié)合的多個(gè)側(cè)板，以形成內(nèi)部空間。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的線鋸裝置，其特征在于，所述底板包括傾斜部，從所述底板的中央部的兩側(cè)向下傾斜形成；和貫穿部，延伸形成在所述傾斜部的末端，形成有穿孔。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的線鋸裝置，其特征在于，在所述側(cè)板形成有淤漿流出用的穿孔。
8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的線鋸裝置，其特征在于，所述側(cè)板包括前端部，與所述底板的前方端部結(jié)合；和側(cè)端部，沿所述底板的長(zhǎng)度方向的兩側(cè)端部結(jié)合，所述前端部形成有可供握持的握持部。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線鋸裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向板以所述絕緣籃為中心向上外側(cè)傾斜形成，用于導(dǎo)向在錠塊切割時(shí)下落的錠塊碎片。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線鋸裝置，其特征在于，所述導(dǎo)向板為絕緣材料。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種用于切割錠塊的線鋸裝置，本發(fā)明的線鋸裝置用于切割向下移動(dòng)的錠塊，其特征在于，包括多個(gè)繞線管，相互隔開(kāi)配置而旋轉(zhuǎn)；線，在所述多個(gè)繞線管上往復(fù)纏繞為數(shù)圈，用于切割錠塊；絕緣籃，配置在所述錠塊的下部即所述多個(gè)繞線管的隔離空間；以及導(dǎo)向板，在所述絕緣籃的兩側(cè)與所述繞線管相對(duì)而結(jié)合。由此，能夠防止由于在切割錠塊時(shí)部分地破損而墜落的晶片，錯(cuò)誤地判斷為斷線的情況，且從外部易于識(shí)別部分晶片破損而墜落于絕緣籃中的情況。
文檔編號(hào)B28D7/00GK103003040SQ201280000111
公開(kāi)日2013年3月27日 申請(qǐng)日期2012年1月20日 優(yōu)先權(quán)日2011年1月21日
發(fā)明者張石俊, 樸泰仁, 趙昌錫, 趙商植, 金海硯, 郭范錫 申請(qǐng)人:五星Lst有限公司