專利名稱：：精密模壓成型用光學(xué)玻璃的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及一種光學(xué)玻璃，特別是涉及一種折射率(nd)為1.63-1.75、阿貝數(shù)(vd)為27-37、玻璃轉(zhuǎn)變溫度(Tg)低于52(TC的精密模壓成型用光學(xué)玻璃。
背景技術(shù)：
：近年來，隨著光電行業(yè)的發(fā)展，對光學(xué)設(shè)備提出了小型化、輕量化、高性能化的要求，為了減少構(gòu)成光學(xué)設(shè)備中光學(xué)系統(tǒng)的透鏡數(shù)量，在光學(xué)設(shè)計中越來越多的使用非球面透鏡。非球面透鏡的加工方法分為傳統(tǒng)方法和精密模壓成型方法，所謂的傳統(tǒng)方法是先將玻璃材料切割為一定大小和形狀的塊料，將塊料加熱壓制成型為一定形狀的型料，然后再將型料研磨和拋光為非球面透鏡，該方法生產(chǎn)的非球面透鏡的精度決定于加工者的加工水平，難于量產(chǎn)化，其生產(chǎn)制造成本高。所謂的精密模壓成型方法是將玻璃料滴或加熱軟化的玻璃預(yù)制件在具有高精度成型面的模具中進(jìn)行沖壓成型，將模具的高精度成型面轉(zhuǎn)錄到玻璃上即得到具有所需光學(xué)功能面的光學(xué)元件例如非球面透鏡，該成型方法省去了研磨和拋光過程，從而達(dá)到了高產(chǎn)率和低成本的目的，且該方法易于實現(xiàn)量產(chǎn)化，因此精密模壓成型方法已經(jīng)成為制造非球面透鏡的主流方法。采用精密模壓成型方法成型光學(xué)玻璃元件時，通常必須在一定的高溫環(huán)境下進(jìn)行壓型，模具所處環(huán)境溫度越高，模具成型面越易氧化，從而無法保持模具的高精度表面。如果頻繁更換價格不扉的高精度模具，就難以實現(xiàn)高產(chǎn)率和低成本的目的。為盡可能延長模具壽命，就需要降低精密模壓成型時的溫度，而模壓溫度是由玻璃的軟化溫度決定的，因此開發(fā)具有盡可能低的轉(zhuǎn)變溫度(Tg)和屈服溫度(Ts)的光學(xué)玻璃就成了光學(xué)材料開發(fā)人員的目標(biāo)。根據(jù)目前的模具材料和鍍膜技術(shù)水平，要求光學(xué)玻璃的轉(zhuǎn)變溫度不能高于62(TC，通常不高于560。C。用于精密模壓的光學(xué)玻璃，要求具有各種光學(xué)常數(shù)及阿貝數(shù)，對于折射率為1.63-1.75、阿貝數(shù)為27-37的光學(xué)玻璃來說，在玻璃中加入氧化鉛可以顯著降低玻璃的轉(zhuǎn)變溫度，如特開昭62-3103描述了含PbO的光學(xué)玻璃，但PbO的環(huán)境負(fù)荷非常大，為保護環(huán)境，在光學(xué)玻璃領(lǐng)域含鉛玻璃已逐漸被不含PbO組分的環(huán)保光學(xué)玻璃所取代，另外在精密模壓成型時，PbO在成型模中發(fā)生還原反應(yīng)，容易損傷模具材料。CN1396132A描述了折射率為1.65-1.80、阿貝數(shù)為21-33的Si02-A1203-Ti02-RO(RO代表Mg0、Ca0、BaO等堿土金屬氧化物)系光學(xué)玻璃，該玻璃的轉(zhuǎn)變溫度較高，且該玻璃含有5-17%(wt%)的恥205，恥205原料價格昂貴，其作為必須成分，大大提高了玻璃成本；CN1448355A描述了折射率為1.55-1.67、阿貝數(shù)為30-45的Si02-B203-Ti02-BaO-K20-ZnO系光學(xué)玻璃，為改善玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性，該光學(xué)玻璃含有0-5%(wt%)的ZnO，ZnO組分由于玻璃的研磨和拋光形成殘渣，并以鋅離子的形式溶解在水中，如果不進(jìn)行適當(dāng)處理就排放含鋅離子的水，將造成水污染，不利于環(huán)保。牛寺開平10-130033、f寺開平10-265238、US6255240和US6703333描述了Si02-B203-Zr02-Nb205系光學(xué)玻璃，該光學(xué)玻璃中均含有較多的Nb205和Zr02，玻璃成本高，由于Nb205和Zr02含量過高，玻璃易失透，玻璃的生產(chǎn)難度大，US6703333所描述的光學(xué)玻璃的Tg可低達(dá)40(TC，但玻璃中堿金屬氧化物含量高，玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性差。US5424255和特開昭52-25812所描述的光學(xué)玻璃用Ta205替代一部分Nb205，與恥205的原料價格相比，Ta205的原料價格更高，因此玻璃的生產(chǎn)成本高。
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種nd為l.63-1.75、vd為27-37的精密模壓成型用光學(xué)玻璃，該光學(xué)玻璃不含Nb205和Ta205等原料價格高的成分，Tg低于52(TC。本發(fā)明解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是精密模壓成型用光學(xué)玻璃，其組成成分的摩爾百分比含量為Si02:40-60%、Ti02:15-30%、Li20+Na20+K20+Cs20=10.5-30%、MgO+CaO+SrO+BaO=0-8%、Ta205+W03+Nb205:0-2%、A1203:0-1%、Zr02:0-1%、B203:0-5%、La203:0-2%和澄清劑0-0.1%。進(jìn)一步的，其組成成分的摩爾百分比含量為Si02:40-60%、Ti02:15-30%、Li20+Na20+K20+Cs20:14.5-30%、MgO+CaO+SrO+BaO:0-8%、Ta205+W03+Nb205:0-2%、A1203:0-1%、Zr02:0-1%、B203:0-5%、La203:0-2°/4nSb203:0-0.1%。進(jìn)一步的，其組成成分的摩爾百分比含量為Si02:40-60%、Ti02:15-30%、Li20:2.5-10%、Na20:8-20%、K20:0-10%、Cs20:0-5%、BaO:0-5%、CaO:0-3%、MgO:0-3%、SrO:0-3%、W03:0-2%、Ta205:0-2%、Nb205:0-2%、A1203:0-1%、Zr02:0-1%、B203:0-5%、La203:0-2。/。和Sb203:0-0.1%。進(jìn)一步的，其組成成分的摩爾百分比含量為Si02:42-55%、Ti02:18-29%、Li20:2.5-10%、Na20:8-20%、K20:0-10%、Cs20:0-5%、BaO:0-5%、CaO:0-3%、MgO:0-3%、SrO:0-3%、W03:0-2%、Ta205:0-2%、Nb205:0-2%、A1203:0-1%、Zr02:0-1%、B203:0-5%、La203:0-2。/。和Sb203:0-0.1%。5進(jìn)一步的，其組成成分的摩爾百分比含量為Si02:40-60%、Ti02:15-30%、Li20:3.5-8.5%、Na20:ll-濕、K20:0-10%、Cs20:0-5%、Ba0:0-5%、Ca0:0-3%、Mg0:0-3%、Sr0:0-3%、W03:0-2%、Ta205:0-2%、Nb205:0-2%、A1203:0-1%、Zr02:0-1%、B203:0-5%、La203:0-2。/。和Sb203:0-0.1%。進(jìn)一步的，其組成成分的摩爾百分比含量為Si02:42-55%、Ti02:18-29%、Li20:3.5-8.5%、Na20:ll-濕、K20:0-10%、Cs20:0-3%、BaO:0-5%、CaO:0-3%、MgO:0-3%、SrO:0-3%、W03:0-2%、Ta205:0-2%、Nb205:0-2%、A1203:0-1%、Zr02:0-1%、B203:0-5%、La203:0-2。/。和Sb203:0-0.1%。進(jìn)一步的，其組成成分的摩爾百分比含量為Si02:44-54%、Ti02:18-29%、Li20:3.5-8.5%、Na20:ll-濕、K20:0-10%、Cs20:0-3%、BaO:0-5%、CaO:0-3%、MgO:0-3%、SrO:0-3%、W03:0-2%、Ta205:0-2%、Nb205:0-2%、A1203:0-1%、Zr02:0-1%、B203:0-5%、La203:0-2。/。和Sb203:0-0.1%。進(jìn)一步的，其組成成分的摩爾百分比含量為Si02:44-54%、Ti02:20-28%、Li20:3.5-8.5%、Na20:ll-濕、K20:0-10%、Cs20:0-3%、BaO:0-5%、CaO:0-3%、MgO:0-3%、SrO:0-3%、W03:0-2%、Ta205:0-2%、Nb205:0-2%、A1203:0-1%、Zr02:0-1%、B203:0-5%、La203:0-2。/。和Sb203:0-0.05%。進(jìn)一步的，其組成成分的摩爾百分比含量為Si02:44-54%、Ti02:20-28%、Li20:3.5-8.5%、Na20:11-18%、K20:0-10%、BaO:0-5%、CaO:0-3%、W03:0-2%、Zr02:0-1%和Sb203:0-0.03%。本發(fā)明的有益效果是本發(fā)明的光學(xué)玻璃na為1.63-1.75、Vd為27-37，不使用PbO和As203，本發(fā)明的光學(xué)玻璃轉(zhuǎn)變溫度低于52(TC，適用于精密模壓成型，本發(fā)明的光學(xué)玻璃原料成本低廉，具有優(yōu)異的耐失透性，良好的熔融、成型和可加工性能，具有實現(xiàn)連續(xù)熔制的結(jié)晶穩(wěn)定性，可進(jìn)行經(jīng)濟的連續(xù)生產(chǎn)，由本發(fā)明提供的光學(xué)玻璃制作的光學(xué)元件適合用于成像系統(tǒng)、醫(yī)療技術(shù)、數(shù)字投影、光刻技術(shù)和晶片/芯片等
技術(shù)領(lǐng)域：
。具體實施例方式發(fā)明人在大量試驗的基礎(chǔ)上確定上述組分的摩爾百分比(mol%)范圍。下面具體敘述本發(fā)明的光學(xué)玻璃中如上所述那樣限定各組分構(gòu)成范圍的理由，用物質(zhì)的量百分?jǐn)?shù)表示各組分的量Si02是本發(fā)明光學(xué)玻璃的必須成分，Si02組分是形成玻璃的氧化物，同時在本發(fā)明含有堿金屬氧化物組分量較多的情況下，其還是調(diào)整玻璃的粘度、提高玻璃化學(xué)穩(wěn)定性和抑制玻璃失透傾向的有效成分，若其量不足40%時，上述效果就不充分；而超過60%時，玻璃的熔融性就變差，容易產(chǎn)生未熔物，同時玻璃的轉(zhuǎn)變溫度升高，折射率下降，玻璃的均勻性降低，為了得到轉(zhuǎn)變溫度低且均勻性好的光學(xué)玻璃，Si02組分的含量限定在40-60。/。，優(yōu)選限定在42-55%，更優(yōu)選限定在44-54%。Ti02是本發(fā)明的必須成分，Ti02對于提高玻璃的折射率、降低阿貝數(shù)很有效，且能顯著地降低玻璃的密度和提高玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性，當(dāng)其量不足15%時，難以保證本發(fā)明玻璃的目標(biāo)光學(xué)常數(shù)，但如果其含量超過30%，則不僅玻璃的失透傾向顯著增加，同時玻璃在短波長波段的透過率顯著下降，因此1102的含量限定在15-30%，優(yōu)選含量限定在18-29%，更優(yōu)選含量限定在20-28%。Li20組分能大幅度降低玻璃的轉(zhuǎn)變溫度并有效改善玻璃的熔化性能，當(dāng)其量大于10%時，將使耐失透性和化學(xué)穩(wěn)定性急劇惡化，因此，該組分的量限定為2.5-10%，優(yōu)選為3.5-8.5%。Na20可以有效降低玻璃的轉(zhuǎn)變溫度，提高玻璃的熔化性能和調(diào)整光學(xué)常數(shù)，如果此組分的量小于8%，則不能充分獲得這些效果，而如果此組分的量超過20%，則玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性顯著變差，因此，此組分的量限定為8-20%，優(yōu)選為11-18%。K20和CS20具有與上述堿金屬氧化物相似的效果，1(20組分的量限定為0-10%，而Cs20組分所對應(yīng)的原料價格相對昂貴，為了實現(xiàn)低成本制造玻璃的目的，此組分的量應(yīng)該為5%或更少，優(yōu)選為小于3%，更優(yōu)選不加入。Li20、Na20、K20、"20等堿金屬氧化物，可有效的降低玻璃的轉(zhuǎn)變溫度和密度，改善玻璃的熔化性能，同時可以通過混合堿效應(yīng)提高玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性，因此，堿金屬氧化物的合計總量應(yīng)該為IO.5%或更多，更優(yōu)選為14.5%或更多，但堿金屬氧化物合計總量引入過多的話，玻璃的折射率急劇下降，且玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性和耐失透性能變差，因此堿金屬氧化物的合計總量應(yīng)小于30%。BaO是調(diào)整玻璃的折射率和阿貝數(shù)、提高玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性和熱穩(wěn)定性的有效成分，其含量超過5%時，玻璃的阿貝數(shù)增加，無法得到高色散光學(xué)玻璃，同時玻璃的失透傾向變大，因此BaO組分的含量限定0-5%。CaO可以提高玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性，并有助熔作用，但其含量高于3%時，玻璃的失透傾向增大，因此CaO的含量限定在0-3。/。。MgO和SrO這兩種堿土金屬氧化物的作用與CaO類似，可以提高玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性，MgO組分的含量限定在0-3%，SrO組分的含量限定在0-3%，優(yōu)選不加入。向Si02—Ti02—R20(R2O代表堿金屬氧化物)系統(tǒng)玻璃中加入適量的堿土金屬氧化物RO(RO代表堿土金屬氧化物)組分可有效防止堿金屬離子在玻璃中迀移和擴散，從而提高玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性，但如果堿土金屬氧化物組分的合計量超過8%，則玻璃的失透傾向變大，為了得到耐失透性優(yōu)異的光學(xué)玻璃，堿土金屬氧化物的合計量Mg0+Ca0+Sr0+Ba0限定在0-8呢。W03具有使玻璃的液相溫度下降從而使耐失透性變好的效果，進(jìn)而也有調(diào)整光學(xué)常數(shù)的效果，但若超過2%，則玻璃的光線透射率惡化，另外由于引入W03組分的原料價格相對較高，從降低原料成本的方面考慮，其組分含量優(yōu)選小于2%。Ta205、恥205可以提高玻璃折射率和色散，Ta205含量限定在0-2%，恥205含量限定在0-2%，從成本考慮優(yōu)選不加入，Ta205、Nb205與W03的合計含量不超過2呢。Al203能降低玻璃的析晶傾向，提高玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性，其含量限定在0-1%，優(yōu)選不加入。Zr02具有改善玻璃耐失透性、提高化學(xué)穩(wěn)定性的效果，其含量限定在0-1%。B203可以加速玻璃的熔化與澄清，降低玻璃的熔化溫度，8203含量限定在0-5%，優(yōu)選不加入。La203可用于增加玻璃的折射率且不明顯提高玻璃的色散，其含量限定在0-2%，優(yōu)選不加入。在本發(fā)明的玻璃中，為了得到無氣泡的均質(zhì)玻璃，應(yīng)加入一定量的澄清劑，為了達(dá)到消除氣泡的效果，澄清劑含量達(dá)O.1%就足夠了，作為已知的澄清劑，可以選擇Sb203、As203、氟化物、氯化物等，但AS203由于有環(huán)境污染問題，另外由于氟化物和氯化物在玻璃熔融、澄清時容易蒸發(fā)，有造成大氣污染的危險，因而澄清劑優(yōu)選為Sb203，優(yōu)選含量為O-O.05%，更優(yōu)選含量為O-O.03%。另外，從環(huán)境保護的層面考慮，本發(fā)明的光學(xué)玻璃不含有環(huán)境負(fù)荷大的組分，如PbO、Th02、CdO等組分，除原材料中不可避免的混有上述組分之外，本發(fā)明所涉及的光學(xué)玻璃不加入上述組分。以下敘述本發(fā)明的實施例，但本發(fā)明并不僅僅限定于這些實施例。表l、表2、表3為本發(fā)明光學(xué)玻璃的15個實施例的物質(zhì)的量組成，并顯示了各實施例得到的玻璃的折射率na、阿貝數(shù)Vd和玻璃的轉(zhuǎn)變溫度Tg，表3中還列出了3個比較例。表l、表2、表3中所有實施例都是將所需組分的氧化物、氫氧化物、碳酸鹽、硝酸鹽等光學(xué)玻璃常用原料按照預(yù)定比例稱量，混合均勻后用鉑金坩堝在約1100-135(TC下熔融、澄清、攪拌2-4小時，降溫到適當(dāng)溫度后澆入預(yù)熱的金屬模型內(nèi)慢慢冷卻，制得本發(fā)明的光學(xué)玻璃。將制得的光學(xué)玻璃在退火爐中進(jìn)行-4'C/h退火后，測試玻璃的折射率和轉(zhuǎn)變溫度。玻璃的折射率按GB/T7962.ll規(guī)定的測試方法進(jìn)行測量，阿貝數(shù)即色散系數(shù)定義如下vd=(nd-1)/(nF-nc)。玻璃的轉(zhuǎn)變溫度Tg按GB/T7962.16規(guī)定的測試方法進(jìn)行測量。表l<table>tableseeoriginaldocumentpage9</column></row><table>表2<table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>表3<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>從以上實施例可以看出，本發(fā)明光學(xué)玻璃的折射率nd為1.63-1.75、阿貝數(shù)vd為27-37，玻璃的轉(zhuǎn)變溫度低于52(TC，并且玻璃組分中不含有PbO和As203等環(huán)境負(fù)荷大的成分，因而可以低成本的制造且不污染環(huán)境，這些光學(xué)玻璃具有良好的市場競爭優(yōu)勢。權(quán)利要求權(quán)利要求1精密模壓成型用光學(xué)玻璃，其特征在于，其組成成分的摩爾百分比含量為SiO240-60％、TiO215-30％、Li2O+Na2O+K2O+Cs2O10.5-30％、MgO+CaO+SrO+BaO0-8％、Ta2O5+WO3+Nb2O50-2％、Al2O30-1％、ZrO20-1％、B2O30-5％、La2O30-2％和澄清劑0-0.1％。2.如權(quán)利要求l所述的精密模壓成型用光學(xué)玻璃，其特征在于，其組成成分的摩爾百分比含量為Si〇2:40-60%、Ti〇2:15-30%、Li2〇+N《〇+Ka〇+Cs2〇14.5_30%、MgO+CaO+Sr〇+Ba〇0-8%、Ta205+WC^Nb2〇5:0-2%、A1203:0_19&，ZrCb:0-1%、她0-59&，La2Q3:0-2%和31^〇3:0-0.1%。3.如權(quán)利要求l所述的精密模壓成型用光學(xué)玻璃，其特征在于，其組成成分的摩爾百分比含量為Si〇2:40-60%、Ti02:15-30%、Li2〇2.5—10%、Na20:8-20%、K2〇0-10%、Cs20:0-5%、Ba〇0-5%、Ca〇0-3%、Mg〇0-30/。，SrO:0-3%、W03:0-2°/。、Ta205:0-2%、Nb2〇5:0—2%、Al2Cb:0_1%、ZrCb:0_1%，B203:0-5%、La2Cb:0_2%禾。Sb2〇3:0-0.1%。4.如權(quán)利要求l所述的精密模壓成型用光學(xué)玻璃，其特征在于，其組成成分的摩爾百分比含量為Si〇2:42-55%、Ti〇2:18-29%、Li2〇2.5_10%、Na20:8—2Cffi、K2〇0-10%、Cs2〇0-5%、Ba〇0-5%、CaO:0-3%、Mg〇0-3%、SrO:0-3%、W〇3:0-2%、Ta2〇5:0-2%，Nb2〇5:0—2%，Al2Cb:0_1%，ZrC^:0_1%，B2Cb:0-5%、La*0_2%和Sb2〇3:0_0.1%。5.如權(quán)利要求l所述的精密模壓成型用光學(xué)玻璃，其特征在于，其組成成分的摩爾百分比含量為Si〇2:40-60%、Ti〇2:15-30%、Li2〇3.5_8.59&，Na2〇11-18%、K2〇0-10%、Cs20:0-5%、Ba〇0-5%、CaO:0-3%、MgO:0-3%、SrO:0-30/o，W03:0-2%、Ta205:0-2。/。，Nb205:0_2%、Al20b:0_1%、ZrO^:0_1%、B20b:0_5%、La2Cb:0_2%禾口Sb2〇3:0—0.1%。6.如權(quán)利要求l所述的精密模壓成型用光學(xué)玻璃，其特征在于，其組成成分的摩爾百分比含量為Si〇2:42-55%、Ti〇2:18-29%、Li2〇3.5_8.5%、Na2〇11-18%、K2〇0-10%、Cs2〇0-3%、Ba〇0-5%、Ca〇0-3%，Mg〇0-3%，SrO:0-3%、W03:0-2%、Ta205:0-2%、Nb205:0_2%、Al20b:0_1%、ZrCb:0_1%，B2Cb:0-5%、La2Cb:0_2%和Sb2〇3:0_0.1%。7.如權(quán)利要求l所述的精密模壓成型用光學(xué)玻璃，其特征在于，其組成成分的摩爾百分比含量為Si〇2:44-54%、Ti〇2:18-29%、Li2〇3.5_8.5%、Na2〇11-18%、K2〇0-10%、Cs20:0-3%、Ba〇0-5%、Ca〇0-3%、Mg〇0-3%、Sr〇0-3%、W03:0-2%、Ta205:0-2%、Nb205:0_2%、Al2Cb:0_1%、ZrCb:0_1%、B2Q3:0-5%、La2Cb:0_2%禾^Sb2〇3:0_0.1%。8.如權(quán)利要求l所述的精密模壓成型用光學(xué)玻璃，其特征在于，其組成成分的摩爾百分比含量為Si〇2:44-54°/。、Ti〇2:20-28%、Li2〇3.5_8.5%、Na2〇11-18%、K2〇0-10%、Cs20:0-3%、Ba〇0-5%、Ca〇0-3%、Mg〇0-3%、Sr〇0-3%、W03:0-2%、Ta205:0-2%、Nb205:0_2%、Al20b:0_1%、ZrCb:0_1%、B20b:0_5%、La2Cb:0_2%和Sb2〇3:0_0.05%。9.如權(quán)利要求l所述的精密模壓成型用光學(xué)玻璃，其特征在于，其組成成分的摩爾百分比含量為Si〇2:44-54%、Ti〇2:20-28%、Li2〇3.5_8.5%、Na20:11-18%、BaO:0-5%，W〇3:0-2%。10.如權(quán)利要求l所述的精密模壓成型用光學(xué)玻璃，其特征在于，所述光學(xué)玻璃的na為1.63-1.75、Vd為27-37、Tg低于52(TC。全文摘要本發(fā)明提供一種n_d為1.63-1.75、ν_d為27-37的精密模壓成型用光學(xué)玻璃，該光學(xué)玻璃不含Nb₂O₅和Ta₂O₅等原料價格高的成分，Tg低于520℃。精密模壓成型用光學(xué)玻璃，其組成成分的摩爾百分比含量為SiO₂40-60％、TiO₂15-30％、Li₂O+Na₂O+K₂O+Cs₂O10.5-30％、MgO+CaO+SrO+BaO0-8％、Ta₂O₅+WO₃+Nb₂O₅0-2％、Al₂O₃0-1％、ZrO₂0-1％、B₂O₃0-5％、La₂O₃0-2％和澄清劑0-0.1％。本發(fā)明的光學(xué)玻璃適用于精密模壓成型，具有優(yōu)異的耐失透性，良好的熔融、成型和可加工性能，具有實現(xiàn)連續(xù)熔制的結(jié)晶穩(wěn)定性，由本發(fā)明提供的光學(xué)玻璃制作的光學(xué)元件適合用于成像系統(tǒng)、醫(yī)療技術(shù)、數(shù)字投影、光刻技術(shù)和晶片/芯片等
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。文檔編號C03C3/095GK101439930SQ20081030637公開日2009年5月27日申請日期2008年12月19日優(yōu)先權(quán)日2008年12月19日發(fā)明者波匡申請人:成都光明光電股份有限公司