專利名稱：一種鎳酸鑭陶瓷靶的制備方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種金屬氧化物陶瓷靶的制備方法，特別是一種鎳酸鑭陶瓷靶的制備
方法，屬于微電子材料制備技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
鎳酸鑭(LaNi03，簡稱LN0)薄膜主要用于鐵電薄膜鈦酸鍶鋇(BST)和鋯鈦酸鉛(PZT)電容器的電極材料，應(yīng)用于微電子學(xué)和光電子學(xué)。目前，常用的方法之一是采用Pt或以Pt為基礎(chǔ)的金屬薄膜作為電極材料如Pt/Ti/SiO乂Si，但由于金屬本身的性質(zhì)會導(dǎo)致一些問題，從而導(dǎo)致器件性能下降，例如Pt薄膜和Si襯底結(jié)合不緊密；采用Ti作為粘合層，Pt層和Ti層相互擴散，導(dǎo)致鐵電性能下降；采用Pt薄膜作為電極的鐵電電容器表現(xiàn)為明顯的疲勞現(xiàn)象。會引起B(yǎng)ST、PZT電容器的老化、疲勞、損耗增大及信號衰減和功率下降等問題。LNO薄膜具有良好的導(dǎo)電性，以及與BST、PZT之間粘結(jié)力強于Pt電極，晶格匹配性好，抗疲勞和老化性能也好，所以目前鐵電存儲器件和多層驅(qū)動器也常采用LNO作為電極、緩沖層或過渡層材料。 制備LNO薄膜方法常用的有化學(xué)方法和物理方法，其中用物理方法制備LNO薄膜時，常用的方法有脈沖激光濺射(PLD)、磁控濺射(RF)、分子束外延生長(MBE)，其中所用的耙源為LNO陶瓷耙。 制備LNO陶瓷靶的方法有很多種，最常用的制備LNO陶瓷靶方法為固相法將氧化
鑭(La203)和氧化鎳(NiO)碾磨、壓靶、燒結(jié)而成。但所制LNO陶瓷靶成分比較復(fù)雜，其原因
為一方面如果焙燒溫度低，La203和NiO達不到反應(yīng)條件，不能生成LNO ;另一方面如果焙燒
溫度高，LNO中的Ni3+在高溫下得到一個電子被還原而轉(zhuǎn)變成Ni2+，使LNO分解，其分解方
程式為
2LaM03 — La2Ni04 + NiO +丄02
2
4LaNi。3 — La4Ni3O10 + NiO + 102 中國專利號ZL200510021161. X，名稱為"導(dǎo)電氧化物電極材料及其制備方法"中公開了一種LNO陶瓷靶的制備方法，該方法先用檸檬酸法制LaNi03粉末，然后，將LaNi03粉末在120Mpa下冷壓成小60X3的圓片，并在箱式電爐中，將圓片在1500°C的溫度下燒結(jié)6小時，最終得到致密的LaNi03陶瓷耙。但通過試驗表明當燒結(jié)溫度高于115(TC時，所制得的陶瓷靶已經(jīng)為較明顯的混雜相。 由此可知要想制備較理想的LNO陶瓷耙，必須阻止LNO中的Ni3+被還原成Ni2+，同時也要確保制靶原料的純度。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的任務(wù)是提供一種鎳酸鑭陶瓷靶的制備方法，提高鎳酸鑭陶瓷靶的質(zhì)量，以制備出高質(zhì)量的LNO薄膜。 為了實現(xiàn)以上目的，本發(fā)明所采用的技術(shù)方案是一種鎳酸鑭陶瓷靶的制備方法，包括如下步驟 (1)鎳酸鑭(LN0)粉末制備 ①稱取硝酸鑭、硝酸鎳，使摩爾比為1 : l，加入檸檬酸，混溶于去離子水中，攪拌并在80 IO(TC保持2 4小時，得到溶膠，然后將溶膠置于130 15(TC中干燥10 12小時，得到干凝膠； ②將干凝膠進行焙燒，焙燒溫度由室溫逐步升至750 80(TC，然后自然降溫至室
溫，碾磨得到LNO粉末； (2)靶片壓制③將中的LNO粉末冷壓成型，制成LNO陶瓷靶，壓力為120 150兆帕；
(3)燒結(jié)成靶 將制得的LNO陶瓷耙進行預(yù)燒脫膠，預(yù)燒溫度由室溫逐步升至650 80(TC，然后自然降溫至室溫； ⑤將脫膠的LNO陶瓷靶進行燒結(jié)，燒結(jié)方式為將LNO陶瓷靶在常壓、常氣氛中750 80(TC燒結(jié)24 48小時，然后在常壓、常氣氛或者氧氣氣氛中950 IIO(TC燒結(jié)1 2小時。 所述的氧氣的壓力為0. 1 1. OMPa。
所述的氧氣的純度大于99. 0% 。 步驟②中所述焙燒的逐步升溫的過程為室溫一200 25(TC保持1. 5 2小時—400 45(TC保持3 4小時一750 80(TC保持2 4小時。 步驟⑤中所述預(yù)燒的逐步升溫過程為室溫一150 20(TC保持0. 5 1小時—250 300。C保持1 2小時一350 400。C保持1 2小時一500 600。C保持0. 5 1小時一650 800。C保持10 20分鐘。 步驟①中檸檬酸與La"或者Ni"的摩爾比為6 : 1 5 : 1。 本發(fā)明的有益效果是本發(fā)明在制備LNO陶瓷靶的燒結(jié)步驟中，采用了在較低溫
度下(80(TC左右)長時間燒結(jié)，使LNO陶瓷耙初期成型，然后在高溫(950 IIO(TC )狀態(tài)
下進行短時間的燒結(jié)，可以防止LNO陶瓷靶的分解。另外，在高溫狀態(tài)下的短時間的燒結(jié)過
程中，加入高壓高純氧環(huán)境，可以大大的降低LNO分解的程度。
2LaNi03 — La2Ni04 + NiO + 102
4LaNi03 — La4Ni3O10 + NiO +會02 以上兩個為LNO陶瓷靶主要成分LaNi03分解的化學(xué)方程式，由此可見，加入高壓高純氧環(huán)境使該反應(yīng)不利于正向進行，而且在高溫高純氧環(huán)境下，也有利于一些雜質(zhì)的去除
另外，在該方法的焙燒和預(yù)燒過程中采用了分步逐漸升溫的方式。在焙燒和預(yù)燒
過程中需要除去的是檸檬酸和聚乙烯醇以及其他的雜質(zhì)，檸檬酸和聚乙烯醇是有機物，在焙燒或者預(yù)燒過程中為被氧化成C02，水蒸氣，氮氧化物等氣體，采用分步升溫的方式進行
焙燒和預(yù)燒是為了使這些有機物逐步分解，分解后的氣體逐步的被除去。另外，加入的檸檬酸，可以提高硝酸鑭和硝酸鎳混合的均勻度。 本發(fā)明以脈沖激光濺射(PLD)技術(shù)為例，采用PLD技術(shù)，使用LNO陶瓷靶A，制備出了特性良好的LNO薄膜。 所制LNO陶瓷耙用脈沖激光沉積法制備LNO薄膜。所用脈沖激光沉積系統(tǒng)儀器型號PLD-450型，由中科院沈陽科儀中心制造；所用準分子激光器(Excimer Laser型號C0MPexPro201型，由美國Coherent公司制造，激光介質(zhì)KrF，激光輸出波長248nm，脈沖寬度25ns。 沉積時的激光脈沖能量固定在312mJ，激光頻率為5Hz。靶基距離約50mm，沉積的基片設(shè)定為65(TC，基片采用硅Si(100)單晶片，基底放入沉積室前先進行清洗處理首先分別用酒精和丙酮超聲lOmin，然后用含10% HF的水溶液浸泡約10min，去離子水沖干凈后迅速吹干放入沉積室，升溫沉積前預(yù)抽真空到1. 5X10—乍a，靶和基片始終以10r/min的速度旋轉(zhuǎn)，02偏壓20Pa，激光沉積10min，原位退火20min。然后在纖維馬弗爐中分別后退火600。C、70(TC、75(rC各lh。


圖1為利用本發(fā)明的方法制作的靶材制備的LNO薄膜的XRD 圖2為中國專利ZL200510021161. X所制備的LNO薄膜的XRD圖。
具體實施例方式
測LNO薄膜的XRD圖見附圖1。其中退火溫度為70(TC的LNO薄膜在(110)方向上擇優(yōu)取向較強。用四探針測量退火溫度為70(TC的LNO薄膜電阻率為1.2X10—3Q *Cm。
效果良好。 中國專利號ZL200510021161. X，名稱為"導(dǎo)電氧化物電極材料及其制備方法"中公開了一種LNO陶瓷靶的制備方法，利用制造的LNO陶瓷靶制備出的LNO薄膜，該LNO薄膜的XRD圖如圖2所示，比較附圖1和附圖2的XRD圖，可以看出附圖1的LNO薄膜在退火溫度為70(TC時，純相并且在(110)方向上擇優(yōu)取向比較明顯。
實施例1 : 本發(fā)明的鎳酸鑭陶瓷靶的制備方法包括如下步驟 ①、稱取適量的硝酸鑭、硝酸鎳、檸檬酸，使摩爾比為La" : Ni2+ : (C6H807 *H20)=1:1: 5，混溶于200ml去離子水中，用磁力攪拌器攪拌并恒溫水浴加熱8(TC保持2小時，得到綠色透明溶膠，然后將溶膠置于恒溫干燥箱中13(TC保持10小時，得到淺棕色干凝膠，碾磨呈粉末； ②、將干凝膠進行分段焙燒，分段焙燒的過程為室溫一20(TC保持1.5小時—40(TC保持3小時一75(TC保持2小時一自然降溫至室溫。碾磨得到黑色純相的LNO粉末；
③、LNO粉末碾磨后，加入適量的粘合劑聚乙烯醇溶液(PVA，濃度為10% )，攪拌達到均勻小顆粒狀，用冷壓方法成型，壓片模具端面墊上塑料薄膜，壓力為120MPa ;
、將制得的LNO陶瓷靶片分段預(yù)燒，進行脫膠，將靶片豎直放置，分段預(yù)燒的過程為室溫一15(TC保持0. 5小時一25(TC保持1小時一35(TC保持1小時一50(TC保持0. 5小時一65(TC保持10分鐘一自然降溫至室溫； ⑤、將LNO陶瓷靶片豎直放置，分兩步進行燒結(jié)，首先在75(TC燒結(jié)24小時，然后在95(TC燒結(jié)1小時，制成LNO陶瓷靶，這兩步燒結(jié)均在常壓、常氣氛下進行。
實施例2 : 本發(fā)明的鎳酸鑭陶瓷靶的制備方法包括如下步驟 ①、稱取適量的硝酸鑭、硝酸鎳、檸檬酸，使摩爾比為La" : Ni2+ : (C6H807 *H20)=1:1: 5. 5，混溶于200ml去離子水中，用磁力攪拌器攪拌并恒溫水浴加熱9(TC保持3小時，得到綠色透明溶膠，然后將溶膠置于恒溫干燥箱中14(TC保持11小時，得到淺棕色干凝膠，碾磨呈粉末； ②、將干凝膠進行分段焙燒，分段焙燒的過程為室溫一21(TC保持1.6小時—41(TC保持3. 2小時一76(TC保持2. 4小時一自然降溫至室溫。碾磨得到黑色純相的LNO粉末； ③、LNO粉末碾磨后，加入適量的粘合劑聚乙烯醇溶液(PVA，濃度為10% )，攪拌達到均勻小顆粒狀，用冷壓方法成型，壓片模具端面墊上塑料薄膜，壓力為130MPa ;
、將制得的LNO陶瓷靶片分段預(yù)燒，進行脫膠，將靶片豎直放置，分段預(yù)燒的過程為室溫一16(TC保持0. 6小時一26(TC保持1. 2小時一36(TC保持1. 2小時一52(TC保持0. 6小時一68(TC保持12分鐘一自然降溫至室溫； ⑤、將LNO陶瓷靶片豎直放置，分兩步進行燒結(jié)，首先在77(TC燒結(jié)28小時，然后在98(TC燒結(jié)1. 2小時，制成LNO陶瓷靶，這兩步燒結(jié)均在常壓、常氣氛下進行。
實施例3 : 本發(fā)明的鎳酸鑭陶瓷靶的制備方法包括如下步驟 ①、稱取適量的硝酸鑭、硝酸鎳、檸檬酸，使摩爾比為La" : Ni2+ : (C6H807 *H20)=1:1: 5. 5，混溶于200ml去離子水中，用磁力攪拌器攪拌并恒溫水浴加熱10(TC保持4小時，得到綠色透明溶膠，然后將溶膠置于恒溫干燥箱中15(TC保持12小時，得到淺棕色干凝膠，碾磨呈粉末； ②、將干凝膠進行分段焙燒，分段焙燒的過程為室溫一23(TC保持1.7小時—43(TC保持3. 5小時一78(TC保持3小時一自然降溫至室溫。碾磨得到黑色純相的LNO粉末； ③、LNO粉末碾磨后，加入適量的粘合劑聚乙烯醇溶液(PVA，濃度為10% )，攪拌達到均勻小顆粒狀。用冷壓方法成型，壓片模具端面墊上塑料薄膜，壓力為140MPa;
、將制得的LNO陶瓷靶片分段預(yù)燒，進行脫膠，將靶片豎直放置，分段預(yù)燒的過程為室溫一18(TC保持0. 7小時一28(TC保持1. 5小時一38(TC保持1. 5小時一55(TC保持0. 7小時一74(TC保持15分鐘一自然降溫至室溫； ⑤、將LNO陶瓷靶片豎直放置，分兩步進行燒結(jié)，首先在78(TC燒結(jié)36小時，然后在105(TC燒結(jié)1. 5小時，制成LNO陶瓷靶，這兩步燒結(jié)均在常壓、常氣氛下進行。
實施例4
本發(fā)明的鎳酸鑭陶瓷靶的制備方法包括如下步驟 ①、稱取適量的硝酸鑭、硝酸鎳、檸檬酸，使摩爾比為La" : Ni2+ : (C6H807 *H20)=1:1: 6，混溶于200ml去離子水中，用磁力攪拌器攪拌并恒溫水浴加熱10(TC保持4小時，得到綠色透明溶膠，然后將溶膠置于恒溫干燥箱中15(TC保持12小時，得到淺棕色干凝膠，碾磨呈粉末； ②、將干凝膠進行分段焙燒，分段焙燒的過程為室溫一25(TC保持2小時一450°C保持4小時一80(TC保持4小時一自然降溫至室溫。碾磨得到黑色純相的LNO粉末；
③、LNO粉末碾磨后，加入適量的粘合劑聚乙烯醇溶液(PVA，濃度為10% )，攪拌達到均勻小顆粒狀。用冷壓方法成型，壓片模具端面墊上塑料薄膜，壓力為150MPa;
、將制得的LNO陶瓷靶片分段預(yù)燒，進行脫膠，將靶片豎直放置，分段預(yù)燒的過程為室溫一20(TC保持1小時一30(TC保持2小時一40(TC保持2小時一60(TC保持1小時一800。C保持20分鐘一自然降溫至室溫； ⑤、將LNO陶瓷靶片豎直放置，分兩步進行燒結(jié)，首先在80(TC燒結(jié)48小時，然后在IIO(TC燒結(jié)2小時，制成LNO陶瓷靶，這兩步燒結(jié)均在常壓、常氣氛下進行。
實施例5 : 本發(fā)明的鎳酸鑭陶瓷靶的制備方法包括如下步驟 ①、稱取適量的硝酸鑭、硝酸鎳、檸檬酸，使摩爾比為La" : Ni2+ : (C6H807 *H20)=1:1: 5，混溶于200ml去離子水中，用磁力攪拌器攪拌并恒溫水浴加熱8(TC保持2小時，得到綠色透明溶膠，然后將溶膠置于恒溫干燥箱中13(TC保持10小時，得到淺棕色干凝膠，碾磨呈粉末； ②、將干凝膠進行分段焙燒，分段焙燒的過程為室溫一20(TC保持1.5小時—40(TC保持3小時一75(TC保持2小時一自然降溫至室溫。碾磨得到黑色純相的LNO粉末； ③、LNO粉末碾磨后，加入適量的粘合劑聚乙烯醇溶液(PVA，濃度為10% )，攪拌達到均勻小顆粒狀。用冷壓方法成型，壓片模具端面墊上塑料薄膜，壓力為120MPa;
、將制得的LNO陶瓷靶片分段預(yù)燒，進行脫膠，將靶片豎直放置，分段預(yù)燒的過程為室溫一15(TC保持0. 5小時一25(TC保持1小時一35(TC保持1小時一50(TC保持0. 5小時一65(TC保持10分鐘一自然降溫至室溫； ⑤、將LNO陶瓷靶片豎直放置，分兩步進行燒結(jié)，首先在常壓常氣氛中75(TC燒結(jié)24小時，然后在氧氣氣氛下95(TC燒結(jié)1小時，使用氧氣濃度^ 99.0%，保持氧壓0. lMPa，制成LNO陶瓷靶。
實施例6: 發(fā)明的鎳酸鑭陶瓷靶的制備方法包括如下步驟 ①、稱取適量的硝酸鑭、硝酸鎳、檸檬酸，使摩爾比為La" : Ni2+ : (C6H807 *H20)=1:1: 5. 5，混溶于200ml去離子水中，用磁力攪拌器攪拌并恒溫水浴加熱9(TC保持3小時，得到綠色透明溶膠，然后將溶膠置于恒溫干燥箱中14(TC保持11小時，得到淺棕色干凝膠，碾磨呈粉末； ②、將干凝膠進行分段焙燒，分段焙燒的過程為室溫一21(TC保持1.6小時—41(TC保持3. 2小時一76(TC保持2. 4小時一自然降溫至室溫。碾磨得到黑色純相的LNO粉末； ③、LNO粉末碾磨后，加入適量的粘合劑聚乙烯醇溶液(PVA，濃度為10% )，攪拌達 到均勻小顆粒狀。用冷壓方法成型，壓片模具端面墊上塑料薄膜，壓力為130MPa;
、將制得的LNO陶瓷靶片分段預(yù)燒，進行脫膠，將靶片豎直放置，分段預(yù)燒的過 程為室溫一16(TC保持0. 6小時一26(TC保持1. 2小時一36(TC保持1. 2小時一52(TC保 持0. 6小時一68(TC保持12分鐘一自然降溫至室溫； ⑤、將LNO陶瓷靶片豎直放置，分兩步進行燒結(jié)，首先在常壓常氣氛中77(TC燒結(jié) 28小時，然后在氧氣氣氛下98(TC燒結(jié)12小時，使用氧氣濃度^ 99. 0%，保持氧壓0. 3MPa， 制成LNO陶瓷靶。
實施例7 : 本發(fā)明的鎳酸鑭陶瓷靶的制備方法包括如下步驟 ①、稱取適量的硝酸鑭、硝酸鎳、檸檬酸，使摩爾比為La" : Ni2+ : (C6H807 *H20)= 1:1: 5. 5，混溶于200ml去離子水中，用磁力攪拌器攪拌并恒溫水浴加熱10(TC保持4小 時，得到綠色透明溶膠，然后將溶膠置于恒溫干燥箱中15(TC保持12小時，得到淺棕色干凝 膠，碾磨呈粉末； ②、將干凝膠進行分段焙燒，分段焙燒的過程為室溫一23(TC保持1.7小時 —43(TC保持3. 5小時一78(TC保持3小時一自然降溫至室溫。碾磨得到黑色純相的LNO 粉末； ③、LNO粉末碾磨后，加入適量的粘合劑聚乙烯醇溶液(PVA，濃度為10% )，攪拌達 到均勻小顆粒狀。用冷壓方法成型，壓片模具端面墊上塑料薄膜，壓力為140MPa;
、將制得的LNO陶瓷靶片分段預(yù)燒，進行脫膠，將靶片豎直放置，分段預(yù)燒的過 程為室溫一18(TC保持0. 7小時一28(TC保持1. 5小時一38(TC保持1. 5小時一55(TC保 持0. 7小時一74(TC保持15分鐘一自然降溫至室溫； ⑤、將LNO陶瓷靶片豎直放置，分兩步進行燒結(jié)，首先在常壓常氣氛中78(TC燒 結(jié)36小時，然后在氧氣氣氛下105(TC燒結(jié)1.5小時，使用氧氣濃度^ 99.0%，保持氧壓 0. 6MPa，制成LNO陶瓷耙。
實施例8 本發(fā)明的鎳酸鑭陶瓷靶的制備方法包括如下步驟 ①、稱取適量的硝酸鑭、硝酸鎳、檸檬酸，使摩爾比為La" : Ni2+ : (C6H807 *H20)= 1:1: 6，混溶于200ml去離子水中，用磁力攪拌器攪拌并恒溫水浴加熱10(TC保持4小 時，得到綠色透明溶膠，然后將溶膠置于恒溫干燥箱中15(TC保持12小時，得到淺棕色干凝 膠，碾磨呈粉末； ②、將干凝膠進行分段焙燒，分段焙燒的過程為室溫一25(TC保持2小時一450°C 保持4小時一80(TC保持4小時一自然降溫至室溫。碾磨得到黑色純相的LNO粉末；
③、LNO粉末碾磨后，加入適量的粘合劑聚乙烯醇溶液(PVA，濃度為10% )，攪拌達 到均勻小顆粒狀。用冷壓方法成型，壓片模具端面墊上塑料薄膜，壓力為150MPa;
、將制得的LNO陶瓷靶片分段預(yù)燒，進行脫膠，將靶片豎直放置，分段預(yù)燒的過 程為室溫一20(TC保持1小時一30(TC保持2小時一40(TC保持2小時一60(TC保持1小 時一8Q0。C保持20分鐘一自然降溫至室溫；
⑤、將LN0陶瓷靶片豎直放置，分兩步進行燒結(jié)，首先在常壓常氣氛中80(TC燒結(jié) 48小時，然后在氧氣氣氛下IIO(TC燒結(jié)2小時，使用氧氣濃度^ 99. 0%，保持氧壓1. OMPa， 制成LNO陶瓷耙。
權(quán)利要求
一種鎳酸鑭陶瓷靶的制備方法，其特征在于包括如下步驟(1)鎳酸鑭(LNO)粉末制備①稱取硝酸鑭、硝酸鎳，使摩爾比為1∶1，加入檸檬酸，混溶于去離子水中，攪拌并在80～100℃保持2～4小時，得到溶膠，然后將溶膠置于130～150℃中干燥10～12小時，得到干凝膠；②將干凝膠進行焙燒，焙燒溫度由室溫逐步升至750～800℃，然后自然降溫至室溫，碾磨得到LNO粉末；(2)靶片壓制③將中的LNO粉末冷壓成型，制成LNO陶瓷靶，壓力為120～150兆帕；(3)燒結(jié)成靶④將制得的LNO陶瓷靶進行預(yù)燒脫膠，預(yù)燒溫度由室溫逐步升至650～800℃，然后自然降溫至室溫；⑤將脫膠的LNO陶瓷靶進行燒結(jié)，燒結(jié)方式為將LNO陶瓷靶在常壓、常氣氛中750～800℃燒結(jié)24～48小時，然后在常壓、常氣氛中950～1100℃燒結(jié)1～2小時。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于步驟⑤中第二次燒結(jié)過程中采用氧氣氣氛替代常壓、常氣氛。
3. 根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其特征在于所述的氧氣的壓力為0. 1 1. 0MPa。
4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于所述的氧氣的純度大于99. 0%。
5. 根據(jù)權(quán)利要求1或3或4所述的方法，其特征在于步驟②中所述焙燒的逐步升溫的過程為室溫一200 25(TC保持1. 5 2小時一400 45(TC保持3 4小時一750 80(TC保持2 4小時。
6. 根據(jù)權(quán)利要求1或3或4所述的方法，其特征在于步驟④中所述預(yù)燒的逐步升溫過程為室溫一150 20(TC保持0. 5 1小時一250 30(TC保持1 2小時一350 400。C保持1 2小時一500 600。C保持0. 5 1小時一650 800。C保持10 20分鐘。
7. 根據(jù)權(quán)利要求1或3或4所述的方法，其特征在于步驟 中檸檬酸與1^3+或者附2+的摩爾比為6 : i 5 : i。
全文摘要
本發(fā)明公開了一種鎳酸鑭陶瓷靶的制備方法，該發(fā)明首先使用檸檬酸法制得LNO凝膠，再將LNO凝膠干燥，研磨，冷壓，預(yù)燒脫膠，燒結(jié)成型制成LNO陶瓷靶。本發(fā)明在制備LNO陶瓷靶的燒結(jié)步驟中，采用了在較低溫度下(800℃左右)長時間燒結(jié)，使LNO陶瓷靶初期成型，然后在高溫(950～1100℃)狀態(tài)下進行短時間的燒結(jié)，可以防止LNO陶瓷靶的分解。另外，在高溫狀態(tài)下的短時間的燒結(jié)過程中，加入高壓高純氧環(huán)境，使LNO的分解反應(yīng)不利于正向進行，可以大大的降低LNO分解的程度，用脈沖激光沉積(PLD)法制鎳酸鑭薄膜，效果良好。
文檔編號C04B35/622GK101712549SQ20081023096
公開日2010年5月26日 申請日期2008年11月20日 優(yōu)先權(quán)日2008年11月20日
發(fā)明者丁玲紅, 張偉風(fēng), 張婷, 陳紅舉 申請人:河南大學(xué)