專利名稱:原料棒卡裝裝置及原料棒的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域:
本實(shí)用新型涉及區(qū)熔單晶拉制領(lǐng)域,特別涉及一種原料棒卡裝裝置及原料棒。
背景技術(shù):
在大直徑區(qū)熔單晶硅拉制過(guò)程中,需要將原料多晶硅棒掛在區(qū)熔單晶爐的上主軸。而區(qū)熔爐用的原料是經(jīng)過(guò)滾磨加工的多晶硅棒,一端加工成錐形,另一端加工特殊的形狀懸掛在區(qū)熔單晶爐上主軸上。在多晶硅棒和區(qū)熔單晶爐的上主軸連接處,需要一個(gè)裝置,該裝置上端與區(qū)熔單晶爐的上主軸相連,下端可以方便裝卸多晶硅棒。現(xiàn)有的多晶硅棒卡裝裝置一般是將多晶硅棒用鑰絲捆綁在一個(gè)與區(qū)熔單晶爐的上主軸相連的料爪上。通過(guò)調(diào)整料爪的開(kāi)口的角度適用于不同直徑的多晶硅棒;同時(shí)在多晶硅棒上打磨加工出與料爪形狀相吻合的缺口。這種結(jié)構(gòu)的缺點(diǎn)是:1、現(xiàn)有的多晶硅棒卡裝裝置每次卡裝多晶硅棒都需要使用鑰絲固定,幾次之后鑰絲就需要更換,鑰絲較昂貴,因此產(chǎn)生很多額外的費(fèi)用;2、料爪可以調(diào)節(jié)的范圍很小,不同尺寸的多晶硅棒要用不同的料爪;3、多晶硅棒上與料爪所吻合的缺口形狀不易加工;4、隨著技術(shù)的不斷提高,拉制的多晶硅棒直徑越來(lái)越大,拉制工藝所需求的多晶硅棒與區(qū)熔單晶爐的下主軸的同軸度及多晶硅棒與線圈的垂直度要求越來(lái)越高,現(xiàn)有的多晶硅棒卡裝裝置不能很方便的進(jìn)行調(diào)整,直接裝卡的精度無(wú)法達(dá)到要求。
實(shí)用新型內(nèi)容本實(shí)用新型提供了 一種原料棒卡裝裝置及原料棒,減少了裝配工序且降低了生產(chǎn)成本,可用于卡裝不同直徑的原料棒,同時(shí)降低了原料棒的加工難度要求。為達(dá)到上述目的,本實(shí)用新型提供以下技術(shù)方案:一種原料棒卡裝裝置,包括卡料盤;所述卡料盤包括第一旋轉(zhuǎn)圓板,第二旋轉(zhuǎn)圓板,連接軸以及N對(duì)卡料螺釘和固定螺母,其中N是大于等于3的自然數(shù);所述連接軸穿過(guò)第一旋轉(zhuǎn)圓板和第二旋轉(zhuǎn)圓板的圓心且使所述第一旋轉(zhuǎn)圓板和第二旋轉(zhuǎn)圓板相貼合,所述第一旋轉(zhuǎn)圓板和第二旋轉(zhuǎn)圓板能相對(duì)于連接軸轉(zhuǎn)動(dòng);所述第一旋轉(zhuǎn)圓板上設(shè)置有N個(gè)相同的長(zhǎng)孔,所述第二旋轉(zhuǎn)圓板上設(shè)置有N個(gè)相同的螺旋孔,所述第一旋轉(zhuǎn)圓板的長(zhǎng)孔與第二旋轉(zhuǎn)圓板的螺旋孔重合處處于以連接軸為圓心,半徑相同的同一個(gè)圓上;所述N對(duì)卡料螺釘和固定螺母中,每個(gè)卡料螺釘穿過(guò)一個(gè)長(zhǎng)孔和螺旋孔的重合處,一端與一個(gè)固定螺母相配合能夠鎖緊第二旋轉(zhuǎn)圓板使其相對(duì)于第一旋轉(zhuǎn)圓板固定,另一端設(shè)置有裝卡突起,N個(gè)卡料螺釘?shù)乃醒b卡突起能夠裝卡原料棒。優(yōu)選地,每個(gè)長(zhǎng)孔沿第一旋轉(zhuǎn)圓板的半徑方向設(shè)置且相鄰長(zhǎng)孔所在半徑的夾角是360° /N,每個(gè)長(zhǎng)孔靠近第一旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到第一旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離r相等,每個(gè)長(zhǎng)孔遠(yuǎn)離第一旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到第一旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離R相等;每個(gè)螺旋孔靠近第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離相等且等于r,每個(gè)螺旋孔遠(yuǎn)離第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離相等且等于R,且從一個(gè)螺旋孔靠近第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到遠(yuǎn)離第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端,螺紋孔到第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離LWr連續(xù)變化到R ;相鄰螺旋孔靠近第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端所在半徑的夾角是360° /N。優(yōu)選地,N=3。優(yōu)選地,還包括調(diào)整圓盤;所述調(diào)整圓盤的中心設(shè)置有連接用的螺紋柱,所述螺紋柱的中心設(shè)置有圓臺(tái)形孔且所述圓臺(tái)形孔較小底面與卡料盤相對(duì),所述調(diào)整圓盤的一個(gè)半徑上開(kāi)設(shè)有通道,所述通道與螺紋柱中心的圓臺(tái)形孔相通;所述連接軸遠(yuǎn)離第一旋轉(zhuǎn)圓板和第二旋轉(zhuǎn)圓板的一端設(shè)置有球形突起,所述連接軸具有球形突起的一端穿過(guò)通道進(jìn)入到錐形孔,所述球形突起卡接在錐形孔內(nèi)。優(yōu)選地,所述調(diào)整圓盤上設(shè)置有M個(gè)相同的調(diào)整螺孔,每個(gè)調(diào)整螺孔沿調(diào)整圓盤的半徑方向設(shè)置且相鄰調(diào)整螺孔所在半徑的夾角是360° /M,每個(gè)所述調(diào)整螺孔設(shè)置在調(diào)整圓盤的邊緣,其中M是大于等于3的自然數(shù);所述調(diào)整圓盤還包括M個(gè)相同的調(diào)整螺釘,每個(gè)調(diào)整螺釘有一個(gè)與之配合的調(diào)整螺母;每個(gè)調(diào)整螺釘一端穿過(guò)調(diào)整圓盤的調(diào)整螺孔與卡料盤相接觸,每個(gè)調(diào)整螺釘?shù)牧硪欢伺c調(diào)整螺母相配合,能夠鎖緊調(diào)整圓盤使卡料盤相對(duì)于調(diào)整圓盤固定。優(yōu)選地,M=3。優(yōu)選地,所述第一旋轉(zhuǎn)圓板與調(diào)整圓盤相對(duì),所述調(diào)整螺釘一端穿過(guò)調(diào)整圓盤的調(diào)整螺孔與第一旋轉(zhuǎn)圓板相接觸。優(yōu)選地,所述連接軸是圓柱形連接軸,所述球形突起的直徑大于圓柱形連接軸的
直徑;所述通道的寬度大于圓柱形連接軸的直徑;所述球形突起的直徑大于圓臺(tái)形孔較小底面的直徑且所述圓柱形連接軸的直徑大于圓臺(tái)形孔較小底面的直徑。本實(shí)用新型還提供以下技術(shù)方案:一種與上述任一種原料棒卡裝裝置相配合的原料棒,所述原料棒的一端是錐形,所述原料棒的另一端是圓柱形,所述原料棒圓柱形的一端的外表面設(shè)置有凹槽,所述凹槽與原料棒卡裝裝置的卡料螺釘?shù)目ㄑb突起相配合。優(yōu)選地,圓柱的半徑在r到R之間。本實(shí)用新型提供的一種原料棒卡裝裝置及原料棒,原料棒卡裝裝置的所述第一旋轉(zhuǎn)圓板和第二旋轉(zhuǎn)圓板同軸,且第一旋轉(zhuǎn)圓板的長(zhǎng)孔與第二旋轉(zhuǎn)圓板的螺旋孔重合處都處于以連接軸為圓心,半徑相同的同一個(gè)圓上;每個(gè)卡料螺釘穿過(guò)一個(gè)第一旋轉(zhuǎn)圓板的長(zhǎng)孔和第二旋轉(zhuǎn)圓板的螺旋孔重合處,每個(gè)所述卡料螺釘?shù)牧硪欢嗽O(shè)置有裝卡突起,N個(gè)卡料螺釘?shù)难b卡突起能夠裝卡原料棒。這樣,N個(gè)卡料螺釘在同一個(gè)圓上,只要原料棒是圓柱形且具有能將N個(gè)卡料螺釘卡入的凹槽即可實(shí)現(xiàn)對(duì)原料棒的卡裝,降低了對(duì)原料棒的要求。此夕卜,與現(xiàn)有的原料棒卡裝裝置相比,本實(shí)用新型的原料棒卡裝裝置卡裝時(shí)減少了裝配工序且降低了生產(chǎn)成本,可用于卡裝不同直徑的原料棒,同時(shí)降低了原料棒的加工難度要求。
圖1為本實(shí)用新型的原料棒卡裝裝置一個(gè)實(shí)施例的剖面示意圖;圖2為圖1所示原料棒卡裝裝置的卡料盤的俯視圖;圖3為圖1所示原料棒卡裝裝置的卡料盤的仰視圖;[0025]圖4為圖1所示原料棒卡裝裝置的俯視圖。主要元件附圖標(biāo)記說(shuō)明如下:100卡料盤,110第一旋轉(zhuǎn)圓板,111長(zhǎng)孔,120第二旋轉(zhuǎn)圓板,121螺旋孔,130連接軸,140卡料螺釘,141固定螺母,142裝卡突起;200調(diào)整圓盤,210調(diào)整螺釘,211調(diào)整螺母,220螺紋柱,230通道。
具體實(shí)施方式
下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖,對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述,顯然,所描述的實(shí)施例僅僅是本實(shí)用新型一部分實(shí)施例,而不是全部的實(shí)施例?;诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例,本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒(méi)有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例,都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。本實(shí)用新型的第一個(gè)實(shí)施例的原料棒卡裝裝置,在本實(shí)施例中以用于區(qū)熔單晶爐的多晶硅棒卡裝裝置為例進(jìn)行描述;需要說(shuō)明的是原料卡裝裝置并不限于用于區(qū)熔單晶爐,也可以用于其他設(shè)備,另外原料棒卡裝裝置也并不限于多晶硅棒卡裝裝置,也可以是對(duì)其他的原料棒進(jìn)行卡裝的原料棒卡裝裝置。本實(shí)施例的原料棒卡裝裝置包括卡料盤;所述卡料盤包括第一旋轉(zhuǎn)圓板,第二旋轉(zhuǎn)圓板,連接軸以及N對(duì)卡料螺釘和固定螺母;所述連接軸穿過(guò)第一旋轉(zhuǎn)圓板和第二旋轉(zhuǎn)圓板的圓心且使第一旋轉(zhuǎn)圓板和第二旋轉(zhuǎn)圓板相貼合,所述第一旋轉(zhuǎn)圓板和第二旋轉(zhuǎn)圓板能相對(duì)于連接軸轉(zhuǎn)動(dòng);所述第一旋轉(zhuǎn)圓板上設(shè)置有N個(gè)相同的長(zhǎng)孔,所述第二旋轉(zhuǎn)圓板上設(shè)置有N個(gè)相同的螺旋孔,所述第一旋轉(zhuǎn)圓板的長(zhǎng)孔與第二旋轉(zhuǎn)圓板的螺旋孔重合處處于以連接軸為圓心,半徑相同的同一個(gè)圓上;所述N對(duì)卡料螺釘和固定螺母中,每個(gè)卡料螺釘穿過(guò)一個(gè)長(zhǎng)孔和螺旋孔的重合處,一端與一個(gè)固定螺母相配合能夠鎖緊第二旋轉(zhuǎn)圓板使其相對(duì)于第一旋轉(zhuǎn)圓板固定,另一端設(shè)置有裝卡突起,N個(gè)卡料螺釘?shù)乃醒b卡突起能夠裝卡多晶硅棒。本實(shí)施例的原料棒卡裝裝置,所述第一旋轉(zhuǎn)圓板和第二旋轉(zhuǎn)圓板同軸,且第一旋轉(zhuǎn)圓板的長(zhǎng)孔與第二旋轉(zhuǎn)圓板的螺旋孔重合處都處于以連接軸為圓心,半徑相同的同一個(gè)圓上;每個(gè)卡料螺釘穿過(guò)一個(gè)第一旋轉(zhuǎn)圓板的長(zhǎng)孔和第二旋轉(zhuǎn)圓板的螺旋孔重合處,每個(gè)所述卡料螺釘?shù)牧硪欢嗽O(shè)置有裝卡突起,N個(gè)卡料螺釘?shù)难b卡突起能夠裝卡多晶硅棒。這樣,N個(gè)卡料螺釘在同一個(gè)圓上,只要多晶硅棒是圓柱形且具有能將N個(gè)卡料螺釘卡入的凹槽即可實(shí)現(xiàn)對(duì)多晶硅棒的卡裝,降低了對(duì)多晶硅棒的要求。此外,與現(xiàn)有的多晶硅棒卡裝裝置相比,本實(shí)施例的用于區(qū)熔單晶爐的多晶硅棒卡裝裝置卡裝時(shí)減少了工序且降低了成本。本實(shí)用新型的第二個(gè)實(shí)施例的原料棒卡裝裝置,在第一個(gè)實(shí)施例的基礎(chǔ)上,對(duì)長(zhǎng)孔和螺旋孔進(jìn)一步進(jìn)行闡述:每個(gè)長(zhǎng)孔沿第一旋轉(zhuǎn)圓板的半徑方向設(shè)置且相鄰長(zhǎng)孔所在半徑的夾角是360° /N,每個(gè)長(zhǎng)孔靠近第一旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到第一旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離r相等,每個(gè)長(zhǎng)孔遠(yuǎn)離第一旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到第一旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離R相等;每個(gè)螺旋孔靠近第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離相等且等于r,每個(gè)螺旋孔遠(yuǎn)離第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離相等且等于R,且從一個(gè)螺旋孔靠近第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到遠(yuǎn)離第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端,螺紋孔到第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離從r連續(xù)變化到R ;相鄰螺旋孔靠近第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端所在半徑的夾角是360° /N。通過(guò)轉(zhuǎn)動(dòng)第二旋轉(zhuǎn)圓板改變第二旋轉(zhuǎn)圓板的螺旋孔與第一旋轉(zhuǎn)圓板的長(zhǎng)孔的相對(duì)角度,使得第二旋轉(zhuǎn)圓板的螺旋孔與第一旋轉(zhuǎn)圓板的長(zhǎng)孔重合處所在的圓的半徑可以在r到R之間連續(xù)變化,即所述N個(gè)卡料螺釘所在圓的半徑可以在r到R之間連續(xù)變化,而N個(gè)卡料螺釘?shù)牧硪欢四軌蜓b卡多晶硅棒,這樣,卡料盤能夠裝卡多晶硅棒的半徑在r到R之間連續(xù)變化,半徑范圍比較大。不同半徑的多晶硅棒的裝卡能夠采用同一個(gè)卡料盤實(shí)現(xiàn)。本實(shí)用新型的第三個(gè)實(shí)施例的原料棒卡裝裝置,在第一個(gè)實(shí)施例和第二個(gè)實(shí)施例的基礎(chǔ)上,對(duì)第一旋轉(zhuǎn)圓板,第二旋轉(zhuǎn)圓板和卡料螺釘進(jìn)一步進(jìn)行闡述:N=3。本實(shí)施例的原料棒卡裝裝置,如圖1所示,包括卡料盤100 ;所述卡料盤100包括第一旋轉(zhuǎn)圓板110,第二旋轉(zhuǎn)圓板120,連接軸130以及N對(duì)卡料螺釘140和固定螺母141 ;所述連接軸130穿過(guò)第一旋轉(zhuǎn)圓板110和第二旋轉(zhuǎn)圓板120的圓心且使第一旋轉(zhuǎn)圓板和第二旋轉(zhuǎn)圓板相貼合,所述第一旋轉(zhuǎn)圓板和第二旋轉(zhuǎn)圓板能相對(duì)于連接軸轉(zhuǎn)動(dòng);如圖2所示,所述第一旋轉(zhuǎn)圓板110上設(shè)置有3個(gè)相同的長(zhǎng)孔111,每個(gè)長(zhǎng)孔111沿第一旋轉(zhuǎn)圓板的半徑方向設(shè)置且相鄰長(zhǎng)孔所在半徑的夾角是120°,每個(gè)長(zhǎng)孔靠近第一旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到第一旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離r相等,每個(gè)長(zhǎng)孔遠(yuǎn)離第一旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到第一旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離R相等;如圖3所示,所述第二旋轉(zhuǎn)圓板120上設(shè)置有3個(gè)相同的螺旋孔121,每個(gè)螺旋孔靠近第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離相等且等于r,每個(gè)螺旋孔遠(yuǎn)離第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離相等且等于R,且從一個(gè)螺旋孔靠近第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到遠(yuǎn)離第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端,螺紋孔到第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離從r連續(xù)變化到R ;相鄰螺旋孔靠近第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端所在半徑的夾角是120。;所述N對(duì)卡料螺釘和固定螺母中,每個(gè)卡料螺釘穿過(guò)一個(gè)長(zhǎng)孔和螺旋孔的重合處,所述卡料螺釘?shù)囊欢伺c一個(gè)固定螺母相配合能夠鎖緊第二旋轉(zhuǎn)圓板使其相對(duì)于第一旋轉(zhuǎn)圓板固定;每個(gè)所述卡料螺釘?shù)牧硪欢嗽O(shè)置有裝卡突起142,3個(gè)卡料螺釘?shù)难b卡突起能夠裝卡多晶娃棒。本實(shí)施例的原料棒卡裝裝置,采用3個(gè)長(zhǎng)孔,螺旋孔和卡裝螺釘,是最優(yōu)選的方式,也是經(jīng)常采用的方式。因?yàn)橐环矫娌捎米詈?jiǎn)單的結(jié)構(gòu)解決了第二個(gè)實(shí)施例所能解決的技術(shù)問(wèn)題,簡(jiǎn)化了用于區(qū)熔單晶爐的多晶硅棒卡裝裝置,降低了生產(chǎn)的復(fù)雜程度,同時(shí)簡(jiǎn)化了卡裝多晶硅棒的程序;另一方面,采用3個(gè)長(zhǎng)孔,螺旋孔和卡裝螺釘?shù)挠糜趨^(qū)熔單晶爐的多晶硅棒卡裝裝置穩(wěn)定性比4個(gè)及以上長(zhǎng)孔,螺旋孔和卡裝螺釘?shù)挠糜趨^(qū)熔單晶爐的多晶娃棒卡裝裝置好。本實(shí)用新型的第四個(gè)實(shí)施例的原料棒卡裝裝置,在上述任一個(gè)實(shí)施例的基礎(chǔ)上,對(duì)用于區(qū)熔單晶爐的多晶硅棒卡裝裝置進(jìn)一步進(jìn)行闡述:還包括調(diào)整圓盤;如圖4所示,所述調(diào)整圓盤的中心設(shè)置有連接用的螺紋柱220,所述螺紋柱的中心設(shè)置有圓臺(tái)形孔且所述圓臺(tái)形孔較小底面與卡料盤相對(duì),所述調(diào)整圓盤的一個(gè)半徑上開(kāi)設(shè)有通道230,所述通道230與螺紋柱中心的圓臺(tái)形孔相通;所述連接軸遠(yuǎn)離第一旋轉(zhuǎn)圓板和第二旋轉(zhuǎn)圓板的一端設(shè)置有球形突起,所述連接軸具有球形突起的一端穿過(guò)通道進(jìn)入到錐形孔,所述球形突起卡接在錐形孔內(nèi)。與區(qū)熔單晶爐的上主軸相對(duì)處,設(shè)置有加熱線圈,上主軸與加熱線圈同軸且上主軸垂直于加熱線圈。多晶硅棒的理想的位置在上主軸和加熱線圈之間,且多晶硅棒與加熱線圈同軸且垂直。調(diào)整圓盤的中心的連接用的螺紋柱與區(qū)熔單晶爐的上主軸連接,保證了調(diào)整圓盤與區(qū)熔單晶爐的上主軸基本上同軸;卡料盤的連接軸的球形突起卡接在位于調(diào)整圓盤中心的錐形孔內(nèi),這樣,保證了卡料盤與調(diào)整圓盤基本上同軸,而卡料盤與其卡裝的多晶娃棒基本上同軸,這樣,使得多晶硅棒與區(qū)熔單晶爐的上主軸基本上同軸,即通過(guò)調(diào)整多晶硅棒與區(qū)熔單晶爐的上主軸的位置關(guān)系間接調(diào)整多晶硅棒與加熱線圈之間的位置關(guān)系。本實(shí)用新型的第五個(gè)實(shí)施例的原料棒卡裝裝置,在第四個(gè)實(shí)施例的基礎(chǔ)上,對(duì)調(diào)整圓盤進(jìn)一步進(jìn)行闡述:所述調(diào)整圓盤上設(shè)置有M個(gè)相同的調(diào)整螺孔,每個(gè)調(diào)整螺孔沿調(diào)整圓盤的半徑方向設(shè)置且相鄰調(diào)整螺孔所在半徑的夾角是360° /M,每個(gè)所述調(diào)整螺孔設(shè)置在調(diào)整圓盤的邊緣,其中M是大于等于3的自然數(shù);所述調(diào)整圓盤還包括M個(gè)相同的調(diào)整螺釘,每個(gè)調(diào)整螺釘有一個(gè)與之配合的調(diào)整螺母;每個(gè)調(diào)整螺釘一端穿過(guò)調(diào)整圓盤的調(diào)整螺孔與卡料盤相接觸,每個(gè)調(diào)整螺釘?shù)牧硪欢伺c調(diào)整螺母相配合,能夠鎖緊調(diào)整圓盤使卡料盤相對(duì)于調(diào)整圓盤固定。調(diào)整圓盤的中心的連接用的螺紋柱與區(qū)熔單晶爐的上主軸連接后,調(diào)整圓盤相對(duì)于區(qū)熔單晶爐的上主軸位置固定,如果多晶硅棒與加熱線圈之間的位置關(guān)系達(dá)不到同軸且垂直的要求時(shí),通過(guò)調(diào)整M個(gè)的調(diào)整螺釘進(jìn)而調(diào)整卡料盤與調(diào)整圓盤之間的角度來(lái)調(diào)整多晶硅棒與加熱線圈之間的位置關(guān)系,使得多晶硅棒與加熱線圈之間的位置關(guān)系更接近同軸且垂直的要求。本實(shí)用新型的第六個(gè)實(shí)施例的原料棒卡裝裝置,在第五個(gè)實(shí)施例的基礎(chǔ)上,對(duì)調(diào)整圓盤進(jìn)一步進(jìn)行闡述:M=30本實(shí)施例的原料棒卡裝裝置,如圖1所示,還包括調(diào)整圓盤200 ;如圖4所示,所述調(diào)整圓盤200上設(shè)置有3個(gè)相同的調(diào)整螺孔,每個(gè)調(diào)整螺孔沿調(diào)整圓盤的半徑方向設(shè)置且相鄰調(diào)整螺孔所在半徑的夾角是120°,每個(gè)所述調(diào)整螺孔設(shè)置在調(diào)整圓盤的邊緣;所述調(diào)整圓盤還包括3個(gè)相同的調(diào)整螺釘210,每個(gè)調(diào)整螺釘210有一個(gè)與之配合的調(diào)整螺母211 ;每個(gè)調(diào)整螺釘一端穿過(guò)調(diào)整圓盤的調(diào)整螺孔與卡料盤相接觸,每個(gè)調(diào)整螺釘?shù)牧硪欢伺c調(diào)整螺母相配合,能夠鎖緊調(diào)整圓盤使卡料盤相對(duì)于調(diào)整圓盤固定。本實(shí)施例的原料棒卡裝裝置,采用3個(gè)調(diào)整螺釘,是最優(yōu)選的方式,也是經(jīng)常采用的方式。因?yàn)橐环矫娌捎米詈?jiǎn)單的結(jié)構(gòu)解決了第五個(gè)實(shí)施例所能解決的技術(shù)問(wèn)題,簡(jiǎn)化了原料棒卡裝裝置,降低了生產(chǎn)的復(fù)雜程度,同時(shí)簡(jiǎn)化了卡裝多晶硅棒的程序;另一方面,采用3個(gè)調(diào)整螺釘?shù)脑习艨ㄑb裝置穩(wěn)定性比4個(gè)及以上調(diào)整螺釘?shù)脑习艨ㄑb裝置好。本實(shí)用新型的第七個(gè)實(shí)施例的原料棒卡裝裝置,在第五個(gè)實(shí)施例的基礎(chǔ)上,對(duì)第一旋轉(zhuǎn)圓板與調(diào)整圓盤進(jìn)一步進(jìn)行闡述:所述第一旋轉(zhuǎn)圓板與調(diào)整圓盤相對(duì),所述調(diào)整螺釘一端穿過(guò)調(diào)整圓盤的調(diào)整螺孔與第一旋轉(zhuǎn)圓板相接觸。[0059]本實(shí)用新型的第八個(gè)實(shí)施例的原料棒卡裝裝置,在第五個(gè)實(shí)施例的基礎(chǔ)上,對(duì)原料棒卡裝裝置進(jìn)一步進(jìn)行闡述:所述連接軸是圓柱形連接軸,所述球形突起的直徑大于圓柱形連接軸的直徑;所述通道的寬度大于圓柱形連接軸的直徑;所述球形突起的直徑大于圓臺(tái)形孔較小底面的直徑且所述圓柱形連接軸的直徑大于圓臺(tái)形孔較小底面的直徑。本實(shí)用新型的第九個(gè)實(shí)施例提供了一種與上述任一種原料棒卡裝裝置相配合的原料棒,在本實(shí)施例中以多晶硅棒為例進(jìn)行描述,需要說(shuō)明的是原料棒并不限于多晶硅棒,也可以是其他的原料棒;所述多晶硅棒的一端是錐形,所述多晶硅棒的另一端是圓柱形,所述多晶硅棒圓柱形的一端的外表面設(shè)置有凹槽,所述凹槽與原料棒卡裝裝置的卡料螺釘?shù)目ㄑb突起相配合。本實(shí)用新型的第九個(gè)實(shí)施例的原料棒,在第八個(gè)實(shí)施例的基礎(chǔ)上,對(duì)原料棒進(jìn)一步進(jìn)行闡述:圓柱的半徑在r到R之間。本實(shí)用新型的原料棒卡裝裝置,卡裝本實(shí)施例的原料棒的過(guò)程如下:首先,將原料棒通過(guò)凹槽掛在卡料盤的卡料螺釘?shù)囊欢?;根?jù)原料棒圓柱形的一端的半徑調(diào)整卡料螺釘所在圓的半徑,調(diào)整卡料螺釘?shù)奈恢?,鎖緊卡料螺釘;然后,把卡料盤和多晶硅棒放入?yún)^(qū)熔單晶爐的爐膛,將連接軸具有球形突起的一端穿過(guò)調(diào)整圓盤的通道進(jìn)入到錐形孔,所述球形突起卡接在錐形孔內(nèi);最后,轉(zhuǎn)動(dòng)調(diào)整圓盤的調(diào)整螺釘,使原料棒與區(qū)熔單晶爐的上主軸基本上同軸,SP原料棒與加熱線圈基本上垂直;鎖緊調(diào)整螺釘,即完成卡裝原料棒。顯然,本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本實(shí)用新型的精神和范圍。這樣,倘若本實(shí)用新型的這些修改和變型屬于本實(shí)用新型權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi),則本實(shí)用新型也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
權(quán)利要求1.一種原料棒卡裝裝置,其特征在于,包括卡料盤;所述卡料盤包括第一旋轉(zhuǎn)圓板,第二旋轉(zhuǎn)圓板,連接軸以及N對(duì)卡料螺釘和固定螺母,其中N是大于等于3的自然數(shù);所述連接軸穿過(guò)第一旋轉(zhuǎn)圓板和第二旋轉(zhuǎn)圓板的圓心且使所述第一旋轉(zhuǎn)圓板和第二旋轉(zhuǎn)圓板相貼合,所述第一旋轉(zhuǎn)圓板和第二旋轉(zhuǎn)圓板能相對(duì)于連接軸轉(zhuǎn)動(dòng);所述第一旋轉(zhuǎn)圓板上設(shè)置有N個(gè)相同的長(zhǎng)孔,所述第二旋轉(zhuǎn)圓板上設(shè)置有N個(gè)相同的螺旋孔,所述第一旋轉(zhuǎn)圓板的長(zhǎng)孔與第二旋轉(zhuǎn)圓板的螺旋孔重合處處于以連接軸為圓心,半徑相同的同一個(gè)圓上; 所述N對(duì)卡料螺釘和固定螺母中,每個(gè)卡料螺釘穿過(guò)一個(gè)長(zhǎng)孔和螺旋孔的重合處,一端與一個(gè)固定螺母相配合能夠鎖緊第二旋轉(zhuǎn)圓板使其相對(duì)于第一旋轉(zhuǎn)圓板固定,另一端設(shè)置有裝卡突起,N個(gè)卡料螺釘?shù)乃醒b卡突起能夠裝卡原料棒。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的原料棒卡裝裝置,其特征在于,每個(gè)長(zhǎng)孔沿第一旋轉(zhuǎn)圓板的半徑方向設(shè)置且相鄰長(zhǎng)孔所在半徑的夾角是360° /N,每個(gè)長(zhǎng)孔靠近第一旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到第一旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離r相等,每個(gè)長(zhǎng)孔遠(yuǎn)離第一旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到第一旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離R相等; 每個(gè)螺旋孔靠近第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離相等且等于r,每個(gè)螺旋孔遠(yuǎn)離第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離相等且等于R,且從一個(gè)螺旋孔靠近第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端到遠(yuǎn)離第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端,螺紋孔到第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的距離LWr連續(xù)變化到R ;相鄰螺旋孔靠近第二旋轉(zhuǎn)圓板圓心的一端所在半徑的夾角是360° /N。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的原料棒卡裝裝置,其特征在于,N=3。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的原料棒卡裝裝置,其特征在于,還包括調(diào)整圓盤;所述調(diào)整圓盤的中心設(shè)置有連接用的螺紋柱,所述螺紋柱的中心設(shè)置有圓臺(tái)形孔且所述圓臺(tái)形孔較小底面與卡料盤相對(duì),所述調(diào)整圓盤的一個(gè)半徑上開(kāi)設(shè)有通道,所述通道與螺紋柱中心的圓臺(tái)形孔相通; 所述連接軸遠(yuǎn)離第一旋轉(zhuǎn)圓板和第二旋轉(zhuǎn)圓板的一端設(shè)置有球形突起,所述連接軸具有球形突起的一端穿過(guò)通道進(jìn)入到錐形孔,所述球形突起卡接在錐形孔內(nèi)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的原料棒卡裝裝置,其特征在于,所述調(diào)整圓盤上設(shè)置有M個(gè)相同的調(diào)整螺孔,每個(gè)調(diào)整螺孔沿調(diào)整圓盤的半徑方向設(shè)置且相鄰調(diào)整螺孔所在半徑的夾角是360° /M,每個(gè)所述調(diào)整螺孔設(shè)置在調(diào)整圓盤的邊緣,其中M是大于等于3的自然數(shù); 所述調(diào)整圓盤還包括M個(gè)相同的調(diào)整螺釘,每個(gè)調(diào)整螺釘有一個(gè)與之配合的調(diào)整螺母;每個(gè)調(diào)整螺釘一端穿過(guò)調(diào)整圓盤的調(diào)整螺孔與卡料盤相接觸,每個(gè)調(diào)整螺釘?shù)牧硪欢伺c調(diào)整螺母相配合,能夠鎖緊調(diào)整圓盤使卡料盤相對(duì)于調(diào)整圓盤固定。
6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的原料棒卡裝裝置,其特征在于,M=3。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的原料棒卡裝裝置,其特征在于,所述第一旋轉(zhuǎn)圓板與調(diào)整圓盤相對(duì),所述調(diào)整螺釘一端穿過(guò)調(diào)整圓盤的調(diào)整螺孔與第一旋轉(zhuǎn)圓板相接觸。
8.根據(jù)權(quán)利要求4所述的原料棒卡裝裝置,其特征在于,所述連接軸是圓柱形連接軸,所述球形突起的直徑大于圓柱形連接軸的直徑; 所述通道的寬度大于圓柱形連接軸的直徑;所述球形突起的直徑大于圓臺(tái)形孔較小底面的直徑且所述圓柱形連接軸的直徑大于圓臺(tái)形孔較小底面的直徑。
9.一種與上述任一種原料棒卡裝裝置相配合的原料棒,其特征在于,所述原料棒的一端是錐形,所述原料棒的另一端是圓柱形,所述原料棒圓柱形的一端的外表面設(shè)置有凹槽,所述凹槽與原料棒卡裝裝置的卡料螺釘?shù)目ㄑb突起相配合。
10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的原料`棒,其特征在于,圓柱的半徑在r到R之間。
專利摘要本實(shí)用新型公開(kāi)了一種原料棒卡裝裝置及原料棒;卡裝裝置包括卡料盤,卡料盤包括第一旋轉(zhuǎn)圓板,第二旋轉(zhuǎn)圓板,連接軸及N對(duì)卡料螺釘和固定螺母;第一旋轉(zhuǎn)圓板上設(shè)置有N個(gè)相同的長(zhǎng)孔,第二旋轉(zhuǎn)圓板上設(shè)置有N個(gè)相同的螺旋孔,長(zhǎng)孔與螺旋孔重合處處于以連接軸為圓心,半徑相同的同一個(gè)圓上,其中N是大于等于3的自然數(shù);每個(gè)卡料螺釘?shù)牧硪欢嗽O(shè)置有裝卡突起,N個(gè)卡料螺釘?shù)难b卡突起能夠裝卡原料棒。原料棒的一端是錐形,原料棒的另一端是圓柱形,原料棒圓柱形的一端的外表面設(shè)置有凹槽,凹槽與原料棒卡裝裝置的卡料螺釘?shù)目ㄑb突起相配合。本實(shí)用新型減少了裝配工序且降低了生產(chǎn)成本,可用于卡裝不同直徑的多晶棒料,同時(shí)降低了多晶原料的加工難度。
文檔編號(hào)C30B13/00GK202925143SQ20122054814
公開(kāi)日2013年5月8日 申請(qǐng)日期2012年10月24日 優(yōu)先權(quán)日2012年10月24日
發(fā)明者袁靜, 張繼宏, 徐振斌 申請(qǐng)人:北京京運(yùn)通科技股份有限公司