一種三甲基鋁的安全輸送裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明提供了一種三甲基鋁的安全輸送裝置，其特征在于，包括三甲基鋁源瓶，所述的三甲基鋁源瓶分別連接第一推送氣體入口管路、第一三甲基鋁源出口管路、第一吹掃氣源入口管路和第一排放出口管路。本發(fā)明能夠徹底消除安全隱患，保證三甲基鋁源供應(yīng)的純度，保證壓力輸出的穩(wěn)定性。
【專利說明】
一種三甲基鋁的安全輸送裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及一種三甲基鋁的安全輸送裝置，尤其涉及一種用于安全輸送硅基太陽能電池制備氧化膜所需的高純?nèi)谆X源的輸送方法，屬于輸送技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]近年，一些大的光伏電池制造公司研究在硅基太陽能電池表面增加氧化鋁的薄膜，以增加太陽能電池的轉(zhuǎn)化效率。而制備氧化鋁薄膜用到的一種基本原料就是三甲基鋁。三甲基鋁是一種特殊的液態(tài)化學品，具有自燃性和毒性等危害特性，并且具有爆炸的危險，因此，需要一種高純?nèi)谆X的安全輸送方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種滿足行業(yè)要求的三甲基鋁安全輸送裝置，用于輸送高純?nèi)谆X。
[0004]為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種三甲基鋁的安全輸送裝置，其特征在于，包括三甲基鋁源瓶，所述的三甲基鋁源瓶分別連接第一推送氣體入口管路、第一三甲基鋁源出口管路、第一吹掃氣源入口管路和第一排放出口管路。
[0005]優(yōu)選地，所述的三甲基鋁源瓶具有推送氣體進出口和三甲基鋁進出口，第一推送氣體入口管路連接第一手動閥的第一端口，第一手動閥的第二端口連接第一減壓閥的第一端口、第一減壓閥的第二端口連接第一過濾器的進口，第一過濾器的出口連接第一壓力表的第一端口、第一壓力表的第二端口連接第二單向閥的進口，第二單向閥的出口連接第一氣動閥的第一端口，第一氣動閥的第二端口連接第一壓力傳感器和第一球閥的第一端口，第一球閥的第二端口連接三甲基鋁源瓶的推送氣體進出口，三甲基鋁源瓶的三甲基鋁進出口連接第二球閥的第一端口，第二球閥的第二端口連接源氣動閥的第一端口，源氣動閥的第二端口連接第三氣動閥的第一端口，第三氣動閥的第二端口連接第一三甲基鋁源出口管路。
[0006]更優(yōu)選地，所述的第一吹掃氣源入口管路連接第二手動閥的第一端口，第二手動閥的第二端口連接第一單向閥的入口，第一單向閥的出口連接第二減壓閥的第一端口，第二減壓閥的第二端口連接第二過濾器的進口，第二過濾器的出口連接第二壓力表的第一端口，第二壓力表的第二端口連接過流開關(guān)的第一端口，過流開關(guān)的第二端口連接第六氣動閥的第一端口和第七氣動閥的第一端口，第七氣動閥的第二端口連接第二壓力傳感器的第一端口和第八氣動閥的第一端口，第六氣動閥的第二端口和第八氣動閥的第二端口連接第一排放出口管路，第二壓力傳感器的第二端口連接第二氣動閥的第一端口，第二氣動閥的第二端口連接源氣動閥的第二端口；所述的第一球閥的第一端口連接第四氣動閥的第一端口，第四氣動閥的第二端口連接第九氣動閥的第一端口，第九氣動閥的第二端口連接第一排放出口管路。
[0007]進一步地，所述的源氣動閥的第二端口連接第五氣動閥的第一端口，第五氣動閥的第二端口連接第一球閥的第一端口。
[0008]進一步地，所述的第一排放出口管路連接安全閥的第一端口，安全閥的第二端口連接第二單向閥的入口。
[0009]進一步地，所述的源氣動閥的第二端口連接第十氣動閥的第一端口，第十氣動閥的第二端口連接備用三甲基鋁源入口管路，備用三甲基鋁源入口管路連接第三手動閥的第一端口，第三手動閥的第二端口連接第一三甲基鋁源出口管路。
[0010]優(yōu)選地，所述的三甲基鋁的安全輸送裝置還包括第一緩沖罐和第二緩沖罐，所述的第一緩沖罐和第二緩沖罐皆連接第二推送氣體入口管路、第二三甲基鋁源出口管路和三甲基鋁源入口管路;所述的三甲基鋁源入口管路連接第一三甲基鋁源出口管路，第二三甲基鋁源出口管路連接終端設(shè)備。
[0011]更優(yōu)選地，所述的第一緩沖罐和第二緩沖罐皆具有推送氣體進出口和三甲基鋁進出口，第二推送氣體入口管路連接第一手動閥的第一端口，第一手動閥的第二端口連接第一減壓閥的第一端口、第一減壓閥的第二端口連接第一過濾器的進口，第一過濾器的出口連接第一壓力表的第一端口、第一壓力表的第二端口連接第二單向閥的進口，第二單向閥的出口連接第一氣動閥的第一端口，第一氣動閥的第二端口連接第一壓力傳感器、第一膜閥的第一端口和第三膜閥的第一端口，第一膜閥的第二端口連接第一緩沖罐的推送氣體進出口，第三膜閥的第二端口連接第二緩沖罐的推送氣體進出口；第一緩沖罐的三甲基鋁進出口連接第二膜閥的第一端口，第二緩沖罐的三甲基鋁進出口連接第四膜閥的第一端口，第二膜閥的第二端口和第四膜閥的第二端口連接源氣動閥的第一端口，源氣動閥的第二端口連接第三氣動閥的第一端口，第三氣動閥的第二端口連接第二三甲基鋁源出口管路。
[0012]更優(yōu)選地，所述的第一緩沖罐和第二緩沖罐還連接第二吹掃氣源入口管路和第二排放出口管路。
[0013]進一步地，所述的第二吹掃氣源入口管路連接第二手動閥的第一端口，第二手動閥的第二端口連接第一單向閥的入口，第一單向閥的出口連接第二減壓閥的第一端口，第二減壓閥的第二端口連接第二過濾器的進口，第二過濾器的出口連接第二壓力表的第一端口，第二壓力表的第二端口連接過流開關(guān)的第一端口，過流開關(guān)的第二端口連接第六氣動閥的第一端口和第七氣動閥的第一端口，第七氣動閥的第二端口連接第二壓力傳感器的第一端口和第八氣動閥的第一端口，第六氣動閥的第二端口和第八氣動閥的第二端口連接第二排放出口管路，第二壓力傳感器的第二端口連接第二氣動閥的第一端口，第二氣動閥的第二端口連接源氣動閥的第二端口；所述的第一膜閥的第一端口和第三膜閥的第一端口連接第四氣動閥的第一端口，第四氣動閥的第二端口連接第九氣動閥的第一端口，第九氣動閥的第二端口連接第二排放出口管路。
[0014]更進一步地，所述的源氣動閥的第二端口連接第五氣動閥的第一端口，第五氣動閥的第二端口連接第一膜閥的第一端口和第三膜閥的第一端口。
[0015]更進一步地，所述的第二排放出口管路連接安全閥的第一端口，安全閥的第二端口連接第二單向閥的入口。
[0016]更進一步地，所述的源氣動閥的第二端口連接第十氣動閥的第一端口，第十氣動閥的第二端口連接三甲基鋁源入口管路，三甲基鋁源入口管路連接第三手動閥的第一端口，第三手動閥的第二端口連接第二三甲基鋁源出口管路。
[0017]更優(yōu)選地，所述的第一緩沖罐和第二緩沖罐中的一個處于供料至終端設(shè)備的狀態(tài)，另一個處于備用或是受料狀態(tài)。
[0018]更優(yōu)選地，所述的三甲基鋁源瓶設(shè)于第一柜體中，第一緩沖罐和第二緩沖罐設(shè)于第二柜體中，所述的第一柜體和第二柜體的頂部皆設(shè)有控制器、自動風閥、干粉滅火器、紅外火焰?zhèn)蓽y器和高溫探頭，控制器與自動風閥、干粉滅火器、紅外火焰?zhèn)蓽y器和高溫探頭連接。
[0019]更優(yōu)選地，所述的三甲基鋁源瓶、第一緩沖罐和第二緩沖罐各設(shè)于一個電子秤上。
[0020]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是:
[0021 ] 1、本發(fā)明能夠徹底消除安全隱患；
[0022]2、本發(fā)明用于輸送高純?nèi)谆X，能夠保證三甲基鋁源供應(yīng)的純度，保證壓力輸出的穩(wěn)定性；
[0023]3、本發(fā)明能夠?qū)崿F(xiàn)連續(xù)供液，提高產(chǎn)品質(zhì)量和工藝的穩(wěn)定性；
[0024]4、本發(fā)明能夠大大降低生產(chǎn)和物流成本；
[0025]5、本發(fā)明能夠有效降低環(huán)境污染。
【附圖說明】
[0026]圖1為第一柜體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0027]圖2為第二柜體的示意圖。
[0028]圖3為三甲基鋁的安全輸送裝置示意圖。
【具體實施方式】
[0029]下面結(jié)合具體實施例，進一步闡述本發(fā)明。應(yīng)理解，這些實施例僅用于說明本發(fā)明而不用于限制本發(fā)明的范圍。此外應(yīng)理解，在閱讀了本發(fā)明講授的內(nèi)容之后，本領(lǐng)域技術(shù)人員可以對本發(fā)明作各種改動或修改，這些等價形式同樣落于本申請所附權(quán)利要求書所限定的范圍。
[0030]實施例
[0031]如圖3所示，本實施例的三甲基鋁的安全輸送裝置，包括第一柜體100、第二柜體200、三甲基鋁源瓶1、第一緩沖罐3和第二緩沖罐4，三甲基鋁源瓶I設(shè)于第一柜體100中，第一緩沖罐3和第二緩沖罐4設(shè)于第二柜體200中，高純?nèi)谆X經(jīng)由第一柜體100的三甲基鋁源瓶I輸送到第二柜體200的第一緩沖罐3和第二緩沖罐4，再輸送給終端設(shè)備。所述的三甲基鋁的安全輸送裝置能夠?qū)崿F(xiàn)源頭對于終端設(shè)備的全自動不間斷供應(yīng)高純?nèi)谆X。
[0032]如圖1所示，所述的三甲基鋁源瓶I具有推送氣體進出口和三甲基鋁進出口，所述的三甲基鋁源瓶I通過設(shè)于第一柜體100中的管路連接第一推送氣體入口管路1-5、第一三甲基鋁源出口管路1-8、第一吹掃氣源入口管路1-6、第一排放出口管路1-7和備用三甲基鋁源入口 1-9。
[0033]第一推送氣體入口管路1-5連接第一手動閥91的第一端口，第一手動閥91的第二端口連接第一減壓閥31的第一端口、第一減壓閥31的第二端口連接第一過濾器81的進口，第一過濾器81的出口連接第一壓力表41的第一端口、第一壓力表41的第二端口連接第二單向閥62的進口，第二單向閥62的出口連接第一氣動閥21的第一端口，第一氣動閥21的第二端口連接第一壓力傳感器51和第一球閥11的第一端口，第一球閥11的第二端口連接三甲基鋁源瓶I的推送氣體進出口。三甲基鋁源瓶I的三甲基鋁進出口連接第二球閥12的第一端口，第二球閥12的第二端口連接源氣動閥101的第一端口，源氣動閥101的第二端口連接第三氣動閥23的第一端口，第三氣動閥23的第二端口連接第一三甲基鋁源出口管路1-8。所述的第一吹掃氣源入口管路1-6連接第二手動閥92的第一端口，第二手動閥92的第二端口連接第一單向閥61的入口，第一單向閥61的出口連接第二減壓閥32的第一端口，第二減壓閥32的第二端口連接第二過濾器82的進口，第二過濾器82的出口連接第二壓力表42的第一端口，第二壓力表42的第二端口連接過流開關(guān)102的第一端口，過流開關(guān)102的第二端口連接第六氣動閥26的第一端口和第七氣動閥27的第一端口，第七氣動閥27的第二端口連接第二壓力傳感器52的第一端口和第八氣動閥28的第一端口，第六氣動閥26的第二端口和第八氣動閥28的第二端口連接第一排放出口管路1-7，第二壓力傳感器52的第二端口連接第二氣動閥22的第一端口，第二氣動閥22的第二端口連接源氣動閥1I的第二端口；所述的第一球閥11的第一端口連接第四氣動閥24的第一端口，第四氣動閥24的第二端口連接第九氣動閥29的第一端口，第九氣動閥29的第二端口連接第一排放出口管路1-7。所述的源氣動閥101的第二端口連接第五氣動閥25的第一端口，第五氣動閥25的第二端口連接第一球閥11的第一端口。所述的第一排放出口管路1-7連接安全閥71的第一端口，安全閥71的第二端口連接第二單向閥62的入口。所述的源氣動閥101的第二端口連接第十氣動閥20的第一端口，第十氣動閥20的第二端口連接備用三甲基鋁源入口管路1-9，備用三甲基鋁源入口管路1-9連接第三手動閥93的第一端口，第三手動閥93的第二端口連接第一三甲基鋁源出口管路1-8。
[0034]在三甲基鋁源瓶I使用完畢需要更換新瓶之前，需要排除閥組和管路內(nèi)殘留的三甲基鋁，其目的是為了防止系統(tǒng)內(nèi)殘留的三甲基鋁液體釋放到環(huán)境里面引起火災(zāi)及人員傷害(三甲基鋁接觸空氣或水分即立刻發(fā)生燃燒及分解)，而且也防止在系統(tǒng)內(nèi)燃燒反應(yīng)的產(chǎn)物污染整個系統(tǒng)(燃燒的產(chǎn)物為氧化鋅、二氧化碳等物質(zhì))，而當新瓶更換上去以后也需要對閥組再次進行吹掃置換，以驅(qū)除更換新瓶時進入系統(tǒng)的空氣等雜質(zhì)，其目的是為防止環(huán)境里面的空氣等雜質(zhì)對于系統(tǒng)的污染，也為防止當三甲基鋁供出以后與進入系統(tǒng)的雜質(zhì)進行反應(yīng)，導致系統(tǒng)燃燒等事故的發(fā)生。
[0035]如圖1所示，第一柜體100的使用方法如下:
[0036]1、第一手動閥91、第一減壓閥31、第一過濾器81、第二單向閥62保持常開狀態(tài)。第二手動閥92、第一單向閥61、第二減壓閥32、第二過濾器82、過流開關(guān)102保持常開狀態(tài)。下述的所有閥門的關(guān)閉不包含上述閥門。
[0037]2、液體輸送:三甲基鋁源瓶I中的三甲基鋁液體主要是依靠推送氣體(惰性氣體)一般為高純氮氣對三甲基鋁液面的擠壓，實現(xiàn)三甲基鋁的供應(yīng)。將高純氮氣送入第一推送氣體入口管路1-5，打開第一手動閥91，氮氣進入第一減壓閥31，將壓力調(diào)節(jié)為40Psig，氮氣進入第一過濾器81過濾，第一壓力表41顯示經(jīng)調(diào)節(jié)后的氮氣壓力，進入第二單向閥62，打開第一氣動閥21，第一壓力傳感器51將氮氣壓力信號送至控制器，打開第一球閥11，氮氣即進入三甲基鋁源瓶I，瓶內(nèi)液體受到氣體擠壓，液體從底部管道壓入第二球閥12，打開第二球閥12、源氣動閥101和第三氣動閥23，將三甲基鋁液體送到第一三甲基鋁源出口 1-8，氣動閥門的動作都通過控制器來控制，此時其他閥門保持關(guān)閉狀態(tài)。
[0038]3、換新瓶前準備:關(guān)閉上述所有閥門，打開第一球閥11、第四氣動閥24和第九氣動閥29將瓶內(nèi)壓力釋放到終端尾氣處理系統(tǒng)(尾氣處理系統(tǒng)有真空栗支持)，氣體從第一排放出口管路1-7排出后關(guān)閉所有閥門。
[0039]4、換新瓶前源氣動閥至第二球閥內(nèi)殘液排除:關(guān)閉所有閥門，高純氮氣灌入第一吹掃氣源入口管路1-6，打開第二手動閥22，氮氣經(jīng)第一單向閥61進入第二減壓閥32，調(diào)節(jié)壓力至15Psig左右，經(jīng)第二過濾器82后第二壓力表42顯示調(diào)節(jié)后壓力，氮氣進入過流開關(guān)102(其作用是控制氮氣流量過大對系統(tǒng)造成威脅)，打開第七氣動閥27，由第二壓力傳感器52將壓力信號送至控制器，打開第二氣動閥22、源氣動閥101和第二球閥12，將殘液送回三甲基鋁源瓶I后關(guān)閉所有閥門。
[0040]5、三甲基鋁源瓶I與供應(yīng)閥組之間管道內(nèi)惰性吹掃和置換:關(guān)閉所有閥門，打開第七氣動閥27，由第二壓力傳感器52將壓力信號送至控制器，打開第二氣動閥22、源氣動閥101將氮氣灌入源氣動閥101與第二球閥12之間管道內(nèi)，然后關(guān)閉所有閥門，打開源氣動閥101、第二氣動閥22和第八氣動閥28，內(nèi)部氮氣被排放出口真空吸走，然后關(guān)閉所有閥門，如此動作重復20次以保證系統(tǒng)內(nèi)三甲基鋁殘留被置換干凈。
[0041]6、源瓶更換:關(guān)閉所有閥門，打開第七氣動閥27、第二氣動閥22、第五氣動閥25、源氣動閥101將氮氣灌入第五氣動閥25與第一球閥11之間管道與源氣動閥101與第二球閥12之間管道內(nèi)，打開第一球閥11、第二球閥12上面的接口，保持氮氣吹出以免外界空氣進入閥組面板污染系統(tǒng)，移走空瓶換上實瓶。
[0042]7、新瓶供液前吹掃:關(guān)閉所有閥門，打開第七氣動閥27、第二氣動閥22、第五氣動閥25、源氣動閥101將氮氣灌入第五氣動閥25與第一球閥11之間管道與源氣動閥101與第二球閥12之間管道內(nèi)，然后關(guān)閉所有閥門，打開源氣動閥101、第五氣動閥25、第二氣動閥22和第八氣動閥28，內(nèi)部氮氣被排放出口真空吸走，然后關(guān)閉所有閥門，如此動作重復20次以保證系統(tǒng)內(nèi)外界污染物被置換干凈。
[0043]8、送液前壓力檢查:打開第七氣動閥27、第二氣動閥22、第五氣動閥25及源氣動閥101將氮氣引入系統(tǒng)，觀察第二壓力傳感器52看壓力在10分鐘內(nèi)是否有波動。如果存在壓力下降需要檢查接口等處是否銜接完整，如沒有則進入真空狀態(tài)檢查，關(guān)閉所有閥門，然后打開第八氣動閥28、第二氣動閥22、第五氣動閥25及源氣動閥1I，內(nèi)部氮氣被排放出口真空吸走，并保持內(nèi)部的真空度，然后關(guān)閉所有閥門，觀察第二壓力傳感器52看壓力在10分鐘內(nèi)是否有波動，如果上升則需要檢查接口等處是否銜接完整，如沒有則進入液體輸送步驟。
[0044]9、直接使用外部三甲基鋁源供應(yīng)，關(guān)閉所有閥門，將外部三甲基鋁源送入備用三甲基鋁入口管路1-9，在系統(tǒng)處于真空狀態(tài)打開第三手動閥23直接實現(xiàn)三甲基鋁源至第二柜體再至終端設(shè)備的供應(yīng)。
[0045]如圖2所示，所述的第一緩沖罐3和第二緩沖罐4皆通過設(shè)于第二柜體200內(nèi)的管路連接第二推送氣體入口管路2-5、第二三甲基鋁源出口管路2-8、第二吹掃氣源入口管路2-
6、第二排放出口管路2-7和三甲基鋁源入口管路2-9;所述的三甲基鋁源入口管路2-9連接第一三甲基鋁源出口管路1-8，第二三甲基鋁源出口管路2-8連接終端設(shè)備。所述的第一緩沖罐3和第二緩沖罐4皆具有推送氣體進出口和三甲基鋁進出口。
[0046]所述的第二柜體200內(nèi)的第二柜體200內(nèi)的管路與第一柜體100內(nèi)的管路基本相同，區(qū)別在于，將第一柜體100內(nèi)的三甲基鋁源瓶I替換為第一緩沖罐3和第二緩沖罐4，第一緩沖罐3和第二緩沖罐4皆具有推送氣體進出口和三甲基鋁進出口。第二推送氣體入口管路2-5連接第一手動閥91的第一端口，第一手動閥91的第二端口連接第一減壓閥31的第一端口、第一減壓閥31的第二端口連接第一過濾器81的進口，第一過濾器81的出口連接第一壓力表41的第一端口、第一壓力表41的第二端口連接第二單向閥62的進口，第二單向閥62的出口連接第一氣動閥21的第一端口，第一氣動閥21的第二端口連接第一壓力傳感器51、第一膜閥13的第一端口和第三膜閥15的第一端口，第一膜閥13的第二端口連接第一緩沖罐3的推送氣體進出口，第三膜閥15的第二端口連接第二緩沖罐4的推送氣體進出口；第一緩沖罐3的三甲基鋁進出口連接第二膜閥14的第一端口，第二緩沖罐4的三甲基鋁進出口連接第四膜閥16的第一端口，第二膜閥14的第二端口和第四膜閥16的第二端口連接源氣動閥101的第一端口，源氣動閥101的第二端口連接第三氣動閥23的第一端口，第三氣動閥23的第二端口連接第二三甲基鋁源出口管路2-8。所述的第二吹掃氣源入口管路2-6連接第二手動閥92的第一端口，第二手動閥92的第二端口連接第一單向閥61的入口，第一單向閥61的出口連接第二減壓閥32的第一端口，第二減壓閥32的第二端口連接第二過濾器82的進口，第二過濾器82的出口連接第二壓力表42的第一端口，第二壓力表42的第二端口連接過流開關(guān)102的第一端口，過流開關(guān)102的第二端口連接第六氣動閥26的第一端口和第七氣動閥27的第一端口，第七氣動閥27的第二端口連接第二壓力傳感器52的第一端口和第八氣動閥28的第一端口，第六氣動閥26的第二端口和第八氣動閥28的第二端口連接第二排放出口管路2-7，第二壓力傳感器52的第二端口連接第二氣動閥22的第一端口，第二氣動閥22的第二端口連接源氣動閥101的第二端口 ；所述的第一膜閥13的第一端口和第三膜閥15的第一端口連接第四氣動閥24的第一端口，第四氣動閥24的第二端口連接第九氣動閥29的第一端口，第九氣動閥29的第二端口連接第二排放出口管路2-7。所述的源氣動閥101的第二端口連接第五氣動閥25的第一端口，第五氣動閥25的第二端口連接第一膜閥13的第一端口和第三膜閥15的第一端口。所述的第二排放出口管路2-7連接安全閥71的第一端口，安全閥71的第二端口連接第二單向閥62的入口。所述的源氣動閥1I的第二端口連接第十氣動閥20的第一端口，第十氣動閥20的第二端口連接三甲基鋁源入口管路2-9，三甲基鋁源入口管路2-9連接第三手動閥93的第一端口，第三手動閥93的第二端口連接第二三甲基鋁源出口管路2-8。
[0047]第一緩沖罐3和第二緩沖罐4設(shè)計主要滿足近距離輸送壓力穩(wěn)定及不間斷供應(yīng)，通過壓力控制接受來自第一柜體100的三甲基鋁源，第一緩沖罐3和第二緩沖罐4中的一個處于供料狀態(tài)至終端設(shè)備，另一個處于備用或是受料狀態(tài)，這樣由于兩個緩沖罐的供應(yīng)壓力(壓送氮氣壓力)設(shè)為一致，避免在供料切換過程造成壓力波動，可以實現(xiàn)對于終端設(shè)備穩(wěn)定的不間斷的供應(yīng)。第一緩沖罐3和第二緩沖罐4的切換重量為滿瓶重量的10%-99%可調(diào)，通過電子稱反饋信號實現(xiàn)左右側(cè)切換。
[0048]第二柜體200的的使用方法如下:
[0049]1、第一手動閥91、第一減壓閥31、第一過濾器81、第二單向閥62保持常開狀態(tài)。第二手動閥92、第一單向閥61、第二減壓閥32、第二過濾器82、過流開關(guān)102保持常開狀態(tài)。下述的所有閥門的關(guān)閉不包含上述閥門。
[0050]2、第一緩沖罐3和第二緩沖罐4的液體輸入:關(guān)閉所有閥門，將第一柜體100輸送來的三甲基鋁輸入三甲基鋁源入口管路2-9，打開第十氣動閥20、源氣動閥101、以及第二膜閥14或第四膜閥16，將三甲基鋁輸入第一緩沖罐3或第二緩沖罐4。
[0051]3、第一緩沖罐3和第二緩沖罐4的液體輸送:將高純氮氣送入第二推送氣體入口管路2-5，打開第一手動閥91，氮氣進入第一減壓閥31，將壓力調(diào)節(jié)為40Psig，氮氣進入第一過濾器81過濾，第一壓力表41顯示經(jīng)調(diào)節(jié)后的氮氣壓力，進入第二單向閥62，打開第一氣動閥21，第一壓力傳感器51將氮氣壓力信號送至控制器，打開第一膜閥13或第三膜閥15，氮氣即進入第一緩沖罐3或第二緩沖罐4，瓶內(nèi)液體受到氣體擠壓，液體從底部管道壓入第二膜閥14或第四膜閥16，打開第二膜閥14或第四膜閥16、源氣動閥101和第三氣動閥23，將三甲基鋁液體送到第二三甲基鋁源出口 2-8，氣動閥門的動作都通過控制器來控制，此時其他閥門保持關(guān)閉狀態(tài)。
[0052]4、當需要更換第一緩沖罐3或第二緩沖罐4時，更換方法類似于第一柜體100的使用方法中的步驟3-8，區(qū)別在于，將第一球閥11對應(yīng)替換為第一膜閥13或第三膜閥15，將第二球閥12對應(yīng)替換為第二膜閥14或第四膜閥16。
[0053]所述的三甲基鋁源瓶I設(shè)于第一柜體100中，第一緩沖罐3和第二緩沖罐4設(shè)于第二柜體200中，所述的第一柜體100和第二柜體200的頂部皆設(shè)有控制器、自動風閥201、干粉滅火器202、紅外火焰?zhèn)蓽y器203和高溫探頭204，控制器、自動風閥201、干粉滅火器202、紅外火焰?zhèn)蓽y器203和高溫探頭204，均為市售產(chǎn)品，控制器與上述各閥、自動風閥201、干粉滅火器202、紅外火焰?zhèn)蓽y器203和高溫探頭204連接。三甲基鋁源瓶1、第一緩沖罐3和第二緩沖罐4各設(shè)于一個電子秤2上。
[0054]本實施例中的各閥都為隔膜密封閥，材質(zhì)為316L，表面進行電拋光處理，所有連接閥件的管道也都為316L內(nèi)表面電拋光處理材料，所有的連接方式為VCR面密封式和自動氬弧焊接方式，管道最終經(jīng)壓力測試和氦質(zhì)譜檢漏，最大程度的保證系統(tǒng)的氣密性，另外還需進行痕量水分、氧分及顆粒度檢測，保證系統(tǒng)的純度。
[0055]干粉滅火器202主要是當發(fā)生三甲基鋁泄漏而造成燃燒時能進行動作，干粉滅火器202是由兩個封閉半球型外殼組成，裝有滅火干粉、氣體發(fā)生劑和電活化劑。當發(fā)現(xiàn)火源，氣體發(fā)生劑混合物達到自動啟動的溫度，或者電活化劑接到電流脈沖時，殼內(nèi)氣體迅速膨脹、壓力增大，將底部外殼沖破，超細干粉向外噴射并迅速向四周彌漫。它的驅(qū)動方式由兩種，一種是溫度驅(qū)動，當系統(tǒng)溫度到達80°C時內(nèi)容物自行膨脹分解；另外一種是電流脈沖，外部給出電流信號(700mA)即進行啟動滅火方法的動作，電流信號主要由控制器給出。當干粉滅火方法到達兩者任何一種狀態(tài)時滅火方法即開始工作，大大保障了系統(tǒng)的安全。
[0056]高溫探頭204的作用主要是在系統(tǒng)發(fā)生泄漏或溫度異常時能給出信號到控制器，使控制器能關(guān)斷第一供應(yīng)支路和第二供應(yīng)支路上的各閥門，給干粉滅火方法脈沖電流，驅(qū)動干粉滅火方法動作。高溫探頭204的啟動溫度為68°C。
[0057]紅外火焰?zhèn)蓽y器203S卩UV/IR，主要探測柜體內(nèi)是否存在火焰，一旦探知紅外火焰立即給出信號到控制器，使控制器能關(guān)斷第一供應(yīng)支路和第二供應(yīng)支路上的各閥門。
[0058]自動風閥201的設(shè)置主要是考慮到當柜體內(nèi)發(fā)生火災(zāi)時能第一時間關(guān)閉風門，以把柜體從廠務(wù)抽風系統(tǒng)中隔離出來。
[0059]電子秤2用來監(jiān)控三甲基鋁源瓶1、第一緩沖罐3和第二緩沖罐4的重量，當三甲基鋁源瓶I使用接近空瓶時，它能給控制器一個信號，提示三甲基鋁源瓶I即將使用完畢，需要更換。
[0060]控制器位于柜體的頂端，是保證系統(tǒng)正常運轉(zhuǎn)的核心，主要控制各閥門的開關(guān)，也是信號輸入輸出的模塊，它主要由PLC模塊、電磁閥、報警燈、觸摸屏等組成，它的控制邏輯主要由編寫的PLC程序?qū)崿F(xiàn)，它有外接的擴展端口，可以和有遠程控制功能的模塊實現(xiàn)數(shù)據(jù)交換和遠程監(jiān)控。
[0061 ]第一柜體100、第二柜體200的殼體由厚度為2.5mm的鋼板制造，門上的窗戶由鋼化拉絲玻璃制造，有很好的防爆性能，另外柜體頂部有抽風口(自動風閥201設(shè)于所述的抽風口)，外接廠務(wù)抽系統(tǒng)，保證泄漏物不會進入柜體外的環(huán)境，最大程度保證系統(tǒng)的安全。
[0062]第一柜體100與第二柜體200之間以及第二柜體200與終端設(shè)備之間的管線為不銹鋼材質(zhì)的雙套管，外管為不銹鋼，中間為氮氣吹掃層，內(nèi)管為電拋光處理的316L不銹鋼，在外管的設(shè)備端入口接入吹掃氮氣，往柜體里面吹，當管道中間有泄漏發(fā)生的話也會被柜體內(nèi)高溫探頭和紅外火焰?zhèn)蓽y器偵測到，而且雙層管設(shè)計的好處在于內(nèi)管發(fā)生泄漏不會直接進入環(huán)境引起火災(zāi)。
[0063]本發(fā)明中，輸送方法采用高純氮氣，將三甲基鋁源瓶原料先壓送至第一柜體100，再由管道經(jīng)第一柜體100輸送至第二柜體200，最終由第二柜體200壓送到終端設(shè)備附近的閃蒸裝置內(nèi)，供液信號來源于工藝設(shè)備端的需求指令。所有閥和管道均安裝在面板上，采用兩塊獨立的面板，氣體面板、液體控制面板，各面板均采用不銹鋼材質(zhì)元件，第一柜體100和第二柜體200采用抽風柜體，第一排放出口管路1-7和第二排放出口管路2-7配置高真空栗，以便更換鋼瓶時輔助吹掃。當任何一柜體內(nèi)發(fā)生泄漏時，高溫探頭204及紅外火焰?zhèn)蓽y器203任何一者探知即立刻將信號傳給控制器，再由控制器將源氣動閥101關(guān)閉，另外控制器會同時給信號至自動風閥201，關(guān)閉抽風系統(tǒng)，同時啟動干粉滅火方法，進行滅火的動作。
【主權(quán)項】
1.一種三甲基鋁的安全輸送裝置，其特征在于，包括三甲基鋁源瓶(I)，所述的三甲基鋁源瓶(I)分別連接第一推送氣體入口管路(1-5)、第一三甲基鋁源出口管路(1-8)、第一吹掃氣源入口管路(1-6)和第一排放出口管路(I_7)。2.如權(quán)利要求1所述的三甲基鋁的安全輸送裝置，其特征在于，所述的三甲基鋁源瓶(I)具有推送氣體進出口和三甲基鋁進出口，第一推送氣體入口管路(1-5)連接第一手動閥(91)的第一端口，第一手動閥(91)的第二端口連接第一減壓閥(31)的第一端口、第一減壓閥(31)的第二端口連接第一過濾器(81)的進口，第一過濾器(81)的出口連接第一壓力表(41)的第一端口、第一壓力表(41)的第二端口連接第二單向閥(62)的進口，第二單向閥(62)的出口連接第一氣動閥(21)的第一端口，第一氣動閥(21)的第二端口連接第一壓力傳感器(51)和第一球閥(II)的第一端口，第一球閥(II)的第二端口連接三甲基鋁源瓶(I)的推送氣體進出口，三甲基鋁源瓶(I)的三甲基鋁進出口連接第二球閥(12)的第一端口，第二球閥(12)的第二端口連接源氣動閥(1I)的第一端口，源氣動閥(1I)的第二端口連接第三氣動閥(23)的第一端口，第三氣動閥(23)的第二端口連接第一三甲基鋁源出口管路(1-8)。3.如權(quán)利要求2所述的三甲基鋁的安全輸送裝置，其特征在于，所述的第一吹掃氣源入口管路(1-6)連接第二手動閥(92)的第一端口，第二手動閥(92)的第二端口連接第一單向閥(61)的入口，第一單向閥(61)的出口連接第二減壓閥(32)的第一端口，第二減壓閥(32)的第二端口連接第二過濾器(82)的進口，第二過濾器(82)的出口連接第二壓力表(42)的第一端口，第二壓力表(42)的第二端口連接過流開關(guān)(102)的第一端口，過流開關(guān)(102)的第二端口連接第六氣動閥(26)的第一端口和第七氣動閥(27)的第一端口，第七氣動閥(27)的第二端口連接第二壓力傳感器(52)的第一端口和第八氣動閥(28)的第一端口，第六氣動閥(26)的第二端口和第八氣動閥(28)的第二端口連接第一排放出口管路(1-7)，第二壓力傳感器(52)的第二端口連接第二氣動閥(22)的第一端口，第二氣動閥(22)的第二端口連接源氣動閥(101)的第二端口；所述的第一球閥(11)的第一端口連接第四氣動閥(24)的第一端口，第四氣動閥(24)的第二端口連接第九氣動閥(29)的第一端口，第九氣動閥(29)的第二端口連接第一排放出口管路(1-7)。4.如權(quán)利要求3所述的三甲基鋁的安全輸送裝置，其特征在于，所述的源氣動閥(101)的第二端口連接第十氣動閥(20)的第一端口，第十氣動閥(20)的第二端口連接備用三甲基鋁源入口管路(1-9)，備用三甲基鋁源入口管路(1-9)連接第三手動閥(93)的第一端口，第三手動閥(93)的第二端口連接第一三甲基鋁源出口管路(1-8)。5.如權(quán)利要求1所述的三甲基鋁的安全輸送裝置，其特征在于，還包括第一緩沖罐(3)和第二緩沖罐(4)，所述的第一緩沖罐(3)和第二緩沖罐(4)皆連接第二推送氣體入口管路(2-5)、第二三甲基鋁源出口管路(2-8)和三甲基鋁源入口管路(2-9);所述的三甲基鋁源入口管路(2-9)連接第一三甲基鋁源出口管路(1-8)，第二三甲基鋁源出口管路(2-8)連接終端設(shè)備。6.如權(quán)利要求5所述的三甲基鋁的安全輸送裝置，其特征在于，所述的第一緩沖罐(3)和第二緩沖罐(4)皆具有推送氣體進出口和三甲基鋁進出口，第二推送氣體入口管路(2-5)連接第一手動閥(91)的第一端口，第一手動閥(91)的第二端口連接第一減壓閥(31)的第一端口、第一減壓閥(31)的第二端口連接第一過濾器(81)的進口，第一過濾器(81)的出口連接第一壓力表(41)的第一端口、第一壓力表(41)的第二端口連接第二單向閥(62)的進口，第二單向閥(62)的出口連接第一氣動閥(21)的第一端口，第一氣動閥(21)的第二端口連接第一壓力傳感器(51)、第一膜閥(13)的第一端口和第三膜閥(15)的第一端口，第一膜閥(13)的第二端口連接第一緩沖罐(3)的推送氣體進出口，第三膜閥(15)的第二端口連接第二緩沖罐(4)的推送氣體進出口；第一緩沖罐(3)的三甲基鋁進出口連接第二膜閥(14)的第一端口，第二緩沖罐(4)的三甲基鋁進出口連接第四膜閥(16)的第一端口，第二膜閥(14)的第二端口和第四膜閥(16)的第二端口連接源氣動閥(101)的第一端口，源氣動閥(101)的第二端口連接第三氣動閥(23)的第一端口，第三氣動閥(23)的第二端口連接第二三甲基鋁源出口管路(2-8)。7.如權(quán)利要求5所述的三甲基鋁的安全輸送裝置，其特征在于，所述的第一緩沖罐(3)和第二緩沖罐(4)還連接第二吹掃氣源入口管路(2-6)和第二排放出口管路(2-7)。8.如權(quán)利要求7所述的三甲基鋁的安全輸送裝置，其特征在于，所述的第二吹掃氣源入口管路(2-6)連接第二手動閥(92)的第一端口，第二手動閥(92)的第二端口連接第一單向閥(61)的入口，第一單向閥(61)的出口連接第二減壓閥(32)的第一端口，第二減壓閥(32)的第二端口連接第二過濾器(82)的進口，第二過濾器(82)的出口連接第二壓力表(42)的第一端口，第二壓力表(42)的第二端口連接過流開關(guān)(102)的第一端口，過流開關(guān)(102)的第二端口連接第六氣動閥(26)的第一端口和第七氣動閥(27)的第一端口，第七氣動閥(27)的第二端口連接第二壓力傳感器(52)的第一端口和第八氣動閥(28)的第一端口，第六氣動閥(26)的第二端口和第八氣動閥(28)的第二端口連接第二排放出口管路(2-7)，第二壓力傳感器(52)的第二端口連接第二氣動閥(22)的第一端口，第二氣動閥(22)的第二端口連接源氣動閥(I OI)的第二端口；所述的第一膜閥(I 3)的第一端口和第三膜閥(I 5)的第一端口連接第四氣動閥(24)的第一端口，第四氣動閥(24)的第二端口連接第九氣動閥(29)的第一端口，第九氣動閥(29)的第二端口連接第二排放出口管路(2-7)。9.如權(quán)利要求5所述的三甲基鋁的安全輸送裝置，其特征在于，所述的源氣動閥(101)的第二端口連接第十氣動閥(20)的第一端口，第十氣動閥(20)的第二端口連接三甲基鋁源入口管路(2-9)，三甲基鋁源入口管路(2-9)連接第三手動閥(93)的第一端口，第三手動閥(93)的第二端口連接第二三甲基鋁源出口管路(2-8)。10.如權(quán)利要求5所述的三甲基鋁的安全輸送裝置，其特征在于，所述的三甲基鋁源瓶(I)設(shè)于第一柜體(100)中，第一緩沖罐(3)和第二緩沖罐(4)設(shè)于第二柜體(200)中，所述的第一柜體(100)和第二柜體(200)的頂部皆設(shè)有控制器、自動風閥(201)、干粉滅火器(202)、紅外火焰?zhèn)蓽y器(203)和高溫探頭(204)，控制器與自動風閥(201)、干粉滅火器(202)、紅外火焰?zhèn)蓽y器(203)和高溫探頭(204)連接。
【文檔編號】B67D7/72GK106006525SQ201610330689
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年5月18日
【發(fā)明人】龔小雷, 潘高鵬, 李東升
【申請人】上海正帆科技股份有限公司