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固體攝像裝置的制造方法_4

文檔序號:9306937閱讀:來源:國知局
3] 切換晶體管TRmiXAl、TRmixA2可與切換晶體管TRmixA同樣地進(jìn)行動作,切換晶體 管TRmixBl、TRmixB2可與切換晶體管TRmixB同樣地進(jìn)行動作。復(fù)位晶體管TRrstA可與復(fù) 位晶體管TRrstAl、TRrstA2同樣地進(jìn)行動作,復(fù)位晶體管TRrstB可與復(fù)位晶體管TRrstBl、 TRrstB2同樣地進(jìn)行動作。
[0074] 這里,通過將切換晶體管TRmixAl、TRmixA2、TRmixBl、TRmixB2與浮動擴(kuò)散器 FDA1、FDA2、FDB1、FDB2分別接近配置,能夠降低在圖3的第一讀出動作時對浮動擴(kuò)散器 FDA1、FDA2、FDB1、FDB2附加的布線電容,能夠提高變換增益。并且,能夠?qū)D2的復(fù)位晶 體管TRrstAl與TRrstA2這2個晶體管削減為一個。同樣,能夠?qū)?fù)位晶體管TRrstBl與 TRrstB2這2個晶體管削減為一個。
[0075] (第三實(shí)施方式)
[0076] 圖7是表示第三實(shí)施方式涉及的固體攝像裝置的4像素1單元構(gòu)成中的橫2X縱 4像素量的像素的構(gòu)成例的電路圖。
[0077] 在圖7中,在該固體攝像裝置中,取代圖2的拜耳排列BH1、BH2而設(shè)有拜耳排列 BHP。在拜耳排列BHP中,取代圖2的浮動擴(kuò)散器FDAUFDB1而設(shè)有浮動擴(kuò)散器 FDl,取代圖2的行選擇晶體管TRadrAUTRadrBl而設(shè)有行選擇晶體管TRadrl,取代圖2的 放大晶體管TRampAl、TRampBl而設(shè)有放大晶體管TRampl。這里,通過由光電二極管_ Grl、PD_Bl、PD_Rl、PD_Gbl共用浮動擴(kuò)散器FDl來構(gòu)成4像素1單元。
[0078] 而且,光電二極管H)_Grl經(jīng)由讀出晶體管TGgrl與浮動擴(kuò)散器FDl連接,光電 二極管TO_Bl經(jīng)由讀出晶體管TGbl與浮動擴(kuò)散器FDl連接,光電二極管_Rl經(jīng)由讀 出晶體管TGrl與浮動擴(kuò)散器FDl連接,光電二極管_Gbl經(jīng)由讀出晶體管TGgbl與浮 動擴(kuò)散器FDl連接。放大晶體管TRampl的柵極與浮動擴(kuò)散器FDl連接,放大晶體管TRampl的源極經(jīng)由行選擇晶體管TRadrl與垂直信號線Vlinl連接,放大晶體管TRampl的漏極與 電源電位VDD連接。另外,浮動擴(kuò)散器FD1經(jīng)由復(fù)位晶體管TRrst1與電源電位VDD連接。
[0079] 在拜耳排列中,取代圖2的浮動擴(kuò)散器FDA2、FDB2而設(shè)有浮動擴(kuò)散器FD2, 取代圖2的行選擇晶體管TRadrA2、TRadrB2而設(shè)有行選擇晶體管TRadr2,取代圖2的放大 晶體管TRampA2、TRampB2而設(shè)有放大晶體管TRamp2。這里,通過光電二極管_Gr2、 _B2、PD_R2、PD_Gb2共用浮動擴(kuò)散器FD2來構(gòu)成4像素1單元。
[0080] 而且,光電二極管H)_Gr2經(jīng)由讀出晶體管TGgr2與浮動擴(kuò)散器FD2連接,光電 二極管TO_B2經(jīng)由讀出晶體管TGb2與浮動擴(kuò)散器FD2連接,光電二極管_R2經(jīng)由讀 出晶體管TGr2與浮動擴(kuò)散器FD2連接,光電二極管_Gb2經(jīng)由讀出晶體管TGgb2與浮 動擴(kuò)散器FD2連接。放大晶體管TRamp2的柵極與浮動擴(kuò)散器FD2連接,放大晶體管TRamp2 的源極經(jīng)由行選擇晶體管TRadr2與垂直信號線Vlin2連接,放大晶體管TRamp2的漏極與 電源電位VDD連接。另外,浮動擴(kuò)散器FD2經(jīng)由復(fù)位晶體管TRrst2與電源電位VDD連接。 浮動擴(kuò)散器FD1、FD2經(jīng)由切換晶體管TRmix相互連接。
[0081] 當(dāng)在拜耳排列BHl'、BH2'間不進(jìn)行像素合并動作時,切換晶體管TRmix被截止, 從拜耳排列BHl'、BH2'的各像素分別獨(dú)立地讀出信號。當(dāng)在拜耳排列BHl'、BH2'間進(jìn) 行像素合并動作時,切換晶體管TRmix被導(dǎo)通,從拜耳排列BHl'、BH2'的同色像素同時讀 出信號并在浮動擴(kuò)散器FDl與FD2中相加。
[0082] 這里,當(dāng)在4像素1單元構(gòu)成中不進(jìn)行像素合并動作時,能夠利用切換晶體管 TRmix將浮動擴(kuò)散器FD1、FD2切離。因此,能夠減小將像素PC中蓄積的電荷變換成電壓的 電壓變換部的電容,可提高變換增益。
[0083] 另外,當(dāng)在4像素1單元構(gòu)成中進(jìn)行像素合并動作時,能夠利用切換晶體管TRmix 使浮動擴(kuò)散器FDl、FD2耦合。因此,能夠從像素PC每2行讀出信號,可使讀出速度變?yōu)? 倍。另外,能夠使2行量的放大晶體管TRampl、TRamp2并列地進(jìn)行源極跟隨動作,通過將經(jīng) 由垂直信號線Vlinl、Vlin2傳送的像素信號在后段相加或平均化,能夠?qū)⑾袼匦盘柕脑肼?降低至1 /,:2。
[0084] (第四實(shí)施方式)
[0085] 圖8是表示第四實(shí)施方式涉及的固體攝像裝置的4像素1單元構(gòu)成中的橫2X縱 4像素量的像素的構(gòu)成例的電路圖。
[0086] 在圖8中,在該固體攝像裝置中,取代圖7的切換晶體管TRmix而設(shè)有切換晶體管 TRmixl、TRmix2。另外,取代圖7的復(fù)位晶體管TRrstl、TRrst2而設(shè)有復(fù)位晶體管TRrst。
[0087] 切換晶體管TRmixl、TRmix2相互串聯(lián)連接,該串聯(lián)電路連接在浮動擴(kuò)散器FD1、 FD2間。切換晶體管TRmiXl、TRmix2的柵極被公共連接。復(fù)位晶體管TRrst連接在切換晶 體管TRmixl、TRmix2的連接點(diǎn)與電源電位VDD之間。在切換晶體管TRmixl、TRmix2的連接 點(diǎn)形成有浮動擴(kuò)散器FDm。其中,切換晶體管TRmixl可與浮動擴(kuò)散器FDl接近配置。切換 晶體管TRmix2可與浮動擴(kuò)散器FD2接近配置。
[0088] 切換晶體管TRmiXl、TRmix2能夠與切換晶體管TRmix同樣地進(jìn)行動作。復(fù)位晶體 管TRrst能夠與復(fù)位晶體管TRrstl、TRrst2同樣地進(jìn)行動作。
[0089] 這里,通過將切換晶體管TRmixl、TRmiX2與浮動擴(kuò)散器FD1、FD2分別接近配置,能 夠降低對浮動擴(kuò)散器FD1、FD2附加的布線電容,可提高變換增益。并且,能夠?qū)D7的復(fù)位 晶體管TRrstl與TRrst2這2個晶體管削減為一個。
[0090] (第五實(shí)施方式)
[0091]圖9是表示第五實(shí)施方式涉及的固體攝像裝置的2像素1單元構(gòu)成中的橫2X縱 4像素量的像素的構(gòu)成例的電路圖。其中,在圖9的例子中,僅表示了針對圖2的垂直信號 線Vlinl的構(gòu)成。
[0092] 在圖9中,在該固體攝像裝置中,圖2的行選擇晶體管TRadrAl、TRadrA2被除去。 另外,在該固體攝像裝置中,浮動擴(kuò)散器FDAl經(jīng)由復(fù)位晶體管TRrstAl與電源電位VRD連 接,浮動擴(kuò)散器FDA2經(jīng)由復(fù)位晶體管TRrstA2與電源電位VRD連接。
[0093] 這里,在圖2的構(gòu)成中,通過行選擇晶體管TRadrAl、TRadrA2被截止來設(shè)定非選擇 行。與此相對,在圖9的構(gòu)成中,通過在復(fù)位晶體管TRrstAl、TRrstA2導(dǎo)通時降低電源電位 VRD,將放大晶體管TRampAl、TRampA2截止來設(shè)定非選擇行。除此以外能夠與圖2的構(gòu)成同 樣地進(jìn)行動作。
[0094] 由此,即使在行選擇晶體管TRadrAl、TRadrA2被除去的情況下,也能夠利用切換 晶體管TRmixA將浮動擴(kuò)散器FDA1、FDA2切離或者使二者耦合。因此,能夠抑制不進(jìn)行 像素合并動作時的變換增益的降低,并且通過在像素合并動作時將放大晶體管TRampAU TRampA2同時導(dǎo)通,能夠?qū)⒎糯缶w管的電路的噪聲降低至1 /,2。
[0095] (第六實(shí)施方式)
[0096]圖10是表示第六實(shí)施方式涉及的固體攝像裝置的2像素1單元構(gòu)成中的橫2X 縱4像素量的像素的構(gòu)成例的電路圖。其中,在圖10的例子中,僅表示了針對圖6的垂直 信號線Vlinl的構(gòu)成。
[0097] 在圖10中,在該固體攝像裝置中,對圖6的構(gòu)成附加了耦合晶體管TRc以及電容 Cp。電容Cp經(jīng)由耦合晶體管TRc與切換晶體管TRmixAl、TRmixA2的連接點(diǎn)FDAm連接。
[0098] 這里,通過在切換晶體管TRmixAl、TRmixA2導(dǎo)通時使耦合晶體管TRc導(dǎo)通,能夠?qū)?浮動擴(kuò)散器FDAUFDA2附加電容Cp。因此,能夠使像素合并動作時的電壓變換部的飽和電 子數(shù)增大,并且,可降低變換增益。在該像素構(gòu)成中,例如通過使浮動擴(kuò)散器FDAl或FDA2的 飽和電子數(shù)為光電二極管ro的飽和電子數(shù)的1/2而成為高變換增益,通過在昏暗拍攝時將 后段的電路噪聲1/2化而能夠?qū)崿F(xiàn)高畫質(zhì)化。在明亮拍攝時,通過將切換晶體管TRmixAU TRmixA2導(dǎo)通,來將變換增益設(shè)為約1/2,由此能夠?qū)⒐怆姸O管的飽和電子數(shù)變換為電 壓。在像素合并動作時,由于從同色的光電二極管ro的2個像素讀出信號電荷,所以通過 將耦合晶體管TRc導(dǎo)通來追加電容Cp,通過將變換增益進(jìn)而1/2化,能夠?qū)⒐怆姸O管兩個 像素量的飽和電子數(shù)變換成電壓。
[0099] (第七實(shí)施方式)
[0100] 圖11是表示第七實(shí)施方式涉及的固體攝像裝置的2像素1單元構(gòu)成中的橫2X 縱4像素量的像素的構(gòu)成例的電路圖。
[0101] 在圖11中,在該固體攝像裝置中,從圖10的構(gòu)成除去了耦合晶體管TRc。電容Cp 直接連接在切換晶體管TRmixAl、TRmixA2的連接點(diǎn)。
[0102] 這里,通過使切換晶體管TRmixAl、TRmixA2導(dǎo)通,能夠?qū)Ω訑U(kuò)散器FDAUFDA2附 加電容Cp。因此,能夠使像素合并動作時的電壓變換部的飽和電子數(shù)增大,并且,可降低變 換增益。
[0103] (第八實(shí)施方式)
[0104]圖12(a)是表示第八實(shí)施方式涉及的固體攝像裝置中應(yīng)用的切換晶體管的構(gòu)成 例的電路圖,圖12(b)是表示圖12(a)的切換晶體管的布局構(gòu)成例的俯視圖。其中,在圖 12(a)以及圖12(b)的構(gòu)成中,提取出圖9的切換晶體管TRmixA的部分進(jìn)行了表示。
[0105] 在圖12(a)中,在該固體攝像裝置中,對圖9的切換晶體管TRmixA的溝道區(qū)域附 加了電容Cp。另外,如圖12(b)所示,對切換晶體管TRmixA設(shè)有柵電極G1,在柵電極Gl下 形成有溝道區(qū)域。另外,在溝道區(qū)域的兩側(cè)形成有擴(kuò)散層D1、D2。并且,在溝道區(qū)域的旁邊 形成有擴(kuò)散層D3,擴(kuò)散層D3上連接著電容Cp。
[0106] 這里,通過使切換晶體管TRmixA導(dǎo)通能夠?qū)Ω訑U(kuò)散器FDAl、FDA2附加電容Cp。 因此,能夠使像素合并動作時的電壓變換部的飽和電子數(shù)增大,并且,能夠降低變換增益。 另外,通過將連
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