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固體攝像裝置的制造方法_2

文檔序號:9306937閱讀:來源:國知局
Al連接。放大晶體管TRampAl的柵 極與浮動(dòng)擴(kuò)散器FDAl連接,放大晶體管TRampAl的源極經(jīng)由行選擇晶體管TRadrAl與垂直 信號線Vlinl連接,放大晶體管TRampAl的漏極與電源電位VDD連接。另外,浮動(dòng)擴(kuò)散器 FDAl經(jīng)由復(fù)位晶體管TRrstAl與電源電位VDD連接。
[0037] 光電二極管_Rl經(jīng)由讀出晶體管TGrl與浮動(dòng)擴(kuò)散器FDBl連接,光電二極管 _Gbl經(jīng)由讀出晶體管TGgbl與浮動(dòng)擴(kuò)散器FDBl連接。放大晶體管TRampBl的柵極與 浮動(dòng)擴(kuò)散器FDBl連接,放大晶體管TRampBl的源極經(jīng)由行選擇晶體管TRadrBl與垂直信號 線Vlin2連接,放大晶體管TRampBl的漏極與電源電位VDD連接。另外,浮動(dòng)擴(kuò)散器FDBl 經(jīng)由復(fù)位晶體管TRrstBl與電源電位VDD連接。
[0038] 在拜耳排列BH2中,對綠色用像素Gr設(shè)有光電二極管ro_Gr2,對藍(lán)色用像素B 設(shè)有光電二極管ro_B2,對紅色用像素R設(shè)有光電二極管ro_R2,對綠色用像素Gb設(shè)有 光電二極管ro_Gb2。另外,在拜耳排列BH2中,設(shè)有行選擇晶體管TRadrA2、TRadrB2、放 大晶體管TRampA2、TRampB2、復(fù)位晶體管TRrstA2、TRrstB2以及讀出晶體管TGgr2、TGb2、 TGr2、TGgb2。另外,在放大晶體管TRampA2、復(fù)位晶體管TRrstA2與讀出晶體管TGgr2、TGb2 的連接點(diǎn)形成有浮動(dòng)擴(kuò)散器FDA2作為電壓變換部。在放大晶體管TRampB2、復(fù)位晶體管 TRrstB2與讀出晶體管TGr2、TGgb2的連接點(diǎn)形成有浮動(dòng)擴(kuò)散器FDB2作為電壓變換部。這 里,通過由光電二極管_Gr2、H) _B2共用浮動(dòng)擴(kuò)散器FDA2來構(gòu)成2像素1單元,通過 由光電二極管_R2、_Gb2共用浮動(dòng)擴(kuò)散器FDB2來構(gòu)成2像素1單元。
[0039] 而且,光電二極管_Gr2經(jīng)由讀出晶體管TGgr2與浮動(dòng)擴(kuò)散器FDA2連接,光電 二極管TO_B2經(jīng)由讀出晶體管TGb2與浮動(dòng)擴(kuò)散器FDA2連接。放大晶體管TRampA2的柵 極與浮動(dòng)擴(kuò)散器FDA2連接,放大晶體管TRampA2的源極經(jīng)由行選擇晶體管TRadrA2與垂直 信號線Vlinl連接,放大晶體管TRampA2的漏極與電源電位VDD連接。另外,浮動(dòng)擴(kuò)散器 FDA2經(jīng)由復(fù)位晶體管TRrstA2與電源電位VDD連接。
[0040] 光電二極管H)_R2經(jīng)由讀出晶體管TGr2與浮動(dòng)擴(kuò)散器FDB2連接,光電二極管 _Gb2經(jīng)由讀出晶體管TGgb2與浮動(dòng)擴(kuò)散器FDB2連接。放大晶體管TRampB2的柵極與浮 動(dòng)擴(kuò)散器FDB2連接,放大晶體管TRampB2的源極經(jīng)由行選擇晶體管TRadrB2與垂直信號線 Vlin2連接,放大晶體管TRampB2的漏極與電源電位VDD連接。另外,浮動(dòng)擴(kuò)散器FDB2經(jīng)由 復(fù)位晶體管TRrstB2與電源電位VDD連接。其中,能夠經(jīng)由水平控制線Hlin對行選擇晶體 管TRadrAl、TRadrBl、TRadrA2、TRadrB2、復(fù)位晶體管TRrstAl、TRrstBl、TRrstA2、TRrstB2 以及讀出晶體管TGgrl、TGbl、TGrl、TGgbl、TGgr2、TGb2、TGr2、TGgb2 的柵極輸入信號。
[0041] 浮動(dòng)擴(kuò)散器FDA1、FDA2經(jīng)由切換晶體管TRmixA相互連接,浮動(dòng)擴(kuò)散器FDB1、FDB2 經(jīng)由切換晶體管TRmixB相互連接。其中,可以從切換控制部9向切換晶體管TRmixA、TRmixB的柵極輸入信號。
[0042]圖3是表示圖2的像素在第一讀出動(dòng)作時(shí)的各部的電壓波形的時(shí)間圖。其中,在 圖3的例子中,表示了針對圖2的垂直信號線Vlinl的讀出動(dòng)作。
[0043] 在圖3中,通過在該第一讀出動(dòng)作中截止切換晶體管TRmixA,使得浮動(dòng)擴(kuò)散器 FDAl、FDA2相互分尚。
[0044] 而且,通過讀出晶體管TGgrl被導(dǎo)通,使得光電二極管Grl的殘留電荷被排 出到浮動(dòng)擴(kuò)散器FDA1。然后,通過讀出晶體管TGgrl被截止,開始光電二極管H)_Grl中 的信號電荷的蓄積。
[0045] 接下來,在通過復(fù)位晶體管TRrstAl被導(dǎo)通而排出了浮動(dòng)擴(kuò)散器FDAl的電荷之 后,通過讀出晶體管TGbl被導(dǎo)通,使得光電二極管ro_Bl的殘留電荷被排出到浮動(dòng)擴(kuò)散 器FDA1。然后,通過讀出晶體管TGbl被截止,開始光電二極管H)_B1中的信號電荷的蓄 積。
[0046] 接下來,在通過復(fù)位晶體管TRrstA2被導(dǎo)通而排出了浮動(dòng)擴(kuò)散器FDA2的電荷之 后,通過讀出晶體管TGgr2被導(dǎo)通,使得光電二極管_Gr2的殘留電荷被排出到浮動(dòng)擴(kuò) 散器FDA2。然后,通過讀出晶體管TGgr2被截止,開始光電二極管H)_Gr2中的信號電荷 的蓄積。
[0047] 接下來,在通過復(fù)位晶體管TRrstA2被導(dǎo)通而排出了浮動(dòng)擴(kuò)散器FDA2的電荷之 后,通過讀出晶體管TGb2被導(dǎo)通,使得光電二極管_B2的殘留電荷被排出到浮動(dòng)擴(kuò)散 器FDA2。然后,通過讀出晶體管TGb2被截止,開始光電二極管H)_B2中的信號電荷的蓄 積。
[0048] 接下來,通過在讀出晶體管TGgrl截止之時(shí)將行選擇晶體管TRadrAl導(dǎo)通,使得放 大晶體管TRampAl進(jìn)行源極跟隨動(dòng)作,浮動(dòng)擴(kuò)散器FDAl的與黑電平的電荷對應(yīng)的電壓被讀 出至垂直信號線Vlinl。而且,基于此時(shí)的垂直信號線Vlinl的電壓來檢測黑電平的像素 信號Rgrl。然后,通過讀出晶體管TGgrl被導(dǎo)通,光電二極管H)_Grl的信號電荷被讀出 到浮動(dòng)擴(kuò)散器FDAl。而且,通過放大晶體管TRampAl進(jìn)行源極跟隨動(dòng)作,使得浮動(dòng)擴(kuò)散器 FDAl的與信號電平的電荷對應(yīng)的電壓被讀出至垂直信號線Vlinl。而且,基于此時(shí)的垂直 信號線Vlinl的電壓來檢測信號電平的像素信號Sgrl。而且,通過取得信號電平的像素信 號Sgrl與黑電平的像素信號Rgrl的差值來檢測與光電二極管Grl中蓄積的電荷對 應(yīng)的信號分量。此時(shí),光電二極管F1D_Grl的蓄積時(shí)間為TM1。
[0049] 接下來,通過復(fù)位晶體管TRrstAl被導(dǎo)通,使得浮動(dòng)擴(kuò)散器FDAl的電荷被排出。 而且,通過在讀出晶體管TGbl截止、行選擇晶體管TRadrAl導(dǎo)通之時(shí)放大晶體管TRampAl 進(jìn)行源極跟隨動(dòng)作,使得浮動(dòng)擴(kuò)散器FDAl的與黑電平的電荷對應(yīng)的電壓被讀出至垂直信 號線Vlinl。而且,基于此時(shí)的垂直信號線Vlinl的電壓來檢測黑電平的像素信號Rbl。然 后,通過讀出晶體管TGbl被導(dǎo)通,使得光電二極管ro_Bl的信號電荷被讀出至浮動(dòng)擴(kuò)散 器FDA1。而且,通過放大晶體管TRampAl進(jìn)行源極跟隨動(dòng)作,浮動(dòng)擴(kuò)散器FDAl的與信號電 平的電荷對應(yīng)的電壓被讀出至垂直信號線Vlinl。而且,基于此時(shí)的垂直信號線Vlinl的電 壓來檢測信號電平的像素信號Sbl。而且,通過取得信號電平的像素信號Sbl與黑電平的像 素信號Rbl的差值,來檢測與光電二極管^)_81中蓄積的電荷對應(yīng)的信號分量。此時(shí),光 電二極管^)_81的蓄積時(shí)間為TM1。
[0050] 接下來,通過復(fù)位晶體管TRrstA2被導(dǎo)通,使得浮動(dòng)擴(kuò)散器FDA2的電荷被排出。 接下來,通過在讀出晶體管TGgr2截止之時(shí)導(dǎo)通行選擇晶體管TRadrA2,使得放大晶體管 TRampA2進(jìn)行源極跟隨動(dòng)作,浮動(dòng)擴(kuò)散器FDA2的與黑電平的電荷對應(yīng)的電壓被讀出至垂直 信號線Vlinl。而且,基于此時(shí)的垂直信號線Vlinl的電壓來檢測黑電平的像素信號Rgr2。 然后,通過讀出晶體管TGgr2被導(dǎo)通,使得光電二極管_Gr2的信號電荷被讀出至浮動(dòng) 擴(kuò)散器FDA2。而且,通過放大晶體管TRampA2進(jìn)行源極跟隨動(dòng)作,浮動(dòng)擴(kuò)散器FDA2的與信 號電平的電荷對應(yīng)的電壓被讀出至垂直信號線Vlinl。而且,基于此時(shí)的垂直信號線Vlinl 的電壓來檢測信號電平的像素信號Sgr2。而且,通過取得信號電平的像素信號Sgr2與黑電 平的像素信號Rgr2的差值,來檢測與光電二極中蓄積的電荷對應(yīng)的信號分量。 此時(shí),光電二極管_Gr2的蓄積時(shí)間為TMl。
[0051] 接下來,通過復(fù)位晶體管TRrstA2被導(dǎo)通,使得浮動(dòng)擴(kuò)散器FDA2的電荷被排出。 而且,通過在讀出晶體管TGb2截止、行選擇晶體管TRadrA2導(dǎo)通之時(shí)放大晶體管TRampA2 進(jìn)行源極跟隨動(dòng)作,使得浮動(dòng)擴(kuò)散器FDA2的與黑電平的電荷對應(yīng)的電壓被讀出至垂直信 號線Vlinl。而且,基于此時(shí)的垂直信號線Vlinl的電壓來檢測黑電平的像素信號Rb2。然 后,通過讀出晶體管TGb2被導(dǎo)通,使得光電二極管_B2的信號電荷被讀出至浮動(dòng)擴(kuò)散 器FDA2。而且,通過放大晶體管TRampA2進(jìn)行源極跟隨動(dòng)作,浮動(dòng)擴(kuò)散器FDA2的與信號電 平的電荷對應(yīng)的電壓被讀出至垂直信號線Vlinl。而且,基于此時(shí)的垂直信號線Vlinl的電 壓來檢測信號電平的像素信號Sb2。而且,通過取得信號電平的像素信號Sb2與黑電平的 像素信號Rb2的差值,來檢測與光電二極管_B2中蓄積的電荷對應(yīng)的信號分量。此時(shí), 光電二極管_B2的蓄積時(shí)間為TM1。另外,黑電平的像素信號Rgrl、Rbl、Rgr2、Rb2和 信號電平的像素信號Sgrl、Sbl、Sgr2、Sb2與水平同步信號HD同步地被依次讀出,能夠以4 個(gè)周期結(jié)束。
[0052] 這里,在第一讀出動(dòng)作中,通過利用切換晶體管TRmixA將浮動(dòng)擴(kuò)散器FDA1、FDA2 切離,能夠減小將像素PC中蓄積的電荷變換成電壓的電壓變換部的電容。因此,在不使像 素PC進(jìn)行像素合并動(dòng)作的情況下,與使像素PC進(jìn)行像素合并動(dòng)作的情況相比,能夠提高變 換增:fii,可提尚SN比。
[0053] 圖4是表示圖2的像素在第二讀出動(dòng)作時(shí)的各部的電壓波形的時(shí)間圖。其中,在 圖4的例子中,表示了針對圖2的垂直信號線Vlinl的讀出動(dòng)作。
[0054] 在圖4中,通過在該第二讀出動(dòng)作中導(dǎo)通切換晶體管TRmixA,使得浮動(dòng)擴(kuò)散器 FDAUFDA2相互耦合。
[0055] 而且,通過讀出晶體管TGgrl、TGgr2被導(dǎo)通,使得光電二極管_Grl、ro_Gr2 的殘留電荷被排出到浮動(dòng)擴(kuò)散器FDAl、FDA2。然后,通過讀出晶體管TGgrI、TGgr2被截止, 開始光電二極管F1D_GrUPD_Gr2中的信號電荷的蓄積。
[0056] 接下來,在通過復(fù)位晶體管TRrstAl、TRrstA2被導(dǎo)通而排出了浮動(dòng)擴(kuò)散器FDA1、 FDA2的電荷之后,通過讀出晶體管TGbl、TGb2被導(dǎo)通,使得光電二極管H)_B2 的殘留電荷被排出至浮動(dòng)擴(kuò)散器FDAl、FDA2。然后,通過讀出晶體管
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