1.電路板鉆孔干法金屬化方法,其特征在于:包括以下一個或多個步驟:
利用光學檢測、定位、數(shù)控清理,清除電路板鉆孔內(nèi)壁鉆污;利用刷絲清理,清除電路板鉆孔邊緣毛刺;利用超聲波清洗,清除電路板表面粉塵;利用真空射頻等離子清洗,清除電路板表面氧化物和污染物;利用真空濺射技術(shù),在電路板覆銅板表面及電路板鉆孔孔壁沉積銅膜;在電路板非金屬裸板表面及鉆孔孔壁沉積銅膜之前,先用鋁或鉻打底,再用鋁銅梯度合金或鉻銅梯度合金過渡后鍍銅;在真空濺射銅膜之后鍍鋁,作為工藝過程防護層。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電路板鉆孔干法金屬化方法,其特征在于:利用真空濺射技術(shù),實現(xiàn)電路板鉆孔孔壁金屬化。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的電路板鉆孔干法金屬化方法,其特征在于:可以實現(xiàn)覆銅板鉆孔金屬化,也可以實現(xiàn)無覆銅裸板表面及鉆孔金屬化。
4. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的電路板鉆孔干法金屬化方法,其特征在于:鍍銅膜之后鍍鋁,作為工藝過程防護層 可以防止銅膜氧化和污染。