部，使得活塞7、8永遠(yuǎn)不會(huì)完全覆蓋第一壓力管線9的噴嘴開口。
[0027]圖6在剖視圖中示出了在帶有作為驅(qū)動(dòng)元件的隔膜18與19的實(shí)施例中的壓緊器。能夠用壓縮氣體供應(yīng)的壓力室被形成在缸5和6與隔膜18和19之間。隔膜18和19在相對(duì)于由板I跨越的平面而言的垂直方向上可彈性變形。在該實(shí)施例中，缸5與6被形成為凹坑，所述凹坑作為板I的一體部件，所述凹坑然后形成壓力室。
[0028]氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的驅(qū)動(dòng)元件即活塞7、8和隔膜18、19包含球形凸起17，或者將帶有球形凸起17的部件附接至隔膜18與19。第一氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的活塞7或隔膜18的球形凸起17接合在壓緊器板10的球形凹部15中。第一氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的活塞7或隔膜18的球形凸起17以及壓緊器板的球形凹部15設(shè)有相同的半徑。作為該構(gòu)造的結(jié)果，壓緊器板10能夠相對(duì)于板I而言在任何方向上傾斜，但它不能被移位。第二氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的活塞8或隔膜19的球形凸起17接合在壓緊器板10的伸長(zhǎng)凹部16中。第二氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的活塞8或隔膜19的球形凸起17的半徑等于壓緊器板10的伸長(zhǎng)凹部16的中間段的圓形橫截面的半徑。該鉸接支承的構(gòu)造允許壓緊器板10相對(duì)于板I的移位，并且允許在壓緊器的安裝期間相對(duì)于基板的基板位置精確對(duì)準(zhǔn)和調(diào)整壓緊器條12，并且允許在安裝操作期間壓緊器板10在任何方向上的傾斜，并且因此將壓緊器板10調(diào)整至基板，其中壓緊器板10的球形凹部15相對(duì)于板I的位置由第一氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的活塞7或隔膜18的球形凸起17的位置預(yù)定，而第二氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的活塞8或隔膜19的球形凸起17能夠在伸長(zhǎng)凹部16內(nèi)移位，并且因此能夠補(bǔ)償板I和壓緊器板10的熱引起的膨脹。
[0029]板I和兩個(gè)缸5與6能夠是一體的構(gòu)造，或它們可以布置成使得缸5和6能夠被可移位地固定至板I。在第二種情況中，開口 3與4的直徑被定尺寸成大到使得在活塞7、8不接觸開口 3或4的情況下缸5與6能夠在指定的范圍內(nèi)移位。例如，可以借由兩個(gè)螺釘20中的每一個(gè)將缸5和6固定至板I (圖1)，其中缸5與6相對(duì)于螺釘20是可移位的。該實(shí)施例提供了能夠以簡(jiǎn)單的方式對(duì)兩個(gè)氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的位置和對(duì)準(zhǔn)進(jìn)行調(diào)整的優(yōu)點(diǎn)。
[0030]如果在帶有隔膜18、19的實(shí)施例中用壓縮氣體供應(yīng)氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的壓力室，則隔膜
18、19彈性變形并且凸起17因此撓曲(向下)。如果壓力室被通氣，則被復(fù)位彈簧14拉靠板I的底側(cè)的壓緊器板10壓靠凸起17，使得隔膜18、19在相反的方向上變形。在該情況中，缸5、6的高度有利地被定尺寸成使得隔膜18、19擱置在缸蓋上。
[0031]活塞7、8以及隔膜18、19能夠采取兩個(gè)位置，即當(dāng)沒有用壓縮氣體供應(yīng)壓力室時(shí)的縮回位置和當(dāng)用壓縮氣體供應(yīng)壓力室時(shí)的伸展位置。
[0032]為了檢查當(dāng)終止供應(yīng)壓縮氣體時(shí)活塞7、8或隔膜18、19是否返回至它們的縮回位置，提供第二壓力管線21和傳感器(未示出)，第二壓力管線通向兩個(gè)氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的壓力室。在操作期間，永久地或在用壓縮氣體供應(yīng)壓力室的結(jié)尾，以低壓將氣體供應(yīng)至第二壓力管線21。一旦活塞7、8或隔膜18、19返回至縮回位置，則活塞7、8或隔膜18、19關(guān)閉相關(guān)的第二壓力管線21的端部，使得壓力管線21中的壓力升高并且氣流停止。如果活塞7、8或隔膜18、19沒有返回至它們的縮回位置，則經(jīng)由壓力管線21供應(yīng)的氣體流經(jīng)第一壓力管線9且/或可選擇地流經(jīng)在活塞7、8與相關(guān)的缸5或6之間的空隙，并且壓力不會(huì)升高。傳感器是例如監(jiān)測(cè)壓力管線21中的壓力的壓力傳感器，或者是監(jiān)測(cè)氣流的流量傳感器。
[0033]盡管已經(jīng)示出和描述了本發(fā)明的實(shí)施例和應(yīng)用，但是對(duì)受益于本公開的本領(lǐng)域技術(shù)人員來說顯而易見的是:在不脫離這里的發(fā)明構(gòu)思的情況下，比上述更多的變型是可行的。因此，除了在權(quán)利要求和它們的等同物的精神中之外，本發(fā)明不受限制。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.用于將基板的基板位置壓緊的壓緊器，包含: 板(1)，所述板⑴帶有中央開口⑵和與所述中央開口⑵相鄰地布置在兩側(cè)上的兩個(gè)另外的開口(3，4)； 壓緊器板(10)，所述壓緊器板(10)帶有開口(11)和在所述開口(11)處布置在底側(cè)上的壓緊器條(12)，其中所述壓緊器板(10)以鉸接的方式安裝在所述板(I)的底側(cè)上，使得所述壓緊器板(10)的所述開口(11)與所述板⑴的所述中央開口(2)對(duì)準(zhǔn)； 第一氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器和第二氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器，其中所述第一氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器和所述第二氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器中的每一個(gè)均包含缸(5，6)和驅(qū)動(dòng)元件，在所述缸(5，6)和所述驅(qū)動(dòng)元件之間形成壓力室，其中所述第一驅(qū)動(dòng)器的所述缸(5)被固定在所述板(I)的上側(cè)上，且被固定在所述另外的開口中的第一個(gè)開口(3)的上方，并且所述第二驅(qū)動(dòng)器的所述缸(6)被固定在所述板(I)的上側(cè)上，且被固定在所述另外的開口中的第二個(gè)開口(4)的上方；以及 第一壓力管線(9)，所述第一壓力管線(9)用于對(duì)所述第一氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器和所述第二氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的所述壓力室供應(yīng)壓縮氣體。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓緊器，其中所述第一氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的所述驅(qū)動(dòng)元件包含接合在所述壓緊器板(10)的球形凹部(15)中的球形凸起(17)，并且所述第二氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的所述驅(qū)動(dòng)元件包含接合在所述壓緊器板(10)的伸長(zhǎng)凹部(16)中的球形凸起(17)，所述伸長(zhǎng)凹部(16)包含帶有圓形橫截面的中間段，其中所述第一氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的所述驅(qū)動(dòng)元件的所述球形凸起(17)與所述壓緊器板(10)的所述球形凹部(15)具有相同的半徑，并且其中所述第二氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的所述驅(qū)動(dòng)元件的所述球形凸起(17)的半徑等于所述壓緊器板(10)的所述伸長(zhǎng)凹部(16)的所述中間段的所述橫截面的半徑。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓緊器，其中所述氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的所述驅(qū)動(dòng)元件是活塞(7，8)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的壓緊器，其中所述氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的所述驅(qū)動(dòng)元件是隔膜(18，19)ο
5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的壓緊器，進(jìn)一步包含第二壓力管線(21)和傳感器，所述第二壓力管線(21)用于對(duì)所述第一氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器和所述第二氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的所述壓力室供應(yīng)氣體，所述傳感器用于監(jiān)測(cè)所述第二壓力管線(21)中的壓力或氣流，使得能夠在操作中檢查當(dāng)終止供應(yīng)壓縮氣體時(shí)所述活塞(7，8)或所述隔膜(18，19)是否分別返回至縮回位置。
6.根據(jù)權(quán)利要求1至5中的任一項(xiàng)所述的壓緊器，其中借助于螺釘(13)進(jìn)行在所述板(I)的底側(cè)上對(duì)所述壓緊器板(10)的支承，所述螺釘(13)被引導(dǎo)穿過復(fù)位彈簧(14)且穿過在所述板(I)中的無螺紋鉆孔，所述復(fù)位彈簧(14)布置在所述板(I)的上側(cè)上，并且所述螺釘(13)被旋入到所述壓緊器板(10)中，其中所述復(fù)位彈簧(14)被預(yù)張緊，使得所述螺釘(13)將所述壓緊器板(10)拉靠所述板(I)的底側(cè)。
【專利摘要】用于將基板的基板位置壓緊的壓緊器包含：板(1)，帶有使得至少一個(gè)基板位置可接近用于結(jié)合裸片的中央開口(2)和與中央開口(2)相鄰地布置在兩側(cè)上的兩個(gè)另外的開口(3，4)；帶有開口(11)和壓緊器條(12)的壓緊器板(10)；第一和第二氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器；和對(duì)兩個(gè)氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器的壓力室供應(yīng)壓縮氣體的壓力管線(9)。每個(gè)氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)器包含缸(5，6)和驅(qū)動(dòng)元件，在缸(5、6)和驅(qū)動(dòng)元件之間形成壓力室。第一驅(qū)動(dòng)器的缸(5)被固定在第一個(gè)另外的開口(3)的上方，且第二驅(qū)動(dòng)器的缸(6)被固定在第二個(gè)另外的開口(4)的上方。
【IPC分類】H01L21-67
【公開號(hào)】CN104701220
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410810596
【發(fā)明人】吉多·祖特爾
【申請(qǐng)人】貝思瑞士股份公司
【公開日】2015年6月10日
【申請(qǐng)日】2014年12月9日
【公告號(hào)】DE102014116939A1