技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了半導(dǎo)體治具領(lǐng)域內(nèi)的一種防刮傷晶圓轉(zhuǎn)移裝置，包括底座，底座下側(cè)設(shè)置有至少兩根互相平行的導(dǎo)向桿，導(dǎo)向桿的兩端均設(shè)置有導(dǎo)向桿限位塊，底座上方設(shè)置有采用金屬材料制成的移動座，移動座的底部設(shè)置有兩個套裝在對應(yīng)導(dǎo)向桿上的滑動套，底座上開設(shè)有可容滑動套來回移動的滑槽，所述移動座上放置有長方體移動提籃，移動座上對應(yīng)移動提籃的底部邊角設(shè)置有4個邊角定位塊，所述邊角定位塊貼靠在移動提籃底部的內(nèi)邊角上，所述底座上對應(yīng)移動座設(shè)置有磁鐵，底座上還豎直設(shè)置有若干支撐桿，支撐桿上端設(shè)置有與移動提籃相對應(yīng)的固定提籃。本實用新型能夠快速高效地轉(zhuǎn)移晶圓，避免轉(zhuǎn)移過程中晶圓被刮傷，起到保護晶圓的作用。

技術(shù)研發(fā)人員：聶偉;陳志遠;朱錦健;姜紅濤
受保護的技術(shù)使用者：江蘇匯成光電有限公司
文檔號碼：201720080657
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.22
技術(shù)公布日：2017.09.05