本實用新型屬于半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域,尤其涉及一種分選機擴張器及包含該擴張器的分選機。
背景技術(shù):
在LED芯粒制造過程中會經(jīng)過后道分選過程,主要是通過機器將同種等級芯粒自動拾取至同一bin上,而運用到的主要機臺為分選機。現(xiàn)有技術(shù)中分選前,晶圓粘附于藍膜上并夾持于擴張環(huán)內(nèi),擴張環(huán)置于鐵環(huán)內(nèi),分選時需通過機械夾爪將鐵環(huán)移載至晶圓工作臺的擴張器上,通過擴張器上下固定片源,從而利于后續(xù)的分選操作。但目前的晶圓工作臺存在以下兩個缺點:
一、在夾爪移動鐵環(huán)過程中經(jīng)常由于無法夾取鐵環(huán)(重量原因),鐵環(huán)中途脫落或擴張器關(guān)閉時鐵環(huán)松動,導(dǎo)致報警頻繁,影響作業(yè);
二、由于擴張器頻繁上下運動,經(jīng)常損壞備件,如擴張器齒輪、鐵環(huán)、夾料器感應(yīng)件、夾爪、擴張器彈簧片等。
技術(shù)實現(xiàn)要素:
為解決以上問題,本實用新型一方面提供一種分選機擴張器,用于固定待分選件,其特征在于,至少包括中間具有孔洞的底座、吸附所述待分選件并環(huán)繞孔洞置于底座上的真空環(huán)、調(diào)整所述待分選件位置并環(huán)繞所述真空環(huán)置于底座上的數(shù)個導(dǎo)正桿組件。
優(yōu)選的,所述導(dǎo)正桿組件包括滑軌、置于滑軌上的導(dǎo)正桿、以及驅(qū)動導(dǎo)正桿沿滑軌移動的第一氣缸。
優(yōu)選的,所述導(dǎo)正桿組件的數(shù)目大于等于4。
優(yōu)選的,所述分選機擴張器還包括與真空環(huán)依次連接、使真空環(huán)產(chǎn)生真空環(huán)境的真空管、真空泵、以及置于真空管上并控制真空泵開關(guān)的電磁閥。
優(yōu)選的,所述真空環(huán)為中空結(jié)構(gòu),上端具有環(huán)形的開口,將所述真空環(huán)內(nèi)的空氣抽去后,產(chǎn)生真空環(huán)境。
優(yōu)選的,所述待分選件為粘附于藍膜上并夾持于擴張環(huán)內(nèi)的晶圓。
優(yōu)選的,所述待分選件的藍膜吸附于真空環(huán)上,使所述晶圓固定于所述擴張器上。
優(yōu)選的,所述真空環(huán)的內(nèi)徑大于所述晶圓的直徑、小于所述擴張環(huán)的內(nèi)徑。
另一方面,本實用新型提供一種分選機,其特征在于,包括上述的任意一項分選機擴張器。
優(yōu)選的,所述分選機還包括一傳送手臂,所述傳送手臂上設(shè)置有均勻排列的復(fù)數(shù)個固定卡扣、復(fù)數(shù)個可移動卡扣、弧形卡槽、第二氣缸、以及連接第二氣缸和可移動卡扣的連接桿,所述第二氣缸通過連接桿驅(qū)動可移動卡扣在所述弧形卡槽內(nèi)移動。
本實用新型利用真空環(huán)內(nèi)的真空吸附并固定待分選的晶圓,同時設(shè)計一種新型的傳送手臂,可以有效省去傳統(tǒng)的分選機上的鐵環(huán)、夾爪、感應(yīng)器、彈簧片等消耗備件,提高分選機的穩(wěn)定性和作業(yè)效率。
附圖說明
圖1為本實用新型之?dāng)U張器的俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
圖2為圖1擴張器及待分選件截面結(jié)構(gòu)示意圖。
圖3為本實用新型之實施例之待分選件俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
圖4為本實用新型之?dāng)U張器和傳送手臂俯視結(jié)構(gòu)示意圖。
圖5為本實用新型之?dāng)U張器和傳送手臂側(cè)視結(jié)構(gòu)示意圖。
附圖標注:
10.擴張器;11.底座;111.底座孔洞;12.真空環(huán);121.真空管;122.真空泵;123.電磁閥;13.導(dǎo)正桿組件;131.滑軌;132.導(dǎo)正桿;133.第一氣缸;20.待分選件;21.擴張環(huán);22.藍膜;23.晶圓;30.傳送手臂;31.固定卡扣;32.可移動卡扣;33弧形卡槽;34.連桿;35.第二氣缸。
具體實施方式
在下列段落中參照附圖以舉例方式更具體地描述本實用新型。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書,本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是,附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例,僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
參看附圖1和2,本實用新型提供一種分選機擴張器10,用于固定待分選件20,其至少包括中間具有孔洞111的底座11、吸附待分選件20并環(huán)繞孔洞111置于底座11上的真空環(huán)12、調(diào)整待分選件20位置并環(huán)繞真空環(huán)12置于底座11上的數(shù)個導(dǎo)正桿組件13。導(dǎo)正桿組件13包括滑軌131、置于滑軌131上的導(dǎo)正桿132、以及驅(qū)動導(dǎo)正桿132沿滑軌131移動的第一氣缸133。導(dǎo)正桿132在第一氣缸133的驅(qū)動下以遠離或者靠近真空環(huán)12的方式移動,從而實現(xiàn)對待分選件20位置的調(diào)整。導(dǎo)正桿組件13的數(shù)目大于等于4,本實施例中優(yōu)選均勻分布并且位于底座11對角線上的4個導(dǎo)正桿組件13,方便對待分選件20位置的調(diào)整。真空環(huán)12依次與真空管121、真空泵122、以及置于真空管121上并控制真空泵122開關(guān)的電磁閥123連接,真空環(huán)12為中空結(jié)構(gòu),上端具有環(huán)形的開口。當(dāng)待分選件20置于真空環(huán)12的開口上時,電磁閥123開啟,真空泵122通過真空管121將中空結(jié)構(gòu)的真空環(huán)12內(nèi)的空氣抽離,使其內(nèi)產(chǎn)生真空環(huán)境,真空環(huán)12利用真空環(huán)境吸附并固定待分選件20。
參看附圖2和3,待分選件20為粘附于藍膜22上并夾持于擴張環(huán)21內(nèi)的晶圓23,待分選件20的藍膜22吸附于真空環(huán)12上,使晶圓23固定于所述擴張器10上。真空環(huán)12的內(nèi)徑大于晶圓23的直徑、小于擴張環(huán)21的內(nèi)徑,便于真空環(huán)12吸附藍膜22,而非擴張環(huán)21,從而提高對待分選件20的吸附性。
參看附圖4和5,另一方面,本實用新型提供一種分選機,包括上述的分選機擴張器10。該分選機還包括一傳送手臂30,傳送手臂20上設(shè)置有均勻排列的復(fù)數(shù)個固定卡扣31、復(fù)數(shù)個可移動卡扣32、弧形卡槽33、第二氣缸35、以及連接第二氣缸35和可移動卡扣32的連接桿34,第二氣缸35通過連接桿34驅(qū)動可移動卡扣32在弧形卡槽33內(nèi)移動。當(dāng)分選結(jié)束后,傳送手臂30移動至待分選件20上方并下降至其表面,固定卡扣31卡住待分選件20的一側(cè),第二氣缸35通過連接桿34驅(qū)動可移動卡扣32在弧形卡槽33內(nèi)移動至待分選件20的另一側(cè),可移動卡扣32卡住待分選件20的另一側(cè),從而牢固夾持待分選機20,實現(xiàn)將待分選件20的轉(zhuǎn)移。
本實用新型利用真空環(huán)12內(nèi)的真空吸附并固定待分選的晶圓23,同時設(shè)計一種新型的傳送手臂30,可以有效省去傳統(tǒng)的分選機上的鐵環(huán)、夾爪、感應(yīng)器、彈簧片等消耗備件,提高分選機的穩(wěn)定性和作業(yè)效率。
應(yīng)當(dāng)理解的是,上述具體實施方案為本實用新型的優(yōu)選實施例,本實用新型的范圍不限于該實施例,凡依本實用新型所做的任何變更,皆屬本實用新型的保護范圍之內(nèi)。