技術總結
本實用新型提供一種分選機擴張器,用于固定待分選件,其特征在于,至少包括中間具有孔洞的底座、吸附所述待分選件并環(huán)繞孔洞置于底座上的真空環(huán)、調(diào)整所述待分選件位置并環(huán)繞所述真空環(huán)置于底座上的數(shù)個導正桿組件。本實用新型利用真空環(huán)內(nèi)的真空吸附并固定待分選的晶圓,同時設計一種新型的傳送手臂,可以有效省去傳統(tǒng)的分選機上的鐵環(huán)、夾爪、感應器、彈簧片等消耗備件,提高分選機的穩(wěn)定性和作業(yè)效率。
技術研發(fā)人員:張虎;丁勇;顏云海;周立;林桂綺;邱智中;張家宏
受保護的技術使用者:安徽三安光電有限公司
文檔號碼:201720177546
技術研發(fā)日:2017.02.27
技術公布日:2017.09.05