本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體治具領(lǐng)域，特別涉及一種晶圓轉(zhuǎn)移裝置。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體生產(chǎn)流程由晶圓制造、晶圓測(cè)試、芯片封裝和封裝后的測(cè)試組成。塑封之后，還要進(jìn)行一系列操作，如后固化、切筋和成型、電鍍以及打印等工藝。典型的封裝工藝流程為：劃片、裝片、鍵合、塑封、去飛邊、電鍍、打印、切筋和成型、外觀檢查、成品測(cè)試和包裝出貨。晶圓就是單晶硅圓片，晶圓加工后需要進(jìn)行檢查，目前，工作人員手動(dòng)抓取晶圓，然后將多個(gè)晶圓一片一片轉(zhuǎn)移到特定位置，進(jìn)行檢查，其不足之處在于：操作繁瑣，浪費(fèi)時(shí)間，人工抓取晶圓轉(zhuǎn)移時(shí)容易刮傷晶圓，損壞晶圓表面的IC，導(dǎo)致次品率增加。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本實(shí)用新型的目的是提供一種防刮傷晶圓轉(zhuǎn)移裝置，使其能夠快速高效地轉(zhuǎn)移晶圓，避免轉(zhuǎn)移過(guò)程中晶圓被刮傷，起到保護(hù)晶圓的作用。

本實(shí)用新型的目的是這樣實(shí)現(xiàn)的：一種防刮傷晶圓轉(zhuǎn)移裝置，包括底座，所述底座下側(cè)設(shè)置有至少兩根互相平行的導(dǎo)向桿，導(dǎo)向桿的兩端均設(shè)置有導(dǎo)向桿限位塊，所述底座上方設(shè)置有采用金屬材料制成的移動(dòng)座，移動(dòng)座的底部設(shè)置有兩個(gè)套裝在對(duì)應(yīng)導(dǎo)向桿上的滑動(dòng)套，所述底座上開(kāi)設(shè)有可容滑動(dòng)套來(lái)回移動(dòng)的滑槽，所述移動(dòng)座上放置有長(zhǎng)方體移動(dòng)提籃，移動(dòng)座上對(duì)應(yīng)移動(dòng)提籃的底部邊角設(shè)置有4個(gè)邊角定位塊，所述邊角定位塊貼靠在移動(dòng)提籃底部的內(nèi)邊角上，所述底座上對(duì)應(yīng)移動(dòng)座設(shè)置有磁鐵，底座上還豎直設(shè)置有若干支撐桿，支撐桿上端設(shè)置有與移動(dòng)提籃相對(duì)應(yīng)的固定提籃。

本實(shí)用新型工作時(shí)，先將晶圓放進(jìn)移動(dòng)提籃內(nèi)，然后將移動(dòng)提籃放置在移動(dòng)座上，使得移動(dòng)提籃底部的4個(gè)內(nèi)頂角分別與對(duì)應(yīng)邊角定位塊相貼合，然后推動(dòng)移動(dòng)座沿著導(dǎo)向桿移動(dòng)，直到移動(dòng)提籃移動(dòng)到固定提籃下方，磁鐵吸引移動(dòng)座，使得移動(dòng)座頂靠在導(dǎo)向桿限位塊上，最后將晶圓取出進(jìn)行檢查。與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果在于：將需要檢查的晶圓一次轉(zhuǎn)移到指定位置，操作方便，效率更高；固定提籃和移動(dòng)提籃對(duì)晶圓起到保護(hù)作用，避免晶圓移動(dòng)過(guò)程中被刮傷。

為了實(shí)現(xiàn)快速定位移動(dòng)提籃，所述移動(dòng)座上對(duì)應(yīng)邊角定位塊設(shè)置有至少2個(gè)輔助定位塊。將移動(dòng)提籃的一側(cè)板放置在邊角定位塊和輔助定位塊之間，調(diào)整使得移動(dòng)提籃另一側(cè)的2個(gè)內(nèi)頂角貼靠在邊角定位塊上，完成移動(dòng)提籃在移動(dòng)座上的快速定位。

作為本實(shí)用新型的優(yōu)選，所述底座底部設(shè)置有4個(gè)支撐腳。

作為本實(shí)用新型的進(jìn)一步改進(jìn)，所述支撐桿對(duì)稱分布在底座的兩側(cè)。該技術(shù)方案使得移動(dòng)提籃移動(dòng)時(shí)更加方便。

附圖說(shuō)明

圖1為本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖。

圖2為本實(shí)用新型的另一種結(jié)構(gòu)示意圖。

圖3為本實(shí)用新型的俯視圖。

圖4為圖3中的的AA向剖視圖。

圖5為本實(shí)用新型的局部結(jié)構(gòu)示意圖。

圖6為本實(shí)用新型不放置移動(dòng)提籃時(shí)的俯視圖。

其中，1底座，2導(dǎo)向桿，2a導(dǎo)向桿限位塊，3移動(dòng)座，4滑動(dòng)套，5滑槽，6移動(dòng)提籃，7邊角定位塊，8磁鐵，9支撐桿，10固定提籃，11輔助定位塊，12支撐腳。

具體實(shí)施方式

如圖1-6所示，為一種防刮傷晶圓轉(zhuǎn)移裝置，包括底座1，底座1底部設(shè)置有4個(gè)支撐腳12；底座1下側(cè)設(shè)置有至少兩根互相平行的導(dǎo)向桿2，導(dǎo)向桿2的兩端均設(shè)置有導(dǎo)向桿限位塊2a，底座1上方設(shè)置有采用金屬材料制成的移動(dòng)座3，移動(dòng)座3的底部設(shè)置有兩個(gè)套裝在對(duì)應(yīng)導(dǎo)向桿2上的滑動(dòng)套4，底座1上開(kāi)設(shè)有可容滑動(dòng)套4來(lái)回移動(dòng)的滑槽5，移動(dòng)座3上放置有長(zhǎng)方體移動(dòng)提籃6，移動(dòng)座3上對(duì)應(yīng)移動(dòng)提籃6的底部邊角設(shè)置有4個(gè)邊角定位塊7，邊角定位塊7貼靠在移動(dòng)提籃6底部的內(nèi)邊角上，移動(dòng)座3上對(duì)應(yīng)邊角定位塊7設(shè)置有至少2個(gè)輔助定位塊11；底座1上對(duì)應(yīng)移動(dòng)座3設(shè)置有磁鐵8，底座1上還豎直設(shè)置有若干支撐桿9，支撐桿9對(duì)稱分布在底座1的兩側(cè)；支撐桿9上端設(shè)置有與移動(dòng)提籃6相對(duì)應(yīng)的固定提籃10。

本裝置工作時(shí)，先將晶圓放進(jìn)移動(dòng)提籃6內(nèi)，然后將移動(dòng)提籃6放置在移動(dòng)座3上，使得移動(dòng)提籃6底部的4個(gè)內(nèi)頂角分別與對(duì)應(yīng)邊角定位塊7相貼合，然后推動(dòng)移動(dòng)座3沿著導(dǎo)向桿2移動(dòng)，直到移動(dòng)提籃6移動(dòng)到固定提籃10下方，磁鐵8吸引移動(dòng)座3，使得移動(dòng)座3頂靠在導(dǎo)向桿限位塊2a上，最后將晶圓取出進(jìn)行檢查。本裝置的優(yōu)點(diǎn)在于：將需要檢查的晶圓一次轉(zhuǎn)移到指定位置，操作方便，效率更高；固定提籃和移動(dòng)提籃對(duì)晶圓起到保護(hù)作用，避免晶圓移動(dòng)過(guò)程中被刮傷。

本實(shí)用新型并不局限于上述實(shí)施例，在本實(shí)用新型公開(kāi)的技術(shù)方案的基礎(chǔ)上，本領(lǐng)域的技術(shù)人員根據(jù)所公開(kāi)的技術(shù)內(nèi)容，不需要?jiǎng)?chuàng)造性的勞動(dòng)就可以對(duì)其中的一些技術(shù)特征作出一些替換和變形，這些替換和變形均在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍內(nèi)。