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一種防刮傷晶圓轉(zhuǎn)移裝置的制作方法

文檔序號:11303856閱讀:來源:國知局

技術(shù)特征:

1.一種防刮傷晶圓轉(zhuǎn)移裝置,其特征在于,包括底座,所述底座下側(cè)設(shè)置有至少兩根互相平行的導(dǎo)向桿,導(dǎo)向桿的兩端均設(shè)置有導(dǎo)向桿限位塊,所述底座上方設(shè)置有采用金屬材料制成的移動座,移動座的底部設(shè)置有兩個套裝在對應(yīng)導(dǎo)向桿上的滑動套,所述底座上開設(shè)有可容滑動套來回移動的滑槽,所述移動座上放置有長方體移動提籃,移動座上對應(yīng)移動提籃的底部邊角設(shè)置有4個邊角定位塊,所述邊角定位塊貼靠在移動提籃底部的內(nèi)邊角上,所述底座上對應(yīng)移動座設(shè)置有磁鐵,底座上還豎直設(shè)置有若干支撐桿,支撐桿上端設(shè)置有與移動提籃相對應(yīng)的固定提籃。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種防刮傷晶圓轉(zhuǎn)移裝置,其特征在于,所述移動座上對應(yīng)邊角定位塊設(shè)置有至少2個輔助定位塊。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種防刮傷晶圓轉(zhuǎn)移裝置,其特征在于,所述底座底部設(shè)置有4個支撐腳。

4.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種防刮傷晶圓轉(zhuǎn)移裝置,其特征在于,所述支撐桿對稱分布在底座的兩側(cè)。

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