1.一種自動檢測集成電路器件翹曲度的方法，該方法包括下列順序的步驟：
（1）獲取器件的表面特征圖像Fig0，在器件的表面特征圖像Fig0上截取待測區(qū)域F0作為翹曲度對比所用的標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域圖FigF0；
（2）提取待測器件的表面特征圖像Fig1、Fig2、……FigN，逐個識別待測區(qū)域F1 、F2 、……Fn；
（3）對識別到的待測區(qū)域進(jìn)行翹曲量掃描并計算翹曲度數(shù)值γ；
（4）將計算得到的翹曲度數(shù)值γ與設(shè)定的翹曲度標(biāo)準(zhǔn)值L進(jìn)行比對，并計算容差；若待測器件計算得到的容差在設(shè)定的容差差值S的范圍內(nèi)，則判定該待測器件或集成電路產(chǎn)品為合格，否則，為不合格。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：在步驟（1）中，將多個集成電路器件或集成電路成品置于夾持工裝上，傳送導(dǎo)軌將夾持工裝傳送到載物臺上；令白光光源產(chǎn)生光線，通過干涉顯微鏡照射到夾持工裝上其中一只元器件表面，通過顯示輸出系統(tǒng)調(diào)節(jié)待測區(qū)域灰度，運(yùn)用圖像處理系統(tǒng)采集接收到的元器件反射的光信號，生成器件的表面特征圖像Fig0，并由信號處理系統(tǒng)存儲起來；設(shè)置白光光源、干涉顯微鏡和圖像處理系統(tǒng)，在表面特征圖像Fig0上搜索待測區(qū)域，并在表面特征圖像Fig0上截取待測區(qū)域F0作為翹曲度對比所用的標(biāo)準(zhǔn)區(qū)域圖FigF0，存入信號處理系統(tǒng)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：在步驟（2）中，啟動載物臺上的傳送導(dǎo)軌，將待測的夾持工裝逐個放置在干涉顯微鏡的下方；由圖像處理系統(tǒng)將圖像信號轉(zhuǎn)換生成對應(yīng)的器件的表面特征圖像FigN，N取1至n，并傳遞并儲存至信號處理系統(tǒng)，其中，第一個待測器件所對應(yīng)的表面特征圖像記為Fig1，第二個待測器件所對應(yīng)的表面特征圖像記為Fig2，以此類推，第n個待測的器件對應(yīng)的表面特征圖像記為FigN；信號處理系統(tǒng)提取圖像處理系統(tǒng)傳遞來的器件的表面特征圖像FigN，將白光光源和干涉顯微鏡移到器件上需要測量的位置并識別待測區(qū)域F1 、F2 、……、Fn。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：在步驟（3）中，白光光源通過干涉顯微鏡分成參考光束和測量光束，其中測量光束照射元器件表面，在表面形成反射再次通過干涉顯微鏡與參考光束形成干涉圖像；該圖像被圖像處理系統(tǒng)采集，信號處理系統(tǒng)對采集的圖像進(jìn)行計算，顯示輸出系統(tǒng)顯示照射區(qū)域的翹曲圖像和數(shù)據(jù)，逐個進(jìn)行掃描獲得第N個器件的待測區(qū)域F1 、F2 、……、Fn的翹曲量并測算該區(qū)域翹曲度，獲得翹曲度數(shù)值，依次為第N器件的第一掃描位置的翹曲度數(shù)值γ1、第二掃描位置的翹曲度數(shù)值γ2、……、第n掃描位置的翹曲度數(shù)值γn；上述n個區(qū)域掃描位置的翹曲度數(shù)值γ1、γ2、……γn存儲在信號處理系統(tǒng)中等待調(diào)用；信號處理系統(tǒng)中按預(yù)設(shè)程序，設(shè)定待測區(qū)域F1 、F2 、……、Fn的翹曲度標(biāo)準(zhǔn)值L1、 L2、……Ln以及容差差值±S1、±S1、……±Sn。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于：在步驟（4）中，智能判定系統(tǒng)將器件上待測區(qū)域F1 、F2 、……、Fn的翹曲度數(shù)值γ1、γ2、……γn與系統(tǒng)設(shè)定的翹曲度標(biāo)準(zhǔn)值L1、 L2、……Ln進(jìn)行比對，若容差差值小于設(shè)定的容差差值±S1、 ±S1、……±Sn，則判定該處區(qū)域為合格，否則判定為不合格；器件盒中或集成電路中的所有待測元器件的待判定的位置翹曲度全部合格，則判定該器件或集成電路產(chǎn)品合格，否則，判定該器件或集成電路產(chǎn)品不合格。
6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的方法，其特征在于：所述信號處理系統(tǒng)尋找設(shè)定元器件或集成電路成品上多個需要測量翹曲度的待測區(qū)域F1 、F2 、……、Fn的方法如下：在元器件的表面特征圖像FigN中預(yù)設(shè)需尋找的待測區(qū)域F1的圖像搜索區(qū)FigF1，對待測區(qū)域F1進(jìn)行相似圖像對比定位，得到待測元器件或集成電路成品上需要測量翹曲度的待測區(qū)域F1，并通過此方法依次獲取元器件或集成電路成品上多個需要測量翹曲度的待測區(qū)域F1、F2 、F3 、……、Fn。
7.一種實施如權(quán)利要求1所述的方法的裝置，其特征在于：包括載物臺，其上安裝用于傳送夾持工裝的傳送導(dǎo)軌，所述夾持工裝上夾持多個電子元器件或集成電路產(chǎn)品，夾持工裝的正上方設(shè)置用于采集器件表面翹曲量圖像的白光掃描干涉測量系統(tǒng)，白光掃描干涉測量系統(tǒng)的第一信號輸出端與用于對器件表面翹曲量圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)提取和存儲的信號處理系統(tǒng)的信號輸入端相連，信號處理系統(tǒng)的信號輸出端與用于對信號處理系統(tǒng)生成的數(shù)據(jù)特征進(jìn)行判定的智能判定系統(tǒng)的信號輸入端相連，智能判定系統(tǒng)的信號輸出端、白光掃描干涉測量系統(tǒng)的第二信號輸出端分別與顯示輸出系統(tǒng)的第一信號輸入端和第二信號輸入端相連。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于：所述白光掃描干涉測量系統(tǒng)由干涉顯微鏡、白光光源和圖像處理系統(tǒng)組成，所述干涉顯微鏡位于夾持工裝的正上方，所述白光光源位于干涉顯微鏡和圖像處理系統(tǒng)之間，圖像處理系統(tǒng)的信號輸出端與白光光源的控制端相連，所述圖像處理系統(tǒng)的輸出端作為白光掃描干涉測量系統(tǒng)的輸出端，所述圖像處理系統(tǒng)內(nèi)設(shè)有CCD圖像傳感器。
9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的裝置，其特征在于：所述信號處理系統(tǒng)和智能判定系統(tǒng)均內(nèi)置于計算機(jī)內(nèi)，所述信號處理系統(tǒng)內(nèi)設(shè)一個存儲單元。