技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的實施方式提供一種半導(dǎo)體裝置的制造方法，能有效擴大在打線接合時產(chǎn)生接觸等的接合線間的間隔。實施方式的半導(dǎo)體裝置的制造方法包括以下步驟：使用插有接合線的毛細管，分別用接合線將多個第1接合部與多個第2接合部之間電連接；測定相鄰接合線間的間隙；及在相鄰接合線間的間隙為設(shè)定值以下的一組接合線間配置毛細管，使毛細管邊與至少一條接合線接觸邊沿接合線的接線方向移動，擴大相鄰接合線間的間隙。

技術(shù)研發(fā)人員：佐野雄一
受保護的技術(shù)使用者：東芝存儲器株式會社
技術(shù)研發(fā)日：2017.03.06
技術(shù)公布日：2017.09.26