1.一種晶圓與玻璃分離裝置，其特征在于；包括機(jī)架、上吸盤組件、位于上吸盤組件下方的下吸盤組件，所述下吸盤組件包括固定不動的下吸盤、貼合在下吸盤下的下加熱器、穿設(shè)在下吸盤中能夠升降的多根支撐柱，所述上吸盤組件包括上吸盤，貼合在上吸盤上的上加熱器，所述機(jī)架上還設(shè)有能夠驅(qū)動所述上吸盤組件豎向及左右移動的驅(qū)動組件，所述支撐柱的頂面具有吸嘴，所述上吸盤組件中具有壓力傳感器，所述上加熱器和所述下加熱器中均具有溫度傳感器。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓與玻璃分離裝置，其特征在于：所述上吸盤組件還包括微動座和支撐梁，所述微動座懸吊在所述支撐梁下方，所述壓力傳感器安裝在所述微動座和所述支撐梁之間；所述上加熱器固定在所述微動座的下方，所述支撐梁與所述驅(qū)動組件連接。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓與玻璃分離裝置，其特征在于：所述支撐梁兩側(cè)設(shè)側(cè)架，所述側(cè)架通過彈簧將所述微動座懸吊在所述支撐梁的下方。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的晶圓與玻璃分離裝置，其特征在于：所述微動座的中心位置具有中心架，所述支撐梁的中心職位兩側(cè)具有通孔，所述中心架的立柱穿設(shè)在所述通孔中，所述立柱的下端連接所述微動座，所述中心架的橫梁位于所述支撐梁的上方，所述中心架的橫梁設(shè)有下端抵頂在所述支撐梁上的支撐螺栓。
5.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓與玻璃分離裝置，其特征在于：所述壓力傳感器設(shè)置在所述支撐梁下表面，所述微動座上表面中心位置具有凸起塊，通過所述壓力傳感器的形變球恰好與所述凸起塊有接觸。
6.一種玻璃與晶圓分離方法，其特征在于：采用如權(quán)利要求1-5任一權(quán)利要求所述的分離裝置，其步驟為：
所述升降柱升起，由機(jī)械手將玻璃晶圓膠合體輸送至升降柱上，所述升降柱將所述玻璃晶圓膠合體吸附??；
所述升降柱慢慢下降，最終所述玻璃晶圓膠合體被放置所述下吸盤上并被所述下吸盤真空吸附固定??；
所述驅(qū)動組件驅(qū)動上吸盤組件下降并使得上吸盤貼合吸附住所述玻璃晶圓膠合體的上表面；
在壓力傳感器反饋和控制器監(jiān)測下，控制驅(qū)動組件向所述玻璃晶圓膠合體施力，精確控制所述上吸盤施加于所述玻璃晶圓膠合體上的壓力，使之避免破片；
所述上加熱器和所述下加熱器同時(shí)加熱，待加熱器中的溫度傳感器溫度感測到達(dá)到設(shè)定溫度，并在該溫度保持設(shè)定時(shí)間待所述玻璃晶圓膠合體中間的固態(tài)膠融化并膠合力降到預(yù)定程度后，控制驅(qū)動組件帶動上吸盤吸住玻璃做橫向水平運(yùn)動從而將玻璃和晶圓分離。