技術(shù)特征：

技術(shù)總結(jié)
本發(fā)明的目的在于提供能夠以短時(shí)間高精度地對探針前端的面內(nèi)位置進(jìn)行檢查的、適應(yīng)于雙面探測器的評價(jià)裝置以及探針位置的檢查方法。具有：支撐部，其將半導(dǎo)體裝置固定；多個(gè)第1探針，其固定于在該支撐部的上方設(shè)置的第1絕緣板；多個(gè)第2探針，其固定于在該支撐部的下方設(shè)置的第2絕緣板；以及探針位置檢查裝置，其安裝于該支撐部，該探針位置檢查裝置具有：框體，其在該第1絕緣板側(cè)具有第1透明部件，在該第2絕緣板側(cè)具有第2透明部件；內(nèi)部棱鏡，其設(shè)置于該框體之中；棱鏡旋轉(zhuǎn)部，其在該框體之中使該內(nèi)部棱鏡旋轉(zhuǎn)；以及拍攝部，其經(jīng)由該內(nèi)部棱鏡對與該第1透明部件接觸的該多個(gè)第1探針或者與該第2透明部件接觸的該多個(gè)第2探針進(jìn)行拍攝。

技術(shù)研發(fā)人員：竹迫憲浩;岡田章;野口貴也
受保護(hù)的技術(shù)使用者：三菱電機(jī)株式會(huì)社
技術(shù)研發(fā)日：2017.01.06
技術(shù)公布日：2017.07.18