本發(fā)明涉及一種對探針前端的位置進(jìn)行檢測的評價(jià)裝置和探針位置的檢查方法。

背景技術(shù)：

半導(dǎo)體晶片或者將半導(dǎo)體晶片單片化后的芯片是在出廠前評價(jià)電氣特性的被測定物。在評價(jià)被測定物的電氣特性時(shí)，在通過真空吸附等將被測定物的下表面固定于卡盤臺的表面之后，使得用于進(jìn)行電輸入輸出的探針與在被測定物的上表面的一部分設(shè)置的電極接觸。在沿縱向流過大電流的縱型構(gòu)造的半導(dǎo)體裝置的評價(jià)中，卡盤臺的表面成為電極。在流過大電流或者施加高電壓的評價(jià)中，增加探針的數(shù)量。

在評價(jià)半導(dǎo)體裝置的電氣特性時(shí)，使多個探針高位置精度地與半導(dǎo)體裝置的表面電極接觸是重要的。在探針與表面電極的接觸位置產(chǎn)生了偏差的情況下，有時(shí)并未向半導(dǎo)體裝置施加所希望的電流或者電壓。另外，如果探針與半導(dǎo)體裝置的表面電極以外的部分接觸，則半導(dǎo)體裝置有可能受到損傷。特別是，在使用使探針與半導(dǎo)體裝置的雙面接觸的雙面探測器的情況下，如果存在上述的位置偏差，則半導(dǎo)體裝置可能會受到損傷。

為了抑制探針與半導(dǎo)體裝置的接觸位置的偏差，優(yōu)選使用短的探針。然而，為了增加探針卡的主體部分與半導(dǎo)體裝置之間的距離而抑制放電現(xiàn)象，存在延長探針的長度的傾向。因此，容易產(chǎn)生探針與半導(dǎo)體裝置的接觸位置的偏差。

已知通過非接觸式的探針位置測定方法針對探針進(jìn)行是否不存在位置偏差要因的檢查。例如，通過與探針相對而設(shè)置的照相機(jī)對探針位置進(jìn)行圖像處理測量。在該情況下，在探針的前端部分的位置測量時(shí)，背景變化、探針與照相機(jī)之間的距離波動、針對各個探針的對焦的精度波動或者受到向探針的附著物的影響這些狀況全部成為外部干擾因素，妨礙高精度的測量。

專利文獻(xiàn)1-3中也公開了探針位置的評價(jià)方法。在專利文獻(xiàn)1中公開了對使探針與變形體接觸而得到的探針痕跡的位置以及大小進(jìn)行觀察。在專利文獻(xiàn)2中公開了針跡轉(zhuǎn)印部件的針跡消除。在專利文獻(xiàn)3中，公開了在將測定針抵接于透明玻璃平板的狀態(tài)下進(jìn)行檢查。

專利文獻(xiàn)1：日本特開2001-189353號公報(bào)

專利文獻(xiàn)2：日本特開2009-198407號公報(bào)

專利文獻(xiàn)3：日本特開平05-157790號公報(bào)

專利文獻(xiàn)1中的探針檢查需要在每次探針檢查時(shí)進(jìn)行變形體的再生處理，而且需要探針痕跡轉(zhuǎn)印后的觀察，因此檢查花費(fèi)時(shí)間。另外，專利文獻(xiàn)1所公開的評價(jià)裝置不能容易地附加至現(xiàn)有的評價(jià)裝置。就專利文獻(xiàn)2中的針跡轉(zhuǎn)印部件而言，也需要再生處理，而且需要探針痕跡轉(zhuǎn)印后的觀察，因此檢查需要時(shí)間。專利文獻(xiàn)3的評價(jià)裝置具有復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，因此不是能夠適應(yīng)于使探針與半導(dǎo)體裝置的雙面接觸的雙面探測器的構(gòu)造。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：

本發(fā)明就是為了解決如上所述的課題而提出的，其目的在于提供能夠以短時(shí)間高精度地對探針前端的面內(nèi)位置進(jìn)行檢查的、適應(yīng)于雙面探測器的評價(jià)裝置以及探針位置的檢查方法。

本申請的發(fā)明涉及的評價(jià)裝置的特征在于，具有：支撐部，其將半導(dǎo)體裝置固定，并使該半導(dǎo)體裝置的上表面和下表面露出；第1絕緣板，其設(shè)置于該支撐部的上方；第2絕緣板，其設(shè)置于該支撐部的下方；多個第1探針，它們固定于該第1絕緣板；多個第2探針，它們固定于該第2絕緣板；以及探針位置檢查裝置，其安裝于該支撐部，該探針位置檢查裝置具有：框體，其在該第1絕緣板側(cè)具有第1透明部件，在該第2絕緣板側(cè)具有第2透明部件；內(nèi)部棱鏡，其設(shè)置于該框體之中；棱鏡旋轉(zhuǎn)部，其在該框體之中使該內(nèi)部棱鏡旋轉(zhuǎn)；以及拍攝部，其經(jīng)由該內(nèi)部棱鏡對與該第1透明部件接觸的該多個第1探針、或者與該第2透明部件接觸的該多個第2探針進(jìn)行拍攝，設(shè)置于該框體之外。

發(fā)明的效果

根據(jù)本發(fā)明，由于在對半導(dǎo)體裝置進(jìn)行支撐的支撐部安裝內(nèi)含可旋轉(zhuǎn)的內(nèi)部棱鏡的探針位置檢查裝置，因此能夠以短時(shí)間高精度地對探針前端的面內(nèi)位置進(jìn)行檢查。

附圖說明

圖1是實(shí)施方式1涉及的評價(jià)裝置的主視圖。

圖2是支撐部的剖視圖。

圖3是探針的主視圖。

圖4是探針位置檢查裝置的剖視圖。

圖5是對第1探針的檢查進(jìn)行說明的圖。

圖6是對第2探針的檢查進(jìn)行說明的圖。

圖7是表示由拍攝部得到的圖像的例子的圖。

圖8是表示由拍攝部得到的圖像的例子的圖。

圖9是實(shí)施方式2涉及的評價(jià)裝置的主視圖。

圖10是探針位置檢查裝置的剖視圖。

圖11是對第1探針的檢查進(jìn)行說明的圖。

圖12是對第2探針的檢查進(jìn)行說明的圖。

標(biāo)號的說明

10評價(jià)裝置，12a第1探針，12b第2探針，14a第1絕緣板，14b第2絕緣板，20拍攝部，30支撐部，40、90探針位置檢查裝置，41框體，42第1透明部件，43保護(hù)膜，45第2透明部件，46保護(hù)膜，48棱鏡旋轉(zhuǎn)部，49內(nèi)部棱鏡，52外部棱鏡，94透明部件，96保護(hù)膜，100框體旋轉(zhuǎn)部。

具體實(shí)施方式

參照附圖對本發(fā)明的實(shí)施方式涉及的評價(jià)裝置和探針位置的檢查方法進(jìn)行說明。對相同或者相對應(yīng)的結(jié)構(gòu)要素標(biāo)注相同的標(biāo)號，有時(shí)省略重復(fù)的說明。

實(shí)施方式1.

圖1是評價(jià)裝置10的主視圖。評價(jià)裝置10具有對多個第1探針12a進(jìn)行固定的第1絕緣板14a和對多個第2探針12b進(jìn)行固定的第2絕緣板14b。第1絕緣板14a通過臂16a而向任意方向移動，第2絕緣板14b通過臂16b而向任意方向移動。也可以通過多個臂使第1絕緣板14a移動，通過多個臂使第2絕緣板14b移動。

在多個第1探針12a與多個第2探針12b之間存在對半導(dǎo)體裝置32進(jìn)行固定的支撐部30。支撐部30在將半導(dǎo)體裝置32的上表面和下表面露出的同時(shí)對半導(dǎo)體裝置32進(jìn)行固定。半導(dǎo)體裝置32在典型情況下是形成有多個半導(dǎo)體芯片的半導(dǎo)體晶片、或者半導(dǎo)體芯片本身，但并不限定于此，可以為任意方式的半導(dǎo)體裝置。在支撐部30的上方設(shè)置第1絕緣板14a，在支撐部30的下方設(shè)置第2絕緣板14b。

圖2是支撐部30和半導(dǎo)體裝置32的剖視圖。支撐部30具有呈能夠嵌合的形狀的第1部分30a和第2部分30b。第1部分30a與半導(dǎo)體裝置32的背面外周部抵接，第2部分30b與半導(dǎo)體裝置32的表面外周側(cè)抵接。由此，通過支撐部30夾持半導(dǎo)體裝置32，對半導(dǎo)體裝置32進(jìn)行固定。此外，也可以省略第2部分30b。

返回至圖1的說明。評價(jià)裝置10構(gòu)成雙面探測器，即，多個第1探針12a與半導(dǎo)體裝置32的上表面抵接，多個第2探針12b與半導(dǎo)體裝置32的下表面抵接。半導(dǎo)體裝置32具有沿縱向、即面外方向流過大電流的縱型構(gòu)造。多個第1探針12a經(jīng)過連接部18a和信號線21而與評價(jià)部/控制部24連接。多個第2探針12b經(jīng)過連接部18b和信號線26而與評價(jià)部/控制部24連接。

設(shè)想例如施加大于或等于5a的大電流的情況而將第1探針12a和第2探針12b設(shè)置多根。為了使各探針的電流密度大致一致，需要使從連接部18a至連接部18b為止的距離無論經(jīng)由哪個探針都大致一致。為了實(shí)現(xiàn)這一點(diǎn)，優(yōu)選通過連接部18a和連接部18b對半導(dǎo)體裝置32進(jìn)行夾持。此外，對于第1探針12a與連接部18a的連接以及第2探針12b與連接部18b的連接，利用在絕緣板之上設(shè)置的金屬板等配線。

多個第1探針12a和多個第2探針12b是與作為被測定物的半導(dǎo)體裝置接觸的部分，因此優(yōu)選能夠沿長度方向伸縮，以不給半導(dǎo)體裝置帶來損傷。圖3是表示可伸縮的探針的圖。在圖3中示出將第1探針12a設(shè)為可伸縮的結(jié)構(gòu)，使其與半導(dǎo)體裝置32接觸的情況。第1探針12a具有：筒部d，其是作為基座而形成的，與第1絕緣板14a連接；接觸部a，其與半導(dǎo)體裝置32的電極機(jī)械且電接觸；柱塞部b，其在內(nèi)部具有彈簧等彈性部件，該柱塞部b具有能夠沿長度方向伸縮的壓入部c；以及電連接部e，其與柱塞部b電連通，成為向外部的輸出端。

對于第1探針12a的導(dǎo)電性，既可以例如通過銅、鎢或者鎢錸合金等具有導(dǎo)電性的金屬材料進(jìn)行制作而得以確保，也可以是從導(dǎo)電性改善以及耐久性改善等的角度出發(fā)，例如通過金、鈀、鉭或者鉑等的覆膜而得以確保。在圖3中，a示出第1探針12a與半導(dǎo)體裝置32不接觸的初始狀態(tài)。b示出使第1探針12a向z軸下方下降，接觸部a與半導(dǎo)體裝置32接觸后的情況。c示出通過從b的狀態(tài)起進(jìn)一步使第1探針12a下降，從而壓入部c的彈性部件壓縮，使得第1探針12a與半導(dǎo)體裝置32的接觸變得可靠的情況。優(yōu)選將全部探針設(shè)為與圖3的第1探針12a相同的結(jié)構(gòu)。彈性部件也可以設(shè)置于探針的外部。此外，第1探針12a以及第2探針12b并不限定于此，還可以采用懸臂式探針、層疊探針或者線探針等。

在第1絕緣板14a設(shè)置有拍攝部20。拍攝部20拍攝z負(fù)方向的圖像。拍攝部20例如是ccd照相機(jī)。拍攝部20經(jīng)由信號線21與圖像處理部22連接。

在支撐部30的側(cè)面安裝有探針位置檢查裝置40。探針位置檢查裝置40是為了在進(jìn)行半導(dǎo)體裝置32的電氣評價(jià)之前確認(rèn)多個第1探針12a和多個第2探針12b的前端位置是否沒有偏差而設(shè)置的。

圖4是探針位置檢查裝置40的剖視圖。探針位置檢查裝置40具有框體41?？蝮w41的上表面和下表面由透明的部件形成。即，框體41在第1絕緣板14a側(cè)具有第1透明部件42，在第2絕緣板14b側(cè)具有第2透明部件45。第1透明部件42和第2透明部件45從探針承受到壓力，因此為了防止因該壓力而引起的破損，第1透明部件42和第2透明部件45由具有強(qiáng)度的部件形成。例如，第1透明部件42和第2透明部件45為大于或等于幾mm的玻璃板。

在第1透明部件42的表面設(shè)置有透明的保護(hù)膜43，在第2透明部件45的表面設(shè)置有透明的保護(hù)膜46。保護(hù)膜43、46比第1透明部件42以及第2透明部件45柔軟。保護(hù)膜43、46優(yōu)選為具有透明性及柔性的、容易更換的片材。保護(hù)膜43、46例如是pvc片。

在探針位置檢查裝置40安裝有照明44。關(guān)于照明44，為了將第1透明部件42照得明亮而在第1透明部件42之上設(shè)置有2個，為了將第2透明部件45照得明亮而在第2透明部件45之下設(shè)置有2個。作為照明44，優(yōu)選使用與白熾燈泡相比不產(chǎn)生熱且長壽命的led光源。

在框體41之中設(shè)置有內(nèi)部棱鏡49。在該內(nèi)部棱鏡49安裝有在框體41之中使內(nèi)部棱鏡49旋轉(zhuǎn)的棱鏡旋轉(zhuǎn)部48。棱鏡旋轉(zhuǎn)部48例如由電動機(jī)構(gòu)成。

在框體41的外部設(shè)置有外部棱鏡52。具體而言，在安裝于框體41的設(shè)置臺51之上設(shè)置有外部棱鏡52。在框體41中的被內(nèi)部棱鏡49和外部棱鏡52夾著的部分設(shè)置有玻璃50，所拍攝的探針的影像從內(nèi)部棱鏡49穿過玻璃50，到達(dá)至外部棱鏡52。這種光路由圖4的光路60示出。也可以不設(shè)置玻璃50，而僅僅是在框體41側(cè)面開孔。但是，為了抑制灰塵以及異物向框體41的侵入，優(yōu)選設(shè)置有透明的玻璃50。

為了避免拍攝時(shí)的外部干擾因素所引起的誤識別，優(yōu)選在框體41的內(nèi)壁涂敷黑色涂裝等的防反射膜，或者在框體41的內(nèi)壁設(shè)置防反射薄膜。特別是，在第1透明部件42和第2透明部件45涂敷防反射膜或者附加防反射薄膜即可。

下面，對使用了上述評價(jià)裝置10的探針位置的檢查方法進(jìn)行說明。在半導(dǎo)體裝置的電氣評價(jià)之前，檢查探針前端的面內(nèi)位置是否妥當(dāng)。首先，使位于第1透明部件42上方的多個第1探針12a與第1透明部件42接觸。將該工序稱為第1接觸工序。圖5是示出使多個第1探針12a和第1透明部件42隔著保護(hù)膜43而接觸的情況的圖。將臂16a移動，將多個第1探針12a按壓于保護(hù)膜43。由此，使多個第1探針12a與第1透明部件42間接地接觸。

然后，將處理推進(jìn)至第1拍攝工序。在第1拍攝工序中，經(jīng)由第1透明部件42、內(nèi)部棱鏡49和外部棱鏡52而通過拍攝部20對多個第1探針12a進(jìn)行拍攝。更具體而言，處于多個第1探針12a之下的內(nèi)部棱鏡49對多個第1探針12a的像進(jìn)行反射而使該像到達(dá)至外部棱鏡52，外部棱鏡52將該像向z正方向進(jìn)行反射，由此能夠通過拍攝部20進(jìn)行拍攝。內(nèi)部棱鏡49和外部棱鏡52是將經(jīng)由第1透明部件42后的多個第1探針12a的影像引導(dǎo)至拍攝部20的部件。在上述這樣得到的拍攝結(jié)果中包含多個第1探針12a的前端位置。在拍攝時(shí)，通過照明44對多個第1探針12a進(jìn)行照射，使拍攝條件穩(wěn)定。所拍攝的圖像向圖像處理部22送出。

然后，將處理推進(jìn)至棱鏡旋轉(zhuǎn)工序。在棱鏡旋轉(zhuǎn)工序中，框體41不旋轉(zhuǎn)，使內(nèi)部棱鏡49旋轉(zhuǎn)。通過使內(nèi)部棱鏡49旋轉(zhuǎn)，從而使內(nèi)部棱鏡49的反射面朝向z負(fù)方向。由此，從拍攝z正方向的狀態(tài)變?yōu)榕臄zz負(fù)方向的狀態(tài)。

然后，將處理推進(jìn)至第2接觸工序。在第2接觸工序中，使處于第2透明部件45下方的多個第2探針12b與第2透明部件45接觸。圖6是表示使多個第2探針12b和第2透明部件45隔著保護(hù)膜46而接觸的情況的圖。將臂16b移動，將多個第2探針12b按壓于保護(hù)膜46。由此，使多個第2探針12b與第2透明部件45間接地接觸。

然后，將處理推進(jìn)至第2拍攝工序。在第2拍攝工序中，經(jīng)由第2透明部件45、內(nèi)部棱鏡49和外部棱鏡52而通過拍攝部20對多個第2探針12b進(jìn)行拍攝。更具體而言，處于多個第2探針12b之上的內(nèi)部棱鏡49將多個第2探針12b的像進(jìn)行反射而使該像到達(dá)至外部棱鏡52，外部棱鏡52將該像沿z正方向進(jìn)行反射，由此能夠通過拍攝部20進(jìn)行拍攝。在該拍攝結(jié)果中包含多個第2探針12b的前端位置。在拍攝時(shí)，通過安裝于第2透明部件45之下的照明44對多個第2探針12b進(jìn)行照射，使拍攝條件穩(wěn)定。所拍攝的圖像向圖像處理部22送出。

然后，將處理推進(jìn)至判定工序。在判定工序中，根據(jù)由拍攝部20拍攝到的影像，判定多個第1探針12a和多個第2探針12b的前端位置是否處于預(yù)定的位置，或者對在第1拍攝工序得到的圖像和在第2拍攝工序得到的圖像進(jìn)行比較而判定多個第1探針12a與多個第2探針12b的相對位置是否是預(yù)定的相對位置。此外，也可以對上述兩者都進(jìn)行判定。由于在雙面探測器的情況下是使探針與半導(dǎo)體裝置的上下表面同時(shí)地接觸，因此管理第1探針12a與第2探針12b的相對位置是重要的。相對位置是指xy平面中的、第1探針12a相對于第2探針12b的位置。在判定工序中，通過圖像處理部22進(jìn)行由拍攝部20得到的圖像的圖像識別。圖7是例如在16根第1探針12a處于規(guī)范的位置的情況下得到的拍攝圖像70。

這樣，如果沒有異常則將處理推進(jìn)至測定工序。在測定工序中，使多個第1探針12a與半導(dǎo)體裝置32的上表面抵接，并使多個第2探針12b與半導(dǎo)體裝置32的下表面抵接，測定半導(dǎo)體裝置32的電氣特性。此外，半導(dǎo)體裝置32在測定工序開始之前的適當(dāng)?shù)亩〞r(shí)固定于支撐部30。

圖8是在探針位置存在異常的情況下的拍攝圖像。在圖8中，左下的探針12a’的位置產(chǎn)生問題。在檢測出探針位置的問題的情況下，從圖像處理部22將位置異常警報(bào)發(fā)送至評價(jià)部/控制部24。在該情況下，實(shí)施多個第1探針12a或者多個第2探針12b的檢查，而不轉(zhuǎn)換至此后的半導(dǎo)體裝置的測定。此外，也可以在棱鏡旋轉(zhuǎn)工序之前實(shí)施在第1拍攝工序得到的圖像的判定，而并非是在判定工序中進(jìn)行對在第1拍攝工序得到的圖像和在第2拍攝工序得到的圖像的判定。得到多個第1探針12a和多個第2探針12b的圖像而對它們的面內(nèi)位置精度進(jìn)行檢查的處理既可以在每當(dāng)所評價(jià)的半導(dǎo)體裝置改變時(shí)進(jìn)行，也可以在結(jié)束多個半導(dǎo)體裝置的測定之后以一定的頻率進(jìn)行。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式1涉及的評價(jià)裝置和探針位置的檢查方法，能夠容易且迅速地對探針前端的位置進(jìn)行檢查，而不利用探針痕跡，即，不需要變形體、針跡轉(zhuǎn)印部件。另外，由于將探針位置檢查裝置40安裝于公知的支撐部30，因此能夠直接沿用現(xiàn)有的評價(jià)裝置。

在通過拍攝部對多個第1探針12a進(jìn)行拍攝時(shí)，多個第1探針12a被按壓于第1透明部件42，在通過拍攝部20對多個第2探針12b進(jìn)行拍攝時(shí)，多個第2探針12b被按壓于第2透明部件45。因此，能夠與進(jìn)行半導(dǎo)體裝置32的測定時(shí)相同地，在對多個第1探針12a和多個第2探針12b施加了力的狀態(tài)下對它們的位置進(jìn)行拍攝。由此，能夠掌握半導(dǎo)體裝置的測定時(shí)的探針位置。優(yōu)選在第1拍攝工序中通過與向半導(dǎo)體裝置的按壓力相同的按壓力將多個第1探針12a按壓于第1透明部件42，在第2拍攝工序中通過與向半導(dǎo)體裝置的按壓力相同的按壓力將多個第2探針12b按壓于第2透明部件45。

另外，在通過拍攝部20對多個第1探針12a進(jìn)行拍攝時(shí)，多個第1探針12a按壓于第1透明部件42，在通過拍攝部20對多個第2探針12b進(jìn)行拍攝時(shí)，多個第2探針12b按壓于第2透明部件45，由此能夠?qū)呐臄z部20至多個第1探針12a或者多個第2探針12b為止的距離固定。因此，能夠可靠地對探針的前端進(jìn)行檢測。

將拍攝部20設(shè)置于框體41之外，由此與將其設(shè)置于框體41之中的情況相比，拍攝部20的維修變得容易，而且拍攝部20與圖像處理部22的連接等作業(yè)也變得容易。另外，經(jīng)由內(nèi)部棱鏡49對與第1透明部件42接觸的多個第1探針12a、或者與第2透明部件45接觸的多個第2探針12b進(jìn)行拍攝，因此結(jié)構(gòu)非常簡單。

保護(hù)膜43、46對在每次檢查時(shí)探針前端所接觸的第1透明部件42以及第2透明部件45的表面進(jìn)行保護(hù)。在保護(hù)膜43、46產(chǎn)生了破損的情況下僅更換保護(hù)膜43、46即可，不需要更換第1透明部件42以及第2透明部件45。

本發(fā)明的實(shí)施方式1涉及的評價(jià)裝置和探針位置的檢查方法在不喪失其特征的范圍能夠進(jìn)行各種各樣的變形。例如，照明44也可以設(shè)置于第1絕緣板14a或者第2絕緣板14b。在該情況下，能夠?qū)⑴c照明相關(guān)的配線匯集于絕緣板。也可以將拍攝部20設(shè)置于框體41的側(cè)面。在該情況下不需要外部棱鏡52。

也可以通過將第1絕緣板14a和第2絕緣板14b的x方向位置固定，使支撐部30沿x正負(fù)方向移動而實(shí)現(xiàn)上述方法。也可以省略保護(hù)膜43、46。拍攝部20經(jīng)由第1透明部件42或者第2透明部件45，以及內(nèi)部棱鏡49、外部棱鏡52對多個第1探針12a或者多個第2探針12b進(jìn)行拍攝，因此拍攝部20也可以安裝于第2絕緣板14b。通過將拍攝部20向第1絕緣板14a或者第2絕緣板14b設(shè)置，由此能夠?qū)⑴臄z部20所需的配線匯集于第1絕緣板14a或者第2絕緣板14b。

作為拍攝部20，也可以使用在探針的校準(zhǔn)中利用的公知的照相機(jī)，而不使用新的照相機(jī)。這些變形能夠適當(dāng)應(yīng)用于以下的實(shí)施方式涉及的評價(jià)裝置以及探針位置的檢查方法。此外，以下的實(shí)施方式涉及的評價(jià)裝置、探針位置的檢查方法與實(shí)施方式1的共同點(diǎn)多，因此以與實(shí)施方式1的不同點(diǎn)為中心進(jìn)行說明。

實(shí)施方式2.

圖9是實(shí)施方式2涉及的評價(jià)裝置的主視圖。在第1絕緣板14a和第2絕緣板14b安裝有照明80。安裝于第1絕緣板14a的照明80對z負(fù)方向進(jìn)行照射，安裝于第2絕緣板14b的照明80對z正方向進(jìn)行照射。通過將照明80安裝于第1絕緣板14a或者第2絕緣板14b，由此能夠?qū)⒄彰飨嚓P(guān)的配線匯集于絕緣板之上。

在支撐部30的側(cè)面安裝有探針位置檢查裝置90。圖10是實(shí)施方式2涉及的探針位置檢查裝置90的剖視圖。在框體41安裝有反射鏡92。反射鏡92將照明80的光向框體41的內(nèi)部引導(dǎo)。在框體41的1個面設(shè)置有透明部件94。在透明部件94的表面設(shè)置有透明的保護(hù)膜96。保護(hù)膜96比透明部件94柔軟。

在框體41之中存在固定于設(shè)置部98的內(nèi)部棱鏡49。與框體41連接有使框體41旋轉(zhuǎn)的框體旋轉(zhuǎn)部100?？蝮w旋轉(zhuǎn)部100例如是電動機(jī)。如果使框體41旋轉(zhuǎn)，則與之相伴地內(nèi)部棱鏡49也旋轉(zhuǎn)。

拍攝部20安裝于框體41。雖然也可以將拍攝部20直接固定于框體41，但在圖10中示出了將拍攝部20載置于在框體41安裝的設(shè)置臺51之上的情況。拍攝部20經(jīng)由內(nèi)部棱鏡49對與透明部件94接觸的多個第1探針12a或者多個第2探針12b進(jìn)行拍攝。

對實(shí)施方式2涉及的探針位置的檢查方法進(jìn)行說明。首先在第1接觸工序中，使處于透明部件94上方的多個第1探針12a與透明部件94接觸。圖11是表示多個第1探針12a隔著保護(hù)膜96與透明部件94接觸的圖。在多個第1探針12a的正下方存在內(nèi)部棱鏡49。

然后，在第1拍攝工序中，經(jīng)由透明部件94和內(nèi)部棱鏡49而通過拍攝部20對多個第1探針12a進(jìn)行拍攝。此時(shí)，使照明80的光由反射鏡92反射而照射至多個第1探針12a，使拍攝條件穩(wěn)定化。如果結(jié)束了第1拍攝工序，則使多個第1探針12a上升，使多個第1探針12a從透明部件94離開。

然后，將處理推進(jìn)至框體旋轉(zhuǎn)工序。在框體旋轉(zhuǎn)工序中，使用框體旋轉(zhuǎn)部100使框體41與內(nèi)部棱鏡49一起旋轉(zhuǎn)。通過使框體41旋轉(zhuǎn)，由此從透明部件94朝向第1絕緣板14a側(cè)的狀態(tài)變?yōu)橥该鞑考?4朝向第2絕緣板14b側(cè)的狀態(tài)。在圖12中示出框體旋轉(zhuǎn)工序后的探針位置檢查裝置90等。

然后，將處理推進(jìn)至第2接觸工序。在第2接觸工序中，使處于透明部件94下方的多個第2探針12b與透明部件94接觸。然后，將處理推進(jìn)至第2拍攝工序。在第2拍攝工序中，經(jīng)由透明部件94和內(nèi)部棱鏡49而通過拍攝部20對多個第2探針12b進(jìn)行拍攝。

然后，將處理推進(jìn)至判定工序。在判定工序中，根據(jù)由拍攝部20拍攝到的影像，判定多個第1探針12a和多個第2探針12b的位置是否位于預(yù)定的位置，或者對在第1拍攝工序得到的圖像和在第2拍攝工序得到的圖像進(jìn)行比較而判定多個第1探針12a與多個第2探針12b的相對位置是否是預(yù)定的相對位置。此外，也可以對上述兩者都進(jìn)行判定。如果判定結(jié)果為良好，則測定半導(dǎo)體裝置32的電氣特性，在判定結(jié)果為針對探針位置檢測出異常的情況下，調(diào)查異常原因。

根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施方式2涉及的評價(jià)裝置和探針位置的檢查方法，與實(shí)施方式1同樣地，能夠以短時(shí)間高精度地對探針前端的面內(nèi)位置進(jìn)行檢查。另外，由于將框體41的1個面設(shè)為透明部件94即可，因此與實(shí)施方式1相比能夠?qū)⒔Y(jié)構(gòu)簡化。

也可以在框體41的外部設(shè)置在實(shí)施方式1中說明的外部棱鏡52。在該情況下，拍攝部20安裝于第1絕緣板14a或者第2絕緣板14b。并且，經(jīng)由透明部件94、內(nèi)部棱鏡49和外部棱鏡對多個第1探針12a或者多個第2探針12b進(jìn)行拍攝。

也可以將在實(shí)施方式1中說明的技術(shù)特征和在實(shí)施方式2中說明的技術(shù)特征適當(dāng)組合而使用。