技術(shù)總結(jié)
本實用新型提供一種結(jié)構(gòu)簡單的硅片硼洗臺，包括支架，支架為雙層立體結(jié)構(gòu)，支架包括有第一支撐臺、第二支撐臺，第一支撐臺上設(shè)置有硼水瓶、旋轉(zhuǎn)臺、硅片加熱板，硅片加熱板上放置有硅片，旋轉(zhuǎn)臺與硅片相匹配；第二支撐臺位于第一支撐臺下方，兩者之間有放置設(shè)備的空間；第二支撐臺上放置有與硼水瓶相對應(yīng)的恒溫磁力攪拌器、與硅片加熱板相對應(yīng)的加熱器、與旋轉(zhuǎn)臺相連接的真空電機、控制真空電機瞬間停止的變頻器。本實用新型結(jié)構(gòu)簡單，操作方便，提高了硅片硼洗的效率。

技術(shù)研發(fā)人員：朱亞文;趙阿強
受保護的技術(shù)使用者：重慶長捷電子有限公司
文檔號碼：201621369331
技術(shù)研發(fā)日：2016.12.13
技術(shù)公布日：2017.06.09